CN105093806A - 一种uv掩膜板及其曝光方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种UV掩膜板及其曝光方法，其中，UV掩膜板包括：掩膜板本体和遮光片；所述掩膜板本体包括遮光区域和漏光区域；所述相邻遮光区域之间形成漏光区域；所述漏光区域为第一方向的缝隙或第二方向的缝隙；所述遮光片用于遮挡非曝光区域。本发明采用掩膜板与遮光片拼接遮挡方式对基板曝光，达到UV掩膜板共用的效果，不同尺寸的基板均可以采用本发明提供的UV掩膜板曝光显影制作，无需单独开打UV掩膜板，节约了显示装置的制作成本。

Description

一种UV掩膜板及其曝光方法

技术领域

本发明涉及一种UV掩膜板及其曝光方法，属于液晶制造技术领域。

背景技术

液晶显示器(LCD，LiquidCrystalDisplay)等显示装置是一种被广泛应用的平面显示装置，其制作方法大体包括：提供两片平行的基板、涂布在该两片基板间的封框胶(sealant)以及灌注在封框胶和两片衬底基板所组成空间中的液晶；下基板上设置薄膜场效应晶体管(TFT，ThinFilmTransistor)，上基板衬底上设置彩膜(CF，ColorFilter)，通过TFT上的信号与电压改变来控制液晶盒中液晶分子的转动方向，从而达到控制每个像素点偏振光出射与否而达到显示目的。

现有的液晶加工工艺中，采用液晶滴下方式填充液晶时，由于在封框胶固化前，封框胶可与液晶接触，因此，业界一般采用UV固化的方式来防止由于液晶和封框胶直接接触造成对液晶的污染。所谓的UV固化(紫外固化)，主要是利用遮挡物(掩膜板，也可称为掩模板)遮住液晶区域(也叫显示区、即A/A区)，暴露涂有封框胶的区域以利用UV固化设备对封框胶进行UV固化，通常将这种掩膜板称为UV掩膜板。

对封框胶固化时，针对不同尺寸的产品需要开发相应尺寸的UV掩膜板，对每种尺寸的UV掩膜板只是进行一次性的使用。所有不同尺寸的产品的UV掩膜板都是独立的，每开发一款产品就需要开发一款相对应的UV掩膜板，这种方式会增加显示装置的制作成本，不利于液晶制造成本的管控。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：如何使UV掩膜板适用于不同尺寸的产品而不需要单独制作UV掩膜板。

为实现上述的发明目的，本发明提供了一种UV掩膜板及其曝光方法。

一方面，本发明提供一种UV掩膜板，包括：掩膜板本体和遮光片；

所述掩膜板本体包括遮光区域和漏光区域；

所述相邻遮光区域之间形成漏光区域；所述漏光区域为第一方向的缝隙或第二方向的缝隙；

所述遮光片用于遮挡非曝光区域。

其中较优地，所述第一方向为横向；

所述第二方向为纵向。

其中较优地，所述遮光区域为矩形。

其中较优地，所述相邻两块遮光区域成列或成行排列。

其中较优地，所述缝隙的宽度与相邻液晶面板的间隙宽度相同。

其中较优地，所述缝隙的宽度是封框胶的宽度。

其中较优地，所述UV掩膜板的长宽与液晶面板长宽相同。

另一方面，本发明还提供一种UV掩膜板曝光方法，应用了上述的UV掩膜板和遮光片，包括如下步骤：

使所述缝隙对准曝光区域；

用所述遮光片覆盖非曝光区域；

曝光蚀刻形成刻蚀图案。

其中较优地，所述使缝隙对准曝光区域的步骤包括：

遮挡所述缝隙，使所述缝隙宽度减小至相邻液晶面板的间隙宽度或封框胶的宽度。

其中较优地，还包括移动所述UV掩膜板本体和所述遮光片完成其他曝光区域曝光。

本发明提供的UV掩膜板及其曝光方法，采用掩膜板与遮光片拼接遮挡方式对基板曝光，达到UV掩膜板共用的效果，不同尺寸的基板均可以采用本发明提供的UV掩膜板曝光显影制作，而无需单独制作UV掩膜板，节约了显示装置的制作成本。

附图说明

图1是本发明UV掩膜板结构示意图之一；

图2是本发明UV掩膜板结构示意图之二；

图3是本发明UV掩膜板与横向封框胶对齐示意图；

图4是本发明遮光片遮挡非曝光区域示意图；

图5是本发明UV掩膜板与纵向封框胶对齐示意图；

图6是本发明遮光片遮挡非曝光区域示意图；

图7是本发明UV掩膜板曝光方法流程示意图；

图8是本发明移动UV掩膜板与横向封框胶对齐示意图；

图9是本发明移动遮光片遮挡非曝光区域示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

如图1、图2所示，本发明提供一种UV掩膜板，该UV掩膜板包括：掩膜板本体1和遮光片2(图中未示出)；所述掩膜板本体1包括遮光区域11和漏光区域12；所述相邻遮光区域11之间形成漏光区域12；所述漏光区域12为第一方向的缝隙121或第二方向的缝隙122；所述遮光片2用于遮挡非曝光区域。下面对本发明提供的UV掩膜板展开详细的说明。

如图1、图2所示，第一方向的缝隙121与第二方向的缝隙122的方向根据液晶面板3的边缘设置成相应的形状，若液晶面板3为不规则的形状，则UV掩膜板可能也是不规则形状，遮光区域11也可能按实际情况设置呈不规则形状。二相邻的遮光区域11之间漏光区域12也可能是适应液晶面板3的边缘设置相应的形状。一般情况下液晶面板3的形状为矩形，因此，遮光区域11适应液晶面板3的边缘设置成矩形，相邻的遮光区11域形成的第一方向的缝隙121为横向，相邻的遮光区11域形成的第二方向的缝隙122为纵向。

如图3所示，对液晶面板3的封框胶固化时，利用遮光区11形成横向的第一方向的缝隙121，第一方向的缝隙121对准液晶面板3的横向封框胶固定。如图4所示，非曝光区域用遮光板2覆盖，对液晶面板3的横向封框胶固化，按此方法将所有横向封框胶固化。如图5所示，将遮光区11形成纵向的第二方向的缝隙122，第二方向的缝隙122对准液晶面板3的纵向封框胶固定。如图6所示，非曝光区域用遮光板2覆盖，对液晶面板3的纵向封框胶固化，按此方法将所有纵向封框胶固化。

为了尽可能减少遮光板2的使用，所述相邻遮光区域11之间形成漏第一方向的缝隙121或第二方向的缝隙122的宽度优选与相邻液晶面板的间隙宽度相同。这种方式在曝光固化相邻液晶面板的封框胶时，可以同时曝光相邻液晶面板的靠近的两条封框胶。如果缝隙宽度过大就需要足够多的遮光板2遮挡非曝光区域，造成曝光工序繁杂。如果缝隙宽度过小有可能导致封框胶不能完全曝光固化，影响液晶面板的稳定性。优选将所述缝隙的宽度设置为封框胶的宽度，对封框胶曝光时，缝隙对准封框胶以实现对封框胶的一次性精准曝光，由于缝隙宽度与封框胶宽度相同。因此，曝光时不用遮挡缝隙宽度，还可以使封框胶完全曝光固化。

如图1至图6所示，所述UV掩膜板的长宽与液晶面板长宽相同。当UV掩膜板的长度与液晶面板的长度相同时，所述相邻遮光区域11之间形成漏光区域12的长度与液晶面板的长度相同，因此曝光时第一方向的缝隙121与液晶面板3的横向(长度方向)的封框胶固定，完成液晶面板横向封框胶的固化。当UV掩膜板的宽度与液晶面板的宽度相同时，所述相邻遮光区域11之间形成漏光区域12的长度与液晶面板的宽度相同，因此曝光时第二方向的缝隙122与液晶面板3的纵向(长度方向)的封框胶固定，完成液晶面板纵向封框胶的固化。

为进一步体现本发明提供的UV掩膜板的优越性，本发明还提供一种UV掩膜板曝光方法，应用了时述的UV掩膜板和遮光片，如图7所示，包括如下步骤：使所述缝隙对准曝光区域；用所述遮光片覆盖非曝光区域；曝光蚀刻形成刻蚀图案。下面对本发明提供的UV掩膜板曝光方法展开详细的说明。

如图3所示，采用本发明提供的UV掩膜板曝光方法曝光时，首先需要将相邻遮光区域11之间形成的漏光区域对准曝光区域，如果所述漏光区域12形成的缝隙宽度宽于待曝光相邻液晶面板的间隙宽度封框胶的宽度，使用遮光板遮挡所述缝隙，使所述缝隙宽度减小至相邻液晶面板的间隙宽度或封框胶的宽度。如图4所示，将所述漏光区域12形成的缝隙对准曝光区域后，将非曝光区域用遮光板遮挡，避免其它区域曝光。对当前的曝光区域曝光形成刻蚀图案。如图8、图9所示完成一次曝光后，移动所述UV掩膜板本体和所述遮光片完成其他曝光区域曝光。完成所有横向封框胶曝光固化后采用上述同样的方法曝光固化纵向封框胶。具体过程与曝光固化横向封框胶的方法相同，再次不再一一赘述了。

综上所述，本发明提供的UV掩膜板及其曝光方法，采用掩膜板与遮光片拼接遮挡方式对基板曝光，达到UV掩膜板共用的效果，不同尺寸的基板均可以采用本发明提供的UV掩膜板曝光显影制作，而无需单独开打UV掩膜板，节约了显示装置的制作成本。

以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。

Claims (10)

1.一种UV掩膜板，用于液晶面板的封框胶固化，其特征在于，包括：掩膜板本体和遮光片；

所述掩膜板本体包括遮光区域和漏光区域；

相邻所述遮光区域之间形成漏光区域；所述漏光区域为第一方向的缝隙或第二方向的缝隙；

所述遮光片用于遮挡非曝光区域。

2.如权利要求1所述的UV掩膜板，其特征在于，所述第一方向为横向；

所述第二方向为纵向。

3.如权利要求1所述的UV掩膜板，其特征在于，所述遮光区域为矩形。

4.如权利要求1所述的UV掩膜板，其特征在于，所述相邻遮光区域成列或成行排列。

5.如权利要求1所述的UV掩膜板，其特征在于，所述缝隙的宽度与相邻液晶面板的间隙宽度相同。

6.如权利要求1所述的UV掩膜板，其特征在于，所述缝隙的宽度是封框胶的宽度。

7.如权利要求1所述的UV掩膜板，其特征在于，所述UV掩膜板的长宽与液晶面板长宽相同。

8.一种UV掩膜板曝光方法，其特征在于，应用了权利要求1-7任意一项所述的UV掩膜板和遮光片，包括如下步骤：

使所述缝隙对准曝光区域；

用所述遮光片覆盖非曝光区域；

曝光蚀刻形成刻蚀图案。

9.如权利要求8所述的曝光方法，其特征在于，使所述缝隙对准曝光区域的步骤包括：

遮挡所述缝隙，使所述缝隙宽度减小至相邻液晶面板的间隙宽度或封框胶的宽度。

10.如权利要求8所述的曝光方法，其特征在于，还包括移动所述UV掩膜板本体和所述遮光片完成其他曝光区域的曝光。