CN105899444A - 移载装置以及移载装置的控制方法 - Google Patents

移载装置以及移载装置的控制方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种能够可靠地抑制移动部无意中的飞出的移载装置。该移载装置(40)具备能够相对于基座部(41)移动的移动部(42)，移动部(42)以从基座部(41)突出的状态移载物品(FP)，并具备移动限制部(43)，该移动限制部(43)能够在将移动部(42)限制于基准位置(P1)的第1状态、与允许移动部(42)从基准位置(P1)向第1方向(D1)以及与第1方向(D1)相反的第2方向(D2)中的任一方移动并且限制移动部(42)向另一方移动的第2状态之间进行切换。

Description

移载装置以及移载装置的控制方法
技术领域
本发明涉及移载装置以及移载装置的控制方法。
背景技术
对于在设置于顶棚的轨道上行驶的桥式行驶车而言，公知有连结有移载物品的移载装置的结构。该移载装置具备与桥式行驶车连结的主体部、以及能够相对于该主体部向桥式行驶车的行驶方向的侧方移动的移动部。在该移载装置中，例如形成为利用带机构、齿轮机构等驱动机构使移动部移动并向主体部的侧方突出，并以该状态移载物品的结构。另外，在移载物品之后，利用驱动机构使移动部向主体部侧返回。
在这种移载装置中，若带断开、齿轮的卡合脱离，则存在移动部从主体部无意中向侧方飞出，并与其他桥式行驶车、支柱等周围的构造物干扰的担忧。与此相对，例如专利文献1所示，为了防止移动部无意中的飞出，而提出了一种在桥式行驶车的行驶过程中使移动部与主体部卡合，在停止桥式行驶车并移载物品的情况下解除移动部与主体部的卡合并使移动部向主体部的侧方移动的卡合装置。
专利文献1：国际公开第2011/148459号
然而，在上述结构中，例如在使移动部向主体部的侧方移动之后，向主体部侧返回时带断开、齿轮的卡合脱离的情况下，存在移动部向相反的一侧飞出，并与其他桥式行驶车干扰的担忧。
发明内容
鉴于如上情况，本发明的目的在于提供能够可靠地抑制移动部无意中的飞出的移载装置以及移载装置的控制方法。
在本发明中，提出一种移载装置，其具备能够相对于主体部移动的移动部，移动部以从主体部突出的状态移载物品，该移载装置具备移动限制部，该移动限制部能够在将移动部限制于基准位置的第1状态、与允许移动部从基准位置向第1方向以及与第1方向相反的第2方向中的任一方移动并且限制移动部向另一方移动的第2状态之间进行切换。
另外，优选，移动限制部形成为除了第1状态以及第2状态之外，还能够切换为在规定范围内允许移动部向第1方向以及第2方向移动的第3状态。另外，优选，移动限制部具备旋转体并根据旋转体的旋转位置至少切换第1状态与第2状态，其中，该旋转体具有在设置于移动部的卡合部的移动方向上与卡合部抵接的止挡部。另外，优选，旋转体在止挡部的外侧具备在规定范围内允许卡合部的移动的外侧止挡部。另外，优选，移动限制部具备伴随着旋转体的旋转而旋转的指标部、检测指标部的传感器部、以及基于来自传感器部的检测结果控制旋转体的旋转位置的控制部。另外，优选，传感器部沿指标部的旋转方向配置有多个，控制部基于来自多个传感器部的检测结果控制旋转体的旋转位置。另外，优选，主体部与桥式行驶车连结，移动部具备能够保持物品的夹持部、以及使夹持部升降的升降驱动部。另外，优选，第1方向以及第2方向也可以为水平方向中的与桥式行驶车的行驶方向交叉的方向。
另外，在本发明的移载装置的控制方法中，是具备能够相对于主体部移动的移动部并且移动部以从主体部突出的状态移载物品的移载装置的控制方法，该移载装置的控制方法的特征在于：利用移动限制部在将移动部限制于基准位置的第1状态、与允许移动部从基准位置向第1方向以及与第1方向相反的第2方向的任一方移动并且限制移动部向另一方移动的第2状态之间进行切换。
根据本发明，由于能够利用移动限制部在将移动部限制于基准位置的第1状态、允许移动部从基准位置向第1方向以及与第1方向相反的第2方向中的任一方移动并且限制移动部向另一方移动的第2状态之间进行切换，所以在使移动部向第1方向移动之后为了向基准位置返回而向第2方向移动的情况下，利用移动限制部抑制向第2方向飞出。由此，可靠地抑制移动部无意中的飞出。
另外，移动限制部形成为除了第1状态以及第2状态之外，还能够切换为在规定范围内允许移动部向第1方向以及第2方向移动的第3状态，在移动限制部处于第3状态的情况下，能够在规定范围内微调移动部的位置。另外，移动限制部具备旋转体并根据旋转体的旋转位置至少切换第1状态与第2状态，其中，该旋转体具有在设置于移动部的卡合部的移动方向上与卡合部抵接的止挡部，从而仅通过使旋转体旋转，便能够容易地至少在第1状态与第2状态之间切换移动限制部。另外，旋转体在止挡部的外侧具备在规定范围内允许卡合部的移动的外侧止挡部，从而能够在外侧止挡部限制卡合部的移动。另外，移动限制部具备伴随着旋转体的旋转而旋转的指标部、检测指标部的传感器部、以及基于来自传感器部的检测结果控制旋转体的旋转位置的控制部，从而能够自动地进行移动限制部的切换。另外，传感器部沿指标部的旋转方向配置有多个，控制部基于来自多个传感器部的检测结果控制旋转体的旋转位置，从而能够利用传感器部以及控制部可靠地控制旋转体的旋转位置。另外，主体部与桥式行驶车连结，移动部具备能够保持物品的夹持部、以及使夹持部升降的升降驱动部，从而在桥式行驶车行驶的情况下、移动部向主体部的侧方移动的情况、移动部使夹持部升降的情况下、移动部向主体部侧返回的情况的任一种情况下，均能够可靠地抑制移动部无意中的飞出。另外，第1方向以及第2方向为水平方向中的与桥式行驶车的行驶方向交叉的方向，从而能够可靠地抑制移动部向与桥式行驶车的行驶方向交叉的方向无意中飞出。由此，在桥式行驶车分别在平行地延伸的轨道上行驶的情况下，能够抑制桥式行驶车彼此干扰。
附图说明
图1是表示处理室的顶棚部分的一个例子的图。
图2是表示带机构的一个例子的图。
图3是表示移载装置的动作状态的一个例子的图。
图4是表示移动限制部的一个例子的立体图。
图5是表示移动限制部的一个例子的侧视图。
图6中，(a)是表示旋转体的一个例子的图，(b)是表示指标部以及传感器部的一个例子的图。
图7中，(a)～(d)是用于对移动限制部的动作进行说明的图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。其中，本发明并不限定于此。另外，在附图中，为了对实施方式进行说明，通过将局部放大或者强调记载等而适宜变更比例尺进行表现。在以下各图中，使用XYZ坐标系对图中的方向进行说明。在该XYZ坐标系中，将与水平面平行的平面设为XY平面。在该XY平面中，将桥式行驶车20的行驶方向记载为Y方向，将与Y方向正交的方向记载为X方向。另外，将与XY平面垂直的方向记载为Z方向。将X方向、Y方向以及Z方向各自的图中的箭头的方向作为+方向，将与箭头的方向相反的方向作为－方向进行说明。另外，将绕X轴的旋转方向记载为θX方向，将绕Y轴的旋转方向记载为θY方向，将绕Z轴的旋转方向记载为θZ方向。
图1是表示处理室1的顶棚部分的一个例子的图。处理室1例如为洁净室内部，并设置有未图示的半导体处理装置等。
在处理室1的顶棚部分设置有顶棚部件4、第1支柱6以及第2支柱15。在顶棚部件4形成有顶棚面4a。顶棚面4a形成为与水平面平行。第1支柱6固定于顶棚部件4，并从顶棚面4a向下方(－Z方向)延伸。
在第1支柱6的各群的－Z侧端部分别固定有第1支承部件8、9。第1支承部件8、9形成为在Y方向上具有长边。第1支承部件8、9经由第1支柱6固定于顶棚部件4。第1支承部件8、9的－Z侧的面(支承面)8a、9a配置为与顶棚面4a平行。
在支承面8a、9a分别相邻设置有导轨10。导轨10是引导桥式行驶车20的轨道。导轨10具有行驶导轨11以及供电导轨12。导轨10的至少一部分例如沿第1支承部件8、9的长度方向(Y方向)设置。相邻的导轨10彼此配置为相互平行。此外，在图1中省略了设置于第1支承部件9的导轨10的桥式行驶车的图示。
桥式行驶车20配置于行驶导轨11的内侧。桥式行驶车20沿导轨10向+Y方向行驶。桥式行驶车20具有行驶驱动部21、受电部22以及连结部23。行驶驱动部21具有与行驶导轨11的内表面抵接的多个滚子21a、以及使上述多个滚子21a旋转的未图示的驱动装置。受电部22经由设置于供电导轨12的非接触供电线进行受电，并向行驶驱动部21等供给电力。连结部23安装于行驶驱动部21的－Z侧，并将行驶驱动部21与移载装置40连结。
移载装置40具备基座部(主体部)41、移动部42以及移动限制部43。基座部41经由连结部23与桥式行驶车20(行驶驱动部21)连结。因此，基座部41能够与桥式行驶车20一体地移动。
移动部42具有中间部44以及顶部45。中间部44安装于基座部41。中间部44借助未图示的引导而向沿着X方向的第1方向D1以及第2方向D2移动。顶部45安装于中间部44。顶部45伴随着中间部44的移动而能够向沿着X方向的第1方向D1以及第2方向D2移动。
另外，在顶部45的下方(－Z侧)设置有回旋部46、升降驱动部47、升降台48以及夹持部49。回旋部46使升降驱动部47以下的结构(升降驱动部47、升降台48以及夹持部49)相对于顶部45向θZ方向回旋。
升降驱动部47对升降台48的升降(Z方向的移动)进行控制。升降驱动部47经由形成为规定的长度的带48a(参照图3)与升降台48连接。在升降驱动部47设置有供带48a缠绕的未图示的滚筒。升降驱动部47一边供带48a缠绕一边将其送出，由此使升降台48向Z方向移动。
升降台48借助升降驱动部47的驱动而与夹持部49一体地向Z方向移动。夹持部49具有一对爪部49a。该爪部49a例如能够对半导体晶圆的搬运容器(FOUP)等物品FP进行把持。一对爪部49a对设置于物品FP的+Z侧的面的突起部FPa进行把持。
另外，在第1支承部件8、9的支承面8a、9a设置有第3支柱16。第3支柱16配置于在X方向上隔着导轨10的位置。第3支柱16向－Z方向延伸。在第3支柱16的－Z方向的端部分别固定有第2支承部件17、18。第2支承部件17配置于第1支承部件8的+X侧，第2支承部件18配置于第1支承部件8的－X侧。第2支承部件17、18分别具有载置面17a、18a。载置面17a、18a形成为与水平面平行。在第2支承部件17、18的载置面17a、18a能够临时放置物品等，第2支承部件17、18作为缓冲器使用。
第2支承部件17由配置于+X侧的第3支柱16、以及第2支柱15支承。第2支柱15从顶棚面4a向－Z方向延伸，并在－Z侧端部固定于第2支承部件17。另外，第2支承部件18由设置于第1支承部件8的第3支柱16中的－X侧的支柱、以及设置于第1支承部件9的第3支柱16中的+X侧的支柱支承。
此外，也可以代替第2支承部件17、18，配置适宜的自动仓库或者储料器等。另外，也可以不设置第1支承部件9以及配置于该第1支承部件9的导轨10、桥式行驶车20等。另外，也可以不设置第2支承部件18。
图2是示意地表示对基座部41以及移动部42进行驱动的带机构30的一个例子的图。此外，带机构30并不限定于图2所示的结构。
如图2所示，上述中间部44以及顶部45由带机构30驱动。带机构30具有驱动马达31、驱动带轮32、33、从动带轮34、35以及驱动带36、37。驱动马达31、驱动带轮32以及从动带轮34固定于基座部41的－Z侧。驱动带轮32借助驱动马达31的驱动力而旋转。驱动带36架设于驱动带轮32与从动带轮34之间，并具有固定部36a。固定部36a固定于中间部44。
驱动带轮33以及从动带轮35固定于中间部44的－Z侧。驱动带轮33经由未图示的旋转力传递机构与驱动马达31或者驱动带轮32连接。驱动带轮33与驱动带轮32的旋转同步地旋转。驱动带37架设于驱动带轮33与从动带轮35之间，并具有固定部37a。固定部37a固定于顶部45。
在上述带机构30中，通过使驱动马达31旋转，驱动带36、37经由驱动带轮32、33而旋转。通过驱动带36的旋转，中间部44以向基座部41的+X侧以及－X侧(在图2中作为一个例子为+X侧)突出的方式移动。另外，通过驱动带37的旋转，顶部45以向中间部44的+X侧以及－X侧(在图2中作为一个例子为+X侧)突出的方式移动。
图3是表示移载装置40的动作状态的一个例子的图。
在使桥式行驶车20行驶的情况下，若移动部42向导轨10的+X侧或者－X侧飞出，则存在与周围的构造物干扰的担忧。这点无论是在夹持部49把持物品FP的情况下还是在未把持物品FP的情况下均相同。因此，在使桥式行驶车20行驶的情况下，移载装置40不使移动部42向+X侧或者－X侧移动，如图3所示，成为配置于规定的基准位置P1的状态(第1状态)。在第1状态下，基准位置P1为使桥式行驶车20行驶的情况下的移动部42的位置，在本实施方式中，作为一个例子形成为基座部41与移动部42(中间部44以及顶部45)在Z方向观察下重叠的位置，但并不限定于此。
另一方面，在欲将利用夹持部49把持的物品FP载置于第2支承部件17、18的情况下、或欲利用夹持部49对载置于第2支承部件17、18的物品FP进行把持的情况下，形成为使桥式行驶车20停止的状态。而且，移载装置40形成为使移动部42中的顶部45移动至第1方向D1侧的突出位置P2、或者第2方向D2侧的突出位置P3的状态(第2状态)。突出位置P2配置于第2支承部件17的+Z方向上。另外，突出位置P3配置于第2支承部件18的+Z方向上。此外，如图3中点划线所示，通过从该第2状态送出带48a，能够使升降台48以及夹持部49向下方移动。在夹持部49把持有物品FP的情况下，例如能够将物品FP载置于第2支承部件17、18上。另外，在夹持部49未把持物品FP而在第2支承部件17、18上载置有物品FP的情况下，能够利用夹持部49把持第2支承部件17、18上的物品FP。
此外，在欲将由夹持部49把持的物品FP载置于在导轨10的下方配置的装置等的规定位置的情况下、或欲利用夹持部49对载置于在导轨10的下方配置的装置等的规定位置的物品FP进行把持的情况下，也形成为使桥式行驶车20停止的状态。而且，不使移动部42向突出位置P2以及突出位置P3移动，而形成为使升降台48向－Z方向移动的状态(第3状态)。在第3状态下，对夹持部49与物品FP的位置关系进行微调，因此能够使移动部42向X方向移动规定范围。
图4是表示移动限制部43的一个例子的立体图。另外，图5是表示移动限制部43的一个例子的侧视图。
如图4以及图5所示，移动限制部43具有驱动源51、旋转传递齿轮52、旋转轴53、旋转体54、指标部55、传感器部56、控制部57以及机械限位器60。
驱动源51例如使用马达等，并具有输出旋转的输出轴51a。驱动源51使输出轴51a向θZ方向旋转。旋转传递齿轮52具有第1齿轮52a以及第2齿轮52b。第1齿轮52a固定于驱动源51的输出轴51a。第2齿轮52b与第1齿轮52a啮合，并将第1齿轮52a的θZ方向的旋转转换为θY方向的旋转。旋转轴53固定于第2齿轮52b。伴随着第2齿轮52b的旋转，旋转轴53向沿着Y方向的旋转中心轴AX的绕轴方向(θY方向)旋转。旋转体54与旋转轴53设置为一体。旋转轴53旋转，从而旋转体54向旋转中心轴AX的绕轴方向(θY方向)旋转。
旋转体54被固定为在X方向、Y方向以及Z方向上位置不变化。旋转体54具有第1止挡部(止挡部)54a、第2止挡部(止挡部)54b、第3止挡部(外侧止挡部)54c以及第4止挡部(外侧止挡部)54d。
第1止挡部54a以及第2止挡部54b沿以旋转体54的旋转中心轴AX为中心的同一圆筒面形成。在第1止挡部54a与第2止挡部54b之间设置有间隙54m、54n。另外，第3止挡部54c以及第4止挡部54d沿以旋转中心轴AX为中心并相比第1止挡部54a以及第2止挡部54b更靠外侧的同一圆筒面形成。
如图4以及图5所示，在顶部45的－Y侧的面设置有向－Y方向突出的卡合部45a。卡合部45a例如形成为圆柱状或者棒状。第1止挡部54a～第4止挡部54d配置于卡合部45a的周围。换句话说，卡合部45a的－Y侧的前端部成为配置于由第1止挡部54a～第4止挡部54d围起的部分的状态。第1止挡部54a～第4止挡部54d通过与卡合部45a抵接来限制卡合部45a的移动，由此限制顶部45的移动。中间部44与顶部45同步地移动，因此若限制顶部45的移动则会限制中间部44的移动。因此，通过限制卡合部45a的移动，能够限制移动部42(中间部44以及顶部45)的移动。
图6中，(a)是表示沿－Y方向观察旋转体54时的一个例子的图。在图6的(a)中，与旋转体54一并地图示了顶部45的卡合部45a。以下，对于绕Y轴的θY方向的正负而言，在沿行驶方向(+Y方向)观察时，将顺时针的方向记载为+θY方向，将逆时针的方向记载为－θY方向。在图6的(a)中，为了沿与行驶方向相反的方向观察旋转体54，而将+θY方向在图中表示为右旋的方向，将－θY方向在图中表示为左旋的方向。
如图6的(a)所示，第1止挡部54a形成为以旋转中心轴AX为基准在θY方向上遍及角度α1的范围。该角度α1例如被设定为120°左右，但并不限定于此。第2止挡部54b形成为以旋转中心轴AX为基准在θY方向上遍及角度α2的范围。该角度α2例如可以被设定为60°左右，但并不限定于此。
间隙54m形成为从第1止挡部54a的+θY侧端部朝向第2止挡部54b的－θY侧端部以旋转中心轴AX为基准在θY方向上遍及角度α3的范围。另外，间隙54n形成为从第1止挡部54a的－θY侧端部朝向第2止挡部54b的+θY侧端部以旋转中心轴AX为基准在θY方向上遍及角度α4的范围。角度α3被设定为比角度α4大。另外，与卡合部45a的直径对应地设定角度α4，使得卡合部45a能够在间隙54n通过。此外，也可以先设定角度α4，并与该角度α4的值对应地设定卡合部45a的直径。在本实施方式中，例如，角度α3被设定为120°左右，角度α4被设定为60°左右，但并不限定于此。
第3止挡部54c形成为以旋转中心轴AX为基准在θY方向上遍及角度α5的范围。该角度α5例如被设定为60°左右，但并不限定于此。此外，第3止挡部54c以在旋转体54的旋转方向上覆盖设置于第1止挡部54a的－θY侧的缝隙部分的方式配置。
第4止挡部54d配置于以旋转中心轴AX为基准从第3止挡部54c偏离了180°的位置。第4止挡部54d形成为在θY方向上遍及角度α6的范围。该角度α5例如被设定为60°左右，但并不限定于此。此外，第4止挡部54d以在旋转体54的旋转方向上覆盖设置于第1止挡部54a的+θY侧的缝隙部分的一部分的方式配置。
图6的(b)是表示从+Y侧观察指标部55以及传感器部56时的一个例子的图。此外，与图6的(a)同样，在沿行驶方向(+Y方向)观察时，将顺时针的方向记载为+θY方向，将逆时针的方向记载为－θY方向。
如图6的(b)所示，指标部55形成为圆板状，并固定于第2齿轮52b或者旋转轴53。此外，图6的(b)所示的指标部55的姿势与图6的(a)所示的旋转体54的姿势相对应。换句话说，在旋转体54形成为图6的(a)所示的姿势的情况下，指标部55形成为图6的(b)所示的姿势。另外，反之，在指标部55形成为图6的(b)所示的姿势的情况下，旋转体54形成为图6的(a)所示的姿势。指标部55与第2齿轮52b或者旋转轴53一体地向θY方向旋转。由于在旋转轴53除了固定有指标部55之外还固定有旋转体54，所以在旋转轴53旋转的情况下，指标部55与旋转体54一体地旋转。
指标部55相对于第2齿轮52b配置于－Y侧。指标部55具有基部55a以及遮光部55b。基部55a是形成为圆形的部分。遮光部55b设置于基部55a的外周的一部分，并形成为能够对传感器部56所使用的检测光进行遮光。遮光部55b例如具有端面55c、55d。端面55c以及端面55d被配置为以旋转中心轴AX为中心在θY方向上形成为角度β1。角度β1形成为不足120°的角度，例如形成为116°左右，但并不限定于此。此外，在图6的(b)所示的结构中，遮光部55b相对于基部55a配置于+X侧。
另外，传感器部56具有第1传感器61、第2传感器62、第3传感器63以及第4传感器64。例如图5所示，第1传感器61～第4传感器64分别具有基部56a、发光部56b以及受光部56c。基部56a形成为“コ”字形(或者U字形)，并具有平行的两个前端部(第1端部56m以及第2端部56n)。发光部56b设置于第1端部56m。发光部56b射出检查光。受光部56c设置于第2端部56n。作为发光部56b，例如使用LED等，作为受光部56c使用光电二极管等光电转换元件等。
在本实施方式中，发光部56b与受光部56c配置为对置。在发光部56b与受光部56c之间在Y方向上设置有规定的间隙。从发光部56b射出的检查光在该间隙中行进并向受光部56c射入。受光部56c对射入的检查光进行光电转换，输出受光信号(电信号)。
第1传感器61～第4传感器64以使发光部56b以及受光部56c隔着遮光部55b的轨道而对置的方式配置。通过指标部55旋转，从而与旋转角度相对应，遮光部55b进入发光部56b与受光部56c之间。在通过指标部55的旋转而使遮光部55b进入发光部56b与受光部56c之间的情况下，检查光被遮光部55b遮光。因此，在受光部56c中，不输出受光信号。在第1传感器61～第4传感器64中，通过检测该受光信号的有无，能够分别对在发光部56b与受光部56c之间有无遮光部55b进行检测。
另外，如图6的(b)所示，第1传感器61配置于旋转中心轴AX的－X侧。第2传感器62被配置为相对于第1传感器61在－θY方向上隔开角度β2。第3传感器63被配置为相对于第2传感器62在－θY方向上隔开角度β3。第4传感器64被配置为相对于第3传感器63在－θY方向上隔开角度β4。角度β2、β3、β4例如分别被设定为60°左右。通过该配置，遮光部55b不同时与第1传感器61～第4传感器64中的三个以上传感器重叠。
在此，在本实施方式中，以旋转中心轴AX为基准使第1传感器61与第3传感器63在θY方向上隔开120°进行设置，遮光部55b的θY方向的范围形成为116°。因此，在遮光部55b例如配置于第1传感器61与第3传感器63之间的状态下，遮光部55b的+θY侧端部与第1传感器61之间在θY方向上仅具有2°左右，同样遮光部55b的－θY侧端部与第3传感器63之间在θY方向上仅具有2°左右。因此，若指标部55从遮光部55b配置于第1传感器61与第3传感器63之间的状态沿θY方向旋转2°以上，则遮光部55b的θY侧的任一端部对第1传感器61或者第3传感器63的检查光进行遮光。此外，在遮光部55b配置于第2传感器62与第4传感器64之间的情况下，也能够采用同样的说明。
另外，机械限位器60具有限位器面65以及限位器面66。限位器面65与遮光部55b的端面55c抵接。另外，限位器面66与遮光部55b的端面55d抵接。遮光部55b的端面55c、55d与限位器面65、66分别抵接，由此限制指标部55的θY方向的旋转。在本实施方式中，在端面55c抵接于限位器面65的状态(遮光部55b相对于基部55a配置于+X侧的状态)、与端面55d抵接于限位器面66的状态(遮光部55b相对于基部55a配置于－X侧的状态)之间，指标部55被限制为在180°的范围内进行旋转。
接下来，对移动限制部43的动作进行说明。图7的(a)～(d)是用于对移动限制部43的动作进行说明的图。
图7的(a)表示移载装置40成为第1状态(参照图3等)的情况下的移动限制部43的动作。
在使移动部42处于第1状态的情况下，如图7的(a)所示，控制部57以在卡合部45a的+X侧配置第2止挡部54b，并且在卡合部45a的－X侧配置第1止挡部54a的方式调整旋转体54的姿势。以下，将该姿势记载为第1姿势。通过使旋转体54形成为第1姿势，从而若移动部42(顶部45)欲向+X方向移动则卡合部45a与第2止挡部54b抵接，若欲向－X方向移动则卡合部45a与第1止挡部54a抵接。因此，卡合部45a向X方向的移动被限制。因此，移动部42向X方向的移动被限制，从而成为移动部42配置于基准位置P1的状态。
另外，在旋转体54的姿势形成为上述第1姿势的情况下，指标部55的遮光部55b配置于第1传感器61与第3传感器63之间。在该情况下，在第1传感器61、第3传感器63以及第4传感器64中来自发光部56b的检查光由受光部56c受光，输出受光信号。另外，在第2传感器62中检查光被遮光，不输出受光信号。
因此，控制部57以成为在第1传感器61、第3传感器63以及第4传感器64中输出受光信号、在第2传感器62中不输出受光信号的状态的方式调整指标部55的姿势，由此能够将旋转体54的姿势设定为上述第1姿势。
此时，控制部57对第1传感器61～第4传感器64的受光信号进行检测，并与检测结果对应地使指标部55向+θY方向或者－θY方向旋转。例如，在第1传感器61检测到被遮光的状态的情况下，控制部57使指标部55向－θY方向旋转。而且，在第1传感器61从遮光被切换为受光之后停止指标部55的旋转。由此，能够将遮光部55b配置于第1传感器61与第3传感器63之间。
另外，在第4传感器64检测到遮光的状态的情况下，控制部57使指标部55向+θY方向旋转，从而第3传感器63形成为被遮光的状态。而且，控制部57在第3传感器63检测到被遮光的状态之后，一边使指标部55进一步向+θY方向旋转一边检测第3传感器63的输出，在第3传感器63从遮光被切换为受光之后停止指标部55的旋转。在该情况下，也能够使遮光部55b配置于第1传感器61与第3传感器63之间。
接下来，作为使移动部42形成为第2状态的情况，有使移动部42移动至第1方向D1的突出位置P2的情况、以及使移动部42移动至第2方向D2的突出位置P3的情况。其中，在使移动部42移动至突出位置P2的情况下，如图7的(b)所示，控制部57调整旋转体54的姿势，以在卡合部45a的+X侧配置间隙54m，并且，在卡合部45a的－X侧配置第1止挡部54a。以下，将该姿势记载为第2姿势。通过使旋转体54形成为第2姿势，从而若移动部42欲向+X方向移动，则卡合部45a通过间隙54m，因此卡合部45a的移动不被限制。因此，移动部42能够向第1方向D1移动。另外，若移动部42欲向－X方向移动，则卡合部45a与第1止挡部54a抵接，因此卡合部45a向－X方向的移动被限制。因此，在例如移动部42欲从突出位置P2向基准位置P1返回的情况下，能够限制越过基准位置P1向－X方向移动的情况。
另外，在旋转体54的姿势成为上述第2姿势的情况下，如图7的(b)所示，遮光部55b的端面55d与限位器面66抵接。另外，遮光部55b配置于第2传感器62的+θY侧。并且，遮光部55b的θY方向的中央部以与第1传感器61对应的方式配置。在该情况下，在第2传感器62、第3传感器63以及第4传感器64中来自发光部56b的检查光由受光部56c受光，输出受光信号。另外，在第1传感器61中检查光被遮光，不输出受光信号。
因此，控制部57调整指标部55的姿势，以成为在第2传感器62、第3传感器63以及第4传感器64中输出受光信号、在第1传感器61中不输出受光信号的状态，由此能够将旋转体54的姿势设定为上述第2姿势。
此时，控制部57对第1传感器61～第4传感器64的受光信号进行检测，并与检测结果对应地使指标部55向+θY方向或者－θY方向旋转。例如，在第3传感器63以及第4传感器64的任一个检测到被遮光的状态的情况下，控制部57使指标部55向+θY方向旋转，从而第2传感器62形成为被遮光的状态。而且，控制部57在第2传感器62检测到被遮光的状态之后，一边使指标部55进一步向+θY方向旋转一边检测第2传感器62的输出，在第2传感器62从遮光被切换为受光之后停止指标部55的旋转。由此，能够使遮光部55b配置于第2传感器62的+θY侧。
在本实施方式中，由于配置有限位器面66，所以能够通过使遮光部55b的端面55d与限位器面66抵接来限制指标部55的旋转。此外，也可以代替配置限位器面66(机械限位器60)，将具有与第1传感器61～第4传感器64相同的功能的传感器设置于限位器面66的位置。在该结构中，使用该传感器的检测结果，控制部57能够以停止指标部55的旋转的方式进行控制。
另外，在例如使移动部42移动至第2方向D2的突出位置P3的情况下，如图7的(c)所示，控制部57调整旋转体54的姿势，以在卡合部45a的+X侧配置第1止挡部54a，并且，在卡合部45a的－X侧配置间隙54m。以下，将该姿势记载为第3姿势。通过使旋转体54形成为第3姿势，从而若移动部42欲向－X方向移动，则卡合部45a通过间隙54m，因此卡合部45a的移动不被限制。因此，移动部42能够向第2方向D2移动。另外，若移动部42欲向+X方向移动，则卡合部45a与第1止挡部54a抵接，因此卡合部45a向+X方向的移动被限制。因此，在例如移动部42欲从突出位置P3向基准位置P1返回的情况下，能够限制越过基准位置P1向+X方向移动的情况。
另外，在旋转体54的姿势成为上述第3姿势的情况下，如图7的(c)所示，遮光部55b的端面55c与限位器面65抵接。另外，遮光部55b配置于第3传感器63的－θY侧。并且，遮光部55b的θY方向的中央部以与第4传感器64对应的方式配置。在该情况下，在第1传感器61、第2传感器62以及第3传感器63中来自发光部56b的检查光由受光部56c受光，输出受光信号。另外，在第4传感器64中检查光被遮光，不输出受光信号。
因此，控制部57调整指标部55的姿势，以成为在第1传感器61、第2传感器62以及第3传感器63中输出受光信号、在第4传感器64中不输出受光信号的状态，由此能够将旋转体54的姿势设定为上述第3姿势。
此时，控制部57对第1传感器61～第4传感器64的受光信号进行检测，并与检测结果对应地使指标部55向+θY方向或者－θY方向旋转。例如，在检测到第1传感器61以及第2传感器62的任一个被遮光的状态的情况下，控制部57使指标部55向－θY方向旋转，从而第3传感器63形成为被遮光的状态。而且，控制部57检测到第3传感器63被遮光的状态之后，一边使指标部55进一步向－θY方向旋转一边检测第3传感器63的输出，在第3传感器63从遮光被切换为受光之后停止指标部55的旋转。由此，能够使遮光部55b配置于第3传感器63的－θY侧。
在本实施方式中，由于配置有限位器面65，所以能够通过使遮光部55b的端面55c与限位器面65抵接来限制指标部55的旋转。此外，也可以代替配置限位器面65(机械限位器60)，将具有与第1传感器61～第4传感器64相同的功能的传感器设置于限位器面65的位置。在该结构中，使用该传感器的检测结果，控制部57能够以停止指标部55的旋转的方式进行控制。
接下来，在使移动部42形成为第3状态的情况下，如图7的(d)所示，控制部57调整旋转体54的姿势，以在卡合部45a的+X侧配置间隙54n，在间隙54n的+X侧配置第3止挡部54c，在卡合部45a的－X侧配置间隙54m，在间隙54m的－X侧配置第4止挡部54d。以下，将该姿势记载为第4姿势。通过使旋转体54形成为第4姿势，从而若移动部42欲向+X方向移动则卡合部45a通过间隙54n，但若欲进一步使移动部42向+X方向移动则卡合部45a与第3止挡部54c抵接。因此，在间隙54n至第3止挡部54c的规定范围L内，允许卡合部45a向+X方向的移动。同样，若移动部42欲向－X方向移动则卡合部45a通过间隙54m，若欲进一步使移动部42向－X方向移动则卡合部45a与第4止挡部54d抵接。因此，在间隙54m至第4止挡部54d的规定范围内，允许卡合部45a向－X方向的移动。因此，在第3止挡部54c至第4止挡部54d的范围内允许移动部42向X方向的移动，但是限制该范围以上的向X方向的移动。
另外，在旋转体54的姿势形成为上述第4姿势的情况下，指标部55的遮光部55b配置于第2传感器62与第4传感器64之间。在该情况下，在第1传感器61、第2传感器62以及第4传感器64中来自发光部56b的检查光由受光部56c受光，输出受光信号。另外，在第3传感器63中检查光被遮光，不输出受光信号。
因此，控制部57调整指标部55的姿势，以成为在第1传感器61、第2传感器62以及第4传感器64中输出受光信号、在第3传感器63中不输出受光信号的状态，由此能够将旋转体54的姿势设定为上述第4姿势。
在该情况下，控制部57对第1传感器61～第4传感器64的受光信号进行检测，并与检测结果对应地使指标部55向+θY方向或者－θY方向旋转。例如，在检测到第1传感器61被遮光的状态的情况下，控制部57使指标部55向－θY方向旋转，第2传感器62形成为被遮光的状态。而且，控制部57在检测到第2传感器62被遮光的状态之后，一边使指标部55进一步向－θY方向旋转一边检测第2传感器62的输出，在第2传感器62从遮光被切换为受光之后停止指标部55的旋转。由此，能够使遮光部55b配置于第2传感器62与第4传感器64之间。
另外，在例如检测到第4传感器64被遮光的状态的情况下，控制部57一边使指标部55向+θY方向旋转一边检测第4传感器64的输出，在第4传感器64从遮光被切换为受光之后停止指标部55的旋转。在该情况下，也能够使遮光部55b配置于第2传感器62与第4传感器64之间。
如以上那样，根据本实施方式，能够利用移动限制部43在将移动部42限制于基准位置P1的第1状态、与允许移动部42从基准位置P1向第1方向D1以及第2方向D2的任一方移动并且限制移动部42向另一方移动的第2状态之间进行切换，因此在使移动部42向第1方向D1移动之后，为了向基准位置P1返回而向第2方向D2移动的情况下，利用移动限制部43抑制向第2方向D2的飞出。由此，可靠地抑制移动部42无意中的飞出。
以上，对实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述说明，能够在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变更。例如，在上述实施方式中，举出作为传感器部56使用四个传感器(第1传感器61～第4传感器64)以及指标部55检测旋转体54的姿势的情况为例进行了说明，但并不限定于此。例如，作为传感器部56，也可以省略第1传感器61～第4传感器64中的一部分、另外追加相同的传感器。另外，也可以形成为使用旋转编码器等其他传感器检测旋转轴53的旋转信息，并与其检测结果对应地调整旋转轴53的旋转的结构。
另外，在上述实施方式中，举出设置有与传感器部56的检测结果对应地控制驱动源51的旋转的控制部57的结构为例进行了说明，但并不限定于此，例如，也可以形成为使统一控制导轨10、桥式行驶车20以及移载装置40的主控制部进行该动作的结构。另外，在上述实施方式中，也可以形成为在第1传感器61～第4传感器64的任一个中产生了检测不良等的情况下，利用上述主控制部使各部分的动作停止，利用控制部57使驱动源51的动作停止的结构。
另外，在上述实施方式中，作为使移动部42移动的结构，举出使用了带机构30的结构为例进行了说明，但并不限定于此，例如也可以使用齿轮机构等其他驱动***。
附图标记说明：
D1…第1方向；D2…第2方向；FP…物品；L…规定范围；P1…基准位置；P2、P3…突出位置；AX…旋转中心轴；1…处理室；10…导轨；20…桥式行驶车；30…带机构；40…移载装置；41…基座部(主体部)；42…移动部；43…移动限制部；44…中间部；45…顶部；45a…卡合部；47…升降驱动部；48…升降台；48a…带；49…夹持部；54…旋转体；54a…第1止挡部(止挡部)；54b…第2止挡部(止挡部)；54c…第3止挡部(外侧止挡部)；54d…第4止挡部(外侧止挡部)；54m、54n…间隙；55…指标部；55b…遮光部；56…传感器部；57…控制部；61…第1传感器；62…第2传感器；63…第3传感器；64…第4传感器。

Claims (9)

1.一种移载装置，其具备能够相对于主体部移动的移动部，所述移动部以从所述主体部突出的状态移载物品，
所述移载装置的特征在于，
具备移动限制部，该移动限制部能够在将所述移动部限制于基准位置的第1状态、与允许所述移动部从所述基准位置向第1方向以及与所述第1方向相反的第2方向中的任一方移动并且限制所述移动部向另一方移动的第2状态之间进行切换。
2.根据权利要求1所述的移载装置，其特征在于，
所述移动限制部形成为除了所述第1状态以及所述第2状态之外，还能够切换为在规定范围内允许所述移动部向所述第1方向以及所述第2方向移动的第3状态。
3.根据权利要求1或2所述的移载装置，其特征在于，
所述移动限制部具备旋转体，并根据所述旋转体的旋转位置至少切换所述第1状态与所述第2状态，其中，所述旋转体具有在设置于所述移动部的卡合部的移动方向上与所述卡合部抵接的止挡部。
4.根据权利要求3所述的移载装置，其特征在于，
所述旋转体在所述止挡部的外侧具备在规定范围内允许所述卡合部的移动的外侧止挡部。
5.根据权利要求3或4所述的移载装置，其特征在于，
所述移动限制部具备伴随着所述旋转体的旋转而旋转的指标部、检测所述指标部的传感器部、以及基于来自所述传感器部的检测结果控制所述旋转体的旋转位置的控制部。
6.根据权利要求5所述的移载装置，其特征在于，
所述传感器部沿所述指标部的旋转方向配置有多个，
所述控制部基于来自所述多个传感器部的检测结果控制所述旋转体的旋转位置。
7.根据权利要求1～6中的任一项所述的移载装置，其特征在于，
所述主体部与桥式行驶车连结，
所述移动部具备能够保持物品的夹持部、以及使所述夹持部升降的升降驱动部。
8.根据权利要求7所述的移载装置，其特征在于，
所述第1方向以及所述第2方向为水平方向中的与所述桥式行驶车的行驶方向交叉的方向。
9.一种移载装置的控制方法，其中，所述移载装置具备能够相对于主体部移动的移动部，所述移动部以从所述主体部突出的状态移载物品，
所述移载装置的控制方法的特征在于，
利用移动限制部在将所述移动部限制于基准位置的第1状态、与允许所述移动部从所述基准位置向第1方向以及与所述第1方向相反的第2方向中的任一方移动并且限制所述移动部向另一方移动的第2状态之间进行切换。
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