CN105366953A - 喷淋装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种喷淋装置，包括数个喷淋单元(1)，每个喷淋单元(1)包括数根喷淋管(11)、及分别安装于每根喷淋管(11)外表面的数个喷嘴(12)，所述数个喷淋单元(1)的喷淋流量和喷淋压力分别独立进行控制，并且该喷淋装置中每个喷嘴(12)的喷淋角度可以独立进行控制，从而使得所述数个喷淋单元(1)可以分别进行独立控制，可保证大尺寸基板进行喷淋制程时的均匀性。

Description

喷淋装置

技术领域

本发明涉及湿蚀刻设备，尤其涉及一种用于湿蚀刻设备中的喷淋装置。

背景技术

喷淋式蚀刻机主要应用于TFT-LCD(ThinFilmTransistor-LiquidCrystalDisplay，薄膜场效应晶体管-液晶显示器面板)的薄化，通过减小玻璃厚度，从而达到使最终产品更轻更薄、显示色彩更加炫丽、触控操作更加灵敏的作用，因而喷淋式蚀刻机是TFT-LCD面板制造过程的关键设备之一。

随着电子行业的升温和目前国内外手机、平板电脑、照相机、摄像机等电子产品的产量的增加，市场对TFT-LCD面板的需求与日剧增，TFT-LCD面板制造企业对液晶面板薄化工序设备的需求将越来越多，因此，液晶面板薄化成套设备的市场前景非常广阔。目前，国内没有掌握液晶面板薄化核心技术，不能生产液晶面板薄化成套设备，全球仅有美国、日本、韩国等少数国家能生产此类设备，国内所有同类设备均从韩国和日本进口。

如图1所示，传统湿法蚀刻机台的喷淋装置一般包括数根喷淋管100、及设于每根喷淋管100上的数个喷头200。喷淋模式一般采用一体化设计，无法独立控制蚀刻的区域，整体均一性受PVD(PhysicalVaporDeposition，物理气相沉积)膜质及自身机台设计影响，可调整性差；其中喷淋的流量、压力、角度均采用一体化的设计，故喷淋制程无法针对PVD成膜的膜质(凹形，凸形，波浪形)进行调整，因此，有必要提供一种喷淋装置，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种喷淋装置，可实现对数个喷淋单元的喷淋制程分别进行独立控制。

为实现上述目的，本发明提供一种喷淋装置，包括数个喷淋单元，每个喷淋单元包括数根喷淋管、及分别安装于每根喷淋管外表面的数个喷嘴，从而使得所述数个喷淋单元可以分别进行独立控制。

所述数个喷淋单元呈矩阵分布。

所述喷淋单元的数量为4个。

该4个喷淋单元呈“田”字形分布。

所述数个喷淋单元中的喷淋流量和喷淋压力分别独立进行控制。

每个喷嘴的喷淋角度可以独立进行控制。

所述喷嘴可拆卸地安装于喷淋管上。

所述喷淋装置用于湿蚀刻制程。

所述喷淋装置用于TFT-LCD面板的湿蚀刻制程。

本发明的有益效果：本发明的喷淋装置，通过设置数个喷淋单元，且所述数个喷淋单元的喷淋流量和喷淋压力分别独立进行控制，并且该喷淋装置中每个喷嘴可以独立进行控制，从而实现对所述数个喷淋单元的喷淋制程分别进行独立控制，可保证大尺寸基板进行喷淋制程时的均匀性。

附图说明

为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。

附图中，

图1为现有湿蚀刻设备中的喷淋装置的结构示意图；

图2为本发明的喷淋装置的结构示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。

请参阅图2，本发明提供一种喷淋装置，包括数个喷淋单元1，每个喷淋单元1包括数根喷淋管11、及分别安装于每根喷淋管11外表面的数个喷嘴12，从而使得所述数个喷淋单元1可以分别进行独立控制。

优选的，所述数个喷淋单元1呈矩阵分布。

优选的，所述喷淋单元1的数量为4个，该4个喷淋单元1呈“田”字形分布。

具体的，所述数个喷淋单元1中的喷淋流量和喷淋压力分别独立进行控制。

优选的，所述喷淋装置中，每个喷嘴12的喷淋角度可以独立进行控制。

优选的，所述喷嘴12可拆卸地安装于喷淋管11上。

具体的，所述喷淋装置可以用于湿蚀刻制程，尤其是用于TFT-LCD面板的湿蚀刻制程。进一步的，所述喷淋装置可应用于湿蚀刻设备中，该喷淋装置用于向待蚀刻的基板喷淋蚀刻液进行蚀刻，相比于现有技术中只设置一个整体的喷淋单元的喷淋装置，本发明的喷淋装置，通过设置数个喷淋单元，从而可以对对应于基板上不同区域的喷淋单元进行独立的控制，包括喷淋流量、喷淋压力和喷淋角度，可以有效预防对大基板进行蚀刻时造成的不均匀问题，提高大基板蚀刻的均一性。

进一步的，本发明的喷淋装置除了可以对一整块大基板进行喷淋制程外，还可以对对应于数个喷淋单元排列的数个待蚀刻基板同时进行喷淋制程，从而可以节约成本，提高生产效率。

综上所述，本发明提供的一种喷淋装置，通过设置数个喷淋单元，且所述数个喷淋单元的喷淋流量和喷淋压力分别独立进行控制，并且该喷淋装置中每个喷嘴的喷淋角度可以独立进行控制，从而实现对所述数个喷淋单元的喷淋制程分别进行独立控制，可保证大尺寸基板进行喷淋制程时的均匀性。

以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明后附的权利要求的保护范围。

Claims (9)

1.一种喷淋装置，其特征在于，包括数个喷淋单元(1)，每个喷淋单元(1)包括数根喷淋管(11)、及分别安装于每根喷淋管(11)外表面的数个喷嘴(12)，从而使得所述数个喷淋单元(1)可以分别进行独立控制。

2.如权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述数个喷淋单元(1)呈矩阵分布。

3.如权利要求2所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋单元(1)的数量为4个。

4.如权利要求3所述的喷淋装置，其特征在于，该4个喷淋单元(1)呈“田”字形分布。

5.如权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述数个喷淋单元(1)中的喷淋流量和喷淋压力分别独立进行控制。

6.如权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，每个喷嘴(12)的喷淋角度可以独立进行控制。

7.如权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷嘴(12)可拆卸地安装于喷淋管(11)上。

8.如权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋装置用于湿蚀刻制程。

9.如权利要求8所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋装置用于TFT-LCD面板的湿蚀刻制程。