CN105403365A - 氦气检漏仪 - Google Patents

Abstract

存在无法对检查环境气体中的氦气浓度进行管理的问题。本发明的氦气检漏仪包括：模式设定部，设定对来自测试体的氦气泄漏进行测定的泄漏测定模式、与对设置有测试体的室内的氦气进行测定的室内测定模式的任一个；及控制部，对应于所设定的测定模式而使由分析管测定的检测结果存储在存储部中。

Description

氦气检漏仪

技术领域

本发明涉及一种氦气检漏仪(heliumleakdetector)。

背景技术

例如专利文献1所示，如下的密闭容器检查方法为众所周知，即，将氦气气体加压封入于密闭容器中，通过检测从密闭容器漏出的氦气而发现熔接缺陷。当检查环境气体中的氦气浓度高时无法正常进行检查，但氦气为无味无臭，人体察觉不到浓度变化。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2010-159974

发明内容

[发明所要解决的问题]

在专利文献1记载的发明中，无法管理检查环境气体中的氦气浓度。

[解决问题的技术手段]

(1)本发明的优选实施方式的氦气检漏仪将检测部位的气体导入至分析管中而测定氦气。氦气检漏仪包括：模式(mode)设定部，设定对来自测试体的氦气泄漏进行测定的泄漏测定模式、与对设置有测试体的室内的氦气进行测定的室内测定模式的任一个；及控制部，对应于所设定的测定模式而使由分析管测定的检测结果存储在存储部中。

(2)在更优选实施方式中，控制部使泄漏测定模式或室内测定模式与测定结果建立关联地存储在存储部中。

(3)在更优选实施方式中，本发明的氦气检漏仪还包括：阈值设定部，设定判断测试体的良品、不良品的良品不良品阈值，及设定判断泄漏测定的可靠性的可靠性阈值；及报告部，当在泄漏测定模式时测定结果超过良品不良品阈值时判定为不良品并报告，且当在室内测定模式时测定结果超过可靠性阈值时判定为不合适环境并报告。

(4)在更优选实施方式中，控制部在启动时设定室内测定模式，在分析管的测定结果低于可靠性阈值之前禁止切换至泄漏测定模式，且当测定结果低于可靠性阈值时允许切换至泄漏测定模式。

(5)在更优选实施方式中，本发明的氦气检漏仪包括：第1接口(port)，供安装测试体；第2接口，供安装经由节流体将室内的氦气测定区域的气体导入至分析管的配管；及通路切换部，以将来自第1接口及第2接口中的任一个的气体导入至分析管的方式切换气体通路。

(6)在更优选实施方式中，控制部在选择泄漏测定模式时，以将来自第1接口的气体导入至分析管的方式，控制通路切换部；且控制部在选择室内测定模式时，以将来自第2接口的气体导入至分析管的方式，控制通路切换部。

(7)在更优选实施方式中，控制部在以泄漏测定模式测定规定次数时，或以泄漏测定模式测定规定时间时，进行向室内测定模式的设定切换，或使用报告部进行报告来提醒切换至室内测定模式。

(8)本发明的优选实施方式的氦气检漏仪将检测部位的气体导入至分析管中而测定氦气。氦气检漏仪包括：第1接口，供安装测试体；第2接口，供安装经由节流体将室内的氦气测定区域的气体导入至分析管的配管；及通路切换部，以将来自第1接口及第2接口中的任一个的气体导入至分析管的方式切换气体通路。

(9)在更优选实施方式中，本发明的氦气检漏仪还包括：指示部，指示通路切换部的切换；及驱动部，当从指示部输出切换指示时，对通路切换部进行切换驱动。

(10)在更优选实施方式中，本发明的氦气检漏仪还包括控制部，在选择泄漏测定模式时，以将来自第1接口的气体导入至分析管的方式，控制通路切换部，且在选择室内测定模式时，以将来自第2接口的气体导入至分析管的方式，控制通路切换部。

[发明的效果]

根据本发明，可管理检查环境气体中的氦气浓度。

附图说明

图1是表示氦气检漏仪的构成的方框图。

图2是气体处理部的构成图。

图3是说明使用氦气检漏仪的场景的图。

图4是表示主程序(mainprogram)的处理内容的流程图。

图5是表示环境测定用子程序(subprogram)的处理内容的流程图。

图6是表示测试体测定用子程序的处理内容的流程图。

[符号的说明]

10：氦气检漏仪

11：控制部

12：显示部

13：输入部

13a：环境测定按钮

13b：测试体测定开始按钮

13c：测试体测定结束按钮

13d：电源按钮

14：存储部

14a：环境日志

14b：测试体日志

14c：阈值一览

15：报告部

19：气体处理部

21：分析管

22：涡轮分子泵

23：牵引泵

24：油旋转泵

25：配管

50：测试体

60：氦气瓶

CAP：节流体(毛细管)

EXP1、EXP2：接口

SFV1、SFV2、BV、TV、LV、FV：阀

PM1、PM2：真空计

S101～S110：主程序的处理内容各步骤

S201～S212：环境测定用子程序各步骤

S301～S317：测试体测定用子程序各步骤

具体实施方式

本发明提供一种氦气检漏仪，通过测量并管理测试环境的氦气浓度而提高测试的可靠性与测试的效率。以下，基于实施方式详细地进行说明。

以下，参照图1～图6对本发明的氦气检漏仪的一实施方式进行说明。

图1是表示氦气检漏仪10的构成的方框图。氦气检漏仪10包括：控制部11；显示部12，对操作员(operator)提示信息；输入部13，对控制部11传输操作员的输入；存储部14；报告部15；气体处理部19，包含泵(pump)及阀(valve)、分析管。

控制部11包括中央处理器(CentralProcessingUnit，CPU)、只读存储器(ReadOnlyMemory，ROM)及随机存取存储器(RandomAccessMemory，RAM)，通过将ROM中保存的程序在RAM展开并执行而进行后述的处理。控制部11利用信号线与显示部12、输入部13、存储部14、报告部15连接，且发送信息的输入输出或动作指令。控制部11也与气体处理部19的若干构成元件连接，下文进行详细说明。

显示部12例如为液晶面板，显示从控制部11输出的信息。输入部13包含多个按钮，所述多个按钮包含环境测定按钮13a、测试体测定开始按钮13b、测试体测定结束按钮13c及电源按钮13d，且将操作员的输入输出至控制部11。当操作环境测定按钮13a时，设定对室内的氦气浓度进行测定的环境测定模式(可靠性测定模式)。当操作测试体测定开始按钮13b时，设定对测试体的氦气泄漏量进行测定的模式(测试体测定模式)。当操作测试体测定结束按钮13c时，将测定结束输入至控制部11。电源按钮13d供在使用氦气检漏仪10时操作，通过操作电源按钮而对各部供给电源。

存储部14例如为闪速存储器(flashmemory)，在存储部14中存储有：环境日志(log)14a，存储环境测定模式下的氦气检测量与检测时刻；测试体日志14b，存储测试体测定模式下的氦气检测量与检测时刻；及阈值一览14c，包含各种阈值。

作为阈值一览14c中所保存的阈值，保存有例如作为测试结果的良否判定基准即良品不良品判定基准的阈值、及作为室内的氦气浓度相对于测量感度正常或异常的判定基准的可靠性阈值。这些阈值能够从输入部13的用户界面(userinterface)画面变更。当用户根据测试精度、所要求的检测感度等而变更这些阈值时，将变更后的值保持在阈值一览14c中。

报告部15例如为数字模拟(DigitalAnalog，DA)转换器及扬声器(speaker)，通过依照从控制部11输出的信息鸣响而对操作员进行某报告。报告部15可通过音色、音量、音程等而鸣响多种声音，例如操作员可判断是在环境测定模式与测试体测定模式的哪一模式下氦气检测量超过阈值。除报告部15利用声音报告以外，或者代替利用声音报告，也可在显示部12以文字或图标(icon)等显示报告内容。

参照图2对气体处理部19进行说明。图2是表示气体处理部19、即从氦气检漏仪10的气体入口至分析管21为止的管路的图。气体处理部19包括分析管21、涡轮分子泵(turbomolecularpump)22、牵引泵(dragpump)23、油旋转泵(oilrotarypump)24、及检测管路内的真空度的真空计PM1、真空计PM2。根据真空计PM1或真空计PM2的检测值而控制各泵的启动、停止、或者后述的阀的开闭。气体处理部19包括：阀FV、阀BV、阀TV、阀LV、阀SFV1、阀SFV2，上述阀为附有致动器的通路切换部，用以对排气路径及氦气导入路径即氦气流通通路进行开闭；接口EXP1、接口EXP2；配管25，用以测定环境氦气；及毛细管(capillarytube)CAP。

控制部11利用信号线与分析管21、涡轮分子泵22、牵引泵23、油旋转泵24、真空计PM1、真空计PM2、及所有阀连接，此处省略信号线。

分析管21经由涡轮分子泵22、牵引泵23、阀FV而配管连接于油旋转泵24。在氦气检漏仪10所具有的两个连接接口中的接口EXP1连接测试体。且在另一接口EXP2连接配管25，且在配管25的前端连接有毛细管CAP。配管25以吸入对设置有测试体的室内的氦气浓度进行检测的空间的气体的方式环绕。例如，配管25可使用挠性的金属管、树脂管、橡胶管等。

接口EXP1及接口EXP2经由开闭阀SFV1、SFV2而连接于分析通路，即便在连接有测试体的状态下也能够变更测定对象。即，通过开闭阀SFV1、SFV2的开闭控制而可从测试体泄漏测定变更为室内环境浓度测定。这些开闭控制是与环境测定按钮13a及测试体测定开始按钮13b的操作联动地进行。当对环境测定按钮13a进行接通操作时，开闭阀SFV1关闭，且开闭阀SFV2打开。当对测试体测定开始按钮13b进行接通操作时，开闭阀SFV1打开，且开闭阀SFV2关闭。

阀LV为排气阀(ventvalve)，当打开阀LV时管路内成为大气压，可更换与接口EXP1连接的测试体。阀TV配管连接于涡轮分子泵22的排气口。阀FV设置在牵引泵23与油旋转泵24之间。阀BV设置在连接接口EXP1及连接接口EXP2与油旋转泵24之间。

可将周围环境的空气从毛细管CAP导入至管路内并利用分析管21检测氦气，且根据空气的流量与氦气检测量而算出环境的氦气浓度。毛细管CAP吸入的室内空气的流量是根据大气压与真空计测定的管路内的压力的差、及既知的毛细管CAP的电导(conductance)而算出。

使用氦气检漏仪10的测试体的检查方法有各式各样，例如，在真空吹送法中以如下方式进行。将密闭容器的测试体连接于接口EXP1，一面利用涡轮分子泵22等对测试体的内部进行真空排气，一面对测试体吹送氦气气体，可根据由分析管21检测的氦气的检测量而判断有无熔接缺陷。

(假定的使用场景)

使用图3对使用本实施方式的氦气检漏仪10的场景进行说明。

图3表示使用氦气检漏仪10通过真空吹送法检查测试体50的熔接不良的场景。具有多个同一形状的测试体50，操作员依次变换测试体而进行检查。氦气瓶(bottle)60用于操作员利用真空吹送法进行的检查中。与氦气检漏仪10的接口EXP2连接的配管25，以可将测试体50附近的空气从毛细管CAP前端导入至氦气检漏仪10中的方式弯曲。

操作员在开始测试体的检查之前，或者在检查中途测定检查环境即室内的氦气浓度以确认为对检查无影响的状态。其原因在于，当室内的氦气浓度高时，尽管不吹送氦气，分析管21也会检测出氦气，从而无法与氦气检漏仪10的异常区别开。

当环境的氦气浓度为阈值以下时，操作员开始测试体50的检查。然后，当开始检查并经过规定时间，例如经过1小时时，操作员再次测定测试环境的氦气浓度，确定环境的氦气浓度为阈值以下后继续测试体50的检查。该阈值为判定测试体是良品还是不良品的基准值，且保存在所述阈值一览14c中。

(流程图)

使用图4～图6说明氦气检漏仪10的控制部11进行的处理。图4是表示当氦气检漏仪10启动时通过控制部11执行的程序(以下称为主程序)的处理内容的流程图。该主程序调用下述子程序，即，动作由图5的流程图所表示的环境测定用子程序、及动作由图6的流程图所表示的测试体测定用子程序。在执行这些子程序的期间，停止主程序的处理。

(主程序)

在步骤S101中，控制部11开始主计时器(maintimer)t1的计时，并且进入步骤S102。此后主计时器t1在氦气检漏仪10的电源切断之前持续计数(count)时间。

在步骤S102中，控制部11进行下文使用图5所说明的环境测定，当环境测定结束时进入步骤S103。

在步骤S103中，控制部11判断主计时器t1计数的时间是否超过规定时间Tm，例如1小时。控制部11在判定超过规定时间Tm的情况下进入步骤S104，且在判定未超过规定时间Tm的情况下进入步骤S106。

在步骤S104中，与步骤S102同样地，控制部11进行下文使用图5所说明的环境测定，当环境测定结束时进入步骤S105。

在步骤S105中，控制部11对主计时器t1计数的时间进行重设(reset)而使时间恢复至零，并且进入步骤S106。

在步骤S106中，控制部11判断是否已由操作员按下环境测定按钮13a，在判定已按下环境测定按钮13a的情况下进入步骤S107，且在判定未按下环境测定按钮13a的情况下进入步骤S108。

在步骤S107中，控制部11如所述般进行下文使用图5所说明的环境测定，当环境测定结束时进入步骤S108。

在步骤S108中，控制部11判断是否已由操作员按下测试体测定开始按钮13b。在判定已按下测试体测定开始按钮13b的情况下进入步骤S109，且在判定未按下测试体测定开始按钮13b的情况下进入步骤S110。

在步骤S109中，控制部11进行下文使用图6所说明的测试体测定，当测试体测定结束时进入步骤S110。

在步骤S110中，控制部11判断是否已由操作员按下电源按钮13d。在判定已按下电源按钮13d的情况下，结束动作由图4来表示的程序，在判定未按下电源按钮13d的情况下返回至步骤S103。

(环境测定用子程序)

参照图5对从主程序调用的环境测定用子程序的动作进行说明。

在步骤S201中，控制部11进行以下处理以使分析管21的内部为规定真空度以下。打开阀FV且关闭除此以外的所有阀，使涡轮分子泵22、牵引泵23、及油旋转泵24运转而进行真空排气。当真空计PM2检测的真空度成为规定的真空度以下时，关闭阀FV，使所有泵停止而进入步骤S202。

在步骤S202中，控制部11打开阀SFV2而进入步骤S203。

在步骤S203中，控制部11为了进行氦气检漏仪10的管路内的粗抽而打开阀BV，通过油旋转泵24进行真空排气。当真空计PM1检测的真空度成为规定的真空度以下时进入步骤S204。

在步骤S204中，控制部11为了形成进行粗测试(grosstest)的构成而打开阀FV，使牵引泵23及涡轮分子泵22运转而进行真空排气。当真空计PM2检测的真空度成为规定的真空度以下时进入步骤S205。

在步骤S205中，控制部11为了形成进行精测试(finetest)的构成而打开阀TV且关闭阀BV。当真空计PM2检测的真空度成为规定的真空度以下时进入步骤S206。

在步骤S206中，控制部11开始利用环境计时器t2的计时，并且进入步骤S207。

在步骤S207中，控制部11取得分析管21检测的氦气检测量，并且进入步骤S208。

在步骤S208中，控制部11将步骤S207中取得的氦气检测量及当前的时刻保存在环境日志14a中，并且进入步骤S209。

在步骤S209中，控制部11将步骤S207中取得的氦气检测量与阈值一览14c的环境测定用阈值进行比较，判断所取得的氦气检测量是否大于环境测定用阈值。在判定氦气检测量大于环境测定用阈值的情况下进入步骤S210，且在判定氦气检测量为环境测定用阈值以下的情况下进入步骤S211。

环境设定用阈值由用户在测试开始前根据所要求的测试精度、检测感度而从输入部13输入数值并保存在阈值一览14c中。也可对已保存的阈值进行覆写更新，也可保存在新数据区域中以用于下次的测试。

在步骤S210中，控制部11使用报告部15进行报告来表示环境测定存在问题，并且进入步骤S211。

在步骤S211中，控制部11判断环境计时器t2计数的时间是否超过规定时间Te，例如5秒。当判定超过时进入步骤S212，且当判定未超过时返回至步骤S207。

在步骤S212中，控制部11使所有泵停止，在等待规定时间以使管路内恢复至大气压之后关闭环境测定用的阀SFV2，使动作由图5来表示的程序结束，返回至动作由图4来表示的主程序。

(测试体测定用子程序)

参照图6对从主程序调用的测试体测定用子程序的动作进行说明。

步骤S301～步骤S310的处理中许多处理与步骤S201～步骤S210的处理重复，仅说明处理的不同点而省略相同处理的说明。

在步骤S202中打开阀SFV2，但在步骤S302中打开阀SFV1。通过该处理，安装在接口EXP1前端的测试体与氦气检漏仪10的管路连接，在步骤S303中对测试体的内部也进行真空排气。在步骤S206中为了对进行环境测定的时间计数而开始环境计时器t2的计数，但在步骤S306中为了在每一规定时间进行环境测定而开始测试体计时器t3的计数。在步骤S209及步骤S210中将检测量与环境测定用阈值进行比较，在检测量大于环境测定用阈值的情况下进行环境测定用的报告，但在步骤S309及步骤S310中，将检测量与测试体测定用阈值进行比较，在检测量大于测试体测定用阈值的情况下进行测试体测定用的报告。即，报告来自测试体的氦气泄漏量大而为不良品。

测试体测定用阈值由用户在测试开始前根据所要求的测试精度、检测感度而从输入部13输入数值并保存在阈值一览14c中。也可对已保存的阈值进行覆写更新，也可保存在新数据区域中以用于下次的测试。

在步骤S311中，控制部11判断测试体计时器t3计数的时间是否超过规定时间Tt，例如1小时。当判定超过时进入步骤S312，且当判定未超过时进入步骤S316。

在步骤S312中，控制部11为了进行环境测定而打开阀SFV2且关闭阀SFV1，并且进入步骤S313。

即便在测试开始起初室内氦气浓度低的环境下，当连续规定时间以上地进行测试时，有室内空气中的氦气浓度上升的担忧，因此这些步骤是用于定期地测定室内氦气浓度。

在步骤S313中，控制部11执行环境测定的核心处理即步骤S206～步骤S211后，进入步骤S314。另外，在使用图2所说明的环境测定的流程图中，在开始测定之前进行管路内的粗抽等，但在本流程图中已在步骤S301～步骤S305中进行，因此省略。

在步骤S314中，控制部11为了返回至测试体测定而打开阀SFV1且关闭阀SFV2而进入步骤S315。

在步骤S315中，控制部11对测试体计时器t3计数的时间进行重设而使时间恢复至零，并且进入步骤S316。

在步骤S316中，控制部11判断是否已由操作员按下测试体测定结束按钮13c。在判定已按下测试体测定结束按钮13c的情况下进入步骤S317，且在判定未按下测试体测定结束按钮13c的情况下返回至步骤S307。

在步骤S317中，控制部11使所有泵停止，打开排气阀LV以卸除与接口EXP1连接的测试体。然后，使动作由图6来表示的程序结束，返回至动作由图4来表示的主程序。

根据所述实施方式，可获得以下作用效果。

(1)以往，在本发明的氦气检漏仪中，可通过称为嗅探法(sniffermethod)的测定法测定环境氦气浓度。然而，环境氦气浓度的测定及测试体的测定均以同一测定模式进行。即，氦气检漏仪未安装测定环境氦气浓度而管理测试体的测定的模式。在以往的氦气检漏仪中，未导入管理氦气浓度的测定管理程序(management)。在测试环境的氦气浓度为规定值以上的情况下，氦气分析管检测出规定值以上的氦气，从而无法保证测量可靠性。或者，有时当检测的浓度高时警报鸣响而事实上无法进行测定。

本发明的氦气检漏仪包括：模式设定部即输入部13，设定对来自测试体的氦气泄漏进行测定的泄漏测定模式、与对设置有测试体的室内的氦气进行测定的室内测定模式的任一个；及控制部11，对应于所设定的测定模式而使由分析管测定的检测结果存储在存储部14中。

根据本发明的氦气检漏仪，可在泄漏测定模式的测定之前，或者在泄漏测定模式的测定中途选择室内测定模式而测定室内的氦气浓度。因此，可抑制在室内的氦气浓度高的情况下进行测试体的泄漏测定，从而测定作业效率提高，测定精度的可靠性也提高。

(2)控制部11构成为将以泄漏测定模式测定的测定数据存储在测试体日志14b中，且将以室内测定模式测定的测定数据存储在环境日志14a中。即，测定结果与测定模式建立关联地存储在存储部14中。

因此，可容易地辨别测定结果为以何种模式测定的结果。

(3)氦气检漏仪10还包括：阈值设定部即输入部13，设定判断测试体为良品、不良品的良品不良品阈值，及设定判断泄漏测定的可靠性的可靠性阈值；及报告部15，当在泄漏测定模式时测定结果超过良品不良品阈值时判定为不良品并报告，且当在室内测定模式时测定结果超过可靠性阈值时判定为不合适环境并报告。

因此，在泄漏测定模式中，可立即辨别从测定部位产生泄漏。当在设定室内测定模式时从报告部15进行报告时，可立即辨别为在不合适环境下的测定，且可立即辨别为在不具有可靠性的环境下的测定。其结果，可在进行使室内的氦浓度降低的作业行后转移至测定模式，因此可高效地进行可靠性高的测定。

(4)氦气检漏仪10构成为包括：第1接口即接口EXP1，供安装测试体；第2接口即接口EXP2，供安装经由节流体CAP(毛细管CAP)将室内的氦气测定区域的气体导入至分析管21的配管25；及通路切换部即阀SFV1及阀SFV2，以将来自第1接口及第2接口中的任一个的气体导入至分析管21的方式切换气体通路。

能通过手动或自动地将来自两个接口中的任一个的气体导入至分析管21，因此可简单地切换室内氦气浓度测定与测试体泄漏测定，从而作业性提高。

(5)控制部11当选择泄漏测定模式时以将来自第1接口的气体导入至分析管21的方式控制通路切换部，且当选择室内测定模式时以将来自第2接口的气体导入至分析管21的方式控制通路切换部。其结果，不必由用户进行室内氦气浓度测定与测试体泄漏测定的接口切换，从而作业性提高。

(变形例1)

在所述实施方式中，氦气检漏仪10具有测试体测定模式与环境测定模式的两种模式，但测定模式并不限定于此。也可设置检查气体测定模式。

在检查气体测定模式中，也可测定用于检查的气体即氦气的浓度而判断氦气的浓度是否处在规定的浓度范围内。在氦气气体的浓度比规定的浓度范围浓的情况下，通过降低浓度后使用而可节约高价的氦气气体的使用量。在氦气气体的浓度比规定的浓度范围淡的情况下，无法检测泄漏的可能性高，通过预先使氦气气体的浓度处在适当范围内而可防止检测遗漏。进而在检查气体测定模式中，在检测的氦气气体的浓度包含在规定的浓度范围的情况下使用报告部15报告，因此通过操作员将氦气气体的浓度调整为适当而可管理氦气气体的消耗量。

(变形例2)

也可针对测试体的每一种类而设置测定模式。例如为要求高检测感度或高精度的高品质测定模式、及与高品质测定模式相比要求低的检测感度或低精度的低品质测定模式。通过针对测试体的每一种类而设置测定模式，而可针对测试体的每一种类而设定不同的阈值，因此无需针对测试体的每一种类而熟记阈值，从而可减轻操作员的负担。

例如，在高品质测定模式中，与低品质测定模式相比将良品不良品判定阈值设定得低，但可构成为如果用户预先输入各模式的阈值，则也与模式选择联动地自动设定良品不良品判定基准即阈值。

(变形例3)

在所述实施方式中，当由操作员按下测试体测定开始按钮13b时，进行测试体测定模式的测定，但也可设置用以向测试体测定模式切换的条件。

例如，也可在通过环境测定模式的测定而检测出的氦气检测量成为环境测定用阈值以下之前禁止切换至测试体测定模式。即，也可为当由操作员按下测试体测定开始按钮13b时，首先进行环境测定模式的测定，且当氦气检测量成为环境测定用阈值以下时切换为环境测定模式。

根据该变形例3，可获得以下作用效果：

(1)控制部在启动时设定室内测定模式，在分析管21的测定结果低于可靠性阈值之前禁止切换至泄漏测定模式，且当测定结果低于可靠性阈值时允许切换至泄漏测定模式。具体而言，当以室内测定模式测定的氦气检测量低于可靠性阈值时自动将设定变更为泄漏测定模式。因此，测试效率提高。

(变形例4)

在所述实施方式中，氦气检漏仪10包括两个测定接口，但氦气检漏仪所包括的测定接口的数量并不限定于此。也可仅包括一个测定接口，且由操作员切换测定模式。也可包括三个以上的测定接口，且在选择泄漏测定模式时选择是否将来自任一接口的气体导入至分析管21。

(变形例5)

在所述实施方式中，构成为在氦气检漏仪10刚启动后、及每经过规定时间就进行环境测定模式的测定，但进行环境测定模式的测定的时序(timing)并不限定于此。

也可每当由操作员按下测试体测定开始按钮13b或测试体测定结束按钮13c的次数达到规定次数时进行环境测定模式的测定。其原因在于，在测试体的容积小，1处的检查仅需要很少时间的情况下，有环境内的氦气浓度在短时间根据测定次数而上升的担忧。

(变形例6)

在所述实施方式中，构成为在氦气检漏仪10刚启动后、及每经过规定时间就进行环境测定模式的测定，但也可代替进行环境测定模式的测定，而使用报告部15提醒切换至环境测定模式而进行测定。

(变形例7)

在所述实施方式中，仅在打开阀TV、阀FV且关闭阀BV的精测试时，记录、评估分析管21检测的氦气量。然而，在开始精测试之前的状态即打开阀BV、阀FV且关闭阀TV的粗测试时，也可记录检测的氦气量与检测时刻。

(变形例8)

在实施方式中，将存储环境测定模式下的氦气检测量与检测时刻的环境日志14a、与存储测试体测定模式下的氦气检测量与检测时刻的测试体日志14b设定为不同的存储器区域。然而，也可将环境日志14a与测试体日志14b设定为一个存储器区域，在该情况下，可通过对设置氦气检测量与检测时刻的检测结果附上每一测定模式的标示(flag)而进行数据识别。

(变形例9)

在实施方式中，开闭阀SFV1、SFV2的开闭控制是设为与环境测定按钮13a及测试体测定开始按钮13b的操作联动者来进行说明。然而，开闭阀SFV1、SFV2的开闭控制也可由用户手动进行。

(变形例10)

在实施方式中，说明了以泄漏测定模式与室内测定模式的设定为前提的氦气检漏仪。然而，省略模式设定的概念的以下的氦气检漏仪也在本发明的范围内。

即，如下的氦气检漏仪也在本发明的范围内，即该氦气检漏仪包括：第1接口，供安装测试体；第2接口，供安装经由节流体将室内的氦气测定区域的气体导入至分析管的配管；及通路切换部，以将来自第1接口及第2接口中的任一个的气体导入至分析管的方式切换气体通路。

(变形例11)

进而也能以如下方式构成变形例9的氦气检漏仪。也能以如下方式构成氦气检漏仪，即包括：指示部，指示所述通路切换部的切换；及驱动部，当从指示部输入切换指示时，对通路切换部进行切换驱动。驱动部包含手动与自动的两个概念。即，可在从两个接口至分析管通路为止的通路设置手动开闭阀或利用致动器驱动的开闭阀。

(变形例12)

进而也能以如下方式构成变形例10的氦气检漏仪。也能以如下方式构成氦气检漏仪，即包括控制部，当选择泄漏测定模式时以将来自第1接口的气体导入至分析管的方式控制通路切换部，且当选择室内测定模式时以将来自第2接口的气体导入至分析管的方式控制通路切换部。

所述各实施方式及变形例分别也可组合。

在所述中说明了各种实施方式及变形例，但本发明并不限定于这些内容。在本发明的技术性思想的范围内想到的其他形态也包含在本发明的范围内。

Claims (10)

1.一种氦气检漏仪，将检测部位的气体导入至分析管中而测定氦气，其特征在于包括：

模式设定部，设定泄漏测定模式以及室内测定模式中任一个，其中所述泄漏测定模式对来自测试体的氦气泄漏进行测定，所述室内测定模式对设置有所述测试体的室内的氦气进行测定；及

控制部，对应于所述设定的测定模式而使由所述分析管测定的检测结果存储在存储部中。

2.根据权利要求1所述的氦气检漏仪，其特征在于，所述控制部使所述泄漏测定模式或所述室内测定模式与所述测定结果建立关联地存储在所述存储部中。

3.根据权利要求1或2所述的氦气检漏仪，其特征在于还包括：

阈值设定部，设定良品不良品阈值及可靠性阈值，其中所述良品不良品阈值对判断所述测试体为良品或不良品，所述可靠性阈值判断泄漏测定的可靠性；及

报告部，当在所述泄漏测定模式时所述测定结果超过所述良品不良品阈值时判定为不良品并报告，且当在所述室内测定模式时所述测定结果超过所述可靠性阈值时判定为不合适环境并报告。

4.根据权利要求1或2所述的氦气检漏仪，其特征在于，所述控制部在启动时设定所述室内测定模式，在所述分析管的测定结果低于所述可靠性阈值之前禁止切换至所述泄漏测定模式，且当所述测定结果低于所述可靠性阈值时允许切换至所述泄漏测定模式。

5.根据权利要求1或2所述的氦气检漏仪，其特征在于包括：

第1接口，供安装所述测试体；

第2接口，供安装配管，所述配管经由节流体将所述室内的氦气测定区域的气体，导入至所述分析管；及

通路切换部，以将来自所述第1接口及所述第2接口中的任一个的气体导入至所述分析管的方式，切换气体通路。

6.根据权利要求5所述的氦气检漏仪，其特征在于，所述控制部在选择所述泄漏测定模式时，以将来自所述第1接口的气体导入至所述分析管的方式控制所述通路切换部；且所述控制部在选择所述室内测定模式时，以将来自所述第2接口的气体导入至所述分析管的方式，控制所述通路切换部。

7.根据权利要求3所述的氦气检漏仪，其特征在于，所述控制部在以所述泄漏测定模式测定规定次数时，或以所述泄漏测定模式测定规定时间时，进行向所述室内测定模式的设定切换，或使用所述报告部进行报告来提醒切换至所述室内测定模式。

8.一种氦气检漏仪，将检测部位的气体导入至分析管中而测定氦气，其特征在于包括：

第1接口，供安装测试体；

第2接口，供安装配管，所述配管经由节流体将室内的氦气测定区域的气体，导入至所述分析管；及

通路切换部，以将来自所述第1接口及所述第2接口中的任一个的气体导入至所述分析管的方式，切换气体通路。

9.根据权利要求8所述的氦气检漏仪，其特征在于还包括：

指示部，指示所述通路切换部的切换；及

驱动部，当从所述指示部输出切换指示时，对所述通路切换部进行切换驱动。

10.根据权利要求9所述的氦气检漏仪，其特征在于还包括：

控制部，在选择泄漏测定模式时，以将来自所述第1接口的气体导入至所述分析管的方式，控制所述通路切换部；且在选择室内测定模式时，以将来自所述第2接口的气体导入至所述分析管的方式，控制所述通路切换部。