CN105813449B - 安装装置、载荷检测方法及其程序 - Google Patents

Abstract

高精度地检测向基板搭载部件时的压入载荷，而不使用测力传感器。一种载荷检测方法，其利用安装装置(1)对一边使设置于吸嘴(35)的螺旋弹簧(39)收缩、一边将被吸嘴吸附的部件(P)向基板(W)压入时的针对部件的压入载荷进行检测，该载荷检测方法构成为，使吸嘴移动至目标的控制位置而将部件压入，在该目标的控制位置(Hb)处对吸嘴进行拍摄而生成拍摄图像，将拍摄图像中的吸嘴的识别位置(Ha)变换为吸嘴的当前位置(Hc)，基于根据目标的控制位置和吸嘴的当前位置之间的差值而求出的螺旋弹簧的收缩量，计算针对部件的压入载荷。

Description

安装装置、载荷检测方法及其程序

技术领域

本发明涉及利用吸附头将部件向基板进行安装的安装装置、载荷检测方法及其程序。

背景技术

安装装置的吸附头使用带螺旋弹簧的吸嘴，一边使螺旋弹簧收缩、一边将由吸嘴吸附的部件向基板压入，从而将部件搭载至基板。作为这种吸附头，已知检测针对部件的压入载荷的吸附头(例如，参照专利文献1、2)。专利文献1的吸附头具备测力传感器，由测力传感器检测出在部件压入时吸嘴从部件受到的反作用力而作为压入载荷。专利文献2的吸附头在部件压入时对螺旋弹簧的收缩量进行检测，根据螺旋弹簧的已知的弹簧常数计算出针对部件的压入载荷。

专利文献1：日本特开2005－032860号公报

专利文献2：日本特开2002－151893号公报

专利文献1所记载的吸附头能够利用测力传感器检测针对部件的压入载荷，但存在伴随部件数量的增加而吸附头的重量及成本增大的问题。另外，专利文献2所记载的吸附头，如果是平坦的基板，则能够将螺旋弹簧的收缩量乘以弹簧常数而简单地计算针对部件的压入载荷。但是，在实际情况下由于基板的翘曲或因搭载载荷而产生的挠曲，无法对螺旋弹簧的实际的收缩量进行检测，无法高精度地计算针对部件的压入载荷。

发明内容

本发明就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于提供能够高精度地检测部件搭载时针对基板的压入载荷，而不使用测力传感器的安装装置、载荷检测方法及其程序。

本发明的安装装置，其通过一边使设置于吸嘴的预紧部收缩、一边将被所述吸嘴吸附的部件向基板压入，从而将所述部件搭载至所述基板，该安装装置的特征在于，具备：吸嘴拍摄部，使所述吸嘴移动至控制轴上的目标的控制位置而将所述部件压入，利用该吸嘴拍摄部在该目标的控制位置处对所述吸嘴进行拍摄而生成拍摄图像；位置变换部，其将拍摄图像中的所述吸嘴的识别位置变换为实际空间中的所述吸嘴的当前位置；以及载荷计算部，其基于根据所述目标的控制位置和所述吸嘴的当前位置之间的差值而求出的所述预紧部的收缩量，计算针对所述部件的压入载荷。

本发明的载荷检测方法，其在安装装置中对一边使设置于吸嘴的预紧部收缩、一边将被所述吸嘴吸附的部件向基板压入时的针对所述部件的压入载荷进行检测，该载荷检测方法的特征在于，具有下述步骤：使所述吸嘴移动至控制轴上的目标的控制位置而将所述部件压入，在该目标的控制位置处对所述吸嘴进行拍摄而生成拍摄图像；将拍摄图像中的所述吸嘴的识别位置变换为实际空间中的所述吸嘴的当前位置；以及基于根据所述目标的控制位置和所述吸嘴的当前位置之间的差值而求出的所述预紧部的收缩量，计算针对所述部件的压入载荷。

根据这些结构，在部件压入时一边使预紧部收缩、一边利用部件将吸嘴压回，因此在部件压入时的控制轴上的吸嘴的目标的控制位置和实际空间中的吸嘴的当前位置之间产生了偏差。该偏差示出预紧部的收缩量，因此能够根据部件压入时的吸嘴的拍摄图像而求出吸嘴的当前位置，根据吸嘴的目标的控制位置和吸嘴的当前位置之间的差值而求出预紧部的实际的收缩量。由此，即使在基板发生翘曲或挠曲的情况下，也能够求出预紧部的实际的收缩量，因此能够高精度地检测针对部件的压入载荷，而不使用测力传感器。

在上述的安装装置中，所述拍摄部在所述部件的搭载动作前的校准时，以相距所述基板的搭载面不同的距离多次对所述吸嘴进行拍摄，所述位置变换部基于多个拍摄图像中的所述吸嘴的识别位置、和该多个拍摄图像被拍摄时的所述吸嘴的控制位置之间的对应关系而进行变换。

在上述的载荷检测方法中，具有在所述部件的搭载动作前的校准时，以相距所述基板的搭载面不同的距离多次对所述吸嘴进行拍摄的步骤，进行所述变换的步骤为，基于多个拍摄图像中的所述吸嘴的识别位置、和该多个拍摄图像被拍摄时的所述吸嘴的控制位置之间的对应关系，而进行变换。

根据这些结构，在部件的搭载动作前的校准时，不会由部件将吸嘴压回，因此控制轴上的吸嘴的目标的控制位置和实际空间中的吸嘴的当前位置一致。因此，通过求出拍摄图像中的吸嘴的识别位置和吸嘴的控制位置之间的对应关系，从而能够将拍摄图像中的吸嘴的识别位置变换为吸嘴的现实位置。

在上述的安装装置中，具备存储部，该存储部将部件压入时的所述吸嘴的拍摄图像和针对所述部件的压入载荷作为追溯信息而相关联地进行存储。根据该结构，作为用于事后对在部件压入时产生的故障进行检验的客观的证据，能够将吸嘴的拍摄图像和针对部件的压入载荷相关联地保留。另外，即使在部件压入时压入载荷产生了异常的情况下，也无需重新对基板上的部件的拍摄图像进行拍摄。

在上述的安装装置中，具备判定部，该判定部在针对所述部件的压入载荷大于或等于阈值的情况下判定为异常，在所述判定部中判定为异常的情况下，停止所述部件的搭载动作。根据该结构，在针对部件的压入载荷异常的情况下自动地使搭载动作停止，能够防止后续的因部件的压入载荷而对基板造成的故障。

在上述的安装装置中，具备通知部，该通知部在所述判定部中判定为异常的情况下，通知压入载荷的异常。根据该结构，将压入载荷的异常向操作人员通知，能够提示操作人员进行原因的确定作业。

本发明的程序的特征在于，使所述安装装置执行上述的载荷检测方法的各步骤。根据该结构，通过在安装装置中安装程序，从而能够在安装装置中追加压入载荷的检测功能。由此，能够向客户端所具有的安装装置中容易地导入压入载荷的检测功能。

发明的效果

根据本发明，能够根据部件压入时的吸嘴的拍摄图像而求出吸嘴的当前位置，根据吸嘴的目标的控制位置和吸嘴的当前位置之间的差值而求出预紧部的实际的收缩量。由此，即使在基板发生翘曲或挠曲的情况下，也能够高精度地检测针对部件的压入载荷，而不使用测力传感器。

附图说明

图1是本实施方式所涉及的安装装置的俯视示意图。

图2是对比例所涉及的压入载荷的检测动作的说明图。

图3是本实施方式所涉及的安装装置的控制结构的示意图。

图4是本实施方式所涉及的压入载荷的检测动作的说明图。

图5是本实施方式所涉及的压入载荷的检测动作的说明图。

标号的说明

1 安装装置

22 吸嘴拍摄部(拍摄部)

31 吸附头

35 吸嘴

39 螺旋弹簧(预紧部)

42 位置变换部

43 载荷计算部

44 存储部

45 判定部

46 通知部

Ha 吸嘴的识别位置

Hb 吸嘴的控制位置

Hc 吸嘴的当前位置

P 部件

W 基板

具体实施方式

下面，参照附图，对本实施方式所涉及的安装装置进行说明。图1是本实施方式所涉及的安装装置的俯视示意图。图2是对比例所涉及的压入载荷的检测动作的说明图。此外，本实施方式所涉及的安装装置并不限定于图1所示的结构，能够适当变更。

如图1所示，安装装置1构成为，将从带式供给器等部件供给部13供给的部件P(参照图2)利用吸附头31向基板W压入，从而进行搭载。在安装装置1的基座11的大致中央，沿X轴方向配置有基板输送部12。基板输送部12从X轴方向的一端侧将部件搭载前的基板W输送并定位至规定位置，将部件搭载后的基板W从X轴方向的另一端侧搬出。另外，在基座11上，在隔着基板输送部12的两侧沿X轴方向横向排列地配置有多个部件供给部13。

在部件供给部13处可自由装卸安装有带盘14，在带盘14上卷绕有载料带，该载料带封装有多个部件P。载料带以定间距设置有孔部(未图示)。在部件供给部13的前端部设置有链轮(未图示)，成为链轮的齿与载料带的孔部啮合的状态。各部件供给部13通过链轮的旋转，朝向由吸附头31拾取的交接位置依次将部件P抽出。在吸附头31的交接位置处，从载料带将表面的覆盖带剥离而使载料带的口袋内的部件P向外部露出。此外，在本实施方式中，作为部件供给部13而例示出带式供给器，但也可以由球状供给器等构成。

在基座11上设置有XY移动部16，该XY移动部16使吸附头31沿X轴方向及Y轴方向移动。XY移动部16具有：一对Y轴工作台17，它们与Y轴方向平行地延伸；以及X轴工作台18，其与X轴方向平行地延伸。一对Y轴工作台17被在基座11的四角直立设置的支撑部(未图示)支撑，X轴工作台18能够沿Y轴方向移动地设置在一对Y轴工作台17上。在X轴工作台18上设置有吸附头31，该吸附头31能够沿X轴方向移动，吸附头31通过X轴工作台18、Y轴工作台17从基板W的上表面以规定的高度沿水平方向移动。

吸附头31具有多个(在本实施方式中为3个)头部32，该头部32具备后述的吸嘴35。头部32利用Z轴电动机(未图示)使吸嘴35沿Z轴方向上下移动，并且利用θ电动机(未图示)使吸嘴35绕Z轴旋转。另外，各吸嘴35与吸引源(未图示)连接，通过来自吸引源的吸引力对部件P进行吸附保持。另外，在吸嘴35处设置有螺旋弹簧39(参照图3)，一边使螺旋弹簧39收缩、一边将由吸嘴35吸附的部件P向基板W压入，从而将部件P搭载至基板W。

另外，在吸附头31处设置有：基板拍摄部21，其从正上方对基板W上的标记进行拍摄；以及吸嘴拍摄部22，其从斜上方拍摄由吸嘴35进行的部件P的搭载动作。在基板拍摄部21中，基于标记的拍摄图像而识别基板W的位置、倾斜度、伸缩等，基于这些识别结果而生成部件P相对于基板W的搭载位置的校正信息。利用吸嘴拍摄部22对由位于部件供给部13处的吸嘴35对部件P的吸附前、吸附后的各图像、由位于基板W上的吸嘴35进行的搭载前、搭载中、搭载后的各图像进行拍摄，将这些各图像作为追溯信息进行保存。

在基座11上设置有部件拍摄部23，该部件拍摄部23从下方对被吸嘴35吸附的部件P进行拍摄。在部件拍摄部23中，基于部件P的拍摄图像而识别吸嘴35的吸附中心和部件中心之间的位置偏差量、部件P的倾斜度，基于这些识别结果而生成吸嘴35的吸附位置和朝向的校正信息。另外，在基座11上设置有吸嘴保持部(ATC：Automatic Tool Changer)19，该吸嘴保持部19保持有多种更换用的吸嘴35。吸附头31通过移动至吸嘴保持部19，从而能够将安装中的吸嘴35拆下而换装为新的吸嘴35。

在按照上述方式构成的安装装置1中，使吸附头31移动至部件供给部13，利用吸嘴35将从部件供给部13供给的部件P拾取，将部件P搭载至基板W的期望的位置。另外，本实施方式所涉及的安装装置1在向基板W搭载部件时将部件P向基板W压入，通过对施加至部件P的压入载荷进行检测，从而通知针对部件P的压入载荷的异常。

通常，通过在吸附头31处设置测力传感器，从而对吸嘴35从部件P受到的反作用力进行检测而作为压入载荷，但伴随部件数量的增加而吸附头31的重量及成本增大。因此，考虑下述方法，即，取代设置测力传感器，根据设置于吸嘴35的螺旋弹簧39(参照图3)的收缩量对部件搭载时的压入载荷进行检测。但是，在基板W发生翘曲或挠曲的情况下，会与基板W的翘曲或挠曲相应地使螺旋弹簧39多余地收缩，因此难以求出螺旋弹簧39的实际的收缩量，无法检测针对部件P的压入载荷。

如图2的左侧所示，在基板W的搭载面Wa平坦的情况下，如果吸嘴35移动至控制轴上的目标的控制位置Hb，则与针对部件P的压入量相应地使螺旋弹簧39收缩。例如，目标的控制位置Hb与希望向部件P施加的压入载荷相应地设定，在这里设定为以0.5mm将部件P压入。如果吸嘴35移动至目标的控制位置Hb，则吸嘴35被部件P的上表面Pa压回而以0.5mm使螺旋弹簧39收缩。由于压入的控制量和螺旋弹簧39的收缩量一致，因此能够通过将控制量乘以弹簧常数而计算压入载荷。

与此相对，如图2的右侧所示，在基板W的搭载面Wa高(例如，0.3mm)的情况下，如果吸嘴35移送至目标的控制位置Hb，则在部件P的压入量的基础上还以搭载面Wa的高度使螺旋弹簧39收缩。在该情况下，吸嘴35移动至目标的控制位置Hb，从而吸嘴35被部件P的上表面Pa压回而以0.8mm使螺旋弹簧39收缩。即，虽然控制为以0.5mm将部件P压入，但是还会与搭载面Wa的高度值的0.3mm相应地使螺旋弹簧39多余地收缩。由于压入的控制量和螺旋弹簧39的收缩量不一致，因此无法计算实际的压入载荷，并且无法通知异常。

因此，在本实施方式中，根据部件压入时的吸嘴35的拍摄图像求出了吸嘴35的实际空间中的当前位置Hc(参照图4C)，根据吸嘴35的目标的控制位置Hb和吸嘴35的当前位置Hc之间的差值求出了螺旋弹簧39的实际的收缩量。由此，即使在基板W发生翘曲或挠曲的情况下，也能够求出螺旋弹簧39的实际的收缩量，能够高精度地检测针对部件P的压入载荷，而不使用测力传感器。

以下，参照图3，对通过安装装置进行的载荷检测方法进行详细地说明。图3是本实施方式所涉及的安装装置的控制结构的示意图。此外，在图3中，为了便于说明，仅图示出与压入载荷的检测有关的结构。

如图3所示，吸嘴轴33从头部32向下方延伸，在吸嘴轴33的前端的吸嘴外壳34处能够装卸地安装有吸嘴35。吸嘴35将吸嘴滑块37的杆38能够滑动地***至吸嘴外壳34处所安装的吸嘴内壳36的孔中而构成。在吸嘴滑块37的杆38处安装有螺旋弹簧39，利用螺旋弹簧39将吸嘴滑块37始终向下方预紧。在吸嘴滑块37的前端形成有与吸引源相连的吸引口，通过吸引口的负压对部件P进行吸附。

在吸嘴35的附近设置有吸嘴拍摄部22，该吸嘴拍摄部22为了能够对吸嘴35进行拍摄而将光轴朝向斜下方。吸嘴拍摄部22在部件压入时对吸嘴35进行拍摄而生成拍摄图像。在该情况下，在控制轴上使吸嘴35移动至部件搭载时的目标的控制位置而将部件P向基板W压入，在该目标的控制位置处对吸嘴35进行拍摄而生成部件P的压入时的拍摄图像。另外，吸嘴拍摄部22在部件P的搭载动作前的吸嘴35的校准时，在以基板W的搭载面Wa的高度为基准而上下方向不同的距离处多次对吸嘴35进行拍摄而生成多个拍摄图像(参照图4A)。另外，也可以在吸嘴35保持有部件P的状态将部件P移动至基板W的搭载面Wa的高度，在以部件P的上表面Pa的高度为基准而上下方向不同的距离处多次对吸嘴35进行拍摄而生成多个拍摄图像。此外，作为在校准中所使用的吸嘴，无需是带螺旋弹簧39的吸嘴，更优选是进行了吸嘴35的长度管理后的样板吸嘴。

另外，在安装装置1中，作为与压入载荷的检测有关的控制结构，设置有驱动部41、位置变换部42、载荷计算部43、存储部44、判定部45、通知部46。这些各部由执行各种处理的处理器和存储器等构成。存储器根据用途由ROM(Read Only Memory)、RAM(Random AccessMemory)等一个或多个存储介质构成，对使安装装置1执行载荷检测方法的程序进行了存储。

驱动部41对吸嘴35的控制轴(Z轴)处的移动进行控制，使吸嘴35相对于基板W分离或接近而移动至目标的控制位置。位置变换部42对拍摄图像实施图像处理，根据拍摄图像而求出吸嘴35的识别位置，并且将吸嘴35的拍摄图像的识别位置变换为吸嘴35的实际空间(Z轴)的当前位置。在该情况下，位置变换部42预先取得在校准时所拍摄到的多个拍摄图像中的吸嘴35的识别位置、和该多个拍摄图像被拍摄时的吸嘴35的控制位置之间的对应关系，基于该对应关系实施了变换处理。

在部件P的搭载动作前的校准时，吸嘴35不会被部件P压回，因此控制轴上的吸嘴35的控制位置和实际的吸嘴35的当前位置一致。因此，能够求出拍摄图像中的吸嘴35的识别位置和控制轴上的吸嘴35的控制位置之间的对应关系，能够将拍摄图像中的吸嘴35的识别位置变换为吸嘴35的现实位置。位置变换部42使用在该校准时求出的对应关系，将部件压入时的拍摄图像的吸嘴35的识别位置变换为实际空间的吸嘴35的当前位置。

此外，对应关系可以是下述任意形式，即，将与吸嘴35的识别位置相对应的当前位置绘制而成的图形数据、将吸嘴35的识别位置和当前位置一对一地对应而成的表格数据、以及用于根据吸嘴35的识别位置求出当前位置的函数信息。另外，在本实施方式中，设为使用在校准时求出的对应关系的结构，但也可以使用预先确定出的规定的对应关系。另外，并不限定于校准时的多个拍摄图像作为静止图像进行拍摄的结构，也可以是以动态图像连续地拍摄而从动态图像中提取出多个拍摄图像的结构。另外，对应关系储存在上述的存储器中。

载荷计算部43对在由吸嘴35进行的部件压入时针对部件P的压入载荷进行计算。螺旋弹簧39通过吸嘴35被部件P压回而收缩，因此吸嘴35的目标的控制位置和实际空间的吸嘴35的当前位置之间的偏差示出螺旋弹簧39的收缩量。因此，根据控制轴上的吸嘴35的目标的控制位置和实际空间的吸嘴35的当前位置之间的差值而求出螺旋弹簧39的实际的收缩量，基于该螺旋弹簧39的收缩量计算针对部件P的压入载荷。此外，压入载荷通过将螺旋弹簧39的收缩量乘以已知的弹簧常数而进行计算。

存储部44将部件压入时的吸嘴35的拍摄图像和针对部件P的压入载荷作为追溯信息而相关联地存储。因此，作为用于事后对在部件压入时产生的故障进行检验的客观的证据，能够将吸嘴35的拍摄图像和针对部件P的压入载荷相关联地保留。另外，即使在部件压入时压入载荷中产生了异常的情况下，无需利用吸嘴拍摄部22重新对基板W上的部件P的拍摄图像进行拍摄，能够简化操作人员的作业而迅速地应对。

判定部45将成为判定基准的阈值和针对部件P的压入载荷进行比较，在针对部件P的压入载荷大于或等于阈值的情况下判定为异常。另外，判定部45在判定为异常的情况下使通过安装装置1进行的部件P的搭载动作停止。由此，在针对部件P的压入载荷异常的情况下自动地使搭载动作停止，能够防止后续的因部件P的压入载荷而对基板W造成的故障。通知部46在判定部45中判定为异常的情况下通知压入载荷的异常。将压入载荷的异常向操作人员通知，能够提示操作人员进行原因的确定作业。

参照图4及图5，对通过安装装置进行的压入载荷的检测动作进行说明。图4及图5是本实施方式所涉及的压入载荷的检测动作的说明图。此外，图4及图5所示的压入载荷的检测动作示出一个例子，因此并不限定于该结构。

首先，如图4A所示，为了使控制轴上的控制位置和拍摄图像上的识别位置一致而实施校准。在该部件P的搭载动作前的校准时，将吸嘴35的前端定位在基板W的搭载面Wa的高度，一边以基板W的搭载面Wa的高度为基准沿上下方向使吸嘴35的前端移动、一边连续地对吸嘴35进行拍摄。然后，如图4B所示，对各拍摄图像进行图像处理，求出拍摄图像内的吸嘴35的前端的识别位置Ha，求出多个拍摄图像内的吸嘴35的识别位置Ha、和该多个拍摄图像被拍摄时的吸嘴35的控制位置Hb之间的对应关系。

在这里，吸嘴35的识别位置Ha示出拍摄图像内的吸嘴35的前端的坐标位置。吸嘴35的控制位置Hb示出利用驱动部41(参照图3)使吸嘴35的前端移动的、在控制轴上的移动位置。如上述所示，在校准时，吸嘴35的控制位置Hb与实际空间的吸嘴35的当前位置Hc一致，因此该对应关系作为用于根据拍摄图像内的吸嘴35的前端的识别位置Ha而求出吸嘴35的前端的当前位置Hc的校正信息进行使用。

然后，如图4C所示，在部件搭载时，朝向成为压入动作的最低点的目标的控制位置Hb，使吸附有部件P的吸嘴35移动。目标的控制位置Hb与希望向部件P施加的压入载荷相对应地设定。如果吸嘴35移动至目标的控制位置Hb，则一边使螺旋弹簧39收缩、一边利用吸嘴35将部件P向基板W压入。此时，吸嘴35的前端被部件P的上表面Pa压回，该压回的吸嘴35的前端被吸嘴拍摄部22从斜上方进行拍摄。然后，对拍摄图像进行图像处理，求出拍摄图像内的吸嘴35的识别位置Ha。

然后，如图4D所示，使用上述的对应关系，将拍摄图像中的吸嘴35的识别位置Ha变换为实际空间中的吸嘴35的当前位置Hc。然后，根据吸嘴35的目标的控制位置Hb和吸嘴35的当前位置Hc之间的差值，计算螺旋弹簧39的实际的收缩量。然后，通过将螺旋弹簧39的收缩量乘以弹簧常数，从而高精度地计算针对部件P的压入载荷。通过上述的结构，即使在基板W发生翘曲或挠曲的情况下，也能够高精度地计算针对部件P的压入载荷，而不使用测力传感器。

例如，如图5所示，即使基板W的搭载面Wa平坦、或基板W的搭载面Wa形成得高，也会根据吸嘴35的当前位置Hc和目标的控制位置Hb之间的差值而计算螺旋弹簧39的实际的收缩量。如图5的左侧所示，在基板W的搭载面Wa平坦的情况下，将与压入量一致的0.5mm计算为螺旋弹簧39的收缩量。然后，将螺旋弹簧39的收缩量的0.5mm乘以弹簧常数而计算针对部件P的压入量。在该情况下，以目标的压入量使螺旋弹簧39收缩，因此向部件P施加适当的压入载荷。

另一方面，如图5的右侧所示，在基板W的搭载面Wa高的情况下，将在压入量中加上搭载面Wa的高度而得到的0.8mm计算为螺旋弹簧39的收缩量。然后，将螺旋弹簧39的收缩量的0.8mm乘以弹簧常数而计算针对部件P的压入量。在该情况下，以比目标的压入量多0.3mm使螺旋弹簧39收缩，因此向部件P施加比适当的压入载荷大的载荷。由此，判定为压入载荷的异常而停止安装动作，并且将压入载荷的异常向操作人员通知而提示进行原因的确定。

如以上所述，本实施方式所涉及的安装装置1，在部件压入时一边使螺旋弹簧39收缩、一边利用部件P将吸嘴35压回，因此在部件压入时的控制轴上的吸嘴35的目标的控制位置Hb和实际空间的吸嘴的当前位置Hc之间产生偏差。该偏差示出螺旋弹簧39的收缩量，因此能够根据部件压入时的吸嘴35的拍摄图像而求出吸嘴35的当前位置Hc，根据吸嘴35的目标的控制位置Hb和吸嘴35的当前位置Hc之间的差值而求出螺旋弹簧39的实际的收缩量。由此，即使在基板W发生翘曲或挠曲的情况下，也能够求出螺旋弹簧39的实际的收缩量，因此能够高精度地检测针对部件P的压入载荷，而不使用测力传感器。

此外，本发明并不限定于上述实施方式，能够进行各种变更而实施。在上述实施方式中，关于在附图中图示的大小和形状等，并不限定于此，能够在实现本发明的效果的范围内进行适当变更。此外，能够在不脱离本发明的目的的范围内进行适当变更而实施。

例如，在本实施方式中，设为对吸嘴35的前端进行拍摄的结构，但并不限定于该结构。只要是根据拍摄图像能够识别吸嘴35的当前位置的结构即可，例如，可以设为对吸嘴35附带的标记进行拍摄的结构。

另外，在本实施方式中，作为预紧部例示并说明了螺旋弹簧39，但并不限定于该结构。预紧部只要是容许一边收缩、一边将由吸嘴35吸附的部件P向基板W压入的结构即可，例如，也可以由板簧或空气弹簧构成。

另外，在本实施方式中，设为利用已有的吸嘴拍摄部22作为载荷检测用而对吸嘴35进行拍摄的结构，但并不限定于该结构。也可以作为载荷检测用而新设置拍摄部。

另外，在本实施方式中，可以一边使吸嘴35的前端以基板W的搭载面Wa为基准沿上下方向移动、一边连续地拍摄吸嘴35的前端而实施校准，也可以一边从最低点的拍摄位置向上方移动、一边连续地拍摄而实施校准，也可以一边从最高点的拍摄位置向下方移动、一边连续地拍摄而实施校准。

另外，在本实施方式中，通知部46能够通知压入载荷的异常即可，例如，可以通过灯的闪烁、点灯、蜂鸣音、声音消息、画面显示而进行通知。

工业实用性

如以上说明所述，本发明具有下述效果，即，能够高精度地检测部件向基板搭载时的压入载荷，而不使用测力传感器，特别地，对利用吸附头向基板安装部件的安装装置、载荷检测方法及其程序是有效的。

Claims (9)

1.一种安装装置，其通过一边使设置于吸嘴的预紧部收缩、一边将被所述吸嘴吸附的部件向基板压入，从而将所述部件搭载至所述基板，

该安装装置的特征在于，具备：

吸嘴拍摄部，使所述吸嘴移动至控制轴上的目标的控制位置而将所述部件压入，利用该吸嘴拍摄部在该目标的控制位置处对所述吸嘴进行拍摄而生成拍摄图像；

位置变换部，其将拍摄图像中的所述吸嘴的识别位置变换为实际空间中的所述吸嘴的当前位置；以及

载荷计算部，其基于根据所述目标的控制位置和所述吸嘴的当前位置之间的差值而求出的所述预紧部的收缩量，计算针对所述部件的压入载荷。

2.根据权利要求1所述的安装装置，其特征在于，

所述吸嘴拍摄部在所述部件的搭载动作前的校准时，以相距所述基板的搭载面不同的距离多次对所述吸嘴进行拍摄，

所述位置变换部基于多个拍摄图像中的所述吸嘴的识别位置、和该多个拍摄图像被拍摄时的所述吸嘴的控制位置之间的对应关系，而进行变换。

3.根据权利要求1或2所述的安装装置，其特征在于，

具备存储部，该存储部将部件压入时的所述吸嘴的拍摄图像和针对所述部件的压入载荷作为追溯信息而相关联地进行存储。

4.根据权利要求1或2所述的安装装置，其特征在于，

具备判定部，该判定部在针对所述部件的压入载荷大于或等于阈值的情况下判定为异常，

在所述判定部中判定为异常的情况下，停止所述部件的搭载动作。

5.根据权利要求3所述的安装装置，其特征在于，

具备判定部，该判定部在针对所述部件的压入载荷大于或等于阈值的情况下判定为异常，

在所述判定部中判定为异常的情况下，停止所述部件的搭载动作。

6.根据权利要求4所述的安装装置，其特征在于，

具备通知部，该通知部在所述判定部中判定为异常的情况下，通知压入载荷的异常。

7.根据权利要求5所述的安装装置，其特征在于，

具备通知部，该通知部在所述判定部中判定为异常的情况下，通知压入载荷的异常。

8.一种载荷检测方法，其在安装装置中对一边使设置于吸嘴的预紧部收缩一边将被所述吸嘴吸附的部件向基板压入时的针对所述部件的压入载荷进行检测，

该载荷检测方法的特征在于，具有下述步骤：

使所述吸嘴移动至控制轴上的目标的控制位置而将所述部件压入，在该目标的控制位置处对所述吸嘴进行拍摄而生成拍摄图像；

将拍摄图像中的所述吸嘴的识别位置变换为实际空间中的所述吸嘴的当前位置；以及

基于根据所述目标的控制位置和所述吸嘴的当前位置之间的差值而求出的所述预紧部的收缩量，计算针对所述部件的压入载荷。

9.根据权利要求8所述的载荷检测方法，其特征在于，

具有在所述部件的搭载动作前的校准时，以相距所述基板的搭载面不同的距离多次对所述吸嘴进行拍摄的步骤，

进行所述变换的步骤为，基于多个拍摄图像中的所述吸嘴的识别位置、和该多个拍摄图像被拍摄时的所述吸嘴的控制位置之间的对应关系，而进行变换。