CN105092646A - 一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器及其制备方法，属于微电子机械***气体传感器技术领域，其目的在于提出一种传感器，通过以金属氧化物纳米粒子作为催化媒介减小石墨烯薄膜对气体响应时气体分子电子转移的化学势垒，从而增强单一石墨烯薄膜的气体敏感特性。本发明基于石墨烯材料优异的气体敏感特性，在叉指电极上优先沉积一层纳米级的金属氧化物粒子，再沉积石墨烯薄膜层，通过加热工艺获得具有气体敏感增强效应的石墨烯/金属氧化物复合薄膜。本发明适用于气体传感器，实现对不同气体高灵敏度和高选择性探测。

Description

一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器及其制备方法
技术领域
本发明属于气体传感器和复合纳米材料技术领域，涉及一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器，尤其涉及一种基于石墨烯、金属氧化物复合纳米敏感材料制作而成的具有支撑及催化效应的气体传感器。
背景技术
随着人们健康意识的提高，室内空气污染的问题受到越来越多的关注。近年来，随着生产和生活方式更加现代化，越来越多的工作、文娱和体育活动都在室内进行，这样人们平均每天有80%甚至更多的时间在室内度过。因此，室内空气质量与人体健康的关系就显得更加密切。
化学性污染物是室内污染的主要物质，其一般包括甲醛、一氧化碳、苯系物、氨气、氡及其子体和悬浮颗粒等。而该类污染物的浓度往往较低，这给检测带来了困难。对于化学性污染物的检测，现在主流的检测方法有：气相色谱法、电化学法、红外光谱法、酚试剂分光光度法等几种常用的检测方法。这些检测方法虽然可以探测到痕量水平的污染气体，但在检测过程中存在需要采样、仪器操作复杂、分析时间长、价格昂贵、耗能较大等缺点。而气体传感器作为一种快速有效的分析手段，具有可实时测量、体积小、响应快、价格低、耗能少等优点，运用气体传感器为核心器件的遥感监控***可对环境中的空气污染物进行实时地监控、管理。鉴于此，亟待研究和发展一种灵敏度较高、选择性较好、稳定性较好、响应速度较快的气体传感器。
目前制约气体传感器发展的主要原因有：气体传感器的灵敏度较低、选择性较差、功耗大、制备工艺复杂、价格高等因素，而所有这些因素都与气体传感器所采用的敏感材料和气体传感器的结构有关。可以说，敏感材料与传感器的结构是新型气体传感器乃至新的气体传感器技术的基础与关键。
石墨烯作为一种新材料，已经受到各行各业研究人员的热烈追捧。其巨大的比表面积、极高的电导率、极低的本征噪声以及对电子授受变化极敏感等特性，使其在传感器领域获得广泛关注。然而，研究表明：由于单一的石墨烯材料具有对气体分子较弱的本征吸附力以及无差别的响应吸附特性，使其在灵敏度和选择性两方面受到致命性的制约。因此，现在行业的普遍共识是将石墨烯材料与其他功能性材料进行复合来提高单一石墨烯材料的气体敏感特性。
如申请号为201410166226.9的发明专利申请就公开了一种石墨烯基三元复合薄膜气体传感器及其制备方法，它由三元复合薄膜和基片构成，三元复合薄膜由石墨烯、金属或金属氧化物纳米颗粒、导电聚合物复合而成，该申请充分利用了石墨烯和纳米颗粒的高比表面积、优异的电学与物理化学特性，以及导电聚合物特异的气敏响应特性，三元复合使得不同材料间形成增益互补机制，增强了体系的气体敏感特性和稳定性；同时结合有序性良好的自组装工艺，可用于制备高灵敏的室温探测气体传感器。
然而，由于石墨烯具有热缩聚效应，即石墨烯在受热过程中将产生热缩聚作用，单一的石墨烯基薄膜在受热过程中没有支撑结点的支撑而产生收缩甚至发生薄膜***，从而减小对气体的灵敏度，致使气体传感器的灵敏度较低。
发明内容
本发明的发明目的在于：针对现有技术存在的问题，提供一种灵敏度较高的石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器及其制备方法。
为了实现上述目的，本发明采用的技术方案为：
一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器，包括敏感器件，所述敏感器件上设有纳米级金属氧化物颗粒薄膜，所述纳米级金属氧化物颗粒薄膜的金属氧化物颗粒之间存有孔隙；所述纳米级金属氧化物颗粒薄膜上设有还原氧化石墨烯薄膜，所述还原氧化石墨烯薄膜为氨基化还原氧化石墨烯薄膜、羟基化还原氧化石墨烯薄膜、羧基化还原氧化石墨烯薄膜、氟化还原氧化石墨烯薄膜和疏基化还原氧化石墨烯薄膜中的一种或多种；在还原氧化石墨烯薄膜与纳米级金属氧化物颗粒薄膜的接触界面上，还原氧化石墨烯薄膜的官能团与纳米级金属氧化物颗粒薄膜的金属氧化物颗粒键合。
作为本发明的优选方案，所述敏感器件为叉指电极，所述叉指电极为金电极或铝电极，所述叉指电极的叉指间距为20μm-50μm，所述叉指电极的叉指宽度为20μm-50μm，所述叉指电极的电极厚度为20nm-500nm。
作为本发明的优选方案，所述纳米级金属氧化物颗粒薄膜的纳米金属氧化物颗粒包括纳米氧化锌颗粒、纳米氧化锡颗粒、纳米氧化钨颗粒、纳米氧化钛颗粒、纳米氧化铟颗粒、纳米氧化锰颗粒和纳米氧化镍颗粒中的一种或多种。
作为本发明的优选方案，所述纳米级金属氧化物颗粒薄膜的纳米金属氧化物颗粒的粒径小于150nm。
一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器的制备方法，包括以下步骤：
步骤一、清洗叉指电极；
步骤二、制备氧化石墨烯溶液、纳米级金属氧化物颗粒分散液，且所述氧化石墨烯溶液为氧化石墨烯为氨基化氧化石墨烯、羟基化氧化石墨烯、羧基化氧化石墨烯、氟化氧化石墨烯、疏基化氧化石墨烯中的一种或多种；
步骤三、制备纳米级金属氧化物颗粒薄膜，将纳米级金属氧化物颗粒分散液通过旋涂、气喷或者滴涂工艺沉积到叉指电极上形成纳米级金属氧化物颗粒薄膜；
步骤四、制备氧化石墨烯薄膜，将氧化石墨烯溶液通过旋涂、气喷或者滴涂工艺沉积到叉指电极上，并在纳米级金属氧化物颗粒薄膜上形成氧化石墨烯薄膜；
步骤五、在氮气或氩气的气氛下对沉积有纳米级金属氧化物颗粒薄膜和氧化石墨烯薄膜的叉指电极进行加热处理，氧化石墨烯薄膜受热并还原成还原氧化石墨烯薄膜。
作为本发明的优选方案，步骤一中，清洗叉指电极时，依次使用丙酮、乙醇、去离子水对叉指电极进行超声清洗9min-12min。
作为本发明的优选方案，步骤二中的纳米级金属氧化物颗粒分散液的浓度为0.01%-5%，所述纳米级金属氧化物颗粒分散液中纳米级金属氧化物颗粒的粒径小于150nm，所述纳米级金属氧化物颗粒分散液的沸点为100°C，所述纳米级金属氧化物颗粒分散液的密度为0.1mg/ml-5mg/ml。
作为本发明的优选方案，步骤五中，将沉积有纳米级金属氧化物颗粒薄膜和氧化石墨烯薄膜的叉指电极放入氮气气氛炉或者氩气气氛炉中，氮气或氩气的流量为100mL/min-500mL/min，在加热温度为100℃-1500℃的环境下加热1min-5h，氧化石墨烯薄膜受热还原成还原氧化石墨烯薄膜。
综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：
本发明中，在敏感器件上从下往上依次沉积有纳米级金属氧化物颗粒薄膜、还原氧化石墨烯薄膜，敏感器件上的纳米级金属氧化物颗粒薄膜通过气喷纳米级金属氧化物颗粒分散液沉积而成，因而在纳米级金属氧化物颗粒薄膜的金属氧化物颗粒之间存有孔隙，便于待测的敏感气体通过该空隙而进入还原氧化石墨烯薄膜底部，增加待测敏感气体与石墨烯的接触面积，充分发挥石墨烯上表面和下表面双面作用的特点，提高气体传感器的灵敏度；由于纳米级金属氧化物颗粒薄膜上设置有还原氧化石墨烯薄膜，纳米级金属氧化物颗粒薄膜上的金属氧化物颗粒的粒度达到纳米级，因而纳米级金属氧化物颗粒薄膜表面将与空气中的氧气作用而形成氧离子化学吸附层，并根据金属氧化物的半导体能力不同而形成不同化学活性的氧离子（O-2、O-、O2 -等），且通过加热可改变不同化学活性的氧离子的浓度，这些氧离子将作为催化媒介降低气体分子电子迁移的化学势垒，从而增强石墨烯对待测敏感气体的敏感响应，提高气体传感器的灵敏度；此外，还原氧化石墨烯薄膜是由氨基化氧化石墨烯、羟基化氧化石墨烯、羧基化氧化石墨烯、氟化氧化石墨烯和疏基化氧化石墨烯中的一种或多种经加热还原而成，因而还原氧化石墨烯薄膜上具有对应的官能团结构，这些官能团结构将促进还原氧化石墨烯薄膜中的石墨烯网格与纳米级金属氧化物颗粒薄膜上的纳米级的金属氧化物颗粒产生键合作用，从而促进电子迁移的速度，增强并加速气体传感器对待测敏感气体的响应，提高气体传感器的灵敏度和检测效率；此外，还原氧化石墨烯薄膜下方还设置有纳米级金属氧化物颗粒薄膜，由于石墨烯的热缩聚效应，因而在加热还原氧化石墨烯薄膜时，纳米级金属氧化物颗粒薄膜中的金属氧化物颗粒可作为还原氧化石墨烯薄膜中石墨烯网格的支撑点，避免石墨烯薄膜在受热过程中收缩甚至发生薄膜***而降低气体传感器对待测敏感气体的灵敏度。
附图说明
图1为本发明的气体传感器的结构示意图；
图2为图1在处的局部放大图；
图3为复合薄膜与单一石墨烯气体响应示意图；
图4为rGO/TiO2与单一rGO对0.1-0.5ppm甲醛的响应测试图；
图5为rGO/TiO2与单一rGO对0.5ppm甲醛重复性响应测试图；
图6为rGO/TiO2与单一rGO对1ppm不同种类气体的选择性响应侧视图；
图7为rGO/TiO2，以及TiO2/rGO（石墨烯在下层，二氧化钛在上层）复合薄膜与单一rGO对0.5ppm和1pmm甲醛的响应测试图；
其中，附图标记为：1—敏感器件、2—纳米级金属氧化物颗粒薄膜、3—还原氧化石墨烯薄膜、21—孔隙。
具体实施方式
下面结合附图，对本发明作详细的说明。
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
实施例1
一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器，该气体传感器包括敏感器件，且该敏感器件为叉指电极。该叉指电极为金电极或铝电极，且该叉指电极的叉指间距为20μm-50μm，叉指电极的叉指宽度为20μm-50μm，叉指电极的电极厚度为20μm-500μm。本实施例中，叉指电极选用金电极，且叉指电极的叉指间距为25μm，叉指电极的叉指宽度为26μm，叉指电极的电极厚度为50nm。
该敏感器件上设置有纳米级金属氧化物颗粒薄膜，纳米级金属氧化物颗粒薄膜的纳米金属氧化物颗粒包括纳米氧化锌颗粒、纳米氧化锡颗粒、纳米氧化钨颗粒、纳米氧化钛颗粒、纳米氧化铟颗粒、纳米氧化锰颗粒和纳米氧化镍颗粒中的一种或多种，其中纳米氧化锌颗粒为颗粒的粒径达到纳米级的氧化锌，纳米氧化锡颗粒为颗粒的粒径达到纳米级的氧化锡，纳米氧化钨颗粒为颗粒的粒径达到纳米级的氧化钨，纳米氧化钛颗粒为颗粒的粒径达到纳米级的氧化钛，纳米氧化铟颗粒为颗粒的粒径达到纳米级的氧化铟，纳米氧化锰颗粒为颗粒的粒径达到纳米级的氧化锰，纳米氧化镍颗粒为颗粒的粒径达到纳米级的氧化镍。该纳米级金属氧化物颗粒薄膜由浓度为0.01%-5%的纳米级金属氧化物颗粒分散液沉积而成，因而在纳米级金属氧化物颗粒薄膜的金属氧化物颗粒之间存有孔隙，且该纳米级金属氧化物颗粒分散液中金属氧化物颗粒的粒径小于150nm。本实施例中，纳米级金属氧化物颗粒薄膜的纳米金属氧化物颗粒选用纳米氧化锌颗粒，纳米级金属氧化物颗粒分散液中金属氧化物颗粒的粒径为80nm。
该纳米级金属氧化物颗粒薄膜上设有还原氧化石墨烯薄膜，该还原氧化石墨烯薄膜是由沉积于纳米级金属氧化物颗粒薄膜上的氧化石墨烯薄膜经加热还原而成。该还原氧化石墨烯薄膜为氨基化还原氧化石墨烯薄膜、羟基化还原氧化石墨烯薄膜、羧基化还原氧化石墨烯薄膜、氟化还原氧化石墨烯薄膜和疏基化还原氧化石墨烯薄膜中的一种或多种，其中氨基化还原氧化石墨烯薄膜是指由氨基化氧化石墨烯经加热还原并沉积而成的薄膜，羟基化还原氧化石墨烯薄膜是指由羟基化氧化石墨烯经加热还原并沉积而成的薄膜，羧基化还原氧化石墨烯薄膜是指由羧基化氧化石墨烯经加热还原并沉积而成的薄膜，氟化还原氧化石墨烯薄膜是指由氟化氧化石墨烯经加热还原并沉积而成的薄膜，疏基化还原氧化石墨烯薄膜是指由疏基化氧化石墨烯经加热还原并沉积而成的薄膜。本实施例中，还原氧化石墨烯薄膜选用氨基化还原氧化石墨烯薄膜，即由氨基化氧化石墨烯经加热还原并沉积而成的薄膜。
由于还原氧化石墨烯薄膜是由沉积于纳米级金属氧化物颗粒薄膜上的氧化石墨烯薄膜经加热还原而成，因而在氧化石墨烯薄膜加热还原的过程中，还原氧化石墨烯薄膜的官能团与纳米级金属氧化物颗粒薄膜的表层金属氧化物颗粒键合，从而促进电子迁移的速度，增强并加速气体传感器对待测敏感气体的响应，提高气体传感器的灵敏度和检测效率。
实施例2
一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器，该气体传感器包括敏感器件，且该敏感器件为叉指电极。该叉指电极为金电极或铝电极，且该叉指电极的叉指间距为20μm-50μm，叉指电极的叉指宽度为20μm-50μm，叉指电极的电极厚度为20μm-500μm。本实施例中，叉指电极选用铝电极，叉指电极的叉指间距为35μm，叉指电极的叉指宽度为36μm，叉指电极的电极厚度为210nm。
该敏感器件上设置有纳米级金属氧化物颗粒薄膜，纳米级金属氧化物颗粒薄膜的纳米金属氧化物颗粒包括纳米氧化锌颗粒、纳米氧化锡颗粒、纳米氧化钨颗粒、纳米氧化钛颗粒、纳米氧化铟颗粒、纳米氧化锰颗粒和纳米氧化镍颗粒中的一种或多种，其中纳米氧化锌颗粒为颗粒的粒径达到纳米级的氧化锌，纳米氧化锡颗粒为颗粒的粒径达到纳米级的氧化锡，纳米氧化钨颗粒为颗粒的粒径达到纳米级的氧化钨，纳米氧化钛颗粒为颗粒的粒径达到纳米级的氧化钛，纳米氧化铟颗粒为颗粒的粒径达到纳米级的氧化铟，纳米氧化锰颗粒为颗粒的粒径达到纳米级的氧化锰，纳米氧化镍颗粒为颗粒的粒径达到纳米级的氧化镍。该纳米级金属氧化物颗粒薄膜由浓度为0.01%-5%的纳米级金属氧化物颗粒分散液沉积而成，因而在纳米级金属氧化物颗粒薄膜的金属氧化物颗粒之间存有孔隙，且该纳米级金属氧化物颗粒分散液中金属氧化物颗粒的粒径小于150nm。本实施例中，纳米级金属氧化物颗粒薄膜的纳米金属氧化物颗粒选用纳米氧化锡颗粒，纳米级金属氧化物颗粒分散液中金属氧化物颗粒的粒径为100nm。
该纳米级金属氧化物颗粒薄膜上设有还原氧化石墨烯薄膜，该还原氧化石墨烯薄膜是由沉积于纳米级金属氧化物颗粒薄膜上的氧化石墨烯薄膜经加热还原而成。该还原氧化石墨烯薄膜为氨基化还原氧化石墨烯薄膜、羟基化还原氧化石墨烯薄膜、羧基化还原氧化石墨烯薄膜、氟化还原氧化石墨烯薄膜和疏基化还原氧化石墨烯薄膜中的一种或多种，其中氨基化还原氧化石墨烯薄膜是指由氨基化氧化石墨烯经加热还原并沉积而成的薄膜，羟基化还原氧化石墨烯薄膜是指由羟基化氧化石墨烯经加热还原并沉积而成的薄膜，羧基化还原氧化石墨烯薄膜是指由羧基化氧化石墨烯经加热还原并沉积而成的薄膜，氟化还原氧化石墨烯薄膜是指由氟化氧化石墨烯经加热还原并沉积而成的薄膜，疏基化还原氧化石墨烯薄膜是指由疏基化氧化石墨烯经加热还原并沉积而成的薄膜。本实施例中，还原氧化石墨烯薄膜选用羟基化还原氧化石墨烯薄膜，即由羟基化氧化石墨烯经加热还原并沉积而成的薄膜。
由于还原氧化石墨烯薄膜是由沉积于纳米级金属氧化物颗粒薄膜上的氧化石墨烯薄膜经加热还原而成，因而在氧化石墨烯薄膜加热还原的过程中，还原氧化石墨烯薄膜的官能团与纳米级金属氧化物颗粒薄膜的表层金属氧化物颗粒键合，从而促进电子迁移的速度，增强并加速气体传感器对待测敏感气体的响应，提高气体传感器的灵敏度和检测效率。
实施例3
一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器，该气体传感器包括敏感器件，且该敏感器件为叉指电极。该叉指电极为金电极或铝电极，且该叉指电极的叉指间距为20μm-50μm，叉指电极的叉指宽度为20μm-50μm，叉指电极的电极厚度为20μm-500μm。本实施例中，叉指电极选用铝电极，叉指电极的叉指间距为45μm，叉指电极的叉指宽度为46μm，叉指电极的电极厚度为430nm。
该敏感器件上设置有纳米级金属氧化物颗粒薄膜，纳米级金属氧化物颗粒薄膜的纳米金属氧化物颗粒包括纳米氧化锌颗粒、纳米氧化锡颗粒、纳米氧化钨颗粒、纳米氧化钛颗粒、纳米氧化铟颗粒、纳米氧化锰颗粒和纳米氧化镍颗粒中的一种或多种，其中纳米氧化锌颗粒为颗粒的粒径达到纳米级的氧化锌，纳米氧化锡颗粒为颗粒的粒径达到纳米级的氧化锡，纳米氧化钨颗粒为颗粒的粒径达到纳米级的氧化钨，纳米氧化钛颗粒为颗粒的粒径达到纳米级的氧化钛，纳米氧化铟颗粒为颗粒的粒径达到纳米级的氧化铟，纳米氧化锰颗粒为颗粒的粒径达到纳米级的氧化锰，纳米氧化镍颗粒为颗粒的粒径达到纳米级的氧化镍。该纳米级金属氧化物颗粒薄膜由浓度为0.01%-5%的纳米级金属氧化物颗粒分散液沉积而成，因而在纳米级金属氧化物颗粒薄膜的金属氧化物颗粒之间存有孔隙，且该纳米级金属氧化物颗粒分散液中金属氧化物颗粒的粒径小于150nm。本实施例中，纳米级金属氧化物颗粒薄膜的纳米金属氧化物颗粒选用纳米氧化铟颗粒、纳米氧化锰颗粒，纳米级金属氧化物颗粒分散液中金属氧化物颗粒的粒径为130nm。
该纳米级金属氧化物颗粒薄膜上设有还原氧化石墨烯薄膜，该还原氧化石墨烯薄膜是由沉积于纳米级金属氧化物颗粒薄膜上的氧化石墨烯薄膜经加热还原而成。该还原氧化石墨烯薄膜为氨基化还原氧化石墨烯薄膜、羟基化还原氧化石墨烯薄膜、羧基化还原氧化石墨烯薄膜、氟化还原氧化石墨烯薄膜和疏基化还原氧化石墨烯薄膜中的一种或多种，其中氨基化还原氧化石墨烯薄膜是指由氨基化氧化石墨烯经加热还原并沉积而成的薄膜，羟基化还原氧化石墨烯薄膜是指由羟基化氧化石墨烯经加热还原并沉积而成的薄膜，羧基化还原氧化石墨烯薄膜是指由羧基化氧化石墨烯经加热还原并沉积而成的薄膜，氟化还原氧化石墨烯薄膜是指由氟化氧化石墨烯经加热还原并沉积而成的薄膜，疏基化还原氧化石墨烯薄膜是指由疏基化氧化石墨烯经加热还原并沉积而成的薄膜。本实施例中，还原氧化石墨烯薄膜选用羧基化还原氧化石墨烯薄膜、氟化还原氧化石墨烯薄膜，即由羧基化氧化石墨烯和氟化氧化石墨烯的混合物经加热还原并沉积而成的薄膜。
由于还原氧化石墨烯薄膜是由沉积于纳米级金属氧化物颗粒薄膜上的氧化石墨烯薄膜经加热还原而成，因而在氧化石墨烯薄膜加热还原的过程中，还原氧化石墨烯薄膜的官能团与纳米级金属氧化物颗粒薄膜的表层金属氧化物颗粒键合，从而促进电子迁移的速度，增强并加速气体传感器对待测敏感气体的响应，提高气体传感器的灵敏度和检测效率。
实施例4
一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器的制备方法，包括以下步骤：
步骤一、清洗叉指电极；
在清洗叉指电极时，依次使用丙酮、乙醇、去离子水对叉指电极进行超声清洗10min。
步骤二、制备氧化石墨烯溶液、纳米级金属氧化物颗粒分散液；
制备氧化石墨烯溶液时，在250mL烧杯中加入2g的石墨粉末，然后在冷水浴条件下依次向烧杯中加入1g硝酸钠、46mL浓硫酸并充分搅拌，再向烧杯中加入6g的高锰酸钾和92mL水并搅拌15min，最后继续向烧杯中加入80mL的浓度为3%的双氧水，并经离心过滤制得氧化石墨烯溶液。该步骤中的氧化石墨烯为氨基化氧化石墨烯、羟基化氧化石墨烯、羧基化氧化石墨烯、氟化氧化石墨烯、疏基化氧化石墨烯中的一种或多种，本实施例中，氧化石墨烯为氨基化氧化石墨烯。
制备纳米级金属氧化物颗粒分散液时，可采用常规的分散液制备方法，但是需要纳米级金属氧化物颗粒分散液的浓度为0.01%-5%，所述纳米级金属氧化物颗粒分散液中纳米级金属氧化物颗粒的粒径小于150nm，所述纳米级金属氧化物颗粒分散液的沸点为100°C，所述纳米级金属氧化物颗粒分散液的密度为0.1mg/ml-5mg/ml。其中，纳米级金属氧化物颗粒分散液中的金属氧化物颗粒为纳米氧化锌颗粒、纳米氧化锡颗粒、纳米氧化钨颗粒、纳米氧化钛颗粒、纳米氧化铟颗粒、纳米氧化锰颗粒和纳米氧化镍颗粒中的一种或多种，本实施例中纳米级金属氧化物颗粒分散液中的金属氧化物颗粒为纳米氧化钛颗粒。
步骤三、制备纳米级金属氧化物颗粒薄膜，将纳米级金属氧化物颗粒分散液通过旋涂、气喷或者滴涂工艺沉积到叉指电极上形成纳米级金属氧化物颗粒薄膜。本实施例中，将1mL的纳米级氧化钛颗粒分散液通过气喷法沉积在叉指电极表面上。
步骤四、制备氧化石墨烯薄膜，将氧化石墨烯溶液液通过旋涂、气喷或者滴涂工艺沉积到叉指电极上，并在纳米级金属氧化物颗粒薄膜上形成氧化石墨烯薄膜。本实施例中，将1mL的氧化石墨烯溶液液通过气喷法沉积在叉指电极表面上。
步骤五、在氮气或氩气的气氛下对沉积有纳米级金属氧化物颗粒薄膜和氧化石墨烯薄膜的叉指电极进行加热处理，氧化石墨烯薄膜受热并还原成还原氧化石墨烯薄膜。即将沉积有纳米级金属氧化物颗粒薄膜和氧化石墨烯薄膜的叉指电极放入氮气气氛炉或者氩气气氛炉中，氮气或氩气的流量为200mL/min，在加热温度为220℃的环境下加热2h，氧化石墨烯薄膜受热还原成还原氧化石墨烯薄膜。
实施例5
一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器的制备方法，包括以下步骤：
步骤一、清洗叉指电极；
在清洗叉指电极时，依次使用丙酮、乙醇、去离子水对叉指电极进行超声清洗11min。
步骤二、制备氧化石墨烯溶液、纳米级金属氧化物颗粒分散液；
制备氧化石墨烯溶液时，在250mL烧杯中加入4g的石墨粉末，然后在冷水浴条件下依次向烧杯中加入2g硝酸钠、42mL浓硫酸并充分搅拌，再向烧杯中加入7g的高锰酸钾和96mL水并搅拌17min，最后继续向烧杯中加入65mL的浓度为3%的双氧水，并经离心过滤制得氧化石墨烯溶液。该步骤中的氧化石墨烯为氨基化氧化石墨烯、羟基化氧化石墨烯、羧基化氧化石墨烯、氟化氧化石墨烯、疏基化氧化石墨烯中的一种或多种，本实施例中，氧化石墨烯为氨基化氧化石墨烯。
制备纳米级金属氧化物颗粒分散液时，可采用常规的分散液制备方法，但是需要纳米级金属氧化物颗粒分散液的浓度为0.01%-5%，所述纳米级金属氧化物颗粒分散液中纳米级金属氧化物颗粒的粒径小于150nm，所述纳米级金属氧化物颗粒分散液的沸点为100°C，所述纳米级金属氧化物颗粒分散液的密度为0.1mg/ml-5mg/ml。其中，纳米级金属氧化物颗粒分散液中的金属氧化物颗粒为纳米氧化锌颗粒、纳米氧化锡颗粒、纳米氧化钨颗粒、纳米氧化钛颗粒、纳米氧化铟颗粒、纳米氧化锰颗粒和纳米氧化镍颗粒中的一种或多种，本实施例中纳米级金属氧化物颗粒分散液中的金属氧化物颗粒为纳米氧化铟颗粒。
步骤三、制备纳米级金属氧化物颗粒薄膜，将纳米级金属氧化物颗粒分散液通过旋涂、气喷或者滴涂工艺沉积到叉指电极上形成纳米级金属氧化物颗粒薄膜。本实施例中，将1mL的纳米级氧化铟颗粒分散液通过气喷法沉积在叉指电极表面上。
步骤四、制备氧化石墨烯薄膜，将氧化石墨烯溶液液通过旋涂、气喷或者滴涂工艺沉积到叉指电极上，并在纳米级金属氧化物颗粒薄膜上形成氧化石墨烯薄膜。本实施例中，将1mL的氧化石墨烯溶液液通过气喷法沉积在叉指电极表面上。
步骤五、在氮气或氩气的气氛下对沉积有纳米级金属氧化物颗粒薄膜和氧化石墨烯薄膜的叉指电极进行加热处理，氧化石墨烯薄膜受热并还原成还原氧化石墨烯薄膜。即将沉积有纳米级金属氧化物颗粒薄膜和氧化石墨烯薄膜的叉指电极放入氮气气氛炉或者氩气气氛炉中，氮气或氩气的流量为390mL/min，在加热温度为800℃的环境下加热4.2h，氧化石墨烯薄膜受热还原成还原氧化石墨烯薄膜。
实施例6
对实施例4的方法制备的气体传感器进行性能测试，将复合传感器置入气敏测试腔中，在500ml/min总气体流量下室温探测不同浓度下的甲醛气体，并与同样制备方法下获得的单一石墨烯薄膜传感器进行性能对比。
通过本申请提供的方法，如3图所示，底层的纳米级二氧化钛颗粒薄膜不仅为石墨烯提供催化媒介的作用，还为石墨烯提供支撑的作用，使得甲醛分子不仅在石墨烯表面作用，还可以通过多孔的二氧化钛纳米粒子之间进入还原氧化石墨烯薄膜底表面并进行电子转移，达到增强还原氧化石墨烯薄膜对甲醛气体响应的作用。如图4和5所示，相比单一石墨烯薄膜气体传感器，石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器分别在0.1-0.5ppm不同浓度以及0.5ppm甲醛重复性测试中，有更大的响应值和更快的响应恢复时间，具有更大的灵敏度。由图6可得，相比单一石墨烯薄膜气体传感器，石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器对甲醛有更优异的选择性响应。为了验证纳米级二氧化钛颗粒薄膜对石墨烯支撑作用，利用同样的制备方法制备了TiO2/rGO（石墨烯在下层，二氧化钛在上层）复合薄膜传感器。如图7所示，TiO2/rGO相比单一石rGO有一定的响应增益，这是由于TiO2的催化增强作用导致的；然而rGO/TiO2在相同测试条件下比前二者有更大的响应值，这是由于甲醛气体分子能进入石墨烯底部进行响应。因此二氧化钛的支撑作用也得到证明。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器，包括敏感器件（1），其特征在于：所述敏感器件（1）上设有纳米级金属氧化物颗粒薄膜（2），所述纳米级金属氧化物颗粒薄膜（2）的金属氧化物颗粒之间存有孔隙（21）；所述纳米级金属氧化物颗粒薄膜（2）上设有还原氧化石墨烯薄膜（3），所述还原氧化石墨烯薄膜（3）为氨基化还原氧化石墨烯薄膜（3）、羟基化还原氧化石墨烯薄膜（3）、羧基化还原氧化石墨烯薄膜（3）、氟化还原氧化石墨烯薄膜（3）和疏基化还原氧化石墨烯薄膜（3）中的一种或多种；在还原氧化石墨烯薄膜（3）与纳米级金属氧化物颗粒薄膜（2）的接触界面上，还原氧化石墨烯薄膜（3）的官能团与纳米级金属氧化物颗粒薄膜（2）的金属氧化物颗粒键合。
2.如权利要求1所述的一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器，其特征在于：所述敏感器件（1）为叉指电极，所述叉指电极为金电极或铝电极，所述叉指电极的叉指间距为20μm-50μm，所述叉指电极的叉指宽度为20μm-50μm，所述叉指电极的电极厚度为20nm-500nm。
3.如权利要求1所述的一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器，其特征在于：所述纳米级金属氧化物颗粒薄膜（2）的纳米金属氧化物颗粒包括纳米氧化锌颗粒、纳米氧化锡颗粒、纳米氧化钨颗粒、纳米氧化钛颗粒、纳米氧化铟颗粒、纳米氧化锰颗粒和纳米氧化镍颗粒中的一种或多种。
4.如权利要求3所述的一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器，其特征在于：所述纳米级金属氧化物颗粒薄膜（2）的纳米金属氧化物颗粒的粒径小于150nm。
5.一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一、清洗叉指电极；
步骤二、制备氧化石墨烯溶液、纳米级金属氧化物颗粒分散液，且所述氧化石墨烯溶液为氧化石墨烯为氨基化氧化石墨烯、羟基化氧化石墨烯、羧基化氧化石墨烯、氟化氧化石墨烯、疏基化氧化石墨烯中的一种或多种；
步骤三、制备纳米级金属氧化物颗粒薄膜（2），将纳米级金属氧化物颗粒分散液通过旋涂、气喷或者滴涂工艺沉积到叉指电极上形成纳米级金属氧化物颗粒薄膜（2）；
步骤四、制备氧化石墨烯薄膜，将氧化石墨烯溶液通过旋涂、气喷或者滴涂工艺沉积到叉指电极上，并在纳米级金属氧化物颗粒薄膜（2）上形成氧化石墨烯薄膜；
步骤五、在氮气或氩气的气氛下对沉积有纳米级金属氧化物颗粒薄膜（2）和氧化石墨烯薄膜的叉指电极进行加热处理，氧化石墨烯薄膜受热并还原成还原氧化石墨烯薄膜（3）。
6.如权利要求5所述的一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器的制备方法，其特征在于，步骤一中，清洗叉指电极时，依次使用丙酮、乙醇、去离子水对叉指电极进行超声清洗9min-12min。
7.如权利要求5所述的一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器的制备方法，其特征在于，步骤二中的纳米级金属氧化物颗粒分散液的浓度为0.01%-5%，所述纳米级金属氧化物颗粒分散液中纳米级金属氧化物颗粒的粒径小于150nm，所述纳米级金属氧化物颗粒分散液的沸点为100°C，所述纳米级金属氧化物颗粒分散液的密度为0.1mg/ml-5mg/ml。
8.如权利要求5所述的一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器的制备方法，其特征在于，步骤五中，将沉积有纳米级金属氧化物颗粒薄膜（2）和氧化石墨烯薄膜的叉指电极放入氮气气氛炉或者氩气气氛炉中，氮气或氩气的流量为100mL/min-500mL/min，在加热温度为100℃-1500℃的环境下加热1min-5h，氧化石墨烯薄膜受热还原成还原氧化石墨烯薄膜（3）。
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Cited By (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105891271A (zh) * 2016-03-31 2016-08-24 吉林大学 一种基于石墨烯/二氧化锡/氧化锌复合材料的电阻型气体传感器、制备方法及其应用
CN106053549A (zh) * 2016-05-30 2016-10-26 安徽工业大学 一种用于检测低浓度丙酮的气敏材料
CN106501449A (zh) * 2016-10-17 2017-03-15 上海理工大学 一种用于检测甲醛气体的气敏材料及元件和制备方法
CN106546633A (zh) * 2016-12-07 2017-03-29 成都聚智工业设计有限公司 一种氧化镍纳米颗粒增强的气体传感器及其制备方法
CN106770466A (zh) * 2016-11-30 2017-05-31 庞倩桃 一种氧化铁量子点增强的气体传感器及其制备方法
CN106872063A (zh) * 2017-01-17 2017-06-20 中国电子科技集团公司第四十九研究所 一种管状氧化钨‑石墨烯复合材料的制备方法及应用
CN106872549A (zh) * 2015-12-11 2017-06-20 台湾奈米碳素股份有限公司 一种气体感测器及其制作方法
CN106932442A (zh) * 2017-03-20 2017-07-07 西安工业大学 一种ZnO纳米墙RGO异质结光电气敏传感器及其制备方法
CN107085015A (zh) * 2017-04-11 2017-08-22 中北大学 无线无源气体、温度双参数传感器及其制备方法
CN107192739A (zh) * 2017-04-27 2017-09-22 兰州空间技术物理研究所 一种空间用氢传感器及其制备方法
CN107966586A (zh) * 2016-10-20 2018-04-27 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 基于石墨烯氧化物的气流传感器及其制备方法与应用
CN108151866A (zh) * 2017-12-22 2018-06-12 电子科技大学 一种光纤法珀声波探头及信号解调***
CN108862247A (zh) * 2018-07-10 2018-11-23 杭州高烯科技有限公司 一种气体分子探测复合膜
CN109277006A (zh) * 2018-09-30 2019-01-29 天津市金鳞水处理科技有限公司 一种聚偏氟乙烯改性复合膜的制备方法
CN109665718A (zh) * 2019-01-30 2019-04-23 金陵科技学院 一种氧化钨-石墨烯光致变色复合薄膜、制备方法及应用
CN110736722A (zh) * 2019-10-29 2020-01-31 广州特种承压设备检测研究院 一种石墨烯量子点复合材料光纤气体传感器制作方法
CN111272846A (zh) * 2020-03-06 2020-06-12 盐城工学院 一种紫外光照还原法合成AuNPs-ZnO-rGO纳米复合材料及其应用
CN111948261A (zh) * 2020-07-27 2020-11-17 浙江泰仑电力集团有限责任公司 面向电力设备故障特征气体在线监控的气体敏感元件及其制备方法
CN112255281A (zh) * 2020-10-20 2021-01-22 山东大学 基于单原子层氟化石墨烯的电子氨气传感器的制备方法
CN113588738A (zh) * 2021-07-29 2021-11-02 深圳宇问加壹传感***有限公司 超薄全固态甲醛电化学气体传感器
CN113758975A (zh) * 2021-09-10 2021-12-07 华东师范大学 一种激光诱导的石墨烯/金属氧化物敏感材料及其制备方法
TWI754247B (zh) * 2020-03-20 2022-02-01 義守大學 氣體感應器的製造方法
CN114459943A (zh) * 2021-12-31 2022-05-10 杭州诺蒙微晶生物科技有限公司 一种石英晶体微天平传感器及其制备方法
CN115057437A (zh) * 2022-05-30 2022-09-16 苏州大学 一种SnO2/NiO/石墨烯三元复合材料及其制备方法与应用

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20120164433A1 (en) * 2010-12-01 2012-06-28 The University Of Houston System Polymer nanocomposite precursors with carbon nanotubes and/or graphene and related thin films and patterning
CN102621200A (zh) * 2012-03-09 2012-08-01 电子科技大学 一种电导型敏感膜三层结构
CN102636522A (zh) * 2012-03-29 2012-08-15 浙江大学 石墨烯/二氧化锡纳米复合电阻型薄膜气体传感器及其制作方法
CN103009730A (zh) * 2012-12-14 2013-04-03 电子科技大学 一种制造复合纳米薄膜的方法及其复合纳米薄膜
CN103412001A (zh) * 2013-08-02 2013-11-27 电子科技大学 一种制造气体敏感纳米薄膜的方法
CN103862751A (zh) * 2014-02-24 2014-06-18 电子科技大学 一种制造复合纳米薄膜的方法
CN104181209A (zh) * 2014-08-14 2014-12-03 电子科技大学 一种二氧化氮气体传感器及其制备方法
CN104569052A (zh) * 2014-12-17 2015-04-29 东南大学 一种制备氧化石墨烯传感器的方法
CN104634824A (zh) * 2015-01-28 2015-05-20 天津大学 多孔硅基氧化钨纳米棒复合结构气敏传感器的制备方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20120164433A1 (en) * 2010-12-01 2012-06-28 The University Of Houston System Polymer nanocomposite precursors with carbon nanotubes and/or graphene and related thin films and patterning
CN102621200A (zh) * 2012-03-09 2012-08-01 电子科技大学 一种电导型敏感膜三层结构
CN102636522A (zh) * 2012-03-29 2012-08-15 浙江大学 石墨烯/二氧化锡纳米复合电阻型薄膜气体传感器及其制作方法
CN103009730A (zh) * 2012-12-14 2013-04-03 电子科技大学 一种制造复合纳米薄膜的方法及其复合纳米薄膜
CN103412001A (zh) * 2013-08-02 2013-11-27 电子科技大学 一种制造气体敏感纳米薄膜的方法
CN103862751A (zh) * 2014-02-24 2014-06-18 电子科技大学 一种制造复合纳米薄膜的方法
CN104181209A (zh) * 2014-08-14 2014-12-03 电子科技大学 一种二氧化氮气体传感器及其制备方法
CN104569052A (zh) * 2014-12-17 2015-04-29 东南大学 一种制备氧化石墨烯传感器的方法
CN104634824A (zh) * 2015-01-28 2015-05-20 天津大学 多孔硅基氧化钨纳米棒复合结构气敏传感器的制备方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
YONG ZHOU等: "A sensitive structure improvement of reduced grapheme oxide based resistive gas sensors", 《APPLIED PHYSICS LETTERS》 *

Cited By (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106872549A (zh) * 2015-12-11 2017-06-20 台湾奈米碳素股份有限公司 一种气体感测器及其制作方法
CN105891271A (zh) * 2016-03-31 2016-08-24 吉林大学 一种基于石墨烯/二氧化锡/氧化锌复合材料的电阻型气体传感器、制备方法及其应用
CN105891271B (zh) * 2016-03-31 2018-08-07 吉林大学 一种基于石墨烯/二氧化锡/氧化锌复合材料的电阻型气体传感器、制备方法及其应用
CN106053549A (zh) * 2016-05-30 2016-10-26 安徽工业大学 一种用于检测低浓度丙酮的气敏材料
CN106053549B (zh) * 2016-05-30 2019-02-19 安徽工业大学 一种用于检测低浓度丙酮的气敏材料
CN106501449A (zh) * 2016-10-17 2017-03-15 上海理工大学 一种用于检测甲醛气体的气敏材料及元件和制备方法
CN106501449B (zh) * 2016-10-17 2019-05-24 上海理工大学 一种用于检测甲醛气体的气敏材料及元件和制备方法
CN107966586A (zh) * 2016-10-20 2018-04-27 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 基于石墨烯氧化物的气流传感器及其制备方法与应用
CN106770466A (zh) * 2016-11-30 2017-05-31 庞倩桃 一种氧化铁量子点增强的气体传感器及其制备方法
CN106546633A (zh) * 2016-12-07 2017-03-29 成都聚智工业设计有限公司 一种氧化镍纳米颗粒增强的气体传感器及其制备方法
CN106872063A (zh) * 2017-01-17 2017-06-20 中国电子科技集团公司第四十九研究所 一种管状氧化钨‑石墨烯复合材料的制备方法及应用
CN106932442A (zh) * 2017-03-20 2017-07-07 西安工业大学 一种ZnO纳米墙RGO异质结光电气敏传感器及其制备方法
CN106932442B (zh) * 2017-03-20 2019-02-22 西安工业大学 一种ZnO纳米墙RGO异质结光电气敏传感器及其制备方法
CN107085015A (zh) * 2017-04-11 2017-08-22 中北大学 无线无源气体、温度双参数传感器及其制备方法
CN107085015B (zh) * 2017-04-11 2019-10-15 中北大学 无线无源气体、温度双参数传感器及其制备方法
CN107192739A (zh) * 2017-04-27 2017-09-22 兰州空间技术物理研究所 一种空间用氢传感器及其制备方法
CN108151866A (zh) * 2017-12-22 2018-06-12 电子科技大学 一种光纤法珀声波探头及信号解调***
CN108862247A (zh) * 2018-07-10 2018-11-23 杭州高烯科技有限公司 一种气体分子探测复合膜
CN109277006A (zh) * 2018-09-30 2019-01-29 天津市金鳞水处理科技有限公司 一种聚偏氟乙烯改性复合膜的制备方法
CN109665718A (zh) * 2019-01-30 2019-04-23 金陵科技学院 一种氧化钨-石墨烯光致变色复合薄膜、制备方法及应用
CN110736722A (zh) * 2019-10-29 2020-01-31 广州特种承压设备检测研究院 一种石墨烯量子点复合材料光纤气体传感器制作方法
CN111272846A (zh) * 2020-03-06 2020-06-12 盐城工学院 一种紫外光照还原法合成AuNPs-ZnO-rGO纳米复合材料及其应用
TWI754247B (zh) * 2020-03-20 2022-02-01 義守大學 氣體感應器的製造方法
CN111948261A (zh) * 2020-07-27 2020-11-17 浙江泰仑电力集团有限责任公司 面向电力设备故障特征气体在线监控的气体敏感元件及其制备方法
CN112255281A (zh) * 2020-10-20 2021-01-22 山东大学 基于单原子层氟化石墨烯的电子氨气传感器的制备方法
CN113588738A (zh) * 2021-07-29 2021-11-02 深圳宇问加壹传感***有限公司 超薄全固态甲醛电化学气体传感器
CN113758975A (zh) * 2021-09-10 2021-12-07 华东师范大学 一种激光诱导的石墨烯/金属氧化物敏感材料及其制备方法
CN114459943A (zh) * 2021-12-31 2022-05-10 杭州诺蒙微晶生物科技有限公司 一种石英晶体微天平传感器及其制备方法
CN115057437A (zh) * 2022-05-30 2022-09-16 苏州大学 一种SnO2/NiO/石墨烯三元复合材料及其制备方法与应用
CN115057437B (zh) * 2022-05-30 2023-11-24 苏州大学 一种SnO2/NiO/石墨烯三元复合材料及其制备方法与应用

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