CN106891451A - 一种金刚线多线切割机断线检测方法 - Google Patents

一种金刚线多线切割机断线检测方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及机械领域，尤其涉及一种金刚线多线切割机断线检测方法。采用如下装置，包含检测板，所述检测板上布置有一个以上的传感器，所述传感器为接近传感器，其布置在检测板上且离切割机轴的金刚线的表面1‑3cm；轴辊表面线网即金刚线布好后，调整检测装置位置，传感器将会准确检测出线网信号，并输出无断线信号给计算机；当线网高速运行过程中发生断线，相应断线位置对应的传感器会检测出没有接近的金刚线了，发出断线信号给计算机，计算机根据信号变化将断线报警并停机。

Description

一种金刚线多线切割机断线检测方法
技术领域
本发明涉及机械领域，尤其涉及一种金刚线多线切割机断线检测方法。
背景技术
多线切割技术经过不断发展，目前开始采用金刚线切割，由于待切割材料质量问题、金刚线本身质量问题、人员操作问题、设备问题、切割工艺问题等都会造成切割过程断线，需要检测断线状况并及时报警停机处理，避免造成损失。
发明内容
发明的目的：为了提供一种效果更好的金刚线多线切割机断线检测方法，具体目的见具体实施部分的多个实质技术效果。
为了达到如上目的，本发明采取如下技术方案：
一种金刚线多线切割机断线检测方法，其特征在于，采用如下装置，包含检测板，所述检测板上布置有一个以上的传感器，所述传感器为接近传感器，其布置在检测板上且离切割机轴的金刚线的表面1-3cm；
轴辊表面线网即金刚线布好后，传感器将会准确检测出线网信号，并输出无断线信号给计算机；
当线网高速运行过程中发生断线，相应断线位置对应的传感器会检测出没有接近的金刚线了，发出断线信号给计算机，计算机根据信号变化将断线报警并停机。
本发明进一步技术方案在于，还包含外壳，所述外壳与检测板连接并密封处理，可防止冷却水和硅粉进入；所述检测板与设备通过螺钉连接，与金刚线线网距离高度可调，通过18只非接触传感器的信号变化来判断是否断线，如果某位置金刚线线网断线，电路将输出断线信号，计算机则报警停机。
本发明进一步技术方案在于，所述工作中没有断线时输出一路低电平信号，如果某一位置断线，输出信号变为高电平信号，通过差异进行是否断线的判断。
本发明进一步技术方案在于，所述传感器型号为E2EM-X8C1。
本发明进一步技术方案在于，所述检测板安装在安装结构上，所述安装结构如下，两个紧固螺钉把位置调整弯板与断线检测装置连接为一个整体，位置调整弯板与设备箱体固定在一起。
本发明进一步技术方案在于，所述位置调整弯板侧面为两个长槽孔，用于调整断线检测装置与轴辊表面的高低距离，位置调整螺钉把弯板侧面与设备箱体固定在一起，当轴辊与检测装置的距离位置合适并验证后，可先后固定紧两个位置调整螺钉，
本发明进一步技术方案在于，所述检测板安装在安装结构上，所述安装结构和辊子之间的距离为0-3mm。
采用如上技术方案的本发明，相对于现有技术有如下有益效果：能够针对金刚线切割过程中的线网是否断线进行检测，方法简单、操作可靠，可提高硅片切片的可靠性。
附图说明
为了进一步说明本发明，下面结合附图进一步进行说明：
图1为发明传感器安装的结构示意图；
图2为发明发明传感结构底部的结构示意图；
图3为安装的一种实现结构；
图4为局部结构示意图；
图5为带间隙的结构图；
其中：1.切割辊；2.金刚线；3.安装部位；4.检测板；5.边侧传感器一；6.边侧传感器二；7.外壳；8.集成部分;9.位置调整螺钉；10.位置调整螺钉一；11.位置调整螺钉二；12.位置调整弯板；13.紧固螺钉；14.间隙。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的实施例进行说明，实施例不构成对本发明的限制：
所述一种针对金刚线多线切割机用的断线检测方法，由18只非接触检测传感器构成，传感器按照固定间距排列固定在检测板上。传感器的检测面安装在切割机轴辊线网表面2mm左右位置，检测板两端安装位置高低可调，可保证检测面与线网表面平行，高度符合要求，+24V信号源、输出信号可分别与计算机连接。文中所述的线网即金刚线。调整的方式可以是采用微调螺栓的方式进行微调。
轴辊表面线网布好后，调整检测装置位置，18只传感器将会准确检测出线网信号，并输出无断线信号给计算机。
当线网高速运行过程中发生断线，相应断线位置传感器会检测出无线网，并通过设计的专用转换电路发出断线信号给计算机，计算机根据信号变化将断线报警并停机。
所述断线检测方法由非接触传感器1-18构成断线检测的传感器，固定在设计的检测板上。
所述断线检测方法中的18路检测信号接入设计的专用转换电路进行处理，并输出一路断线报警信号。
所述断线检测方法中的+24V电源和输出信号可接入计算机。
所述断线检测方法中设计的专用电路板固定在外壳内，外壳与检测板连接并密封处理，可防止冷却水和硅粉进入。
所述断线检测方法中传感器检测板与设备通过螺钉连接，与金刚线线网距离在2mm左右高度可调，具体调整方法如下所述：
通过图示两个紧固螺钉把位置调整弯板与断线检测装置连接为一个整体，位置调整弯板侧面为两个长槽孔，用于调整断线检测装置与轴辊表面的高低距离，图示位置调整螺钉把弯板侧面与设备箱体固定在一起，当轴辊与检测装置的距离位置合适并验证后，可先后固定紧两个位置调整螺钉，确保断线检测装置安装牢固可靠，无松动。
图中设备箱体没有画出，另外轴辊与前后轴连接，通过内部拉杆固定在箱体上，前后轴分别安装在箱体前后面的轴孔中，后轴固定安装，前轴为活动轴。
通过18只非接触传感器的信号变化来判断是否断线，如果某位置金刚线线网断线，电路将输出断线信号，计算机则报警停机。
所述断线检测方法中设计的专用转换电路是通过接线端子将传感器信号和电源信号接入电路板，通过光电转换电路进行电平转换和抗干扰隔离，通过转换电路变成一路信号输出。工作中没有断线时输出一路低电平信号，如果某一位置断线，输出信号变为高电平信号，并经过再次隔离和驱动，通过接线端子送入计算机处理。
所述断线检测方法中转换电路设计成电路板安装在检测装置外罩内，以减少大量信号线和电源线走线。实际工作中，计算机中需要编制软件，对接入的断线检测信号进行采 集和分析，并记录成表格文件存储，采集时间为每秒一次，分析过程为：
a.如果没有发生断线情况，输入信号电压的采集数据在1V以内；
b.如果发生断线，采集数据大都大于4.5V以上，为了准确，延时20ms后再次进行判断， 发现采集数据仍然为大于4.5V的信号，将输出断线报警信号。
部分截取的验证数据如下表所示：其中断线后4秒停机（很明显实现效果更好，灵敏度更高）。
记录次数 记录时间 断线电压
…
10223 2016/06/01/11:52:34 0.734
10224 2016/06/01/11:52:35 0.714
10225 2016/06/01/11:52:36 0.617
10226 2016/06/01/11:52:37 0.597
10227 2016/06/01/11:52:38 0.538
10228 2016/06/01/11:52:39 0.499
10229 2016/06/01/11:52:40 0.514
10230 2016/06/01/11:52:41 0.45
10231 2016/06/01/11:52:42 0.485
10232 2016/06/01/11:52:43 0.446
10233 2016/06/01/11:52:44 0.446
10234 2016/06/01/11:52:45 0.377
10235 2016/06/01/11:52:46 0.397
10236 2016/06/01/11:52:47 0.411
10237 2016/06/01/11:52:48 0.416
10238 2016/06/01/11:52:49 0.411
10239 2016/06/01/11:52:50 0.402
10240 2016/06/01/11:52:51 0.397
10241 2016/06/01/11:52:52 0.397
10242 2016/06/01/11:52:53 0.416
10243 2016/06/01/11:52:54 0.358
10244 2016/06/01/11:52:55 0.397
10245 2016/06/01/11:52:56 0.406
10246 2016/06/01/11:52:57 0.382
10247 2016/06/01/11:52:58 0.338
10248 2016/06/01/11:52:59 0.421
10249 2016/06/01/11:53:00 0.377
10250 2016/06/01/11:53:01 4.758
上述数据为调试好电路，实际切割中的一段数据，发现采集电压高后，会进行两次判断，间隔30ms，如果仍然电压高，则停机报警，数据不再采集。
1.可对700mm长度硅棒进行切割检测，检测精度在20mm内。
2.设计专用电路对18只传感器检测信号进行转换，输出为一路开关信号，只要切割线断线，此路信号电平均会变化，输出断线状态。
3.设计专用检测板和密封盒，传感器检测面与线网距离在2mm±1mm内，检测装置安装位置可手动调整，断线信号可与计算机通讯，由上位机采集判断是否停机。
4.切割过程中，当700mm长度线网内高速运行的钢线断裂后，断裂位置会无线网，相应位置的传感器可检测出线网状态并输出断线信号，计算机***将根据信号变化判断其是否为断线状态，并报警停机，保证断线后无线网宽度在20mm内。
5.检测装置解决了金刚线表面由于有金刚砂镀层而不好检测断线的问题。
6.检测装置可防水、防硅粉，使用环境宽松。
需要说明的是，本专利提供的多个方案包含本身的基本方案，相互独立，并不相互制约，但是其也可以在不冲突的情况下相互组合，达到多个效果共同实现。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本领域的技术人员应该了解本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的范围内。

Claims (7)

1.一种金刚线多线切割机断线检测方法，其特征在于，采用如下装置，包含检测板，所述检测板上布置有一个以上的传感器，所述传感器为接近传感器，其布置在检测板上且离切割机轴的金刚线的表面1-3cm；
轴辊表面线网即金刚线布好后，传感器将会准确检测出线网信号，并输出无断线信号给计算机；
当线网高速运行过程中发生断线，相应断线位置对应的传感器会检测出没有接近的金刚线了，发出断线信号给计算机，计算机根据信号变化将断线报警并停机。
2.如权利要求1所述的一种金刚线多线切割机断线检测方法，其特征在于，还包含外壳，所述外壳与检测板连接并密封处理，可防止冷却水和硅粉进入；所述检测板与设备通过螺钉连接，与金刚线线网距离高度可调，通过18只非接触传感器的信号变化来判断是否断线，如果某位置金刚线线网断线，电路将输出断线信号，计算机则报警停机。
3.如权利要求1所述的一种金刚线多线切割机断线检测方法，其特征在于，所述工作中没有断线时输出一路低电平信号，如果某一位置断线，输出信号变为高电平信号，通过差异进行是否断线的判断。
4.如权利要求1所述的一种金刚线多线切割机断线检测方法，其特征在于，所述传感器型号为E2EM-X8C1。
5.如权利要求1所述的一种金刚线多线切割机断线检测方法，其特征在于，所述检测板安装在安装结构上，所述安装结构如下，两个紧固螺钉把位置调整弯板与断线检测装置连接为一个整体，位置调整弯板与设备箱体固定在一起。
6.如权利要求5所述的一种金刚线多线切割机断线检测方法，其特征在于，所述位置调整弯板侧面为两个长槽孔，用于调整断线检测装置与轴辊表面的高低距离，位置调整螺钉把弯板侧面与设备箱体固定在一起，当轴辊与检测装置的距离位置合适并验证后，可先后固定紧两个位置调整螺钉。
7.如权利要求1所述的一种金刚线多线切割机断线检测方法，其特征在于，所述检测板安装在安装结构上，所述安装结构和辊子之间的距离为0-3mm。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108407116A (zh) * 2018-03-30 2018-08-17 青岛高测科技股份有限公司 并线检测装置、方法及包括该并线检测装置的金刚线切片机

Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011070386A1 (en) * 2009-12-11 2011-06-16 Applied Materials, Inc. Monitoring device for the wire of a wire saw device and method for operating the same
CN102555094A (zh) * 2011-12-09 2012-07-11 太仓协鑫光伏科技有限公司 一种切片设备用断线保护装置
CN103085185A (zh) * 2011-10-28 2013-05-08 应用材料瑞士有限责任公司 线锯控制***和线锯
CN203409908U (zh) * 2013-08-07 2014-01-29 晶伟电子材料有限公司 一种用于多线切割机的金刚石线断线报警装置
CN203427203U (zh) * 2013-07-08 2014-02-12 太仓协鑫光伏科技有限公司 一种切片机线弓和断线双功能检测***
EP2708342A1 (en) * 2012-09-14 2014-03-19 Applied Materials Switzerland Sàrl Wire bow monitoring system for a wire saw
CN104227858A (zh) * 2014-08-21 2014-12-24 浙江辉弘光电能源有限公司 一种多线切割机断线保护装置
JP2015003383A (ja) * 2013-06-21 2015-01-08 アプライド マテリアルズ スウィッツァーランド エス アー エール エル ワイヤソー用のワイヤ監視システムおよびワイヤソーを監視する方法
CN204262283U (zh) * 2014-10-15 2015-04-15 新泰（辽宁）精密设备有限公司 铝合金铸造枕梁细长砂芯分段芯盒
CN104859064A (zh) * 2015-05-26 2015-08-26 苏州晶樱光电科技有限公司 一种硅棒切片机用的断线监测装置
EP3015237A1 (en) * 2014-10-29 2016-05-04 Applied Materials Switzerland Sàrl Wire monitoring system
CN105984042A (zh) * 2014-10-29 2016-10-05 应用材料瑞士有限责任公司 线监测***、线锯装置以及用于监测线的方法
CN205799898U (zh) * 2016-06-29 2016-12-14 宁晋松宫电子材料有限公司 一种金刚线切割装置
CN206484747U (zh) * 2017-01-10 2017-09-12 浙江晶盛机电股份有限公司 一种用于蓝宝石晶片多线切割机的断线检测装置

Patent Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011070386A1 (en) * 2009-12-11 2011-06-16 Applied Materials, Inc. Monitoring device for the wire of a wire saw device and method for operating the same
CN103085185A (zh) * 2011-10-28 2013-05-08 应用材料瑞士有限责任公司 线锯控制***和线锯
CN102555094A (zh) * 2011-12-09 2012-07-11 太仓协鑫光伏科技有限公司 一种切片设备用断线保护装置
EP2708342A1 (en) * 2012-09-14 2014-03-19 Applied Materials Switzerland Sàrl Wire bow monitoring system for a wire saw
JP2015003383A (ja) * 2013-06-21 2015-01-08 アプライド マテリアルズ スウィッツァーランド エス アー エール エル ワイヤソー用のワイヤ監視システムおよびワイヤソーを監視する方法
CN203427203U (zh) * 2013-07-08 2014-02-12 太仓协鑫光伏科技有限公司 一种切片机线弓和断线双功能检测***
CN203409908U (zh) * 2013-08-07 2014-01-29 晶伟电子材料有限公司 一种用于多线切割机的金刚石线断线报警装置
CN104227858A (zh) * 2014-08-21 2014-12-24 浙江辉弘光电能源有限公司 一种多线切割机断线保护装置
CN204262283U (zh) * 2014-10-15 2015-04-15 新泰（辽宁）精密设备有限公司 铝合金铸造枕梁细长砂芯分段芯盒
EP3015237A1 (en) * 2014-10-29 2016-05-04 Applied Materials Switzerland Sàrl Wire monitoring system
CN105984042A (zh) * 2014-10-29 2016-10-05 应用材料瑞士有限责任公司 线监测***、线锯装置以及用于监测线的方法
CN104859064A (zh) * 2015-05-26 2015-08-26 苏州晶樱光电科技有限公司 一种硅棒切片机用的断线监测装置
CN205799898U (zh) * 2016-06-29 2016-12-14 宁晋松宫电子材料有限公司 一种金刚线切割装置
CN206484747U (zh) * 2017-01-10 2017-09-12 浙江晶盛机电股份有限公司 一种用于蓝宝石晶片多线切割机的断线检测装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108407116A (zh) * 2018-03-30 2018-08-17 青岛高测科技股份有限公司 并线检测装置、方法及包括该并线检测装置的金刚线切片机

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