CN105705905B - 对测量物体的厚度进行测量的方法以及用于应用该方法的设备 - Google Patents

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Abstract

一种用于测量测量物体的厚度的方法，其中至少一个传感器从顶部对着所述物体进行测量，而至少一个其他传感器从底部对着所述物体进行测量，并且以传感器彼此的已知距离，根据公式D＝Gap‑(S1+S2)计算所述物体的厚度，其中D＝所述测量物体的厚度，Gap＝传感器之间的距离，S1＝顶部传感器至所述测量物体的上面的距离，而S2＝低部传感器至所述测量物体的下面的距离，所述方法的特征在于补偿由所述测量物体的倾斜和/或由所述传感器的位移和/或由所述传感器的倾斜造成的测量误差，其中所述位移和/或所述倾斜是通过校准来确定的，且所计算出的厚度或者所计算出的厚度轮廓被相应地校正。本发明还涉及用于应用所述方法的设备。

Description

对测量物体的厚度进行测量的方法以及用于应用该方法的 设备
本发明一般涉及一种用于测量测量物体的厚度的方法，其中至少一个传感器从顶部对着所述物体进行测量，而至少一个其他传感器从底部对着所述物体进行测量。利用传感器之间的已知距离，可根据众所周知的公式D＝Gap-(S1+S2)来计算物体的厚度，其中D＝测量物体的厚度，Gap＝传感器之间的距离，S1＝顶部传感器至测量物体的上面的距离，而S2＝底部传感器至测量物体的下面的距离。本发明还涉及用于应用所述方法的设备。
在工业测量领域，通常利用距离传感器通过用一个传感器对着测量物体的上面进行测量，来无接触地测量测量物体的厚度。另一传感器对着测量物体的下面进行测量。利用传感器彼此之间的已知间隔，可根据上述公式计算厚度。然而，这种数学关系仅在传感器相对于测量物体彼此有关且以最优方式对齐时成立，如图1中以示意图示出。实际上，存在两个主要的误差来源，即测量物体的倾斜，和/或传感器的位移和可能的倾斜。
一旦测量物体倾斜—即使传感器彼此理想对齐—测得大于测量物体的实际厚度的厚度。这是由于角度误差造成的。图2示出相关的测量误差，当测量物体在-30°至+30°的角度范围内倾斜时出现该测量误差。
第二误差来源是传感器彼此的取向，即它们是否彼此对齐和/或是否相对于彼此倾斜。如果传感器对偏且它们的测量轴并不100％地位于彼此之上，则测量物体的倾斜或其在传感器之间的测量间隙内的位移导致在厚度计算中的额外差异。图3示出使用彼此偏移的相对布置的两个激光距离传感器进行的厚度测量。测量物体也被倾斜，带有偏移的传感器轴。传感器的倾斜也可能发生，即传感器的对齐中的角度误差，这导致进一步的测量误差。
理想情况下，这两个传感器位于一个轴上，使得测量物体的倾斜总是导致较大的厚度值。然而，由于机械公差，或者由于激光传感器的激光光斑在测量物体上相当多地散射(这使得激光传感器的对齐更难)的事实，这在实际上不可能被实现。此外，激光束不恰好对应于传感器的理想线性轴。实际上，测量物体的倾斜可能导致较小的厚度值，因为误差取决于激光调节中的误差，以及按绝对值计算的测量物体的厚度。
图4示出测量误差的发展，这仅由传感器(距离传感器)的不正确调节造成。
上文标识出的误差是执行点测量的距离传感器的测量误差。可用传感器类似地进行厚度测量，传感器投射出一条线来测量(例如激光线扫描器、小断面(light section)传感器)或允许二维测量(例如矩阵阵列或相机)。即使使用激光线扫描器，如果测量物体的倾斜发生，同时传感器位移或倾斜，则测量也将为不正确的。
通过使用线扫描器或平面传感器，除了距离之外，测量物体的倾斜角度可被确定。在关于测量物体的倾斜角度的附加信息的帮助下，就可能校正先前标识出的误差，以至于能够抵消由倾斜造成的厚度误差。
用于测量厚度的上述方法通常在具有C形架(C-frame)或O形架(O-frame)的***中使用。在C形架中，两个距离传感器彼此机械地固定或部署。为了对具有较大宽度的物体进行穿梭测量(traversing measurement)，整个C形架在测量物体上移动(或反之亦然)，而测量物体的厚度轮廓被记录。初始调节误差跨穿梭宽度(traversing width)不改变，即该误差是恒定的且与x方向无关。
两个距离传感器也可被安装在O形架中。传感器分别被安装在轴上，且由电机例如经由齿形带来移动。由于机械原因，先前讨论的激光调节误差(同样也取决于C形架)也根据传感器在穿梭方向中的位置而改变。
如果能够确保测量物体相对于传感器总是处于相同位置，则传感器的对齐不会造成额外的测量误差。然而，由于在现实世界生产环境中在定位中总是存在差异，因此测量物体相对于传感器的倾斜是常见的。通过线传感器对这样的倾斜的确定本身通过实践可知，利用所述确定来执行校准。
然而，已知的方案在其中所使用的传感器不得不被彼此精确对齐方面是不利的。一旦发生传感器的位移，则测量误差就不再能被校正。
生产设备越大，传感器的精确对齐越难。由于不可避免的、并非无关紧要的机械公差，传感器的测量轴不可能彼此精确对齐。使用特殊的调节手段(例如测微螺旋等)是昂贵的，且它们的应用是复杂的。此外，这种类型的微调难以在恶劣的工业环境中实现。
本发明的潜在任务因此是提供一种用于测量测量物体的厚度的方法，利用该方法以简单的方式消除了由测量物体的倾斜和/或由传感器的位移或倾斜/角度误差造成的测量误差。
上述的任务是通过本发明解决的。从而，本发明方法的特征在于对由测量物体的倾斜和/或传感器的位移和/或由传感器的倾斜造成的测量误差进行补偿，其中所述位移和/或倾斜是通过校准来确定的，且所计算出的厚度或所计算出的厚度轮廓被相应地校正。根据本发明，执行对传感器的位移或倾斜的校准。
由于测量物体的倾斜不能被检测，原则上不可能在用点传感器进行测量期间针对测量物体的倾斜来校准厚度误差。因此，激光线传感器(利用激光线传感器也可检测测量物体的倾斜)被用于高精度厚度测量。二维测量传感器(如相机)或多点传感器也可被使用。可通过对着一个表面进行测量的至少两个传感器的测得值来确定一个轴中的倾斜。相应地，针对两个轴需要至少三个传感器。
所述方法在下文中使用利用O形架对条带材料进行厚度测量的示例而被例示出。
在O形架中，在条带材料之上和之下存在线性轴，线性轴在条带材料的上面和下面延伸，横向于激光线传感器的生产方向。传感器测量到上面或下面的相应距离。使用传感器之间的已知距离，横向于穿梭方向的条带材料的厚度轮廓被确定。下文中，坐标轴如下被标识：
y轴：条带材料的传送方向或移动方向
x轴：横向于传送方向，在穿梭方向中
z轴：垂直于条带材料，在传感器的距离测量的方向中
激光线传感器的轴在x方向中对齐，且理想上在测量间隙内的每个点处应完全叠合在彼此之上。出于已知的原因，这不能被执行；或者仅可在极大的努力的情况下被执行。相反，传感器的位移在校准运行期间被确定，且计算出的厚度轮廓接着被校正。
测量物体在x方向中的倾斜导致下列情形：
对厚度的倾斜误差的补偿仅可在激光光斑精确对齐的情况下发生。0.1mm这样小的激光调节误差在10°倾斜的情况下造成18μm的误差。确定出的厚度从而可被计算为更薄。测量物体的倾斜应增加厚度。然而，如果传感器并非精确地被布置在彼此之上时，计算出的厚度也可能更小。
由于在机械上不可能满足对于传感器的理想对齐的需求，合适的软件在数学上如下补偿所产生的误差：
1.在0°倾斜，用合适的校准手段，如量块(“标准零件”(master part))，进行标准测量(master measurement)。从而，厚度计算公式的常数“Gap”已知。
2.在x方向中以10°...20°倾斜，计算偏移(＝由不正确的激光调节FL造成)。
3.在x方向中以-10°...-20°倾斜，计算偏移。
由于所使用的量块的厚度是已知的，可利用已知的倾斜角度和已知的间隙值计算x方向中的偏移(＝FL)。对于正角度和负角度，x方向中的偏移稍微不同。
由于传感器的固定安装，在使用C形架时仅必须确定位移一次。
当使用O形架时，依靠两个线性轴来移动传感器。因此，所确定的x偏移不是常数，即它仅在偏移计算被执行的位置处是正确的。传感器的位移可能不同，例如由于线性轴在穿梭方向的速度中的略微变化的结果。针对能够根据穿梭方向中的位置来确定x偏移的第一步骤是要执行补偿运行(compensation run)。在补偿运行期间，合适的校准手段，例如已知厚度的量块(标准零件)在测量间隙中被旋转并沿测量间隙的整个穿梭宽度移动。
该标准零件被连接至两个穿梭支架(traversing carriage)之一，穿梭支架携带传感器。这可以是上支架或下支架。在该示例中，标准零件通过枢转机构被连接至下支架(图17)。枢转机构包括具有可调节的端部位置的气动旋转气缸。针对该补偿运行的标准零件的确切对齐可通过对端部位置的设置来被调节。在旋转气缸上是枢转臂，标准零件接着安装至枢转臂。标准零件是已知厚度的量块。在一个端部位置，标准零件被精确地枢转到测量间隙中(图17a)，在另一端部位置，它被完全枢转到测量间隙之外(图17b)。理想情况下，以激光线的入射是完全垂直的方式来对齐标准零件。对于该补偿运行，标准零件在旋转气缸的帮助下，以顶部传感器和底部传感器对着标准件的上表面和下表面进行测量的方式被枢转到测量间隙中。枢转可随着时间被重复，借此可检查传感器相对于彼此的设置，或者可执行新的补偿运行。例如电驱动或磁驱动的其他输送手段也可被用于进行枢转。手动枢转也可被构想到，但是将要求用户干预。
伴随着转入的已知厚度DMaster的标准零件(不倾斜(α＝0°))在x方向进行的穿梭导致了针对传感器1(顶部)和传感器2(底部)的测得值S1Master和S2Master。应注意测得值S1和S2由描述激光线的大量测量点组成。在常规的激光线传感器中，例如在x方向中使用640个测量点。测量点的数量取决于所使用的CCD矩阵的像素数量。然而，为了简化起见，在下文中我们将参考测得值S1和S2。
标准零件在机械上被固定至下支架(在底部传感器处)，即底部传感器至标准零件的x偏移结果应总是零。标准零件以这样的方式被调节，即每个传感器检测标准零件的一个边缘，即激光线延伸到该边缘之外。传感器因此仅显示例如640个测量点中的620个测量点。由于标准零件相对于底部传感器被固定，仅顶部传感器的对齐就足够了。
关于位于标准零件的表面上的测量点，根据x(即穿梭期间的位置)变化的间隙首先被确定：
Gap＝Gap(x)＝DMaster+S1Master+S2Master
此原因在于：由于机械公差等，传感器的z间隔可能也随着穿梭宽度而改变。这是利用补偿运行来确定的，使得z方向中的误差从而被补偿。测得值可被存储为x的函数或存储为查找表。z方向中的这种补偿是每一厚度测量的前提条件，且属于现有技术水平。
在补偿运行期间，根据穿梭方向(＝x方向)中的位置的变化额外地记录标准零件的边缘。
由于在确定了边缘的情况下对于标准零件可获得x方向中的绝对测量值，顶部传感器相对于底部传感器的偏移FL可被确定：FL＝FL(x)。
理想情况下，至少在起始位置(x＝0)中传感器的位移将等于零；如果至少在该位置处传感器确实彼此完美对齐和调节。前提条件将是传感器和标准零件的位置的所有参数都是已知的，传感器相对于外壳或者相对于传感器的安装位置的测量值也如此。由此，位移(例如已经针对该补偿运行的起始位置)FL0＝FL(x＝0)可被确定。然而，由于这里实际上也存在各种各样的影响因素，将起始位置(x＝0)处的位移建立为初始未知常数FL0以及确定x方向中的任意位置处的实际位移更为简单。
如果一开始为了简化起见仅位移的差异是感兴趣的，则补偿运行的结果是函数FL’(x)＝dFL(x)(再次是根据x的函数或查找表中的值)，其中按照定义，FL0被初始设为等于0，稍后被析出。
图5示出根据穿梭方向中的位置的变化如此获得的x位移。
在校准运行的开始处，位置x＝0的偏移FL等于零，因为按照定义，零点被设置在该位置处。进一步，两个传感器在穿梭方向中沿它们相应的线性轴移动，x偏移变得更大，直到朝着移动的结束的方向该值保持恒定。偏移还显示出叠加的正弦振荡，这来自于线性轴的驱动。可看到在2500mm的穿梭宽度处的x偏移可为最多2mm。在穿梭过程中偏移也可能再次变得更小；这也取决于轴的移动方式或者传感器的安装方式。
然后，利用标准零件的各种倾斜(例如α＝+/-10°,+/-20°)，以在穿梭范围内在位置x0处的倾斜测试的形式执行对倾斜的校准。从而获得校准位置处的绝对位移FL＝FLkali(x0)。
图3示出倾斜测试期间的几何关系。首先，经由位置x0处的倾斜测试以及根据已知厚度DMaster的标准零件的已知倾斜，必须根据下面的计算来确定位移/倾斜FLkali(x0)：
DMaster＝D’*cos(α) (1)
D’仍然不是厚度测量的实际测得值D”＝Gap–(S1+S2)，但却是通过传感器的位移已被校正了的值(见图3)：
D’＝Gap–(S1’+S2) (2)
S1’是通过位移FL已被校正了的测得值，适用：
S1’＝S1–FL*tan(α) (3)
利用传感器1(S1)和传感器2(S2)的实际测得值以及标准目标的已知厚度DMaster，校准位置x0处的位移FLkali(x0)现在可被确定。
该位移(跨穿梭宽度可变)一般由以下组成：
FL(x)＝FL0+dFL(x)，
其中函数dFL(x)从补偿运行已知。
根据上述指示，校准位置x0处的实际绝对位移被如下测得：
FL(x0)＝FLkali(x0)＝FL0+dFL(x0)
由此，可通过下式确定FL0：
FL0＝FLkali(x0)-dFL(x0)
最终，跨穿梭宽度可变的传感器的位移是：
FL(x)＝FL0+dFL(x)＝FLkali(x0)-dFL(x0)+dFL(x)
如果校准在起始位置(即x0＝0)处执行，则下式直接适用：
FL0＝FLkali(x＝0)
参考图6至11，倾斜测试提供了下面的结果：
图6至11示出以标准零件(厚度＝5.004mm)+/-10°倾斜确定出的厚度的原始信号。以10°倾斜，由测量物体的倾斜所造成的计算出的厚度是5.081mm。对激光调节误差FL的确定是在498mm穿梭位置处进行的。在每种情况中，厚度被绘制在左侧，而传感器变化被绘制在右侧y轴上。
详细来说，图6至11示出：
图6：测量物体倾斜0°，穿梭位置(x方向)处于498mm处
图7：测量物体倾斜10°，穿梭位置(x方向)处于498mm处
图8：测量物体倾斜-10°，穿梭位置(x方向)处于498mm处
图9：测量物体倾斜0°，穿梭位置(x方向)处于2540mm处
图10：测量物体倾斜10°，穿梭位置(x方向)处于2540mm处
图11：测量物体倾斜-10°，穿梭位置(x方向)处于2540mm处
从而，以完全类似的方式，未知厚度的测量物体的实际厚度可被确定，其中不仅倾斜误差，而且由传感器的位移/倾斜导致的误差都得到补偿。
首先，记录实际测得值S1和S2。由传感器的位移/倾斜校正的值S1’要从S1计算：
S1’＝S1–FL*tan(α)
厚度D’从由位移校正的值S1’获得
D’＝Gap–(S1’+S2)
对于被测物体的实际厚度，然后类似于(1)应用
D＝D’*cos(α)
y方向(即生产方向)中的倾斜导致下述：
为了能够补偿生产方向(y方向)中测量物体的倾斜，如上所描述的相同条件适用。测量物体在y方向中的倾斜必须类似地通过测量来确定。还可构想到具有确定y方向中的倾斜的附加的线传感器或点传感器对。应该清楚，用于厚度测量的传感器的激光线仍然在x方向中对齐。然而，如果测量物体在y方向中倾斜，传感器在y方向中的位移/倾斜具有对厚度测量完全类似的影响。
图12示出在传感器的轴不在彼此之上的情况下的测量误差(激光调节误差FL大约0.7mm，目标厚度5.004mm)。测得厚度被绘制在左侧y轴上，仅由不正确的激光调节造成的厚度误差位于右侧。在此，传感器也是按照x位置的变化被倾斜，但是在y方向中。两个传感器在一个位置x0处的激光调节误差FL因此以完全类似的方式被计算。该误差的变化在补偿运行期间被记录。
如针对x方向中测量物体的倾斜所述那样，激光调节的实际误差在此也被计算，即如下：
1.在0°倾斜，对量块进行标准测量。从而，厚度计算公式的常数“Gap”已知。
2.在y方向中以10°...20°的倾斜，计算偏移(＝由不正确的激光调节FL造成)。
3.在y方向中以-10°...-20°的倾斜，计算偏移。
对于y方向，激光调节误差的变化在补偿运行期间被记录(＝转入的标准目标，在x方向中移动穿梭单元)。这可用相同的标准零件以特别简单的方式被执行，其中标准零件在与关于x位移的补偿的一侧相对的一侧上呈现出斜边缘。这指的是这样一种边缘，其取向偏离穿梭方向的垂直方向(＝传送方向)，较佳地为45°。图13例示出该关系。如果传感器在y方向中的对齐改变，则激光线在该边缘的取向上横扫，该边缘的取向偏离穿梭方向(x方向)的垂直方向，在该示例中为45°方向，从而测得值，即测量目标上的激光线的长度，改变。因此，可从测量点(位于边缘上)或激光线的长度得到关于y方向中的倾斜的结论。
图14示出在y方向中激光线在标准目标上的变化：
图15和16示出成功补偿倾斜误差之后的结果。
图15中的值是在激光调节误差被确定的位置处被记录的。图16是在考虑偏移变化的情况下被记录的，偏移变化在补偿运行期间被确定。
在每种情况中，所确定的真实厚度被绘制在左侧y轴上，而不考虑角度误差。右侧y轴示出在考虑激光调节误差FL的情况下由角度误差校正的厚度变化。
有各种各样选项来用有益的方式发展并实现本发明的教导。关于这个主题，一方面，我们参考从属于权利要求1的权利要求，另一方面，我们参考通过附图根据本发明的方法的较佳设计示例的上述描述。结合通过附图根据本发明的方法的较佳设计示例的阐述，也阐述了该教导的其他通常优选的实施例和改良。附图包括下列附图：
图1以示意图示出用一对距离传感器对着测量物体测量的厚度测量原理(现有技术)，
图2以示意图示出由测量物体的倾斜导致的测量误差，
图3以示意图示出用彼此偏移布置的两个相对的激光距离传感器进行厚度测量的原理，
图4以示意图示出完全由传感器的不正确调节造成的测量误差的发展，
图5以示意图示出根据穿梭方向(x方向)中的位置变化的所确定的x偏移，
图6至11以示意图示出要在量块(标准零件)倾斜时确定的厚度的原始信号，
图12以示意图示出在传感器的轴不在y方向中位于彼此之上时出现的测量误差，
图13以示意表示示出关于x方向(左边缘)与y方向(通过使用45°边缘对边缘处的测得值或激光线的长度进行评估)中的激光调节误差的关系，
图14以示意图示出标准目标上激光线的变化以说明传感器位置在y方向中的变化，
图15和16以示意图示出成功补偿了倾斜误差的结果，以及
图17以示意图示出通过例如气动旋转气缸或电机的旋转致动器将标准零件向内枢转到测量间隙中的原理。
关于根据本发明的设备的进一步的有利实施例以及出于避免重复的目的，这里对说明书的一般部分以及所附的权利要求书进行参考。
最后，在此明确指出根据上述本发明的方法的设计示例仅用于阐述所要求保护的教导，而不限制对这些设计示例的教导。

Claims (21)

1.用于测量测量物体的厚度的方法，其中至少一个传感器从顶部对着所述物体进行测量，而至少一个其他传感器从底部对着所述物体进行测量，并且以传感器彼此的已知距离，根据公式D＝Gap-(S1+S2)计算所述物体的厚度，其中D＝所述测量物体的厚度，Gap＝传感器之间的距离，S1＝顶部传感器至所述测量物体的上面的距离，而S2＝低部传感器至所述测量物体的下面的距离，所述方法的特征在于在校准装置的帮助下补偿由所述测量物体的倾斜和/或由所述传感器的位移和/或由所述传感器的倾斜造成的测量误差，所述校准装置在穿梭方向中呈现第一边缘，且其中所述第一边缘的位置被评估，其中所述校准装置呈现第二边缘，所述第二边缘的取向偏离所述穿梭方向的垂直方向，其中传感器的所述位移和/或所述倾斜是通过校准来确定的，且所计算出的厚度或者所计算出的厚度轮廓被相应地校正，所述校准装置通过枢转机构被枢转入和枢转出测量范围。
2.根据权利要求1的方法，其特征在于所述传感器的所述位移和/或所述倾斜对所述厚度测量的影响是通过所述传感器在所述测量物体的纵向方向和/或穿梭方向中的校准运行来确定的。
3.根据权利要求1的方法，其特征在于所述传感器的所述位移和/或所述倾斜对所述厚度测量的影响是通过所述传感器在移动方向以及横向于所述移动方向的方向中的校准运行来确定的。
4.根据权利要求2的方法，其特征在于所述测量物体的所计算出的厚度或者所计算出的厚度轮廓是基于来自所述校准运行的数据被校正的。
5.根据权利要求3的方法，其特征在于所述测量物体的所计算出的厚度或者所计算出的厚度轮廓是基于来自所述校准运行的数据被校正的。
6.根据权利要求1的方法，其特征在于，线传感器被用作传感器，使得所述测量物体的倾斜能在一个轴或两个轴中被确定。
7.根据权利要求1的方法，其特征在于，所述传感器是激光线传感器。
8.根据权利要求1的方法，其特征在于，每侧至少两个或三个点传感器被用作传感器，使得所述测量物体的倾斜能在一个轴或两个轴中被确定。
9.根据权利要求6的方法，其特征在于，所述线传感器被用在所述测量物体的一侧上，而多个点传感器被用在所述测量物体的另一侧上。
10.根据权利要求1至9中的任一项的方法，其特征在于，所述传感器在C形架中被移动，所述C形架带有所述传感器的固定安装/部署。
11.根据权利要求1至9中的任一项的方法，其特征在于，所述传感器通过到可移动线性轴的连接在O形架中被移动。
12.根据权利要求11的方法，其特征在于，在所述测量物体在x方向中，即横向于移动方向，倾斜的情况下，通过下列步骤进行对测量误差的补偿：
-以0°倾斜对量块执行标准测量，
-通过在x方向以预定角度倾斜计算由不正确的传感器调节造成的偏移，x方向横向于移动，x方向处于传感器的穿梭方向，其中x方向中的偏移使用已知倾斜角度和间隙值计算。
13.根据权利要求12的方法，其特征在于，所述预定角度为10°至20°和-10°至-20°。
14.根据权利要求12的方法，其特征在于，至少利用线性轴在穿梭方向中的略微不同的速度，通过在补偿运行期间将具有已知厚度的量块枢转入测量间隙并将其跨测量间隙的整个宽度移动，来确定根据穿梭方向中的位置变化的x偏移。
15.根据权利要求14的方法，其特征在于，所述量块被固定至底部传感器，使得所述底部传感器至所述量块的x偏移为零，所述量块以顶部传感器检测所述量块的一边缘的方式被对齐，且在补偿运行期间，根据穿梭方向中位置的变化记录所述量块的所述边缘，使得基于所述量块的所述边缘的确定，能获得x方向中的绝对测得值，通过所述绝对测得值能计算所述顶部传感器至所述底部传感器的位移。
16.根据权利要求15的方法，其特征在于，所述量块被固定至支架。
17.根据权利要求1至9中的任一项的方法，其特征在于，在所述测量物体在y方向中，即在传送方向，倾斜的情况下，通过下列步骤进行对测量误差的补偿：
-以0°倾斜对量块进行标准测量，
-通过在y方向以预定角度倾斜计算由不正确的传感器调节造成的偏移，y方向即移动方向，其中y方向中的偏移是在已知倾斜角度和间隙值计算的。
18.根据权利要求17的方法，其特征在于，所述预定角度为10°至20°和-10°至-20°。
19.根据权利要求17的方法，其特征在于，在补偿运行期间，y方向中所述传感器调节误差的变化被记录，其中所述量块呈现出所述第二边缘，所述第二边缘的取向偏离所述穿梭方向的垂直方向45°，使得在所述第二边缘上的测得值的变化定义了所述传感器在传送方向中的倾斜。
20.用于测量测量物体的厚度的设备，其中至少一个传感器从顶部对着所述物体进行测量，而至少一个其他传感器从底部对着所述物体进行测量，并且以传感器彼此的已知距离，根据公式D＝Gap-(S1+S2)计算所述物体的厚度，其中D＝所述测量物体的厚度，Gap＝传感器之间的距离，S1＝顶部传感器至所述测量物体的上面的距离，而S2＝低部传感器至所述测量物体的下面的距离，所述设备的特征在于在合适的校准装置的帮助下，补偿由所述测量物体的倾斜和/或由所述传感器的位移和/或所述传感器的倾斜造成的测量误差，所述校准装置在穿梭方向中呈现第一边缘，且其中所述第一边缘的位置被评估，其中所述校准装置呈现第二边缘，所述第二边缘的取向偏离所述穿梭方向的垂直方向，其中所述校准装置通过枢转机构被枢转入和枢转出测量范围。
21.根据权利要求20的设备，其特征在于所述第二边缘的取向偏离所述穿梭方向的垂直方向45°，且其中所述第二边缘的位置被评估。
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