CN104692114B - 一种全自动上下料机构 - Google Patents

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本发明涉及一种全自动上下料机构,包括底座,在底座上自左向右依次固定有水平运动的左机械手、竖直运动的左上料盒升降装置、夹具平台、竖直运动的右下料盒升降装置、水平运动的右机械手。机械手包括手臂、手臂固定座、固定于手臂下端的滑块、滑块配合滑动的导轨、导轨固定座、带动手臂固定座水平运动的同步带和步进电机,手臂上设有用于夹取工件的手指和控制手指运动的微型气缸。上料盒升降装置包括料盒、料盒放置台和滚珠丝杆,滚珠丝杆通过丝杆螺母座与料盒放置台连接并控制料盒的上下运动。本发明采用步进电机全程自动控制,精度高,一次上料便可完成多个夹具上半导体的加工,并且工人操作简单,能提高生产效率,降低出错率。

Description

一种全自动上下料机构
技术领域
本发明涉及一种全自动工作台,尤其涉及一种用于半导体器件大批量生产的全自动上下料工作台。
背景技术
随着半导体产品更新换代的速度加快,加工技术也随之升级,所以,半导体的支撑产业中制造设备、测试仪器和原材料是产业升级的关键,其中设备更是产业的要害和咽喉,掌握了制造设备的创新能力才算到达了行业的制高点。在我国,半导体器件生产的大部分厂家还是采用原材料→夹具→设备工作台的纯手动上下料模式,生产效率低,生产成本高,无法与自动化设备的效率相匹配,造成资源浪费。为此,亟需一种装置来解决上述问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种生产效率高的全自动上下料工作台。
本发明解决上述技术问题的技术方案如下:一种全自动上下料机构包括底座,在所述底座上自左向右依次固定有水平运动的左机械手、竖直运动的左上料盒升降装置、夹具平台、竖直运动的右下料盒升降装置、水平运动的右机械手。
所述左机械手包括左手臂、用于固定所述左手臂一端的左手臂固定座、固定于所述左手臂下端的左滑块、与所述左滑块配合滑动的左导轨、用于支撑所述左导轨的左导轨固定座、与所述左手臂固定座连接的左一同步带和左一步进电机,所述左一步进电机通过所述左一同步带驱动所述左手臂固定座和所述左手臂水平运动,所述左手臂上设有用于夹取工件的左手指和控制所述左手指运动的左微型气缸。
所述右机械手包括右手臂、用于固定所述右手臂一端的右手臂固定座、固定于所述右手臂下端的右滑块、与所述右滑块配合滑动的右导轨、用于支撑所述右导轨的右导轨固定座、与所述右手臂固定座连接的右一同步带和右一步进电机,所述右一步进电机通过所述右一同步带驱动所述右手臂固定座和所述右手臂水平运动,所述右手臂上设有用于夹取工件的右手指和控制所述右手指运动的右微型气缸。
所述左上料盒升降装置包括左料盒、用于固定所述左料盒的左料盒放置台、左滚珠丝杆、左二同步带和左二步进电机,所述左二步进电机通过所述左二同步带驱动所述左滚珠丝杆转动,所述左滚珠丝杆通过丝杆螺母座与所述左料盒放置台连接,所述左滚珠丝杆转动时带动所述左料盒放置台和所述左料盒上下运动。
所述右下料盒升降装置包括右料盒、用于固定所述右料盒的右料盒放置台、右滚珠丝杆、右二同步带和右二步进电机,所述右二步进电机通过所述右二同步带驱动所述右滚珠丝杆转动,所述右滚珠丝杆通过丝杆螺母座与所述右料盒放置台连接,所述右滚珠丝杆转动时带动所述右料盒放置台和所述右料盒上下运动。
所述夹具平台的左右两侧分别与所述左上料盒升降装置和右下料盒升降装置连接,所述夹具平台上设有供夹具水平滑动的浅槽,所述浅槽的宽度与夹具的宽度相配合。
优选地,所述左手臂与所述左手指通过双杆连接,所述左微型气缸的气缸轴的前后移动驱动所述左手指转动并夹紧夹具;所述右手臂与所述右手指通过双杆连接,所述右微型气缸的气缸轴的前后移动驱动所述右手指转动并夹紧或放开夹具。其中左、右微型气缸均由电脑通过电磁阀控制气缸的充气和放气,从而实现左、右手指是否夹紧的动作。
优选地,所述左手指与左手臂的相配合的面为斜面;右手指与右手臂的相配合的面为斜面。其中斜面的斜度优选为30度,以保证与所夹夹具能紧密配合。
优选地,所述左手臂固定座上连接有左传感器固定板,所述左传感器固定板上设有多个沿左手臂移动轨迹分布的左光电开关传感器,所述左手臂固定座上还连接有供左光电开关传感器感应用的左不锈钢片;所述右手臂固定座上连接有右传感器固定板,所述右传感器固定板上设有多个沿右手臂移动轨迹分布的右光电开关传感器,所述右手臂固定座上还连接有供右光电开关传感器感应用的右不锈钢片。其中左、右光电开关传感器的信号均反馈给外设电脑,且左、右步进电机均由电脑程序控制。
优选地,所述左传感器固定板与多个所述左光电开关传感器通过螺栓固定连接,所述螺栓孔均为U型孔,以保证所述左光电开关传感器的水平位移手动可调;所述右传感器固定板与多个所述右光电开关传感器通过螺栓固定连接,所述螺栓孔均为U型孔,以保证所述右光电开关传感器的水平位移手动可调。
优选地,所述左手臂固定座通过同步带夹与所述左一同步带固定,以保证所述左一步进电机带动所述左手臂精确运动;所述右手臂固定座通过同步带夹与所述右一同步带固定,以保证所述右一步进电机带动所述右手臂精确运动。
优选地,所述左料盒上设有用于检测左料盒位置的左料盒光电传感器,所述左料盒内沿垂直方向等距离设有多组用于固定夹具的横向导向槽,所述左料盒靠近所述夹具平台的一侧设有开口倒角,所述左料盒的另一侧设有防止夹具滑出的竖直定位轴,所述左料盒外表面设有便于拿取的防滑纹;所述右料盒上设有用于检测右料盒位置的右料盒光电传感器,所述右料盒内沿垂直方向等距离设有多组用于固定夹具的横向导向槽,所述右料盒靠近所述夹具平台的一侧设有开口倒角,所述右料盒的另一侧设有防止夹具滑出的竖直定位轴,所述右料盒外表面设有便于拿取的防滑纹。
优选地,所述左料盒放置台设有便于所述左料盒准确放入的带有斜角的左滑入式挡板,所述右料盒放置台设有便于所述右料盒准确放入的带有斜角的右滑入式挡板。
优选地,所述夹具平台和所述底座之间设有防止热传导的隔热条,所述隔热条的材料优选为聚四氟乙烯。
优选地,所述夹具平台的中心处设有固定夹具的真空吸附装置,防止抖动。
基于上述技术方案,本发明的有益效果是:本发明采用步进电机全程自动控制,控制精度高,一次上料便可完成若干个夹具上半导体的加工,使半导体器件加工的效率得到了很大的提升,并且工人操作简单,全程电脑程序控制,降低出错率。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图;
图2为本发明的左机械手的俯视图;
图3为本发明的图2中沿A-A向的剖视图;
图4为本发明的左上料盒升降装置的主视图;
图5为本发明的夹具平台的示意图。
附图中,各标号所代表的部件列表如下:
1、左机械手,2、左上料盒升降装置,3、夹具平台,4、右下料盒升降装置,5、右机械手,6、底座,101、左手臂,102、左手臂固定座,103、左滑块,104、左导轨,105、左导轨固定座,106、左一同步带,107、左一步进电机,108、左手指,109、左微型气缸,110、左光电开关传感器,111、左传感器固定板,112、左不锈钢片,201、左料盒,202、左料盒放置台,203、左滚珠丝杆,204、左二同步带,205、左二步进电机,206、左料盒光电传感器,301、浅槽。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本发明,并非用于限定本发明的范围。
如图1所示,一种全自动上下料机构,包括底座6,在所述底座上自左向右依次固定有水平运动的左机械手1、竖直运动的左上料盒升降装置2、夹具平台3、竖直运动的右下料盒升降装置4、水平运动的右机械手5。本发明两侧的上下料部分的结构可以相同,也可以不相同,本实施方式优选为上下料装置左右相同且关于中间的夹具平台对称的情况。
如图2、图3所示,所述左机械手1包括左手臂101、用于固定所述左手臂101一端的左手臂固定座102、固定于所述左手臂101下端的左滑块103、与所述左滑块103配合滑动的左导轨104、用于支撑所述左导轨104的左导轨固定座105、与所述左手臂固定座105连接的左一同步带106和左一步进电机107,所述左一步进电机107通过所述左一同步带106驱动所述左手臂固定座102和所述左手臂101水平运动,所述左手臂101上设有用于夹取工件的左手指108和控制所述左手指108运动的左微型气缸109。
所述右机械手5和所述左机械手1的结构相同且关于中间的夹具平台3对称。所述右机械手5包括右手臂、用于固定所述右手臂一端的右手臂固定座、固定于所述右手臂下端的右滑块、与所述右滑块配合滑动的右导轨、用于支撑所述右导轨的右导轨固定座、与所述右手臂固定座连接的右一同步带和右一步进电机,所述右一步进电机通过所述右一同步带驱动所述右手臂固定座和所述右手臂水平运动,所述右手臂上设有用于夹取工件的右手指和控制所述右手指运动的右微型气缸。
如图4所示,所述左上料盒升降装置2包括左料盒201、用于固定所述左料盒201的左料盒放置台202、左滚珠丝杆203、左二同步带204和左二步进电机205,所述左二步进电机205通过所述左二同步带204驱动所述左滚珠丝杆203转动,所述左滚珠丝杆203通过丝杆螺母座与所述左料盒放置台202连接,所述左滚珠丝杆203转动时带动所述左料盒放置台202和所述左料盒201上下运动。
所述右下料盒升降装置4和所述左上料盒升降装置2的结构相同且关于中间的夹具平台3对称。所述右下料盒升降装置4包括右料盒、用于固定所述右料盒的右料盒放置台、右滚珠丝杆、右二同步带和右二步进电机,所述右二步进电机通过所述右二同步带驱动所述右滚珠丝杆转动,所述右滚珠丝杆通过丝杆螺母座与所述右料盒放置台连接,所述右滚珠丝杆转动时带动所述右料盒放置台和所述右料盒上下运动。
所述夹具平台3的左右两侧分别与所述左上料盒升降装置2和右下料盒升降装置4连接,如图5所示,所述夹具平台3上设有供夹具水平滑动的浅槽301,所述浅槽301的宽度与夹具的宽度相配合。
优选地,所述左手臂101与所述左手指108通过双杆连接,所述左微型气缸109的气缸轴的前后移动驱动所述左手指108转动并夹紧夹具;所述右手臂与所述右手指通过双杆连接,所述右微型气缸的气缸轴的前后移动驱动所述右手指转动并夹紧或放开夹具。其中左、右微型气缸均由电脑通过电磁阀控制气缸的充气和放气,从而实现左、右手指是否夹紧的动作。
优选地,所述左手指108与左手臂101的相配合的面为斜面;右手指与右手臂的相配合的面为斜面。其中斜面的斜度优选为30度,以保证与所夹夹具能紧密配合。
优选地,所述左手臂固定座102上连接有左传感器固定板111,所述左传感器固定板111上设有多个沿左手臂101移动轨迹分布的左光电开关传感器110,所述左手臂固定座102上还连接有供左光电开关传感器110感应用的左不锈钢片112;所述右手臂固定座上连接有右传感器固定板,所述右传感器固定板上设有多个沿右手臂移动轨迹分布的右光电开关传感器,所述右手臂固定座上还连接有供右光电开关传感器感应用的右不锈钢片。其中左、右光电开关传感器的信号均反馈给外设电脑,且左、右步进电机均由电脑程序控制。
优选地,所述左传感器固定板111与多个所述左光电开关传感器110通过螺栓固定连接,所述螺栓孔均为U型孔,以保证所述左光电开关传感器110的水平位移手动可调;所述右传感器固定板与多个所述右光电开关传感器通过螺栓固定连接,所述螺栓孔均为U型孔,以保证所述右光电开关传感器的水平位移手动可调。
优选地,所述左手臂固定座102通过同步带夹与所述左一同步带106固定,以保证所述左一步进电机107带动所述左手臂101精确运动;所述右手臂固定座通过同步带夹与所述右一同步带固定,以保证所述右一步进电机带动所述右手臂精确运动。
优选地,所述左料盒201上设有用于检测左料盒201位置的左料盒光电传感器206,所述左料盒201内沿垂直方向等距离设有多组用于固定夹具的横向导向槽,所述左料盒201靠近所述夹具平台3的一侧设有开口倒角,所述左料盒201的另一侧设有防止夹具滑出的竖直定位轴,所述左料盒201外表面设有便于拿取的防滑纹;所述右料盒上设有用于检测右料盒位置的右料盒光电传感器,所述右料盒内沿垂直方向等距离设有多组用于固定夹具的横向导向槽,所述右料盒靠近所述夹具平台的一侧设有开口倒角,所述右料盒的另一侧设有防止夹具滑出的竖直定位轴,所述右料盒外表面设有便于拿取的防滑纹。
优选地,所述左料盒放置台202设有便于所述左料盒201准确放入的带有斜角的左滑入式挡板,所述右料盒放置台202设有便于所述右料盒201准确放入的带有斜角的右滑入式挡板。
优选地,所述夹具平台3和所述底座6之间设有防止热传导的隔热条,所述隔热条的材料优选为聚四氟乙烯。
优选地,所述夹具平台3的中心处设有固定夹具的真空吸附装置,防止抖动。
工作时,首先使左料盒201和右料盒处于最底端,左手臂101和右手臂复位到两侧的起始状态,起始位置由相对应位置的光电开关感应器确定。给定一个开始信号后机构开始工作,通过电脑程序操控左料盒201和右料盒向上运动一段指定的距离,保证所装夹具的下表面与夹具平台3的上表面保持同一水平面。然后电脑程序控制左手臂101向右运动,当到达左料盒201内夹具位置相应的光电开关传感器时,反馈给电脑信号控制左手指108夹住夹具向前推进,在到达由光电开关传感器位置确定的夹具平台3的工作位置时,真空吸附装置将夹具吸附固定后开始加工半导体工件。随后左手指108放开夹具,左手臂101回到原位,当机构完成工件加工后发出相应信号,电脑接收信号后控制右料盒向上运动到指定距离,同时右手臂向左运动至夹具平台3上的夹具后,右手指夹住夹具再拖回到右料盒中,以此完成一个夹具的上下料过程。重复若干次上述步骤,直到完成所有夹具的全自动上下料过程。
以上所述仅为本发明的较佳实施例,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种全自动上下料机构,其特征在于:包括底座,在所述底座上自左向右依次固定有水平运动的左机械手、竖直运动的左上料盒升降装置、夹具平台、竖直运动的右下料盒升降装置、水平运动的右机械手;
所述左机械手包括左手臂、用于固定所述左手臂一端的左手臂固定座、固定于所述左手臂下端的左滑块、与所述左滑块配合滑动的左导轨、用于支撑所述左导轨的左导轨固定座、与所述左手臂固定座连接的左一同步带和左一步进电机,所述左一步进电机通过所述左一同步带驱动所述左手臂固定座和所述左手臂水平运动,所述左手臂上设有用于夹取工件的左手指和控制所述左手指运动的左微型气缸;
所述右机械手包括右手臂、用于固定所述右手臂一端的右手臂固定座、固定于所述右手臂下端的右滑块、与所述右滑块配合滑动的右导轨、用于支撑所述右导轨的右导轨固定座、与所述右手臂固定座连接的右一同步带和右一步进电机,所述右一步进电机通过所述右一同步带驱动所述右手臂固定座和所述右手臂水平运动,所述右手臂上设有用于夹取工件的右手指和控制所述右手指运动的右微型气缸;
所述左上料盒升降装置包括左料盒、用于固定所述左料盒的左料盒放置台、左滚珠丝杆、左二同步带和左二步进电机,所述左二步进电机通过所述左二同步带驱动所述左滚珠丝杆转动,所述左滚珠丝杆通过丝杆螺母座与所述左料盒放置台连接,所述左滚珠丝杆转动时带动所述左料盒放置台和所述左料盒上下运动;
所述右下料盒升降装置包括右料盒、用于固定所述右料盒的右料盒放置台、右滚珠丝杆、右二同步带和右二步进电机,所述右二步进电机通过所述右二同步带驱动所述右滚珠丝杆转动,所述右滚珠丝杆通过丝杆螺母座与所述右料盒放置台连接,所述右滚珠丝杆转动时带动所述右料盒放置台和所述右料盒上下运动;
所述夹具平台的左右两侧分别与所述左上料盒升降装置和右下料盒升降装置连接,所述夹具平台上设有供夹具水平滑动的浅槽,所述浅槽的宽度与夹具的宽度相配合。
2.根据权利要求1所述的一种全自动上下料机构,其特征在于,所述左手臂与所述左手指通过双杆连接,所述左微型气缸的气缸轴的前后移动驱动所述左手指转动并夹紧夹具;所述右手臂与所述右手指通过双杆连接,所述右微型气缸的气缸轴的前后移动驱动所述右手指转动并夹紧或放开夹具。
3.根据权利要求2所述的一种全自动上下料机构,其特征在于,所述左手指与左手臂的相配合的面为斜面;右手指与右手臂的相配合的面为斜面。
4.根据权利要求1所述的一种全自动上下料机构,其特征在于,所述左手臂固定座上连接有左传感器固定板,所述左传感器固定板上设有多个沿左手臂移动轨迹分布的左光电开关传感器,所述左手臂固定座上还连接有供左光电开关传感器感应用的左不锈钢片;所述右手臂固定座上连接有右传感器固定板,所述右传感器固定板上设有多个沿右手臂移动轨迹分布的右光电开关传感器,所述右手臂固定座上还连接有供右光电开关传感器感应用的右不锈钢片。
5.根据权利要求4所述的一种全自动上下料机构,其特征在于,所述左传感器固定板与多个所述左光电开关传感器通过螺栓固定连接,所述螺栓孔均为U型孔;所述右传感器固定板与多个所述右光电开关传感器通过螺栓固定连接,所述螺栓孔均为U型孔。
6.根据权利要求1所述的一种全自动上下料机构,其特征在于,所述左手臂固定座通过同步带夹与所述左一同步带固定,所述右手臂固定座通过同步带夹与所述右一同步带固定。
7.根据权利要求1所述的一种全自动上下料机构,其特征在于,所述左料盒上设有用于检测左料盒位置的左料盒光电传感器,所述左料盒内沿垂直方向等距离设有多组用于固定夹具的横向导向槽,所述左料盒靠近所述夹具平台的一侧设有开口倒角,所述左料盒的另一侧设有防止夹具滑出的竖直定位轴,所述左料盒外表面设有便于拿取的防滑纹;所述右料盒上设有用于检测右料盒位置的右料盒光电传感器,所述右料盒内沿垂直方向等距离设有多组用于固定夹具的横向导向槽,所述右料盒靠近所述夹具平台的一侧设有开口倒角,所述右料盒的另一侧设有防止夹具滑出的竖直定位轴,所述右料盒外表面设有便于拿取的防滑纹。
8.根据权利要求1所述的一种全自动上下料机构,其特征在于,所述左料盒放置台设有便于所述左料盒准确放入的带有斜角的左滑入式挡板,所述右料盒放置台设有便于所述右料盒准确放入的带有斜角的右滑入式挡板。
9.根据权利要求1所述的一种全自动上下料机构,其特征在于,所述夹具平台和所述底座之间设有防止热传导的隔热条。
10.根据权利要求1至9中任一所述的一种全自动上下料机构,其特征在于,所述夹具平台的中心处设有固定夹具的真空吸附装置。
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