CN106546469B - 一种平板玻璃的电镜样品的制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种平板玻璃的电镜样品的制备方法，该平板玻璃中含有铂金析晶，其中，该制备方法包括：S1、确定铂金析晶在平板玻璃中的位置，并将该位置对应的所述平板玻璃的两个表面分别标记为第一标记区和第二标记区；确定所述第一标记区所在的表面与所述铂金析晶之间的距离；S2、打磨所述第一标记区，使得所述第一标记区形成粗糙的表面，并且在所述第二标记区上覆盖防腐蚀膜；S3、对形成了粗糙表面的所述第一标记区进行酸液腐蚀。通过本发明的制备方法制备含有铂金析晶杂质的平板玻璃的电镜样品，能够很好地保护平板玻璃中的铂金析晶不脱落，使得平板玻璃中的铂金析晶缺陷恰好仅部分位于平板玻璃的外部。
Description
技术领域
本发明涉及玻璃领域，具体涉及一种平板玻璃的电镜样品的制备方法。
背景技术
随着平板显示技术的快速发展以及便携式电子产品如笔记本电脑、平板电脑、智能手机和智能穿戴设备的急速普及，液晶显示器在其中扮演的角色越来越重要，具有轻薄化、高分辨率、高画质的液晶显示器产品更为市场所接受。
优质的显示器玻璃成为制作高品质显示器的重要条件，然而在玻璃生产过程中，由于工艺波动，或工艺条件的不匹配，会造成一些固相(结石、析晶、未熔物等)或气相缺陷(气泡)的产生，这些缺陷夹杂在玻璃中就会影响产品品质，严重的将会使产品废弃。此类玻璃缺陷中的针状铂金缺陷尤其难以应对，该缺陷是由于玻璃熔解工序中所使用的铂金材料在高温状态下溶解或挥发，在玻璃液中形成针状析晶或颗粒状析晶，由于这类缺陷的尺寸极小，在线的检验人员和检验设备不易将其检出，一旦流到客户端，就会在面板制作工序产生不良品，影响生产成本和效率。所以消除此类缺陷显得尤为重要，若要解决问题首先要了解问题，对此类缺陷的检测，通常使用扫描电镜，然而扫描电镜只能测试样品表面部分，对于包含于样品内部的缺陷，只能通过加工处理，使缺陷暴露在外才能检测。这种铂金缺陷若用机械方式研磨抛光，因为它尺寸太小，极易被磨掉，成功率太低无法实施，如果直接用酸液进行腐蚀，很容易就会把缺陷腐蚀破坏从而无法观测。
发明内容
本发明的目的是提供一种平板玻璃的电镜样品的制备方法，采用本发明的制备方法制备平板玻璃的电镜样品，能够恰好使铂金析晶缺陷部分暴露在平板玻璃的表面而不会使铂金析晶掉落。
为了实现上述目的，本发明提供一种平板玻璃的电镜样品的制备方法，该平板玻璃中含有铂金析晶，其中，该制备方法包括：
S1、确定铂金析晶在平板玻璃中的位置，并将该位置对应的所述平板玻璃的两个表面分别标记为第一标记区和第二标记区；确定所述第一标记区所在的表面与所述铂金析晶的之间的距离；所述第一标记区所在的表面与所述铂金析晶的之间的距离不大于所述第二标记区所在的表面与所述铂金析晶的之间的距离；
S2、打磨所述第一标记区，使得所述第一标记区形成粗糙的表面，并且在所述第二标记区上覆盖防腐蚀膜；
S3、对形成了粗糙表面的所述第一标记区进行酸液腐蚀，腐蚀所用的酸为浓度4-25重量％的氢氟酸，相对于1mm的所述第一标记区所在的表面与所述铂金析晶的之间的距离，腐蚀的时间为2h-5h。
通过本发明的制备方法制备含有铂金析晶杂质的平板玻璃的电镜样品，能够很好地保护平板玻璃中的铂金析晶不脱落，使得平板玻璃中的铂金析晶缺陷恰好仅部分位于平板玻璃的外部。
本发明的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1是本发明含有铂金析晶缺陷的平板玻璃的一种具体实施方式的结构示意图。
图2是本发明打磨后的含有铂金析晶缺陷的平板玻璃的一种具体实施方式的结构示意图。
图3是本发明铂金析晶缺陷部分暴露在外部的平板玻璃的一种具体实施方式的结构示意图。
附图标记说明
1 铂金析晶 2 平板玻璃 3 第一标记区
4 第二标记区 5 防腐蚀膜
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
本发明提供一种平板玻璃的电镜样品的制备方法，该平板玻璃2中含有铂金析晶1，其中，该制备方法包括：
S1、确定铂金析晶1在平板玻璃2中的位置，并将该位置对应的平板玻璃2的两个表面分别标记为第一标记区3和第二标记区4；确定第一标记区3所在的表面与铂金析晶1之间的距离；第一标记区3所在的表面与铂金析晶1的之间的距离不大于第二标记区4所在的表面与铂金析晶1的之间的距离；
S2、打磨第一标记区3，使得第一标记区3形成粗糙的表面，并且在第二标记区4上覆盖防腐蚀膜5；
S3、对形成了粗糙表面的第一标记区3进行酸液腐蚀，腐蚀所用的酸为浓度4-25重量％的氢氟酸，相对于1mm的第一标记区3所在的表面与铂金析晶1的之间的距离，腐蚀的时间为2h-5h。
TFT-LCD基板、TFT-LCD盖板玻璃、OLED器件基板、OLED器件盖板玻璃、PDP基板玻璃、玻璃导光板等玻璃材料，在生产过程中出现铂金析晶缺陷的检测均可以采用本发明的方法进行电镜样品的制备。
根据本发明，酸液腐蚀所用的酸可以为浓度10-15重量％的氢氟酸，相对于1mm的第一标记区3所在的表面与铂金析晶1的之间的距离，腐蚀的时间可以为2.5h-3h。
根据本发明，步骤S3中进行酸液腐蚀可以恰好至铂金析晶1部分暴露在平板玻璃2外部为止。进行酸液腐蚀的时间不能过长，以防铂金析晶1掉落入进行酸液腐蚀的酸溶液中。被打磨后的第一标记区3呈现粗糙的表面，按照初步计算的腐蚀所需时间对平板玻璃2进行酸液腐蚀，粗糙表面的平板玻璃2在酸液腐蚀过程中，凹陷处表面位置对应的铂金析晶1会先被腐蚀至平板玻璃2的外部，非凹陷处位置的铂金析晶1在相同的腐蚀时间时会仍然处于平板玻璃2的内部，因此，恰能得到部分铂金析晶1暴露在平板玻璃2外部的电镜样品。
根据本发明，对平板玻璃2的酸液腐蚀可以为间断性的酸液腐蚀，对平板玻璃2进行一次酸液腐蚀后可以用清水清洗平板玻璃2，然后确定铂金析晶1与平板玻璃2表面的距离后再进行下一次酸液腐蚀。可以在显微镜下观察铂金析晶1距离平板玻璃2表面的大致深度，随着铂金析晶1距离平板玻璃2表面越近，逐渐减少酸液腐蚀的时间。
根据本发明，确定铂金析晶1在平板玻璃2中位置的方法或确定第一标记区3所在的表面与铂金析晶1的之间的距离的方法可以包括通过显微镜观察并测定的方法。
根据本发明，平板玻璃2的第一标记区3可以采用800#-1200#砂纸进行打磨。
根据本发明，防腐蚀膜5可以包括透明胶带。在第二标记区4上粘贴透明胶带可以防止第二标记区4被酸液腐蚀，以方便后续对铂金析晶1缺陷的位置进行查找和定位。
根据本发明，该方法还可以包括在进行步骤S1之前的将平板玻璃2进行超声清洗和烘干的操作。将平板玻璃2进行超声清洗和烘干后，通过显微镜观察确定铂金析晶1在平板玻璃2中的大***置。
根据本发明，铂金析晶1的长度可以为10-100微米。铂金析晶可以为颗粒状、针状等形状。
本发明巧妙的利用了平板玻璃2表面伤痕在酸液腐蚀过程中逐渐放大的现象，使无伤痕位置的平板玻璃2固定保护铂金析晶1不至脱落，同时使凹坑中的铂金析晶1缺陷暴露出来以便扫描电镜检测，从而避免极小的铂金析晶2缺陷整体脱落，这样就极大的提高了样品制备效率和成功率，并且有利于后续对平板玻璃中铂金析晶缺陷的电镜观察。
以下通过实施例进一步详细说明本发明。
实施例1
S1、将内部带有铂金析晶1缺陷的TFT-LCD基板进行超声清洗和烘干，通过显微镜观察确定铂金析晶1在TFT-LCD基板中的位置，并将该位置对应的TFT-LCD基板的两个表面分别通过油性记号笔画圈的方式标记为第一标记区3和第二标记区4；通过显微镜观察确定第一标记区3所在的表面与铂金析晶1之间的距离；第一标记区3所在的表面与所述铂金析晶1的之间的距离不大于第二标记区4所在的表面与铂金析晶1的之间的距离；按照相对于1mm的所述第一标记区3所在的表面与所述铂金析晶1的之间的距离腐蚀的时间为2h，计算铂金析晶1在TFT-LCD基板中的深度的距离被腐蚀掉的时间为50min；
S2、采用800#砂纸打磨第一标记区3，使得第一标记区3形成粗糙的表面，并且在第二标记区4上粘贴透明胶带作为防腐蚀膜5；
S3、将S2中得到的TFT-LCD基板放入25重量％的氢氟酸溶液中对形成了粗糙表面的第一标记区3依次进行酸液腐蚀、清水清洗、烘干、显微镜观察，酸液腐蚀的时间为48min。
实施例2
S1、将内部带有铂金析晶1缺陷的OLED器件盖板玻璃进行超声清洗和烘干，通过显微镜观察确定铂金析晶1在OLED器件盖板玻璃中的位置，并将该位置对应的OLED器件盖板玻璃的两个表面分别通过油性记号笔画线的方式标记为第一标记区3和第二标记区4；通过显微镜观察确定第一标记区3所在的表面与铂金析晶1之间的距离；第一标记区3所在的表面与所述铂金析晶1的之间的距离不大于第二标记区4所在的表面与铂金析晶1的之间的距离；按照相对于1mm的所述第一标记区3所在的表面与所述铂金析晶1的之间的距离腐蚀的时间为5h，计算铂金析晶1在OLED器件盖板玻璃的深度的距离被腐蚀掉的时间为2h；
S2、采用1000#砂纸打磨第一标记区3，使得第一标记区3形成粗糙的表面，并且在第二标记区4上粘贴防水胶带作为防腐蚀膜5；
S3、将S2中得到的OLED器件盖板玻璃放入4重量％的氢氟酸溶液中对形成了粗糙表面的第一标记区3依次进行酸液腐蚀、清水清洗、烘干、显微镜观察和下一次的酸液腐蚀，每次进行酸液腐蚀之前先通过显微镜观察确定铂金析晶1与基板表面的距离后再进行下一次的酸液腐蚀，酸液腐蚀的次数为6次、每次酸液腐蚀的时间依次为50min、35min、20min、7min、1min、30s，最后一次酸液腐蚀结束后将OLED器件盖板玻璃清水清洗、烘干后进行显微镜观察。
实施例3
S1、将内部带有铂金析晶1缺陷的PDP基板玻璃进行超声清洗和烘干，通过显微镜观察确定铂金析晶1在PDP基板玻璃中的位置，并将该位置对应的PDP基板玻璃的两个表面分别通过油性记号笔画框的方式标记为第一标记区3和第二标记区4；通过显微镜观察确定第一标记区3所在的表面与铂金析晶1之间的距离；第一标记区3所在的表面与所述铂金析晶1的之间的距离不大于第二标记区4所在的表面与铂金析晶1的之间的距离；按照相对于1mm的所述第一标记区3所在的表面与所述铂金析晶1的之间的距离腐蚀的时间为3.5h，计算铂金析晶1在PDP基板玻璃中的深度的距离被腐蚀掉的时间为90min；
S2、采用1200#砂纸打磨第一标记区3，使得第一标记区3形成粗糙的表面，并且在第二标记区4上粘贴防酸胶带作为防腐蚀膜5；
S3、将S2中得到的PDP基板玻璃放入15重量％的氢氟酸溶液中对形成了粗糙表面的第一标记区3依次进行酸液腐蚀、清水清洗、烘干、显微镜观察和下一次的酸液腐蚀，每次进行酸液腐蚀之前先通过显微镜观察确定铂金析晶1与基板表面的距离后再进行下一次的酸液腐蚀，酸液腐蚀的次数为5次、每次酸液腐蚀的时间依次为40min、25min、10min、7min、2min，最后一次酸液腐蚀结束后将PDP基板玻璃清水清洗、烘干后进行显微镜观察。
对比例1
按照实施例1的方法制备带有铂金析晶缺陷的TFT-LCD基板的电镜样品，改变如下的控制条件：不进行打磨的操作，将基板直接放入25重量％的氢氟酸溶液中进行酸液腐蚀48min，然后依次进行清水清洗、烘干、显微镜观察。
对比例2
按照实施例2的方法制备带有铂金析晶缺陷的OLED器件盖板玻璃的电镜样品，改变如下的控制条件：不进行砂纸打磨以及酸液腐蚀，通过研磨抛光机将第一标记区进行100s机械打磨后进行电镜观察。
对实施例1-3及对比例1-2的析晶深度、酸浓度、酸液腐蚀时间及电镜观测结果见表1。
表1：实施例1-3及对比例1-2的析晶深度、酸浓度、酸液腐蚀时间及电镜观测结果表。
由表1可以看出通过本发明的方法制备带有析晶缺陷的平板玻璃的电镜样品，能够使析晶缺陷恰好部分暴露于平板玻璃的外部，可以避免析晶的脱落以及机械打磨对析晶造成的破损。
以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。
另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。
此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所发明的内容。
Claims (8)
1.一种平板玻璃的电镜样品的制备方法，该平板玻璃(2)中含有铂金析晶(1)，其中，该制备方法包括：
S1、确定铂金析晶(1)在所述平板玻璃(2)中的位置，并将该位置对应的所述平板玻璃(2)的两个表面分别标记为第一标记区(3)和第二标记区(4)；确定所述第一标记区(3)所在的表面与所述铂金析晶(1)之间的距离；所述第一标记区(3)所在的表面与所述铂金析晶(1)的之间的距离不大于所述第二标记区(4)所在的表面与所述铂金析晶(1)的之间的距离；
S2、打磨所述第一标记区(3)，使得所述第一标记区(3)形成粗糙的表面，并且在所述第二标记区(4)上覆盖防腐蚀膜(5)；
S3、对形成了粗糙表面的所述第一标记区(3)进行酸液腐蚀，腐蚀所用的酸为浓度4-25重量％的氢氟酸，相对于1mm的所述第一标记区(3)所在的表面与所述铂金析晶(1)的之间的距离，腐蚀的时间为2h-5h；
其中，所述步骤S3中进行所述酸液腐蚀至所述铂金析晶(1)部分暴露在所述平板玻璃(2)外部为止。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述酸液腐蚀所用的酸为浓度10-15重量％的氢氟酸，相对于1mm的所述第一标记区(3)所在的表面与所述铂金析晶(1)的之间的距离，腐蚀的时间为2.5h-3h。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其中，对所述平板玻璃(2)的所述酸液腐蚀为间断性的酸液腐蚀，进行一次所述酸液腐蚀后用清水清洗所述平板玻璃(2)，然后确定所述铂金析晶(1)与所述平板玻璃(2)表面的距离后再进行下一次酸液腐蚀。
4.根据权利要求1或3所述的制备方法，其中，确定所述铂金析晶(1)在所述平板玻璃(2)中位置的方法或确定所述第一标记区(3)所在的表面与所述铂金析晶(1)的之间的距离的方法包括通过显微镜观察并测定。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述打磨包括采用800#-1200#砂纸进行打磨。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述防腐蚀膜(5)包括透明胶带。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其中，该方法还包括在进行所述步骤S1之前的将所述平板玻璃(2)进行超声清洗和烘干的操作。
8.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述铂金析晶(1)的长度为10-100微米。
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Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108061736B (zh) * | 2017-11-14 | 2020-11-13 | 东旭光电科技股份有限公司 | 使用反射电子探针对玻璃缺陷进行分析的方法 |
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Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002122524A (ja) * | 2000-10-13 | 2002-04-26 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 透過電子顕微鏡用試料の作製方法 |
| CN102023108A (zh) * | 2009-09-23 | 2011-04-20 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 透射电子显微镜样品的制备方法 |
| CN105651582A (zh) * | 2015-12-30 | 2016-06-08 | 芜湖东旭光电装备技术有限公司 | 一种玻璃针状缺陷反射电镜样品的制作方法 |
| CN105717137A (zh) * | 2016-01-27 | 2016-06-29 | 中国建筑材料科学研究总院 | 石英玻璃微缺陷检测方法 |
-
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Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002122524A (ja) * | 2000-10-13 | 2002-04-26 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 透過電子顕微鏡用試料の作製方法 |
| CN102023108A (zh) * | 2009-09-23 | 2011-04-20 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 透射电子显微镜样品的制备方法 |
| CN105651582A (zh) * | 2015-12-30 | 2016-06-08 | 芜湖东旭光电装备技术有限公司 | 一种玻璃针状缺陷反射电镜样品的制作方法 |
| CN105717137A (zh) * | 2016-01-27 | 2016-06-29 | 中国建筑材料科学研究总院 | 石英玻璃微缺陷检测方法 |
Non-Patent Citations (1)
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|---|
| TFT玻璃基板中的铂金粒子研究;张军锋;《玻璃深加工》;20141231(第12期);第44-45页 |
Also Published As
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