CN105084739A - 裂断方法及裂断装置 - Google Patents

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Abstract

本发明是有关于裂断方法及裂断装置，其能够无需使用裂断杆，而以简单的机构并借由低负载而容易地沿刻划线进行裂断。在对基板M进行搬送的输送皮带3的皮带2中间下面，配置具备有与基板搬送方向正交的凸部4a的第一凸部形成单元4而往上按压皮带2，借此使皮带2的一部分***而形成与基板搬送方向正交的凸条部2a，在该皮带2以已使应分断的刻划线S1与基板搬送方向正交的状态载置基板M，将该基板M从凸条部2a的上游侧平坦部2b往下游侧平坦部2c进行搬送；借由基板M骑上凸条部2a而往下游侧平坦部2c移行时的基板M的弯曲，使形成于弯曲外面侧的刻划线S1的龟裂往厚度方向浸透，借此沿该刻划线S1裂断基板M。

Description

裂断方法及裂断装置
技术领域
本发明是关于一种用于对玻璃等脆性材料基板沿刻划线进行裂断的裂断方法及裂断装置。本发明尤其是一种适合于对薄板的玻璃基板(母基板)沿形成于其表面的刻划线进行裂断而切出单位基板的裂断方法及裂断装置。
背景技术
一般在从母基板(以下，简称为“基板”)切出单位基板中，如图6所示般，首先在基板M的表面加工相互正交的X方向的刻划线S1及Y方向的刻划线S2，在接下来的步骤中，沿所述刻划线S1、S2进行裂断而借此切出单位基板M1。
作为沿刻划线裂断基板的方法，一般现有习知的有使用裂断杆。据此，在如图8(a)所示般的缓冲片10、或如图8(b)所示般的左右一对承受刃11、11上，以将设有刻划线S的面设为下侧的方式载置基板M，以裂断杆12从上方按压于基板M而使基板M挠曲，使刻划线S的龟裂往厚度方向浸透而进行裂断。
然而，在该方法中，由于是将长条的裂断杆按压于基板而一次性地裂断一条刻划线，因此存在有施于基板的负载较大、分断面容易被破坏且端面强度容易劣化的课题。尤其是在被要求基板薄板化的现今，虽可提供例如板厚为0.2～1mm等较薄的基板，但若利用裂断杆一次性地裂断如此般的薄板基板，则如上述般的不佳情况的产生更加地严重，存在有不规则的龟裂在分断端部先行、产生破裂等而成为不良品的情况。
专利文献1：日本特开2002-103295号公报
专利文献2：日本特开2011-201200号公报
另一方面，在专利文献2中提及有如下的激光裂断方法，亦即，在以激光光束在基板表面形成刻划线后，使基板反转并对刻划线的相反侧位置照射第2次激光光束，借此使龟裂往厚度方向浸透而裂断基板。
根据该激光裂断方法，可无需将最初已加工有刻划线的基板往裂断装置搬送，而沿刻划线进行裂断。然而，必须有用于使基板反转的反转机构，而使得装置大型化，并且在反转操作时亦会有基板产生伤痕的风险。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能够无需使用裂断杆，而以简单的机构并借由低负载而容易地沿刻划线进行裂断的裂断方法及裂断装置。
为了解决上述课题，在本发明中提出如以下般的技术方案。亦即，本发明的裂断方法，是对在表面形成有刻划线的基板，沿该刻划线进行裂断的方法，其特征为：在对该基板进行搬送的输送皮带的搬送路径的中间下面，配置具备有与基板搬送方向正交的凸部的第一凸部形成单元而往上按压皮带，借此使该皮带的一部分***而在该皮带形成与基板搬送方向正交的凸条部，在该皮带以已使应分断的刻划线与基板搬送方向正交的状态载置基板，将该基板从该凸条部的上游侧平坦部往下游侧平坦部进行搬送；借由该基板从该上游侧平坦部骑上该凸条部而往该下游侧平坦部移行时的基板弯曲，使形成于弯曲外面侧的该刻划线的龟裂往厚度方向浸透，借此沿该刻划线裂断该基板。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
前述的裂断方法，其中将较沿基板搬送方向的刻划线更长、且具备有与基板搬送方向平行的凸部的第二凸部形成单元，在该皮带的上游侧平坦部或下游侧平坦部的下面，配置成能从该皮带的一侧朝向另一侧移动，借由使该第二凸部形成单元从载置基板的该皮带的一侧往另一侧移行，使在该皮带面呈与基板搬送方向平行地***的一条波纹从该皮带的一侧朝向另一侧依序产生，借由此时的基板的弯曲而使沿基板搬送方向的刻划线的龟裂往厚度方向浸透，借此裂断该刻划线。
此外，本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。本发明的裂断装置，是对在表面形成有刻划线的基板，沿该刻划线进行裂断，其特征在于：设置有输送皮带，该输送皮带是具备载置该基板并进行搬送的皮带；在该皮带的中间位置的下面，配置具备有与基板搬送方向正交的凸部的第一凸部形成单元，借由该第一凸部形成单元的凸部往上按压该皮带的一部分而形成与基板搬送方向正交的凸条部。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
前述的裂断装置，其具备有与基板搬送方向平行的凸部的第二凸部形成单元，该第二凸部形成单元，在该皮带的上游侧或下游侧的平坦部的下面，配置成能从该皮带的一侧朝向另一侧移动，借由使该第二凸部形成单元从该皮带的一侧往另一侧移行，而使在该皮带面呈与基板搬送方向平行地***的一条波纹从该皮带的一侧朝向另一侧依序产生。
本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技术方案，本发明至少具有下列优点：
根据本发明，由于是在以皮带搬送基板的过程中裂断刻划线，因此能够缩短作业时间且能够使生产性提高。此外，由于不使用现有习知般的裂断杆，而是借由基板本身的重量所产生的弯曲裂断刻划线，因此能够简化装置机构，并且能够以不具冲击的低负载进行裂断，且能够抑制分断面的破裂或伤痕产生而提高端面强度。
在本发明中，亦可为构成：将较沿基板搬送方向的刻划线更长、且具备有与基板搬送方向平行的凸部的第二凸部形成单元，在该皮带的上游侧平坦部或下游侧平坦部的下面，配置成可从该皮带的一侧朝向另一侧移动，借由使该第二凸部形成单元从载置基板的该皮带的一侧往另一侧移行，使在该皮带面呈与基板搬送方向平行地***的一条波纹从该皮带的一侧朝向另一侧依序产生，借由此时的基板的弯曲而使沿基板搬送方向的刻划线的龟裂往厚度方向浸透，借此裂断该刻划线。
借此，除了与基板搬送方向正交的刻划线的裂断外，亦能够以低负载裂断沿基板搬送方向的刻划线，能够从大型的基板切出单位基板。
附图说明
图1是表示本发明的裂断装置的一例的概略性俯视图。
图2是侧视观察图1的裂断装置的说明图。
图3(a)～图3(d)是借由图1的装置裂断X方向刻划线时的动作说明图。
图4(a)～图4(d)是借由图1的装置裂断Y方向刻划线时的动作说明图。
图5是借由凸部形成单元而***的皮带的放大图。
图6是表示供裂断的基板的一例的俯视图。
图7(a)～图7(d)是裂断贴合基板时的动作说明图。
图8(a)～图8(b)是表示现有习知的裂断方法的一例的说明图。
【主要元件符号说明】
M：基板S1：X方向刻划线
S2：Y方向刻划线2：皮带
2a：凸条部2b：上游侧平坦部
2c：下游侧平坦部3：输送皮带
4：第一凸部形成单元4a：第一凸部形成单元的凸部
6：第二凸部形成单元6a：第二凸部形成单元的凸部
9：波纹
具体实施方式
在以下，根据图1～图6所示的实施例，说明本发明的裂断方法及裂断装置的细节。此处，首先如图6所示般，针对在基板M的表面预先形成有相互正交的X方向刻划线S1及Y方向刻划线S2，沿该刻划线S1、S2裂断基板M的情形进行说明。
另外，该基板M，总厚度薄至0.2～1.0mm，且具备沿供载置的皮带的表面形状并借由本身重量而弯曲变形的物性。此外，由X-Y方向的刻划线S1、S2所划分的单位基板M1各边的尺寸，较佳为设成50～100mm。
本发明的裂断装置，具备有输送皮带3，该输送皮带3具有借由多个轮体1…而呈无端状地伸张设置的皮带2。皮带2借由原动机(省略图示)驱动，且载置基板M并朝向图1～图3(d)的Y方向进行搬送。
在载置基板M并朝向Y方向进行搬送的皮带2的搬送路径中间位置的下面，配置有第一凸部形成单元4，该第一凸部形成单元4具备有朝向与基板搬送方向正交的X方向并跨及皮带整个宽度而延伸的凸部4a。该第一凸部形成单元4的凸部4a，在皮带2的下面朝向上方按压，而借此使皮带2的被按压的部分***，从而形成有在X方向延伸的凸条部2a。因此，该凸条部2a，为形成在皮带2的上游侧平坦部2b与下游侧平坦部2c之间。
皮带2，是以借由凸部4a的从下方往上方的按压而被按压的部分能够容易地***的方式，而以较薄的布或合成树脂等片材形成。另外，如图5所示般，较佳为将***的凸条部2a的高度H设为5～10mm，将凸条部2a左右的倾斜角度R设为2～7°。该高度H及倾斜角度R，可根据被裂断的基板M的厚度或材料而选择适当的值。
进一步地，将较基板M应分断的Y方向刻划线S2更长、且具备有与基板搬送方向平行的凸部6a的第二凸部形成单元6，配置在皮带2的下游侧平坦部2c的一侧。该凸部形成单元6，形成为借由利用马达7进行旋转的螺杆轴8，而一边以凸部6a往上按压皮带2的下面、一边从一侧往另一侧移行。借由该移行，使在皮带面呈与基板搬送方向平行地***的一条凸条的波纹9从皮带2的一侧朝向另一侧依序产生。波纹9的高度及左右的倾斜角度，较佳为可以与上述的凸条部2a的高度H及倾斜角度R为相同值形成。
在上述的裂断装置中，如图2及图3(a)所示般，在已将基板M的X方向刻划线S1设成与输送皮带3的行进方向正交的方向的状态下，将基板M载置于皮带2的上游侧平坦部2b上，驱动输送皮带3并朝向下游进行搬送。
一旦基板M移行至凸条部2a，则基板M骑上凸条部2a而弯曲。一旦最初的X方向刻划线S1到达凸条部2a的顶部，则如图3(c)所示般，成为弯曲外面侧(外角侧)的刻划线S1的龟裂往厚度方向浸透，沿刻划线S1将基板M裂断。以如此方式，依序将后续的X方向刻划线S1裂断，基板M往下游侧平坦部2c进行移行。
一旦基板M移行至下游侧平坦部2c、第二凸部形成单元6附近，则停止输送皮带3并驱动第二凸部形成单元6。第二凸部形成单元6，如图4(a)～图4(d)所示，一边以凸部6a往上按压皮带2的下面、一边从一侧往另一侧移行，使在皮带面呈与基板搬送方向(Y方向)平行的一条凸条的波纹9从皮带2的一侧朝向另一侧依序产生。借此，基板M的Y方向刻划线S2依序骑上波纹9上，其龟裂往厚度方向浸透而裂断。
以如此方式，将基板M的X方向刻划线S1及Y方向刻划线S2裂断，切出单位基板M1。
在上述实施例中，虽已针对裂断单板的基板M的情形进行了说明，但在贴合有第一基板W1及第二基板W2的贴合基板W(以下，简称“基板W”)的裂断步骤中亦可适用。
图7(a)～图7(d)是表示该裂断步骤的图式，在被裂断的基板W的第一基板W1及第二基板W2的外面，分别预先形成有该同样的相互正交的刻划线S1、S2。另外，在图7(a)～图7(d)中，刻划线S2，为了易于观看图式而省略显示。
将该基板W载置于皮带2的上游侧平坦部2b上，驱动输送皮带3并朝向下游进行搬送。一旦贴合基板W移行至凸条部2a，则基板W骑上凸条部2a而弯曲。而且，如图7(b)所示般，一旦最初的X方向刻划线S1到达上游侧平坦部2b与凸条部2a间的边界部分，则成为弯曲外面侧(外角侧)的下侧第二基板W2的刻划线S1被裂断。
进一步地，基板W行进，如图7(c)所示般，一旦第一基板W1的刻划线S1到达凸条部2a的顶部，则成为弯曲外面侧(外角侧)的上侧第一基板W1的刻划线S1被裂断。以如此方式，如图7(d)所示般，将基板W沿上下的刻划线S1、S1而完全分断。
此外，Y方向的刻划线S2，在皮带2的下游侧平坦部2c中，能够借由第二凸部形成单元6而以上述同样的手段进行裂断。
如上述般根据本实施例，由于是在将基板M以皮带2进行搬送的过程中，将X方向刻划线S1及Y方向刻划线S2裂断，因此能够缩短作业时间并能够使生产性提高。此外，由于不使用现有习知般裂断杆，而是借由基板M本身的重量所产生的弯曲裂断刻划线，因此能够以不具冲击的低负载进行裂断，能够抑制分断面的破裂或伤痕产生而提高端面强度，并且能够使因使用裂断杆而产生的不良影响消失。
以上，虽已针对本发明的代表性的实施例进行了说明，但本发明并不特定于仅上述的实施例构造。例如，在上述实施例中，虽构成为在已将基板的X方向刻划线S1裂断后对Y方向刻划线S2进行裂断，但亦可为将第二凸部形成单元6配置在上游侧平坦部2b，而先裂断Y方向刻划线S2。
本发明能够适用于对在表面具备有刻划线的脆性材料基板进行裂断的裂断方法及裂断装置。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明做任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (4)

1.一种裂断方法，是对在表面形成有刻划线的基板，沿该刻划线进行裂断，其特征在于：
在对该基板进行搬送的输送皮带的搬送路径的中间下面，配置具备有与基板搬送方向正交的凸部的第一凸部形成单元而往上按压皮带，借此使该皮带的一部分***而在该皮带形成与基板搬送方向正交的凸条部，在该皮带以已使应分断的刻划线与基板搬送方向正交的状态载置基板，将该基板从该凸条部的上游侧平坦部往下游侧平坦部进行搬送；
借由该基板从该上游侧平坦部骑上该凸条部而往该下游侧平坦部移行时的基板弯曲，使形成于弯曲外面侧的该刻划线的龟裂往厚度方向浸透，借此沿该刻划线裂断该基板。
2.根据权利要求1所述的裂断方法，其特征在于：其中将较沿基板搬送方向的刻划线更长、且具备有与基板搬送方向平行的凸部的第二凸部形成单元，在该皮带的上游侧平坦部或下游侧平坦部的下面，配置成能从该皮带的一侧朝向另一侧移动，借由使该第二凸部形成单元从载置基板的该皮带的一侧往另一侧移行，使在该皮带面呈与基板搬送方向平行地***的一条波纹从该皮带的一侧朝向另一侧依序产生，借由此时的基板的弯曲而使沿基板搬送方向的刻划线的龟裂往厚度方向浸透，借此裂断该刻划线。
3.一种裂断装置，是对在表面形成有刻划线的基板，沿该刻划线进行裂断，其特征在于：
设置有输送皮带，该输送皮带是具备载置该基板并进行搬送的皮带；
在该皮带的中间位置的下面，配置具备有与基板搬送方向正交的凸部的第一凸部形成单元，借由该第一凸部形成单元的凸部往上按压该皮带的一部分而形成与基板搬送方向正交的凸条部。
4.根据权利要求3所述的裂断装置，其特征在于：其具备有与基板搬送方向平行的凸部的第二凸部形成单元，该第二凸部形成单元，在该皮带的上游侧或下游侧的平坦部的下面，配置成能从该皮带的一侧朝向另一侧移动，借由使该第二凸部形成单元从该皮带的一侧往另一侧移行，而使在该皮带面呈与基板搬送方向平行地***的一条波纹从该皮带的一侧朝向另一侧依序产生。
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