CN105174949A - 一种低损耗锌锆铌系微波介质陶瓷 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种低损耗锌锆铌系微波介质陶瓷，其组成为ZnZr(Nb_1-xA_x)₂O₈，其中A＝Ta⁵⁺或Sb⁵⁺，0≤x≤0.1；先将ZnO、ZrO₂、TiO₂、Nb₂O₅、Ta₂O₅、Sb₂O₅原料按化学式配料，再球磨、烘干、过筛，再于1050～1150℃预烧4小时；造粒后压制成型为坯体，于1225～1275℃烧结，制得微波介质陶瓷。本发明由于采用Ta⁵⁺或Sb⁵⁺对Nb⁵⁺进行置换，提高了微波介电性能，其介电常数为25.98～26.27，谐振频率温度系数达到-56.02～-56.99ppm/℃，而品质因数最大值达到75800～89400GHz。本发明制备工艺简单，过程环保，是一种具有前途的微波介质材料。

Description

一种低损耗锌锆铌系微波介质陶瓷

技术领域

本发明属于一种以成分为特征的陶瓷组合物，特别涉及一种新型的低损耗锌锆铌系微波介质陶瓷及其制备方法。

背景技术

微波介质陶瓷(MWDC)是一种工作在微波频段的信息功能陶瓷材料，其具有质量轻、成本低、介电常数高、损耗低、谐振频率温度系数小等特点，在制造介质谐振器、介质滤波器、介质振荡器、介质谐振天线、双工器钝、电容器等微波电子元器件时得到大量的应用。随着现代通信技术的发展，小型化、集成化、高品质化、低成本化是微波元器件未来发展的必然方向。开发具有高性能和稳定性的微波介质陶瓷材料来满足微波元器件的需求将起着至关重要的作用，这也是推动现代移动通信、智能交通、军用雷达***等持续高速发展的关键。

钨锰矿结构的ZnZrNb₂O₈系微波介质陶瓷是近来刚开发的新型的低损耗微波介质陶瓷，其具有优异的微波介电性能，介电常数为16.5，品质因数为534500GHz，谐振频率温度系数为-49.8ppm/℃。

但目前对其制备方法和改性的研究的报道较少。本发明采用传统固相法，采用钽离子和锑离子分别对ZnZrNb₂O₈陶瓷Nb离子进行置换，保证其介电常数度基本保持不变的基础上，大幅度的提高了铌酸钕陶瓷的品质因数，使其成为一种理想的微波介质陶瓷材料。

发明内容

本发明的目的，是为进一步提高ZnZrNb₂O₈陶瓷的微波介电性能，提供一种以ZnO、ZrO₂、Nb₂O₅为主要原料，并以掺杂适量钽离子或锑离子，以制备出高品质因数Q×f锌锆铌系微波介质陶瓷。

本发明通过如下技术方案予以实现。

一种低损耗锌锆铌系微波介质陶瓷，其组成为ZnZr(Nb_1-xA_x)₂O₈，其中A＝Ta⁵⁺或Sb⁵⁺，0≤x≤0.1；

上述锌锆铌系微波介质陶瓷的制备方法，具有以下步骤：

(1)将ZnO、ZrO₂、Nb₂O₅、Ta₂O₅、Sb₂O₅原料，按化学式ZnZr(Nb_1-xA_x)₂O₈，其中A＝Ta⁵⁺或Sb⁵⁺，0≤x≤0.1进行配料；按原料：去离子水：磨球＝1:16:15的比例加入聚酯罐中，球磨6～12小时；

(2)将步骤⑴球磨后的原料置于干燥箱中于80～130℃烘干，烘干后过40目筛，获得颗粒均匀的粉料；

(3)将步骤⑵混合均匀的粉料在1050～1150℃预烧4小时；

(4)在步骤⑶预烧后的粉料放入聚酯罐中，加入去离子水和氧化锆球后，球磨6-8小时；再烘干后于粉料中外加重量百分比含量为6～8％的石蜡作为粘合剂进行造粒，过80目筛，再用粉末压片机成型为坯体，再将坯体于1225～11275℃烧结，保温2～5小时，制得锌锆铌系微波介质陶瓷；

(5)测试制得的锌锆铌系微波介质陶瓷的微波介电性能。

所述步骤(1)的ZnO、ZrO₂、Nb₂O₅、Ta₂O₅、Sb₂O₅原料的纯度大于99.9％。

所述步骤(1)的x＝0.08。

所述步骤(3)预烧温度为1100℃。

所述步骤(4)的烧结温度为1250℃，保温4小时。

所述步骤(4)的压片机的工作压强为7MPa，坯体规格为Φ10mm×5mm的圆柱体。

本发明由于采用Ta⁵⁺或Sb⁵⁺对Nb⁵⁺进行置换，制备的ZnZr(Nb_1-xA_x)₂O₈陶瓷，当x＝0.08，烧结温度为1250℃，保温时间4h，一次球磨，二次球磨时间均为6h；介电常数为25.98～26.27，谐振频率温度系数达到-56.02～-56.99ppm/℃，而品质因数最大值达到75800～89400GHz。由于Ta⁵⁺或Sb⁵半径较Nb⁵⁺小，置换后导致锌锆铌陶瓷的晶胞体积减小，堆积密度增大，因此品质因数得到了较大的提升。此外，该制备工艺简单，过程环保，制备简单，是一种有前途的微波介质材料。

具体实施方式

本发明采用纯度大于99.9％的化学原料ZnO、ZrO₂、Nb₂O₅、Ta₂O₅、Sb₂O₅制备高品质因数ZnZrNb₂O₈微波介质陶瓷。

本发明将原料ZnO、ZrO₂、Nb₂O₅、Ta₂O₅、Sb₂O₅按化学式ZnZr(Nb_1-xA_x)₂O₈(0≤x≤0.1)(其中A＝Ta⁵⁺或Sb⁵⁺)进行配料；用料:去离子水:磨球＝1:16:15的比例加入聚酯罐中，球磨6～12小时；将球磨后的原料置于红外干燥箱中于80～130℃烘干，过40目筛，再于1050～1150℃煅烧4小时；再将煅烧后的陶瓷粉料放入球磨罐中，然后加入氧化锆球和去离子水球磨6～12小时后烘干；再在烘干后的陶瓷粉料中外加重量百分比为6～8％的石蜡粘合剂进行造粒，过80目筛后，用粉末压片机于7MPa的压力下将粉末压成直径为10mm，厚度为5mm的生坯；将生坯在1225～1275℃烧结，保温2～5小时，制得微波介质陶瓷；最后通过网络分析仪及相关测试夹具测试制品的微波介电性能。

本发明具体实施例如下。

实施例1

1.依照微波介质陶瓷组分ZnZrNbO₈,称取ZnO-3.4603g、ZrO₂-5.2388g、Nb₂O₅-11.3009g配料，共20g；混合粉料加入聚酯罐中，加入160ml去离子水和150g锆球后，在行星式球磨机上球磨6小时，球磨机转速为1000转/分；

2.将球磨后的原料置于干燥箱中，于120℃烘干并过40目筛，获得颗粒均匀的粉料；

3.将粉料于1100℃煅烧4小时；

4.将煅烧后的粉料放入聚酯罐中，二次球磨6小时，出料后烘干，过40目筛；然后加入重量百分比为6％的石蜡作为粘合剂进行造粒，并过80目筛；再用粉末压片机以7MPa的压力压成直径为10mm，厚度为5mm的坯体；

5.将坯体于1250℃烧结，保温4小时，制得微波介质锌锆铌陶瓷；

最后，通过网络分析仪及相关测试夹具测试所得样品微波特性。

实施例2

1.依照微波介质陶瓷组分ZnZrNbO₈,称取ZnO-3.4603g、ZrO₂-5.2388g、Nb₂O₅-11.3009g配料，共20g；混合粉料加入聚酯罐中，加入160ml去离子水和150g锆球后，在行星式球磨机上球磨6小时，球磨机转速为1000转/分；

2.将球磨后的原料置于干燥箱中，于120℃烘干并过40目筛，获得颗粒均匀的粉料；

3.将粉料于1100℃煅烧4小时；

4.将煅烧后的粉料放入聚酯罐中，二次球磨6小时，出料后烘干，过40目筛；然后加入重量百分比为6％的石蜡作为粘合剂进行造粒，并过80目筛；再用粉末压片机以7MPa的压力压成直径为10mm，厚度为5mm的坯体；

5.将坯体于1225℃烧结，保温4小时，制得微波介质锌锆铌陶瓷；

最后，通过网络分析仪及相关测试夹具测试所得样品微波特性。

实施例3

1.依照微波介质陶瓷组分ZnZrNbO₈,称取ZnO-3.4603g、ZrO₂-5.2388g、Nb₂O₅-11.3009g配料，共20g；混合粉料加入聚酯罐中，加入160ml去离子水和150g锆球后，在行星式球磨机上球磨6小时，球磨机转速为1000转/分；

2.将球磨后的原料置于干燥箱中，于120℃烘干并过40目筛，获得颗粒均匀的粉料；

3.将粉料于1100℃煅烧4小时；

4.将煅烧后的粉料放入聚酯罐中，二次球磨6小时，出料后烘干，过40目筛；然后加入重量百分比为6％的石蜡作为粘合剂进行造粒，并过80目筛；再用粉末压片机以7MPa的压力压成直径为10mm，厚度为5mm的坯体；

5.将坯体于1275℃烧结，保温4小时，制得微波介质锌锆铌陶瓷；

最后，通过网络分析仪及相关测试夹具测试所得样品微波特性。

实施例4

1.依照微波介质陶瓷组分ZnZrNbO₈,称取ZnO-3.4603g、ZrO₂-5.2388g、Nb₂O₅-11.3009g配料，共20g；混合粉料加入聚酯罐中，加入160ml去离子水和150g锆球后，在行星式球磨机上球磨6小时，球磨机转速为1000转/分；

2.将球磨后的原料置于干燥箱中，于120℃烘干并过40目筛，获得颗粒均匀的粉料；

3.将粉料于1050℃煅烧4小时；

4.将煅烧后的粉料放入聚酯罐中，二次球磨6小时，出料后烘干，过40目筛；然后加入重量百分比为6％的石蜡作为粘合剂进行造粒，并过80目筛；再用粉末压片机以7MPa的压力压成直径为10mm，厚度为5mm的坯体；

5.将坯体于1250℃烧结，保温4小时，制得微波介质锌锆铌陶瓷；

最后，通过网络分析仪及相关测试夹具测试所得样品微波特性。

实施例5

1.依照微波介质陶瓷组分ZnZrNbO₈,称取ZnO-3.4603g、ZrO₂-5.2388g、Nb₂O₅-11.3009g配料，共20g；混合粉料加入聚酯罐中，加入160ml去离子水和150g锆球后，在行星式球磨机上球磨6小时，球磨机转速为1000转/分；

2.将球磨后的原料置于干燥箱中，于120℃烘干并过40目筛，获得颗粒均匀的粉料；

3.将粉料于1150℃煅烧4小时；

4.将煅烧后的粉料放入聚酯罐中，二次球磨6小时，出料后烘干，过40目筛；然后加入重量百分比为6％的石蜡作为粘合剂进行造粒，并过80目筛；再用粉末压片机以7MPa的压力压成直径为10mm，厚度为5mm的坯体；

5.将坯体于1250℃烧结，保温4小时，制得微波介质锌锆铌陶瓷；

最后，通过网络分析仪及相关测试夹具测试所得样品微波特性。

实施例6

1.依照微波介质陶瓷组分ZnZrNbO₈,称取ZnO-3.4603g、ZrO₂-5.2388g、Nb₂O₅-11.3009g配料，共20g；混合粉料加入聚酯罐中，加入160ml去离子水和150g锆球后，在行星式球磨机上球磨8小时，球磨机转速为1000转/分；

2.将球磨后的原料置于干燥箱中，于120℃烘干并过40目筛，获得颗粒均匀的粉料；

3.将粉料于1100℃煅烧4小时；

4.将煅烧后的粉料放入聚酯罐中，二次球磨6小时，出料后烘干，过40目筛；然后加入重量百分比为6％的石蜡作为粘合剂进行造粒，并过80目筛；再用粉末压片机以7MPa的压力压成直径为10mm，厚度为5mm的坯体；

5.将坯体于1250℃烧结，保温4小时，制得微波介质锌锆铌陶瓷；

最后，通过网络分析仪及相关测试夹具测试所得样品微波特性。

实施例7

1.依照微波介质陶瓷组分ZnZrNbO₈,称取ZnO-3.4603g、ZrO₂-5.2388g、Nb₂O₅-11.3009g配料，共20g；混合粉料加入聚酯罐中，加入160ml去离子水和150g锆球后，在行星式球磨机上球磨6小时，球磨机转速为1000转/分；

2.将球磨后的原料置于干燥箱中，于120℃烘干并过40目筛，获得颗粒均匀的粉料；

3.将粉料于1100℃煅烧4小时；

4.将煅烧后的粉料放入聚酯罐中，二次球磨8小时，出料后烘干，过40目筛；然后加入重量百分比为6％的石蜡作为粘合剂进行造粒，并过80目筛；再用粉末压片机以7MPa的压力压成直径为10mm，厚度为5mm的坯体；

5.将坯体于1250℃烧结，保温4小时，制得微波介质锌锆铌陶瓷；

最后，通过网络分析仪及相关测试夹具测试所得样品微波特性。

实施例8

1.依照微波介质陶瓷组分ZnZrNbO₈,称取ZnO-3.4603g、ZrO₂-5.2388g、Nb₂O₅-11.3009g配料，共20g；混合粉料加入聚酯罐中，加入160ml去离子水和150g锆球后，在行星式球磨机上球磨8小时，球磨机转速为1000转/分；

2.将球磨后的原料置于干燥箱中，于120℃烘干并过40目筛，获得颗粒均匀的粉料；

3.将粉料于1100℃煅烧4小时；

4.将煅烧后的粉料放入聚酯罐中，二次球磨8小时，出料后烘干，过40目筛；然后加入重量百分比为6％的石蜡作为粘合剂进行造粒，并过80目筛；再用粉末压片机以7MPa的压力压成直径为10mm，厚度为5mm的坯体；

5.将坯体于1250℃烧结，保温4小时，制得微波介质锌锆铌陶瓷；

最后，通过网络分析仪及相关测试夹具测试所得样品微波特性。

实施例9

1.依照微波介质陶瓷组分ZnZr(Nb_1-xTa_x)₂O₈(x＝0.02)，称ZnO-3.4345g、ZrO₂-5.1997g、Ta₂O₅-0.3729g、Nb₂O₅-10.9929g配料，共20g；混合粉料加入聚酯罐中，加入160ml去离子水和150g锆球后，在行星式球磨机上球磨6小时，球磨机转速为1000转/分；

2.将球磨后的原料置于干燥箱中，于120℃烘干并过40目筛，获得颗粒均匀的粉料；

3.将粉料于1100℃煅烧4小时；

4.将煅烧后的粉料放入聚酯罐中，二次球磨6小时，出料后烘干，过40目筛；然后加入重量百分比为6％的石蜡作为粘合剂进行造粒，并过80目筛；再用粉末压片机以7MPa的压力压成直径为10mm，厚度为5mm的坯体；

5.将坯体于1250℃烧结，保温4小时，制得微波介质锌锆铌陶瓷；

最后，通过网络分析仪及相关测试夹具测试所得样品微波特性。

实施例10

1.依照微波介质陶瓷组分ZnZr(Nb_1-xTa_x)₂O₈(x＝0.04)，称ZnO-3.4092g、ZrO₂-5.1664g、Ta₂O₅-0.7402g、Nb₂O₅-10.6892g配料，共20g；混合粉料加入聚酯罐中，加入160ml去离子水和150g锆球后，在行星式球磨机上球磨6小时，球磨机转速为1000转/分；

2.将球磨后的原料置于干燥箱中，于120℃烘干并过40目筛，获得颗粒均匀的粉料；

3.将粉料于1100℃煅烧4小时；

4.将煅烧后的粉料放入聚酯罐中，二次球磨6小时，出料后烘干，过40目筛；然后加入重量百分比为6％的石蜡作为粘合剂进行造粒，并过80目筛；再用粉末压片机以7MPa的压力压成直径为10mm，厚度为5mm的坯体；

5.将坯体于1250℃烧结，保温4小时，制得微波介质锌锆铌陶瓷；

最后，通过网络分析仪及相关测试夹具测试所得样品微波特性。

实施例11

1.依照微波介质陶瓷组分ZnZr(Nb_1-xTa_x)₂O₈(x＝0.06)，称ZnO-3.3843g、ZrO₂-5.1236g、Ta₂O₅-1.1022g、Nb₂O₅-10.3899g配料，共20g；混合粉料加入聚酯罐中，加入160ml去离子水和150g锆球后，在行星式球磨机上球磨6小时，球磨机转速为1000转/分；

2.将球磨后的原料置于干燥箱中，于120℃烘干并过40目筛，获得颗粒均匀的粉料；

3.将粉料于1100℃煅烧4小时；

4.将煅烧后的粉料放入聚酯罐中，二次球磨6小时，出料后烘干，过40目筛；然后加入重量百分比为6％的石蜡作为粘合剂进行造粒，并过80目筛；再用粉末压片机以7MPa的压力压成直径为10mm，厚度为5mm的坯体；

5.将坯体于1250℃烧结，保温4小时，制得微波介质锌锆铌陶瓷；

最后，通过网络分析仪及相关测试夹具测试所得样品微波特性。

实施例12

1.依照微波介质陶瓷组分ZnZr(Nb_1-xTa_x)₂O₈(x＝0.08)，称ZnO-3.3597g、ZrO₂-5.0864g、Ta₂O₅-1.4590g、Nb₂O₅-10.0949g配料，共20g；混合粉料加入聚酯罐中，加入160ml去离子水和150g锆球后，在行星式球磨机上球磨6小时，球磨机转速为1000转/分；

2.将球磨后的原料置于干燥箱中，于120℃烘干并过40目筛，获得颗粒均匀的粉料；

3.将粉料于1100℃煅烧4小时；

4.将煅烧后的粉料放入聚酯罐中，二次球磨6小时，出料后烘干，过40目筛；然后加入重量百分比为6％的石蜡作为粘合剂进行造粒，并过80目筛；再用粉末压片机以7MPa的压力压成直径为10mm，厚度为5mm的坯体；

5.将坯体于1250℃烧结，保温4小时，制得微波介质锌锆铌陶瓷；

最后，通过网络分析仪及相关测试夹具测试所得样品微波特性。

实施例13

1.依照微波介质陶瓷组分ZnZr(Nb_1-xTa_x)₂O₈(x＝0.10)，称ZnO-3.3355g、ZrO₂-5.0497g、Ta₂O₅-1.8106g、Nb₂O₅-9.8043g配料，共20g；混合粉料加入聚酯罐中，加入160ml去离子水和150g锆球后，在行星式球磨机上球磨6小时，球磨机转速为1000转/分；

2.将球磨后的原料置于干燥箱中，于120℃烘干并过40目筛，获得颗粒均匀的粉料；

3.将粉料于1100℃煅烧4小时；

4.将煅烧后的粉料放入聚酯罐中，二次球磨6小时，出料后烘干，过40目筛；然后加入重量百分比为6％的石蜡作为粘合剂进行造粒，并过80目筛；再用粉末压片机以7MPa的压力压成直径为10mm，厚度为5mm的坯体；

5.将坯体于1250℃烧结，保温4小时，制得微波介质锌锆铌陶瓷；

最后，通过网络分析仪及相关测试夹具测试所得样品微波特性。

实施例14

1.依照微波介质陶瓷组分ZnZr(Nb_1-xTa_x)₂O₈(x＝0.10)，称ZnO-3.4518g、ZrO₂-5.2258g、Ta₂O₅-0.2744g、Nb₂O₅-11.0480g配料，共20g；混合粉料加入聚酯罐中，加入160ml去离子水和150g锆球后，在行星式球磨机上球磨6小时，球磨机转速为1000转/分；

2.将球磨后的原料置于干燥箱中，于120℃烘干并过40目筛，获得颗粒均匀的粉料；

3.将粉料于1100℃煅烧4小时；

4.将煅烧后的粉料放入聚酯罐中，二次球磨6小时，出料后烘干，过40目筛；然后加入重量百分比为6％的石蜡作为粘合剂进行造粒，并过80目筛；再用粉末压片机以7MPa的压力压成直径为10mm，厚度为5mm的坯体；

5.将坯体于1250℃烧结，保温4小时，制得微波介质锌锆铌陶瓷；

最后，通过网络分析仪及相关测试夹具测试所得样品微波特性。

实施例15

1.依照微波介质陶瓷组分ZnZr(Nb_1-xTa_x)₂O₈(x＝0.10)，称ZnO-3.4433g、ZrO₂-5.2130g、Ta₂O₅-0.5476g、Nb₂O₅-10.7961g配料，共20g；混合粉料加入聚酯罐中，加入160ml去离子水和150g锆球后，在行星式球磨机上球磨6小时，球磨机转速为1000转/分；

2.将球磨后的原料置于干燥箱中，于120℃烘干并过40目筛，获得颗粒均匀的粉料；

3.将粉料于1100℃煅烧4小时；

4.将煅烧后的粉料放入聚酯罐中，二次球磨6小时，出料后烘干，过40目筛；然后加入重量百分比为6％的石蜡作为粘合剂进行造粒，并过80目筛；再用粉末压片机以7MPa的压力压成直径为10mm，厚度为5mm的坯体；

5.将坯体于1250℃烧结，保温4小时，制得微波介质锌锆铌陶瓷；

最后，通过网络分析仪及相关测试夹具测试所得样品微波特性。

实施例16

1.依照微波介质陶瓷组分ZnZr(Nb_1-xTa_x)₂O₈(x＝0.10)，称ZnO-3.4349g、ZrO₂-5.2003g、Ta₂O₅-0.8194g、Nb₂O₅-10.5454g配料，共20g；混合粉料加入聚酯罐中，加入160ml去离子水和150g锆球后，在行星式球磨机上球磨6小时，球磨机转速为1000转/分；

2.将球磨后的原料置于干燥箱中，于120℃烘干并过40目筛，获得颗粒均匀的粉料；

3.将粉料于1100℃煅烧4小时；

4.将煅烧后的粉料放入聚酯罐中，二次球磨6小时，出料后烘干，过40目筛；然后加入重量百分比为6％的石蜡作为粘合剂进行造粒，并过80目筛；再用粉末压片机以7MPa的压力压成直径为10mm，厚度为5mm的坯体；

5.将坯体于1250℃烧结，保温4小时，制得微波介质锌锆铌陶瓷；

最后，通过网络分析仪及相关测试夹具测试所得样品微波特性。

实施例17

1.依照微波介质陶瓷组分ZnZr(Nb_1-xTa_x)₂O₈(x＝0.10)，称ZnO-3.4266g、ZrO₂-5.1876g、Ta₂O₅-1.0899g、Nb₂O₅-10.2959g配料，共20g；混合粉料加入聚酯罐中，加入160ml去离子水和150g锆球后，在行星式球磨机上球磨6小时，球磨机转速为1000转/分；

2.将球磨后的原料置于干燥箱中，于120℃烘干并过40目筛，获得颗粒均匀的粉料；

3.将粉料于1100℃煅烧4小时；

4.将煅烧后的粉料放入聚酯罐中，二次球磨6小时，出料后烘干，过40目筛；然后加入重量百分比为6％的石蜡作为粘合剂进行造粒，并过80目筛；再用粉末压片机以7MPa的压力压成直径为10mm，厚度为5mm的坯体；

5.将坯体于1250℃烧结，保温4小时，制得微波介质锌锆铌陶瓷；

最后，通过网络分析仪及相关测试夹具测试所得样品微波特性。

实施例18

1.依照微波介质陶瓷组分ZnZr(Nb_1-xTa_x)₂O₈(x＝0.10)，称ZnO-3.4183g、ZrO₂-5.1750g、Ta₂O₅-1.3594g、Nb₂O₅-10.0476g配料，共20g；混合粉料加入聚酯罐中，加入160ml去离子水和150g锆球后，在行星式球磨机上球磨6小时，球磨机转速为1000转/分；

2.将球磨后的原料置于干燥箱中，于120℃烘干并过40目筛，获得颗粒均匀的粉料；

3.将粉料于1100℃煅烧4小时；

4.将煅烧后的粉料放入聚酯罐中，二次球磨6小时，出料后烘干，过40目筛；然后加入重量百分比为6％的石蜡作为粘合剂进行造粒，并过80目筛；再用粉末压片机以7MPa的压力压成直径为10mm，厚度为5mm的坯体；

5.将坯体于1250℃烧结，保温4小时，制得微波介质锌锆铌陶瓷；

最后，通过网络分析仪及相关测试夹具测试所得样品微波特性。

本发明具体实施例的各项关键参数及介电性能检测结果详见表1。

表1

本发明实施例的检测方法如下:

1.样品的直径和厚度使用千分尺进行测量。

2.借助Agilent8720ES网络分析仪，采用开始抢平行板法测量所制备圆柱形陶瓷材料的节电常数，将测试夹具放入ESPECMC-710F型高低温循环温箱进行谐振频率温度系数的测量，温度范围为25-85℃测试频率在8-12GHz范围内。

3.采用闭式腔法测量所制备圆柱形陶瓷样品的品质因数，测试频率在5-7GHz范围内。

本发明不局限于上述实施例，很多细节的变化是可能的，但这并不因此违背本发明的范围和精神。

Claims (6)

1.一种低损耗锌锆铌系微波介质陶瓷，其组成为ZnZr(Nb_1-xA_x)₂O₈，其中A＝Ta⁵⁺或Sb⁵⁺，0≤x≤0.1。

上述锌锆铌系微波介质陶瓷的制备方法，具有以下步骤：

(1)将ZnO、ZrO₂、Nb₂O₅、Ta₂O₅、Sb₂O₅原料，按化学式ZnZr(Nb_1-xA_x)₂O₈，其中A＝Ta⁵⁺或Sb⁵⁺，0≤x≤0.1进行配料；按原料：去离子水：磨球＝1:16:15的比例加入聚酯罐中，球磨6～12小时；

(2)将步骤⑴球磨后的原料置于干燥箱中于80～130℃烘干，烘干后过40目筛，获得颗粒均匀的粉料；

(3)将步骤⑵混合均匀的粉料在1050～1150℃预烧4小时；

(4)在步骤⑶预烧后的粉料放入聚酯罐中，加入去离子水和氧化锆球后，球磨6-8小时；再烘干后于粉料中外加重量百分比含量为6～8％的石蜡作为粘合剂进行造粒，过80目筛，再用粉末压片机成型为坯体，再将坯体于1225～11275℃烧结，保温2～5小时，制得锌锆铌系微波介质陶瓷；

(5)测试制得的锌锆铌系微波介质陶瓷的微波介电性能。

2.根据权利要求1的一种低损耗锌锆铌系微波介质陶瓷，其特征在于，所述步骤(1)的ZnO、ZrO₂、Nb₂O₅、Ta₂O₅、Sb₂O₅原料的纯度大于99.9％。

3.根据权利要求1的一种低损耗锌锆铌系微波介质陶瓷，其特征在于，所述步骤(1)的x＝0.08。

4.根据权利要求1的一种低损耗锌锆铌系微波介质陶瓷，其特征在于，所述步骤(3)预烧温度为1100℃。

5.根据权利要求1的一种低损耗锌锆铌系微波介质陶瓷，其特征在于，所述步骤(4)的烧结温度为1250℃，保温4小时。

6.根据权利要求1的一种低损耗锌锆铌系微波介质陶瓷，其特征在于，所述步骤(4)的压片机的工作压强为7MPa，坯体规格为Φ10mm×5mm的圆柱体。