CN105565204A - 一种搬运装置及其控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种搬运装置及其控制方法，涉及机械设备技术领域，为解决现有技术中的搬运装置过多依赖于多人的手动作业而导致的人工操作不方便、人员容易受伤、周围的其他设备和线路容易被损坏以及人工成本高的问题。该搬运装置包括：升降机，所述升降机包括升降平台，所述升降平台可自动升降；移动支架，所述移动支架用于放置待搬运物品；驱动组件，所述驱动组件可驱动所述移动支架移入所述升降平台或从所述升降平台上移出。本发明公开的一种搬运装置及其控制方法用于搬运并支撑高周波匹配箱。

Description

一种搬运装置及其控制方法

技术领域

本发明涉及机械设备技术领域，尤其涉及一种搬运装置及其控制方法。

背景技术

在液晶显示制造行业中，通常采用如图1所示的搬运装置将刻蚀设备中的高周波匹配箱01搬运至所需的高度，并提供持续的支撑力，以使高周波匹配箱01停留在该高度，从而进行正常的工作。

当高周波匹配箱01出现故障或达到维修周期时，需要将其拆下并进行更换，此时，多人进入搬运装置底部，通过扳手拧动螺旋杆02，螺旋杆02的转动可带动第一连杆03和第二连杆04之间的夹角以及第三连杆05和第四连杆06之间的夹角同时增大或缩小，从而使第一连杆03和第三连杆05的连接处07上下移动，进而带动升降平台08移动至所需的高度，然后多人推动高周波匹配箱01，使高周波匹配箱01移入升降平台08，或从升降平台08上移出。

由于升降平台08的升降以及高周波匹配箱01的移入与移出均依赖于多人的手动作业，这使得人工操作很不方便，当场地狭小时，多人作业也容易导致操作人员受伤，周围的其他设备和线路也容易***作人员碰撞损坏，同时也会导致人工成本增加。

发明内容

本发明的实施例提供一种搬运装置及其控制方法，可解决现有技术中的搬运装置过多依赖于多人的手动作业而导致的人工操作不方便、人员容易受伤、周围的其他设备和线路容易被损坏以及人工成本高的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

本发明实施例提供了一种搬运装置，包括：升降机，所述升降机包括升降平台，所述升降平台可自动升降；移动支架，所述移动支架用于放置待搬运物品；驱动组件，所述驱动组件可驱动所述移动支架移入所述升降平台或从所述升降平台上移出。

进一步地，还包括：第一感应器，所述第一感应器用于检测所述升降平台的高度；控制器，所述控制器分别与所述第一感应器和所述升降机连接；当所述升降平台的高度等于预设高度时，所述第一感应器可向所述控制器发出第一反馈信号，所述控制器可接收所述第一反馈信号，并控制所述升降机关闭。

优选地，所述驱动组件包括驱动装置以及相互啮合的齿轮和齿条，所述驱动装置固定于所述移动支架上，所述齿轮套接于所述驱动装置的输出轴上，所述齿条固定于所述升降平台上。

进一步地，所述移动支架上设置有滚轮，所述升降平台上设置有导轨，所述滚轮配合设置于所述导轨内，所述滚轮可在所述导轨内滚动。

进一步地，还包括设置于所述升降平台上的第二感应器，所述第二感应器和所述驱动组件均与所述控制器连接，所述第二感应器用于检测所述移动支架在所述升降平台上所处的位置；当所述移动支架处于所述升降平台上的第一预设位置时，所述第二感应器可向所述控制器发出第二反馈信号，所述控制器可接收所述第二反馈信号，并控制所述驱动组件关闭。

优选地，所述升降平台包括限位件，当所述移动支架处于所述第一预设位置时，所述移动支架与所述限位件抵靠，所述限位件可阻挡所述移动支架的移动。

进一步地，所述第一感应器包括上升位置感应器和下降位置感应器，所述上升位置感应器和所述下降位置感应器均与所述控制器连接，所述预设高度包括第一预设高度和第二预设高度；当所述升降平台的高度等于所述第一预设高度时，所述上升位置感应器可向所述控制器发出所述第一反馈信号；当所述升降平台的高度等于所述第二预设高度时，所述下降位置感应器可向所述控制器发出所述第一反馈信号。

进一步地，所述待搬运物品为刻蚀设备中的高周波匹配箱，所述升降平台可带动所述高周波匹配箱升降，所述刻蚀设备还包括设置于所述升降平台上方，且位置固定的真空腔；随着所述高周波匹配箱的升降，所述高周波匹配箱的端口可与所述真空腔的端口对接，当所述高周波匹配箱的端口与所述真空腔的端口对接时，所述升降平台的高度等于所述第一预设高度。

进一步地，所述升降机的一侧设置有固定平台，当所述升降平台的上表面与所述固定平台的上表面位于同一平面时，所述升降平台的高度等于所述第二预设高度。

进一步地，所述固定平台上设置有第三感应器，所述第三感应器与所述控制器连接，所述第三感应器用于检测所述移动支架在所述固定平台上所处的位置；当所述移动支架处于所述固定平台上的第二预设位置时，所述第三感应器可向所述控制器发出第三反馈信号，所述控制器可接收所述第三反馈信号，并控制所述驱动组件关闭。

优选地，所述上升位置感应器和所述下降位置感应器均为位移传感器。

优选地，所述第二感应器为压力传感器，所述第三感应器为光电传感器。

优选地，所述升降机为套缸式升降机。

优选地，所述滚轮为球形滚轮。

本发明实施例提供的一种搬运装置，通过升降平台的自动升降，使升降平台移动至所需的高度，然后通过驱动组件来驱动移动支架移动，从而带动待搬运物品移入升降平台或从升降平台上移出。由于所述升降平台可自动升降，且所述驱动组件可驱动所述移动支架移入所述升降平台或从所述升降平台上移出，因此，该搬运装置在升降平台升降的过程中以及在待搬运物品移入升降平台或从升降平台上移出的过程中，均无需多人操作，从而大幅度节省了人员的手动作业，进而使人工操作更方便，同时也避免了操作人员受伤、周围的其他设备和线路被损坏以及人工成本增加的问题。

本发明实施例还提供了一种用于上述搬运装置的控制方法，当安装所述高周波匹配箱时，所述方法包括：

控制器控制所述升降机处于上电状态，并控制所述驱动组件处于下电状态；

控制器控制所述升降机下降，使所述升降平台自动下降，当所述升降平台的高度等于所述第二预设高度时，所述下降位置感应器向所述控制器发出所述第一反馈信号，所述控制器接收所述第一反馈信号，并控制所述升降机关闭；

控制器控制所述升降机处于下电状态，并控制所述驱动组件处于上电状态；

控制器控制所述驱动组件开启，使所述驱动组件驱动所述移动支架从所述固定平台移入所述升降平台，当所述移动支架处于所述第一预设位置时，所述第二感应器向所述控制器发出所述第二反馈信号，所述控制器可接收所述第二反馈信号，并控制所述驱动组件关闭；

控制器控制所述驱动组件处于下电状态，并控制所述升降机处于上电状态；

控制器控制所述升降机上升，使所述升降平台自动上升，当所述升降平台的高度等于所述第一预设高度时，所述上升位置感应器向所述控制器发出所述第一反馈信号，所述控制器接收所述第一反馈信号，并控制所述升降机关闭；

控制器控制所述升降机和所述驱动组件均处于下电状态。

进一步地，当拆卸所述高周波匹配箱时，所述方法还包括：

控制器控制所述升降机处于上电状态，并控制所述驱动组件处于下电状态；

控制器控制所述升降机下降，使所述升降平台自动下降，当所述升降平台的高度等于所述第二预设高度时，所述下降位置感应器向所述控制器发出所述第一反馈信号，所述控制器接收所述第一反馈信号，并控制所述升降机关闭；

控制器控制所述升降机处于下电状态，并控制所述驱动组件处于上电状态；

控制器控制所述驱动组件开启，使所述驱动组件驱动所述移动支架从所述升降平台移出至所述固定平台，当所述移动支架处于所述第二预设位置时，所述第三感应器向所述控制器发出所述第三反馈信号，所述控制器可接收所述第三反馈信号，并控制所述驱动组件关闭；

控制器控制所述升降机和所述驱动组件均处于下电状态。

本发明实施例提供的用于上述搬运装置的控制方法，由于当升降平台升降时，控制器控制驱动组件处于下电状态，当移动支架移动时，控制器控制升降机处于下电状态，因此，可防止在升降平台升降的过程中，操作人员的误操作导致移动支架从升降平台或固定平台上移出后发生危险，同时也可防止在移动支架移动的过程中，操作人员的误操作使升降机升降，导致移动支架倾斜后发生危险，从而提高了搬运装置的安全性。

附图说明

图1为现有技术中搬运装置的结构示意图；

图2为本发明实施例搬运装置的结构示意图；

图3为本发明实施例搬运装置工作时的示意图；

图4为本发明实施例搬运装置中驱动组件的结构示意图；

图5为本发明实施例搬运装置中升降平台的结构示意图；

图6为本发明实施例搬运装置中移动支架的侧视图；

图7为本发明实施例中高周波匹配箱的端口与真空腔的端口的示意图；

附图标记：

1-升降机；11-升降平台；111-限位件；

12-导轨；2-移动支架；21-滚轮；

3-待搬运物品；4-驱动组件；41-驱动装置；

42-齿轮；43-齿条；5-第一感应器；

51-上升位置感应器；52-下降位置感应器；6-第二感应器；

7-真空腔；8-固定平台；9-第三感应器。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

本发明实施例提供了一种搬运装置，如图2所示，包括：升降机1，升降机1包括升降平台11，升降平台11可自动升降；移动支架2，移动支架2用于放置待搬运物品3；驱动组件4，驱动组件4可驱动移动支架2移入升降平台11或从升降平台11上移出。

本发明实施例提供的一种搬运装置，通过升降平台11的自动升降，使升降平台11移动至所需的高度，然后通过驱动组件4来驱动移动支架2移动，从而带动待搬运物品3移入升降平台11或从升降平台11上移出。由于升降平台11可自动升降，且驱动组件4可驱动移动支架2移入升降平台11或从升降平台11上移出，因此，该搬运装置在升降平台11升降的过程中以及在待搬运物品3移入升降平台11或从升降平台11上移出的过程中，均无需多人操作，从而大幅度节省了人员的手动作业，进而使人工操作更方便，同时也避免了操作人员受伤、周围的其他设备和线路被损坏以及人工成本增加的问题。

为了使升降平台11能够准确的停止在需要的高度，本实施例中的搬运装置还包括：第一感应器5，第一感应器5用于检测升降平台11的高度；控制器(图中未示出)，所述控制器分别与第一感应器5和升降机1连接；当升降平台11的高度等于预设高度时，第一感应器5可向所述控制器发出第一反馈信号，所述控制器可接收所述第一反馈信号，并控制升降机1关闭。由此使得当升降机1关闭时，升降平台11恰好处于所述预设高度，从而使升降平台11能够准确的停止在需要的高度。

具体的，参照图4至图6，上述的驱动组件4包括驱动装置41以及相互啮合的齿轮42和齿条43，驱动装置41固定于移动支架2上，齿轮42套接于驱动装置41的输出轴上，齿条43固定于升降平台11上。当驱动装置41开启时，驱动装置41可带动齿轮42转动，从而使齿轮42沿齿条43的延伸方向滚动，进而驱动移动支架2沿齿条43的延伸方向移入升降平台11或从升降平台11上移出。齿轮齿条不仅传动效率高，而且寿命长、工作平稳、可靠性高，可提升搬运装置工作时的稳定性，延长搬运装置的使用寿命。

为了使移动支架2在升降平台11上的移动更平稳，参照图4和图5，本实施例中移动支架2上设置有滚轮21，升降平台11上设置有导轨12，导轨12优选为两排，滚轮21配合设置于导轨12内，滚轮21可在导轨12内滚动。由此，使得移动支架2可按特定的方向移动，从而减小了移动支架2的晃动，进而使移动支架2在升降平台11上的移动更平稳。

为了使移动支架2能够准确的停止在升降平台11上的特定位置，参照图5，本实施例中的搬运装置还包括设置于升降平台11上的第二感应器6，第二感应器6和驱动组件4均与所述控制器连接，第二感应器6用于检测移动支架2在升降平台11上所处的位置；当移动支架2处于升降平台11上的第一预设位置时，第二感应器6可向所述控制器发出第二反馈信号，所述控制器可接收所述第二反馈信号，并控制驱动组件4关闭。由此使得当驱动组件4关闭时，移动支架2恰好处于第一预设位置，从而使移动支架2能够准确的停止在升降平台11上的特定位置。

在上述实施例的基础上，升降平台11包括限位件111，如图5所示，当移动支架2处于所述第一预设位置时，移动支架2与限位件111抵靠，限位件111可阻挡移动支架2的移动。限位件111可以为限位挡板，通过限位件111的限位可以对移动支架2进行二重保护，防止第二感应器6故障不能准确检测移动支架2所处的位置，保证移动支架2能够停在升降平台11上的特定位置。

为了使升降平台11能够准确的停止在不同的高度，参照图3，第一感应器5包括上升位置感应器51和下降位置感应器52，上升位置感应器51和下降位置感应器52均与所述控制器连接，所述预设高度包括第一预设高度和第二预设高度；当升降平台11的高度等于所述第一预设高度时，上升位置感应器51可向所述控制器发出所述第一反馈信号，所述控制器可接收所述第一反馈信号，并控制升降机1关闭，此时，升降平台11恰好处于第一预设高度；当升降平台11的高度等于所述第二预设高度时，下降位置感应器52可向所述控制器发出所述第一反馈信号，所述控制器可接收所述第一反馈信号，并控制升降机1关闭，此时，升降平台11恰好处于第二预设高度，由此即可使升降平台11能够准确的停止在不同的高度。

如图2和图3所示，本实施例中的待搬运物品3为刻蚀设备中的高周波匹配箱，所述高周波匹配箱的作用是将射频电源提供的高频能量进行转换后传递给真空腔7，以使高频能量被最大程度的利用；升降平台11可带动所述高周波匹配箱升降，所述刻蚀设备还包括设置于升降平台11上方，且位置固定的真空腔7；随着所述高周波匹配箱的升降，所述高周波匹配箱的端口31可与真空腔7的端口71对接，当所述高周波匹配箱的端口31与真空腔7的端口71对接时，升降平台11的高度等于所述第一预设高度，此时，上升位置感应器51向所述控制器发出所述第一反馈信号，使所述控制器控制升降机1关闭，此时，所述升降平台11能够为高周波匹配箱提供持续的支撑力，从而使高周波匹配箱处于与真空腔7对接的状态，进而保证了高周波匹配箱能够正常的工作。

需要说明的是，参照图7，所述高周波匹配箱的端口31和真空腔7的端口71均为铜片连接端口，每个所述铜片连接端口上均设置有六个螺丝孔，当所述高周波匹配箱与真空腔7对接时，不同铜片连接端口上的螺丝孔分别一一对应，此时，可将螺丝依次拧入铜片连接端口上对应的螺丝孔内，从而使高周波匹配箱的端口31与真空腔7的端口71对接。

进一步地，参照图2和图3，升降机1的一侧还设置有固定平台8，当升降平台11的上表面与固定平台8的上表面位于同一平面时，升降平台11的高度等于所述第二预设高度，此时，下降位置感应器52向所述控制器发出所述第一反馈信号，使所述控制器控制升降机1关闭，从而使升降平台11处于与固定平台8平齐的状态，以防止移动支架2在移动时撞击到升降平台11或固定平台8上，也可以防止移动支架2发生倾斜，进而避免了对高周波匹配箱造成损伤，方便了高周波匹配箱的安装与拆卸。

为了使移动支架2能够准确的停止在固定平台8上的特定位置，本实施例中的固定平台8上设置有第三感应器9，第三感应器9与所述控制器连接，第三感应器9用于检测移动支架2在固定平台8上所处的位置；当移动支架2处于固定平台8上的第二预设位置时，第三感应器9可向所述控制器发出第三反馈信号，所述控制器可接收所述第三反馈信号，并控制驱动组件4关闭。由此使得当驱动组件4关闭时，移动支架2恰好处于第二预设位置，从而使移动支架2能够准确的停止在固定平台8上的特定位置。

上升位置感应器51和下降位置感应器52均优选为位移传感器。所述位移传感器包括发射器和接收器，所述发射器固定设置，所述接收器可相对于所述发射器移动，具体的，所述接收器可设置于升降平台11上或待搬运物品3上，从而通过检测所述接收器到所述发射器的距离来得出升降平台11的高度。位移传感器的检测精度高，可进一步提高升降平台11停止在所需高度的准确性。

第二感应器6优选为压力传感器，当移动支架2处于所述第一预设位置时，移动支架2可挤压所述压力传感器，从而使所述压力传感器向所述控制器发出所述第二反馈信号，第三感应器9优选为光电传感器，所述压力传感器和所述光电传感器的响应时间短，可及时向所述控制器发出相应的反馈信号，从而提高了控制精度。

优选地，升降机1为套缸式升降机，套缸式升降机的升降平台11在升降的过程中速度容易控制，制动安全可靠性强，且水平稳定性高，可保证升降平台11能够准确的停止在需要的高度，从而使升降平台11与其他平台能够更好的衔接，进而方便了移动支架2的移入与移出。

优选地，滚轮21为球形滚轮，球形滚轮的滚动方向不受转轴的限制，因此在轨道内滚动时可避免卡死的情况发生，从而使移动支架2的移动更加顺畅。

本发明实施例还提供了一种用于上述搬运装置的控制方法，参照图3，当安装所述高周波匹配箱时，所述方法包括：

控制器控制升降机1处于上电状态，并控制驱动组件4处于下电状态；

控制器控制升降机1下降，使升降平台11自动下降，如图3中箭头a所示，当升降平台11的高度等于所述第二预设高度时，升降平台11与固定平台8平齐，此时，下降位置感应器52向所述控制器发出所述第一反馈信号，所述控制器接收所述第一反馈信号，并控制升降机1关闭，从而使升降平台11处于与固定平台8平齐的状态；

控制器控制升降机1处于下电状态，并控制驱动组件4处于上电状态；

控制器控制驱动组件4开启，使驱动组件4驱动移动支架2从固定平台8移入升降平台11，移动方向如图3中箭头b所示，当移动支架2处于所述第一预设位置时，所述高周波匹配箱的端口31位于真空腔7的端口71的正下方，此时，第二感应器6向所述控制器发出所述第二反馈信号，所述控制器可接收所述第二反馈信号，并控制驱动组件4关闭；

控制器控制驱动组件4处于下电状态，并控制升降机1处于上电状态；

控制器控制升降机1上升，使升降平台11自动上升，如图3中箭头c所示，当升降平台11的高度等于所述第一预设高度时，所述高周波匹配箱的端口31与真空腔7的端口71对接，此时，上升位置感应器51向所述控制器发出所述第一反馈信号，所述控制器接收所述第一反馈信号，并控制升降机1关闭，从而使高周波匹配箱处于与真空腔7对接的状态，进而保证了高周波匹配箱能够正常的工作；

控制器控制升降机1和驱动组件4均处于下电状态，至此，所述高周波匹配箱安装完成。

进一步地，当拆卸所述高周波匹配箱时，所述方法还包括：

控制器控制升降机1处于上电状态，并控制驱动组件4处于下电状态；

控制器控制升降机1下降，使升降平台11自动下降，如图3中箭头a所示，使所述高周波匹配箱的端口31与真空腔7的端口71分离，当升降平台11的高度等于所述第二预设高度时，升降平台11与固定平台8平齐，此时，下降位置感应器52向所述控制器发出所述第一反馈信号，所述控制器接收所述第一反馈信号，并控制升降机1关闭，从而使升降平台11处于与固定平台8平齐的状态；

控制器控制升降机1处于下电状态，并控制驱动组件4处于上电状态；

控制器控制驱动组件4开启，使驱动组件4驱动移动支架2从升降平台11移出至固定平台8，移动方向如图3中箭头d所示，当移动支架2处于所述第二预设位置时，所述高周波匹配箱已经移入固定平台8，此时，第三感应器9向所述控制器发出所述第三反馈信号，所述控制器可接收所述第三反馈信号，并控制驱动组件4关闭；

控制器控制升降机1和驱动组件4均处于下电状态，至此，所述高周波匹配箱拆卸完成。

本发明实施例提供的用于上述搬运装置的控制方法，由于当升降平台11升降时，控制器控制驱动组件4处于下电状态，当移动支架2移动时，控制器控制升降机1处于下电状态，因此，可防止在升降平台11升降的过程中，操作人员的误操作导致移动支架2从升降平台11或固定平台8上移出后发生危险，同时也可防止在移动支架2移动的过程中，操作人员的误操作使升降机1升降，导致移动支架2倾斜后发生危险，从而提高了搬运装置的安全性。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (16)

1.一种搬运装置，其特征在于，包括：

升降机，所述升降机包括升降平台，所述升降平台可自动升降；

移动支架，所述移动支架用于放置待搬运物品；

驱动组件，所述驱动组件可驱动所述移动支架移入所述升降平台或从所述升降平台上移出。

2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，还包括：

第一感应器，所述第一感应器用于检测所述升降平台的高度；

控制器，所述控制器分别与所述第一感应器和所述升降机连接；

当所述升降平台的高度等于预设高度时，所述第一感应器可向所述控制器发出第一反馈信号，所述控制器可接收所述第一反馈信号，并控制所述升降机关闭。

3.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述驱动组件包括驱动装置以及相互啮合的齿轮和齿条，所述驱动装置固定于所述移动支架上，所述齿轮套接于所述驱动装置的输出轴上，所述齿条固定于所述升降平台上。

4.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述移动支架上设置有滚轮，所述升降平台上设置有导轨，所述滚轮配合设置于所述导轨内，所述滚轮可在所述导轨内滚动。

5.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，还包括设置于所述升降平台上的第二感应器，所述第二感应器和所述驱动组件均与所述控制器连接，所述第二感应器用于检测所述移动支架在所述升降平台上所处的位置；

当所述移动支架处于所述升降平台上的第一预设位置时，所述第二感应器可向所述控制器发出第二反馈信号，所述控制器可接收所述第二反馈信号，并控制所述驱动组件关闭。

6.根据权利要求5所述的搬运装置，其特征在于，所述升降平台包括限位件，当所述移动支架处于所述第一预设位置时，所述移动支架与所述限位件抵靠，所述限位件可阻挡所述移动支架的移动。

7.根据权利要求5所述的搬运装置，其特征在于，所述第一感应器包括上升位置感应器和下降位置感应器，所述上升位置感应器和所述下降位置感应器均与所述控制器连接，所述预设高度包括第一预设高度和第二预设高度；

当所述升降平台的高度等于所述第一预设高度时，所述上升位置感应器可向所述控制器发出所述第一反馈信号；

当所述升降平台的高度等于所述第二预设高度时，所述下降位置感应器可向所述控制器发出所述第一反馈信号。

8.根据权利要求7所述的搬运装置，其特征在于，所述待搬运物品为刻蚀设备中的高周波匹配箱，所述升降平台可带动所述高周波匹配箱升降，所述刻蚀设备还包括设置于所述升降平台上方，且位置固定的真空腔；

随着所述高周波匹配箱的升降，所述高周波匹配箱的端口可与所述真空腔的端口对接，当所述高周波匹配箱的端口与所述真空腔的端口对接时，所述升降平台的高度等于所述第一预设高度。

9.根据权利要求8所述的搬运装置，其特征在于，所述升降机的一侧设置有固定平台，当所述升降平台的上表面与所述固定平台的上表面位于同一平面时，所述升降平台的高度等于所述第二预设高度。

10.根据权利要求9所述的搬运装置，其特征在于，所述固定平台上设置有第三感应器，所述第三感应器与所述控制器连接，所述第三感应器用于检测所述移动支架在所述固定平台上所处的位置；

当所述移动支架处于所述固定平台上的第二预设位置时，所述第三感应器可向所述控制器发出第三反馈信号，所述控制器可接收所述第三反馈信号，并控制所述驱动组件关闭。

11.根据权利要求7所述的搬运装置，其特征在于，所述上升位置感应器和所述下降位置感应器均为位移传感器。

12.根据权利要求10所述的搬运装置，其特征在于，所述第二感应器为压力传感器，所述第三感应器为光电传感器。

13.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述升降机为套缸式升降机。

14.根据权利要求4所述的搬运装置，其特征在于，所述滚轮为球形滚轮。

15.一种用于权利要求10所述的搬运装置的控制方法，其特征在于，当安装所述高周波匹配箱时，所述方法包括：

控制器控制所述升降机处于上电状态，并控制所述驱动组件处于下电状态；

控制器控制所述升降机下降，使所述升降平台自动下降，当所述升降平台的高度等于所述第二预设高度时，所述下降位置感应器向所述控制器发出所述第一反馈信号，所述控制器接收所述第一反馈信号，并控制所述升降机关闭；

控制器控制所述升降机处于下电状态，并控制所述驱动组件处于上电状态；

控制器控制所述驱动组件开启，使所述驱动组件驱动所述移动支架从所述固定平台移入所述升降平台，当所述移动支架处于所述第一预设位置时，所述第二感应器向所述控制器发出所述第二反馈信号，所述控制器可接收所述第二反馈信号，并控制所述驱动组件关闭；

控制器控制所述驱动组件处于下电状态，并控制所述升降机处于上电状态；

控制器控制所述升降机上升，使所述升降平台自动上升，当所述升降平台的高度等于所述第一预设高度时，所述上升位置感应器向所述控制器发出所述第一反馈信号，所述控制器接收所述第一反馈信号，并控制所述升降机关闭；

控制器控制所述升降机和所述驱动组件均处于下电状态。

16.根据权利要求15所述控制方法，其特征在于，当拆卸所述高周波匹配箱时，所述方法还包括：

控制器控制所述升降机处于上电状态，并控制所述驱动组件处于下电状态；

控制器控制所述升降机下降，使所述升降平台自动下降，当所述升降平台的高度等于所述第二预设高度时，所述下降位置感应器向所述控制器发出所述第一反馈信号，所述控制器接收所述第一反馈信号，并控制所述升降机关闭；

控制器控制所述升降机处于下电状态，并控制所述驱动组件处于上电状态；

控制器控制所述驱动组件开启，使所述驱动组件驱动所述移动支架从所述升降平台移出至所述固定平台，当所述移动支架处于所述第二预设位置时，所述第三感应器向所述控制器发出所述第三反馈信号，所述控制器可接收所述第三反馈信号，并控制所述驱动组件关闭；

控制器控制所述升降机和所述驱动组件均处于下电状态。