CN106345710A - 一种硅片加工用胶水预分解剂其制备方法 - Google Patents
一种硅片加工用胶水预分解剂其制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106345710A CN106345710A CN201610714352.2A CN201610714352A CN106345710A CN 106345710 A CN106345710 A CN 106345710A CN 201610714352 A CN201610714352 A CN 201610714352A CN 106345710 A CN106345710 A CN 106345710A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- parts
- glue
- compositionss
- pulverizing
- raw material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003292 glue Substances 0.000 title claims abstract description 32
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 26
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 26
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 25
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 title claims abstract description 13
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims description 7
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 title abstract 5
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title 1
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract description 19
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 17
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L Sodium Sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims abstract description 7
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 239000003921 oil Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229910052938 sodium sulfate Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 235000011152 sodium sulphate Nutrition 0.000 claims abstract description 7
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 claims abstract description 7
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- FPAFDBFIGPHWGO-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxomagnesium;hydrate Chemical compound O.[Mg]=O.[Mg]=O.[Mg]=O.O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Si]=O FPAFDBFIGPHWGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 claims description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims 2
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 claims 2
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 claims 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 abstract description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 2
- 235000019439 ethyl acetate Nutrition 0.000 abstract 1
- 235000019198 oils Nutrition 0.000 abstract 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 abstract 1
- 239000008159 sesame oil Substances 0.000 abstract 1
- 235000011803 sesame oil Nutrition 0.000 abstract 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001651 Cyanoacrylate Polymers 0.000 description 1
- 239000004830 Super Glue Substances 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000003913 materials processing Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000013082 photovoltaic technology Methods 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
Landscapes
- Detergent Compositions (AREA)
Abstract
一种硅片加工用胶水预分解剂,涉及硅材料加工技术领域,由以下重量份的原料制成:变压器油60‑80份、丙酮溶液50‑60份、甲苯6‑8份、汽油8‑10份、麻油6‑8份、醋酸乙酯15‑25份、酒石酸5‑7份、硫酸钠10‑12份、磨粉组合物8‑10份。本发明的有益效果是:本发明配方选取科学合理,选用的原料均为廉价易得的产品,制备出胶水预分解剂,可以在除胶之前进行胶水预处理,是的胶水软化并分解,然后再次进行相应的除胶处理,更加快捷简单,除胶彻底,便于推广及使用。
Description
技术领域
本发明涉及硅材料加工技术领域,具体涉及一种硅片加工用胶水预分解剂及其制备方法。
背景技术
硅材料,是重要的半导体材料,化学元素符号Si,电子工业上使用的硅应具有高纯度和优良的电学和机械等性能,硅是产量最大、应用最广的半导体材料,它的产量和用量标志着一个国家的电子工业水平,单晶硅在太阳能电池中的应用,高纯的单晶硅是重要的半导体材料。在光伏技术和微小型半导体逆变器技术飞速发展的今天,利用硅单晶所生产的太阳能电池可以直接把太阳能转化为光能,实现了迈向绿色能源革命的开始。
硅片是硅材料存在的一种物理形式,在正常的应用中,硅片,是制作集成电路的重要材料,通过对硅片进行光刻、离子注入等手段,可以制成各种半导体器件。用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力,科学技术的发展不断推动着半导体的发展,自动化和计算机等技术发展,使硅片这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度,然而硅片在加工时,不同的工艺节点都会使得硅片加工出现瑕疵。
硅片加工时,是通过相应的硅碇进行切割成的片状物品,这种硅碇通常在切割时,通过相应的胶水将其固定在悬架上,然后安装于切割机器中,进行切割后,再清洗脱胶即可,为了保证切割的稳定性能,通常使用胶水都是强力胶水,这种胶水虽然再使用时,粘贴较为牢固,但是去除胶水时,直接进行强力腐蚀性进行去胶,很大程度上会造成硅片出现腐蚀,造成硅片破裂等一系列问题,严重影响了硅片的本身质量。
发明内容:
本发明所要解决的技术问题在于提供一种原料易得,配方合理精确,使用效果好的硅片加工用胶水预分解剂及其制备方法。
本发明所要解决的技术问题采用以下技术方案来实现:
一种硅片加工用胶水预分解剂,其特征在于,由以下原料制成:
变压器油60-80份、丙酮溶液50-60份、甲苯6-8份、汽油8-10份、麻油6-8份、醋酸乙酯15-25份、酒石酸5-7份、硫酸钠10-12份、磨粉组合物8-10份;
各原料的优选分量为:变压器油70份、丙酮溶液55份、甲苯7份、汽油9份、麻油7份、醋酸乙酯20份、酒石酸6份、硫酸钠11份、磨粉组合物9份;
所述的磨粉组合物为氧化铝、氧化硅、氧化铁、氧化锆任意一种与滑石粉和石蜡按照1:2:10的质量比,复配制成。
所述的丙酮溶液的浓度为13.5-16.8%。
本发明的另一目的是制备本发明中硅片加工用胶水预分解剂的方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)将原料中除磨粉组合物以外的所有原料加入反应釜中,然后加热至60-65℃,持续搅拌均匀后,备用;
2)将上述步骤1的中原料冷却后出料放入搅拌罐中,将原料中所有磨粉组合物,加入其中,高速搅拌直至磨粉组合物全部混合于物料中,即可。
本发明在使用时:在进行除胶处理前,将本品预先涂抹在待去除的胶水上,静置15-25min后,采用海绵进行揉搓后,清水冲洗干净后,再进行常规除胶进行处理即可。
本发明的有益效果是:本发明配方选取科学合理,选用的原料均为廉价易得的产品,制备出胶水预分解剂,可以在除胶之前进行胶水预处理,是的胶水软化并分解,然后再次进行相应的除胶处理,更加快捷简单,除胶彻底,便于推广及使用。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施例,进一步阐述本发明。
实施例1
称取:变压器油60kg、丙酮溶液50kg、甲苯6kg、汽油8kg、麻油6kg、醋酸乙酯15kg、酒石酸5kg、硫酸钠10kg、磨粉组合物8kg;
实施例2
称取:变压器油70kg、丙酮溶液55kg、甲苯7kg、汽油9kg、麻油7kg、醋酸乙酯20kg、酒石酸6kg、硫酸钠11kg、磨粉组合物9kg;
制备上述实施例1或2的方法为:
1)将原料中除磨粉组合物以外的所有原料加入反应釜中,然后加热至60-65℃,持续搅拌均匀后,备用;
2)将上述步骤1的中原料冷却后出料放入搅拌罐中,将原料中所有磨粉组合物,加入其中,高速搅拌直至磨粉组合物全部混合于物料中,即可。
本发明在使用时:在进行除胶处理前,将本品预先涂抹在待去除的胶水上,静置15-25min后,采用海绵进行揉搓后,清水冲洗干净后,再进行常规除胶进行处理即可。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (4)
1.一种硅片加工用胶水预分解剂,其特征在于,由以下原料制成:
变压器油60-80份、丙酮溶液50-60份、甲苯6-8份、汽油8-10份、麻油6-8份、醋酸乙酯15-25份、酒石酸5-7份、硫酸钠10-12份、磨粉组合物8-10份。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的酸性超声波清洗剂,其特征在于,各原料的优选分量为:变压器油70份、丙酮溶液55份、甲苯7份、汽油9份、麻油7份、醋酸乙酯20份、酒石酸6份、硫酸钠11份、磨粉组合物9份。
3.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的酸性超声波清洗剂,其特征在于:所述的磨粉组合物为氧化铝、氧化硅、氧化铁、氧化锆任意一种与滑石粉和石蜡按照1:2:10的质量比,复配制成。
4.制备上述权利要求1或2的方法,其特征在于,包括以下制备步骤:
1)将原料中除磨粉组合物以外的所有原料加入反应釜中,然后加热至60-65℃,持续搅拌均匀后,备用;
2)将上述步骤1的中原料冷却后出料放入搅拌罐中,将原料中所有磨粉组合物,加入其中,高速搅拌直至磨粉组合物全部混合于物料中,即可。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610714352.2A CN106345710A (zh) | 2016-08-24 | 2016-08-24 | 一种硅片加工用胶水预分解剂其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610714352.2A CN106345710A (zh) | 2016-08-24 | 2016-08-24 | 一种硅片加工用胶水预分解剂其制备方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106345710A true CN106345710A (zh) | 2017-01-25 |
Family
ID=57844089
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201610714352.2A Pending CN106345710A (zh) | 2016-08-24 | 2016-08-24 | 一种硅片加工用胶水预分解剂其制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106345710A (zh) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE29706926U1 (de) * | 1997-04-17 | 1997-07-31 | Riepe, Angelika, 32257 Bünde | Flüssiges Reinigungsmittel |
CN1560165A (zh) * | 2004-02-17 | 2005-01-05 | 南京林业大学 | 人造板用无醛胶粘剂 |
CN102534632A (zh) * | 2011-12-06 | 2012-07-04 | 长春市一博升科技有限公司 | 一种除胶剂及其制备方法和应用 |
CN103571665A (zh) * | 2013-10-31 | 2014-02-12 | 合肥中南光电有限公司 | 一种用于集成电路衬底硅片的清洗剂及其制备方法 |
CN103881837A (zh) * | 2012-12-19 | 2014-06-25 | 上海工程技术大学 | 半导体工业清洗剂及其应用 |
CN104862134A (zh) * | 2015-03-27 | 2015-08-26 | 武汉宜田科技发展有限公司 | 一种硅片脱胶剂、其制造方法和使用方法 |
CN105199877A (zh) * | 2015-10-16 | 2015-12-30 | 朱建权 | 一种除胶剂及其制备、使用方法 |
CN106350302A (zh) * | 2016-08-24 | 2017-01-25 | 安徽正田能源科技有限公司 | 一种硅片加工用胶水清除剂及其制备方法 |
-
2016
- 2016-08-24 CN CN201610714352.2A patent/CN106345710A/zh active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE29706926U1 (de) * | 1997-04-17 | 1997-07-31 | Riepe, Angelika, 32257 Bünde | Flüssiges Reinigungsmittel |
CN1560165A (zh) * | 2004-02-17 | 2005-01-05 | 南京林业大学 | 人造板用无醛胶粘剂 |
CN102534632A (zh) * | 2011-12-06 | 2012-07-04 | 长春市一博升科技有限公司 | 一种除胶剂及其制备方法和应用 |
CN103881837A (zh) * | 2012-12-19 | 2014-06-25 | 上海工程技术大学 | 半导体工业清洗剂及其应用 |
CN103571665A (zh) * | 2013-10-31 | 2014-02-12 | 合肥中南光电有限公司 | 一种用于集成电路衬底硅片的清洗剂及其制备方法 |
CN104862134A (zh) * | 2015-03-27 | 2015-08-26 | 武汉宜田科技发展有限公司 | 一种硅片脱胶剂、其制造方法和使用方法 |
CN105199877A (zh) * | 2015-10-16 | 2015-12-30 | 朱建权 | 一种除胶剂及其制备、使用方法 |
CN106350302A (zh) * | 2016-08-24 | 2017-01-25 | 安徽正田能源科技有限公司 | 一种硅片加工用胶水清除剂及其制备方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106892441A (zh) | 铝灰利用方法 | |
CN102795883B (zh) | 一种电解锰渣生产高强加气混凝土砌块及其制备方法 | |
CN105084793B (zh) | 一种镍铁渣用活性激发型助磨剂及其制备方法 | |
CN103553468B (zh) | 利用金矿尾矿和萤石尾矿制作加气砖的方法 | |
CN111875338B (zh) | 一种负温钢筋连接用套筒灌浆料及其制备方法 | |
CN106830866A (zh) | 防水型磷石膏砌块及其制备方法 | |
CN110282901A (zh) | 一种水泥助磨剂及其制备方法 | |
CN101235501A (zh) | 用于多晶体“碳头料”硅碳分离的腐蚀液及其制备方法 | |
CN102262911B (zh) | 一种使用萘系减水剂水泥固化放射性废树脂的方法 | |
CN106380110A (zh) | 一种氧化石墨烯改性水泥助磨剂及其制备方法 | |
CN108218269A (zh) | 一种镍铁渣胶凝材料及其制备工艺 | |
CN102976659A (zh) | 一种化工废料复配的水泥助磨剂 | |
CN106186361A (zh) | 一种硅片加工废水用天然净化滤料 | |
CN103771753B (zh) | 一种水泥助磨剂及其制备方法 | |
CN106906075A (zh) | 一种硅半导体用粘结剂预分解剂其制备方法 | |
CN106345710A (zh) | 一种硅片加工用胶水预分解剂其制备方法 | |
CN106350302A (zh) | 一种硅片加工用胶水清除剂及其制备方法 | |
CN104402372A (zh) | 一种尾渣加气混凝土砌块及其制备方法 | |
CN114988741B (zh) | 一种锂盐基复合矿物掺合料及其制备方法 | |
CN106336139A (zh) | 一种封端二乙醇单异丙醇胺高效水泥助磨剂及其制备方法 | |
CN110592681A (zh) | 一种提升返工片效率良率的制绒工艺 | |
CN109851255B (zh) | 一种煤催化气化灰渣的利用方法 | |
CN106336933A (zh) | 一种硅片切割用降温去糙型切削液的制备方法 | |
CN108439843A (zh) | 一种以工业废硝酸合成早强剂的方法及其应用 | |
CN109096946A (zh) | 一种氧化石墨烯水性胶黏剂及其制备方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20170125 |