CN103822761A - 密封性检测装置及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种密封性检测装置及方法,所述检测装置包括:示漏气体源,用于向被检件的一侧提供示漏气体;气密室,连接示漏气体源与被检件的所述一侧,并提供两者间的气密性通道;检漏仪,位于被检件的另一侧,用于检测穿过被检件的示漏气体。本发明可提高密封性检测的准确性。
Description
技术领域
本发明涉及一种密封性检测装置及方法,用于对被检件(比如,密封性电连接器)的密封性能进行检验。
背景技术
密封性电连接器的密封性能对连接器的整体性能具有重要影响,因而在制作后端通常需对其密封性能进行检验。目前国内外电连接器的生产及质量保证单位在对其密封性能进行验证时,通常采用吹氦法进行检漏。
但是,实际的检漏灵敏度要比理想条件下的计算值低得多;不仅如此,同一被检件多次检漏所得漏率也不一定完全相同。
发明内容
传统吹氦法检漏灵敏度低、测试结果不确定性高的原因至少在于:
由于喷嘴喷出的氦气流是散开的,并掺有一定数量的空气,使氦气浓度有所降低;喷出气流的方向不可能完全对准漏孔的方向,此外,在凹缺处存在的空气会使得进入漏孔的氦气浓度降低。上述氦气浓度的降低,导致检漏仪难以检测到准确结果。
多次检漏后室内氦气浓度增加,也会影响检测结果的准确性。
基于上述认识,本发明提供一种检漏准确性高的密封性检测装置。具体的,上述密封性检测装置,包括:
示漏气体源,用于向被检件的一侧(可称为气体接收侧)提供示漏气体;
气密室,连接示漏气体源与被检件的所述一侧,并提供两者间的气密性通道;
检漏仪,位于被检件的另一侧(可称为检测侧),用于检测穿过被检件的示漏气体。
上述检测装置中,由于示漏气体源与被检件的气体接收侧之间采用封闭式的气密室连接,通过向气密室充示漏气体(如氦气),就相当于用无数把喷枪在无数个可疑点同时喷吹示漏气体,加快了检漏速度、节约示漏气体,提高了漏孔处的示漏气体浓度,施气时间可以随意延长,因而检测灵敏度有较大提高。另一方面,可以避免示漏气体扩散至室内环境,避免了环境对检漏仪的干扰。
本发明还提供了一种利用上述装置进行密封性检测的方法,上述方法包括:向气密室通入示漏气体,在所述气密室内的气压达到特定值后,开启检漏仪进行检漏。
由于以往的被检件使用喷氦检漏方法,氦气喷向被检件时,其氦气浓度、喷向及位置都是随机的,没有一个统一的操作规范及恒定的氦气压力,即对被检件检漏时并不是规范操作,因此对被检件检漏时给出的漏率并非是真实的。而本发明提供的上述方法,保证了被检件检漏时可以执行统一的操作流程及示漏气体压力的一致性,从而使得出的漏率数值真实可靠无误。
为进一步保证检测结果的准确性,上述方法还可包括以下步骤:在通入示漏气体前,对所述气密室进行抽真空操作。
上述方法还可包括步骤:检漏完成后,排出所述气密室内的示漏气体,之后充入惰性气体。由于气密室中示漏气体被及时排出、并代之以惰性气体(如氮气),这样可保证在之后拆除被检件的过程中,避免示漏气体泄露。
虽然上述检测装置及方法是针对密封性电连接器而提出的,但容易想象得到它的应用范围并不局限于此,而是有广泛得多的用途,这里不一一举例。
附图说明
图1是本发明密封性检测装置实施例1的结构示意图;
图2是利用实施例1装置进行密封性检测的流程示意图;
图3至图4是密封性检测装置实施例2的结构图。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂,下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。
在以下描述中阐述了具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以多种不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广。因此本发明不受下面公开的具体实施方式的限制。
实施例1
图1是本发明密封性检测装置实施例1的示意图。如图1所示,所述检测装置包括:
示漏气体源,用于向被检件的一侧(即气体接收侧)91提供示漏气体;
气密室5,连接示漏气体源与被检件的所述一侧91,并提供两者间的气密性通道;
检漏仪,连接被检件的另一侧(即检测侧)93,用于检测穿过被检件的示漏气体。
上述检测装置中,由于示漏气体源与被检件的气体接收侧之间采用封闭式的气密室连接,通过向气密室充示漏气体(如氦气),就相当于用无数把喷枪在无数个可疑点同时喷吹示漏气体(即,可同时检测被检件的整体漏率,而不再是局部漏率),加快了检漏速度、节约示漏气体,提高了漏孔处的示漏气体浓度,施气时间可以随意延长,因而检测灵敏度有较大提高。另一方面,可以避免示漏气体扩散至室内环境,避免了环境对检漏仪的干扰。
继续参照图1,所述密封性检测装置还可设置有泵,所述泵用于从所述气密室5向外抽气。比如,在向气密室5通示漏气体前,可先利用泵对气密室5进行抽真空操作,从而可保证后续测试过程中示漏气体的纯度,进一步提供检测准确度。
所述密封性检测装置另可设置惰性气体源、压力表等,其中,所述惰性气体源用于向所述气密室5提供惰性气体(如氮气),所述压力表用于获得所述气密室5内的气压。示漏气体源、泵、惰性气体源与气密室5之间均采用管道连接,各管道上并设置有电控阀V1、V2、V3,以对气流进行开关控制。
所述检漏仪与被检件的所述另一侧(即检测侧)93之间可为气密性连接,比如,可通过如1所示的密闭腔7实现上述气密性连接。检漏仪与被检件的检测侧93之间的气密性连接,一方面可使得所有穿过被检件的示漏气体均可被检漏仪检测到,从而保证检测结果的准确性,另一方面也可防止示漏气体扩散至室内环境。
检漏仪与密闭腔7之间通过管道连接,管道上设置有电控阀V4,以对两者间的气体流动进行控制。前面提及的所有管道接口均采用卡箍锁紧形式,以确保密封。
气密室5与密闭腔7之间为相互气隔离设置。在本实施例中,通过隔离墙(或称隔离板)57及被检件实现上述隔离。上述隔离并非绝对的,主要取决于被检件本身的密封性能(也就是说,隔离墙57的气密性足够好)。
利用上述装置进行密封性检测的方法,主要包括:向气密室通入示漏气体,在所述气密室内的气压达到特定值后,开启检漏仪进行检漏。
由于以往的被检件使用喷氦检漏方法,氦气喷向被检件时,其氦气浓度、喷向及位置都是随机的,没有一个统一的操作规范及恒定的氦气压力,即对被检件检漏时并不是规范操作,因此对被检件检漏时给出的漏率并非是真实的。而本发明提供的上述方法,保证了被检件检漏时可以执行统一的操作流程及示漏气体压力的一致性,从而使得出的漏率数值真实可靠无误。
图2是利用实施例1装置进行密封性检测的一个具体检测方法的流程示意图。上述检测过程包括:
执行步骤S1:开启阀V2,启动泵,对气密室5进行抽真空操作。
例如,可以在气密室5的压力表的读数P≤200Pa时,关闭阀V2,结束抽真空操作。
执行步骤S2:开启阀V1,向气密室5内通入示漏气体(比如,氦气),在所述气密室5内的气压达到特定值(比如,压力表的读数为0.236MPa)后,开启阀V4、并启动检漏仪(具体可以是英福康INFICON公司的氦气检漏仪UL1000),开始检漏。检漏完成后关闭阀V4。
在检漏过程中,为避免密闭腔7内的原有气体影响检测结果,可以在向气密室5通入示漏气体前,打开阀V4、并利用检漏仪抽空密闭腔7,在密闭腔7的真空度符合检漏要求后,关闭阀门V4。该抽真空步骤可与步骤S1同步进行。
检漏完成后,还可执行步骤S3:开启阀V2、并启动泵,通过管路排出所述气密室5内的示漏气体;示漏气体排出完毕后,关闭V2及泵。之后开启阀V3,充惰性气体(比如,氮气)至气密室5。而后,就可以将被检件自气密室5拆除。
实施例2
与实施例1检测装置的结构基本相同,不同之处仅在于:实施例2检测装置中,用于安装被检件的构件(大体相当于图1中的隔离板57),相对于气密室5或密闭腔7,是可拆卸、更换的。这使得在上述检测装置只需要更换上述构件,就可以检测不同尺寸的被检件。实施例2检测装置的检测原理及检测过程与实施例1相同,不予赘述。
图3是本发明密封性检测装置实施例2的立体结构剖视图。如图3所示,所述检测装置主要包括壳体21、检测胎具23与安装板25。
检测胎具23上端开口,且***尺寸与安装板25相匹配,因而安装板25能够密闭接合在检测胎具23的上端。安装板25的中心开设有孔,该孔的尺寸与被检件32的***尺寸相匹配,使得被检件32能够以密闭接合的方式安装在所述孔内。检测胎具23下端的开口K2为KF25接口,用于连接检漏仪。检测胎具23与安装板25大体围成了密闭腔7(参图1),作为被检件32与检漏仪之间的气体通道。
壳体21的上、下端均设置有开口。壳体21以下端抵压在安装板25的方式放置在安装板25上,并且壳体21下端的开口暴露出位于安装板25中央的整个被检件32。壳体21上端的开口K1可通过一个多通接口(比如,四通接头)连接泵、示漏气体源、惰性气体源等。壳体21与安装板25围成了气密室5(参图1),作为示漏气体源、泵等与被检件32之间的气体通道。
所述检测装置的主体结构大体呈圆柱体。锁紧结构41沿该圆柱体的轴向挤压所述壳体21、安装板25与检测胎具23,使整个组装结构保持为一体。
被检件32与安装板25的接合面之间,以及安装板25与检测胎具23的接合面之间,均采用“O”圈密封。因安装板25两侧存在压差,故检漏时“O”圈被挤压变形,形成可靠的圆环密封线。“O”圈具有高弹性,较高的耐磨性和机械强度,并且在常温下具有密封可靠,可反复拆卸安装。
如图4所示,用于容纳“O”圈的“O”圈密封槽为单边燕尾槽,防止更换和安装过程中“O”圈掉落造成的“O”图表面划伤等问题,且节约时间、提高了检漏效率。
“O”圈材料可采用氟橡胶。其优点为各种气体在氟橡胶中有较小的扩散速度和较大的溶解度,透气性很小,防止因“O”圈自身问题造成检漏失误或漏率不准确等问题,在温度≤200℃的条件下有很长的使用寿命。
本发明虽然已以较佳实施例公开如上,但其并不是用来限定本发明,任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内,都可以利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案做出可能的变动和修改,因此,凡是未脱离本发明技术方案的内容,依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化及修饰,均属于本发明技术方案的保护范围。
Claims (10)
1.一种密封性检测装置,其特征在于,包括:
示漏气体源,用于向被检件的一侧提供示漏气体;
气密室,连接示漏气体源与被检件的所述一侧,并提供两者间的气密性通道;
检漏仪,连接被检件的另一侧,用于检测穿过被检件的示漏气体。
2.根据权利要求1所述的密封性检测装置,其特征在于,所述示漏气体包括氦气。
3.根据权利要求1所述的密封性检测装置,其特征在于,还包括泵,所述泵用于从所述气密室向外抽气。
4.根据权利要求1或3所述的密封性检测装置,其特征在于,还包括惰性气体源,所述惰性气体源用于向所述气密室提供惰性气体。
5.根据权利要求4所述的密封性检测装置,其特征在于,所述惰性气体包括氮气。
6.根据权利要求1所述的密封性检测装置,其特征在于,还包括压力表,用于获得所述气密室内的气压。
7.根据权利要求1所述的密封性检测装置,其特征在于,所述检漏仪与被检件的所述另一侧之间为气密性连接。
8.利用权利要求1至7任一项装置进行密封性检测的方法,其特征在于,包括:
向气密室通入示漏气体,在所述气密室内的气压达到特定值后,开启检漏仪进行检漏。
9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,通入示漏气体前,对所述气密室进行抽真空操作。
10.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,检漏完成后,排出所述气密室内的示漏气体,之后充入惰性气体。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201410003542.4A CN103822761B (zh) | 2014-01-03 | 2014-01-03 | 密封性检测装置及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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CN201410003542.4A CN103822761B (zh) | 2014-01-03 | 2014-01-03 | 密封性检测装置及方法 |
Publications (2)
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---|---|
CN103822761A true CN103822761A (zh) | 2014-05-28 |
CN103822761B CN103822761B (zh) | 2017-01-04 |
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Family Applications (1)
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
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Granted publication date: 20170104 Termination date: 20180103 |