CN104925413A - 一种实时检测集液罐液位***及检测方法 - Google Patents
一种实时检测集液罐液位***及检测方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104925413A CN104925413A CN201410101976.8A CN201410101976A CN104925413A CN 104925413 A CN104925413 A CN 104925413A CN 201410101976 A CN201410101976 A CN 201410101976A CN 104925413 A CN104925413 A CN 104925413A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- machine table
- collecting tank
- liquid collecting
- collection tank
- level sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D90/00—Component parts, details or accessories for large containers
- B65D90/48—Arrangements of indicating or measuring devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
Abstract
本发明公开了一种实时检测集液罐液位***,包含:液位传感器,其位于集液罐内;加工机台,其与液位传感器相连;设备自动化***,其与加工机台相连;液位传感器采集集液罐已空信号经由加工机台传送至设备自动化***,设备自动化***发送集液罐已空的警告信号到加工机台上,使得加工机台停止。本发明可以实时的检测集液管空置的工况,并及时的更换集液罐,不需要例行检查,节省了大量劳动力。
Description
技术领域
本发明涉及半导体中双储罐液体补充***,特别涉及一种实时检测集液罐液位***及检测方法。
背景技术
双储罐液体补充***有包含处理罐、集液罐,当处理罐内的液体低时,集液罐自动将液体输送至处理罐中,最终集液罐将会空置,这时我们需要更换一个新的集液罐,但是我们不能准确及时的检测出集液管空置的工况。
发明内容
本发明的目的是提供一种实时检测集液罐液位***及检测方法,可以实时的检测集液管空置的工况,并及时的更换集液罐,不需要例行检查,节省了大量劳动力。
为了实现以上目的,本发明是通过以下技术方案实现的:
一种实时检测集液罐液位***,其特点是,包含:
液位传感器,其位于集液罐内;
加工机台,其与液位传感器相连;
设备自动化***,其与加工机台相连;
所述的液位传感器采集集液罐已空信号经由加工机台传送至设备自动化***,所述的设备自动化***发送集液罐已空的警告信号到加工机台上,使得加工机台停止。
一种利用上述的实时检测集液罐液位***的检测方法,其特点是,该方法包含:
液位传感器采集集液罐已空信号;
加工机台接收集液罐已空信号并将集液罐已空信号传输到设备自动化***;
设备自动化***发送集液罐已空的警告信号到加工机台上,使得加工机台停止。
本发明与现有技术相比,具有以下优点:
本发明可以实时的检测集液管空置的工况,并及时的更换集液罐,不需要例行检查,节省了大量劳动力。
附图说明
图1为本发明一种一种实时检测集液罐液位***的***框图。
具体实施方式
以下结合附图,通过详细说明一个较佳的具体实施例,对本发明做进一步阐述。
如图1所示,一种实时检测集液罐液位***,包含:液位传感器1,其位于集液罐内,本实施例中液位传感器型号为CSHQ77-ZQ-YW;加工机台2,其与液位传感器1相连;设备自动化***3(EAP),其与加工机台2相连;所述的液位传感器1采集集液罐已空信号经由加工机台2传送至设备自动化***3,所述的设备自动化***3发送集液罐已空的警告信号到加工机台2上,使得加工机台2停止。
一种利用上述的实时检测集液罐液位***的检测方法,该方法包含:
液位传感器1采集集液罐已空信号;
加工机台2接收集液罐已空信号并将集液罐已空信号传输到设备自动化***;
设备自动化***3发送集液罐已空的警告信号到加工机台2上,使得加工机台2停止,并且控制停止下一道工序。
综上所述,本发明一种实时检测集液罐液位***及检测方法,可以实时的检测集液管空置的工况,并及时的更换集液罐,不需要例行检查,节省了大量劳动力。
尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍,但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后,对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此,本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。
Claims (2)
1.一种实时检测集液罐液位***,其特征在于,包含:
液位传感器,其位于集液罐内;
加工机台,其与液位传感器相连;
设备自动化***,其与加工机台相连;
所述的液位传感器采集集液罐已空信号经由加工机台传送至设备自动化***,所述的设备自动化***发送集液罐已空的警告信号到加工机台上,使得加工机台停止。
2.一种利用如权利要求1所述的实时检测集液罐液位***的检测方法,其特征在于,该方法包含:
液位传感器采集集液罐已空信号;
加工机台接收集液罐已空信号并将集液罐已空信号传输到设备自动化***;
设备自动化***发送集液罐已空的警告信号到加工机台上,使得加工机台停止。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410101976.8A CN104925413A (zh) | 2014-03-19 | 2014-03-19 | 一种实时检测集液罐液位***及检测方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410101976.8A CN104925413A (zh) | 2014-03-19 | 2014-03-19 | 一种实时检测集液罐液位***及检测方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN104925413A true CN104925413A (zh) | 2015-09-23 |
Family
ID=54112898
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201410101976.8A Pending CN104925413A (zh) | 2014-03-19 | 2014-03-19 | 一种实时检测集液罐液位***及检测方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN104925413A (zh) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11264756A (ja) * | 1998-03-18 | 1999-09-28 | Tokyo Electron Ltd | 液面検出器および液面検出方法、ならびに基板処理装置 |
JP2003214924A (ja) * | 2002-01-22 | 2003-07-30 | Yamatake Corp | レベル検出装置 |
CN101208256A (zh) * | 2005-04-25 | 2008-06-25 | 高级技术材料公司 | 具有空检测能力的基于衬里的液体储存和分配*** |
CN101364046A (zh) * | 2007-08-06 | 2009-02-11 | 力晶半导体股份有限公司 | 液体与液位的侦测预警***及方法 |
CN101996857A (zh) * | 2009-08-07 | 2011-03-30 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 制造半导体装置的***及方法 |
-
2014
- 2014-03-19 CN CN201410101976.8A patent/CN104925413A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11264756A (ja) * | 1998-03-18 | 1999-09-28 | Tokyo Electron Ltd | 液面検出器および液面検出方法、ならびに基板処理装置 |
JP2003214924A (ja) * | 2002-01-22 | 2003-07-30 | Yamatake Corp | レベル検出装置 |
CN101208256A (zh) * | 2005-04-25 | 2008-06-25 | 高级技术材料公司 | 具有空检测能力的基于衬里的液体储存和分配*** |
CN101364046A (zh) * | 2007-08-06 | 2009-02-11 | 力晶半导体股份有限公司 | 液体与液位的侦测预警***及方法 |
CN101996857A (zh) * | 2009-08-07 | 2011-03-30 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 制造半导体装置的***及方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN204789825U (zh) | 一种新型多功能配电维修监测设备 | |
CN104925413A (zh) | 一种实时检测集液罐液位***及检测方法 | |
CN104730978A (zh) | 基于大数据的实时数据采集分布式集成*** | |
CN208805156U (zh) | 一种基于机器视觉技术的电池在线检测装置 | |
CN204247546U (zh) | 一种在线检测倒瓶与处理装置 | |
CN204241350U (zh) | 一种滤芯检测装置 | |
CN203204079U (zh) | 制药用器具清洗机电导率在线检测装置 | |
CN204389493U (zh) | 一种齿轮箱油路检测*** | |
CN102175717A (zh) | 检验蓄电池汇流排焊接质量的装置及方法 | |
CN114401290A (zh) | 一种电力设备数据采集处理*** | |
CN205430277U (zh) | Gprs终端通信故障排查*** | |
CN202126412U (zh) | 布面质量在线检测*** | |
CN204115701U (zh) | 微钻检测装置 | |
CN202257664U (zh) | 一种基于机器视觉的成捆铜管计数设备 | |
CN201786351U (zh) | 抽油机工况实时检测装置 | |
CN204594613U (zh) | 用于变压器在线压力监测装置 | |
CN206410221U (zh) | 一种方便安装和拆卸的集控箱及其构成的空气品质处理机组 | |
CN205219843U (zh) | 用于冲床控制器的数据采集处理装置 | |
CN202614641U (zh) | 一种液压润滑油品清洁度在线监测装置 | |
CN203396422U (zh) | 一种机床温湿度检测装置 | |
CN205317634U (zh) | 一种在线监控的岩石渗透率测试装置 | |
CN206481114U (zh) | 通信基站油机的检测装置 | |
CN204731188U (zh) | 制药清洗机用pH在线检测*** | |
CN106290562A (zh) | 基于并行处理的超声法煤粉浓度测量用数据处理*** | |
CN203405442U (zh) | 一种基于超声波的合金探伤智能*** |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20150923 |