CN104661441B - 一种加成法制作线路板的激光活化技术方法 - Google Patents

一种加成法制作线路板的激光活化技术方法 Download PDF

Info

Publication number
CN104661441B
CN104661441B CN201510084225.4A CN201510084225A CN104661441B CN 104661441 B CN104661441 B CN 104661441B CN 201510084225 A CN201510084225 A CN 201510084225A CN 104661441 B CN104661441 B CN 104661441B
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser
wiring board
copper
addition process
technical method
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201510084225.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104661441A (zh
Inventor
何波
向勇
张庶
陆云龙
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhuhai Zhongjing Yuansheng Electronic Technology Co.,Ltd.
Original Assignee
Zhuhai Topsun Electronic Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zhuhai Topsun Electronic Technology Co Ltd filed Critical Zhuhai Topsun Electronic Technology Co Ltd
Priority to CN201510084225.4A priority Critical patent/CN104661441B/zh
Publication of CN104661441A publication Critical patent/CN104661441A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104661441B publication Critical patent/CN104661441B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/107Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern by filling grooves in the support with conductive material
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0011Working of insulating substrates or insulating layers
    • H05K3/0017Etching of the substrate by chemical or physical means
    • H05K3/0026Etching of the substrate by chemical or physical means by laser ablation
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/10Using electric, magnetic and electromagnetic fields; Using laser light
    • H05K2203/107Using laser light
    • H05K2203/108Using a plurality of lasers or laser light with a plurality of wavelengths

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)

Abstract

本发明公开一种加成法制作线路板的激光活化技术方法。该方法包括:清洗电路板基材;在基材表面使用激光烧蚀形成线路轨道图形,同时在激光照射作用下,基材轨道表面形成纳米级孔洞;催化粒子渗透孔洞吸附在凹槽侧壁和底部,形成活化催化层;最后利用催化层实现化学镀铜,完成线路轨道填铜,形成电路板导电图案。这种方法异于传统的蚀刻减成法,可以十分方便地实现线路金属化,而且工艺简单,环境友好。

Description

一种加成法制作线路板的激光活化技术方法
技术领域
本发明涉及加成制作电路板方法,尤其涉及一种基于激光照射改性,再通过化学填铜制作电路图案的方法。
背景技术
印制电路板作为电子产品元器件的载板,起着重要的互联作用。在电路板的电气连接中,铜导体电路无疑是关键的一个方面。铜线线宽线距直接影响电气性能的稳定性,尤其是对信号传输要求比较高的高频阻抗板来说。
传统的PCB生产工艺是利用蚀刻的方法,将整块铜箔基板覆盖干膜并曝光显影后,再由化学蚀刻除去不需要的面铜形成导体线路,是一种减成方法。这种方法的优点是工艺十分成熟,但是存在材料消耗,工序复杂等缺点,并且由于曝光显影设备的约束,导线线路精度因此受到限制。并且在化学镀工序要经历粗化,吸附,还原等步骤,对电路板可靠性有一定影响,同时带来了化学药品的污染问题。
发明内容
针对传统工艺的局限性,提出一种加成法制作线路板的方法,该方法用到了激光活化技术,并基于此利用化学镀铜形成导线图案。通过这种激光活化法,可以省去化学镀的粗化前处理,简化了工艺,提高了线路板的可靠性。
本发明所采用的技术方案是:该方法包括以下步骤:
(1)对绝缘基底材料表面使用激光烧蚀形成线路轨道图形,同时在激光照射作用下,基材轨道表面形成纳米级孔洞;
(3)将催化粒子渗透孔洞,吸附在材料表面,形成活化催化层;
(3)金属通过化学填铜的方法在凹槽内填铜形成导电图案。
进一步地,在所述步骤(1)中,使用激光烧蚀的同时,使轨道侧壁和底部出现纳米级孔洞。
进一步地,所述步骤(2)中,所述催化粒子包括但不限于胶体钯,纳米金属颗粒,纳米碳。
进一步地,所述步骤(2)中,所述活化催化层的厚度为20nm-200nm。
进一步地,所述步骤(2)中,在纳米粒子吸附形成催化层后,对材料表面进行干燥。
进一步地,所述步骤(3)中,化学填铜包括但不限于化学镀铜、镀镍、镀银、镀金、镀镍磷硼,后再进行填铜。
进一步地,所述步骤(1)中, 激光烧蚀过程中,激光的脉冲能量控制在80-100mJ,聚焦高度控制在50-60mm,频率控制在40-60 kHz,脉冲宽度控制在102-120nms,光束直径控制在15-20mm。
进一步地,所述步骤(1)中,在进行激光烧蚀的后段,激光的脉冲能量控制在10-40mJ,聚焦高度控制在50-60mm,频率控制在48-60 kHz,脉冲宽度控制在102-120nms,光束直径控制在15-20mm。
进一步地,所述催化粒子的粒径小于或等于100nm,所述催化粒子应均匀悬浮在液态分散体系。
更进一步地,化学填铜时应将凹槽填满铜为止。
具体地,本发明选择合适的基底材料(非铜箔),并切割成适合电路加工的尺寸。
将基材置于激光加工设备中,输入激光图案文件后,对基材进行表面图形烧蚀,并在烧蚀周期末控制激光参数,利用激光再次照射烧蚀成的凹槽表面,使凹槽内面形成纳米孔洞。具体做法是,在激光烧蚀周期中,利用高能激光束照射基材表面,表面需要形成导线图案的部分吸收能量,迅速升温汽化;在激光烧蚀周期末,降低激光功率,使得激光照射基材凹槽时基材有机成分不致完全汽化,而是部分汽化,并借此在内壁形成纳米级孔洞。
整板清洗,由于激光作用会带来基材表面和轨道槽内壁汽化污渍,利用等离子体或者其他化学微蚀法进行清洁。
根据清洁类型不同,在清理完毕后,内壁纳米级微孔往往会携带正电或者负电;对于带负电的催化剂微粒,需要进行电荷调整,使微孔带上正电;而对于带正电的催化剂微粒,则要调整微孔带上负电。
将调整完毕的基材浸润到含有催化颗粒的溶液中,催化粒子渗透孔洞吸附在轨道内壁,形成活化催化层。催化剂溶液是由含有纳米金属胶体或者离子的稳定分散溶液体系,纳米金属胶体或者微粒作为后续还原形成金属镀层的催化中心,所以在内壁需要有较强的吸附作用,甚至渗透到孔洞内部,提高催化效果。常用的催化金属如胶体钯,纳米金属颗粒,纳米碳等。催化层厚度可以调整,根据实际需要改变。
轨道内表面形成催化层后就有了进行化学填铜的基础,通常将材料浸润到化学镀液中,催化中心发生氧化还原反应形成镀层金属,镀层金属上又发生自催化反应,使得化学镀过程继续进行,最终使得金属填满凹槽,形成电路导线。
本发明利用激光烧蚀同时实现填铜部分的活化,进而化学填铜形成导电铜线,将物理改性和化学作用结合,通过激光照射材料完成材料表面粗化前处理过程,较为方便的实现表面改性,为催化剂的附体提供了良好的条件,而且得到的铜导线线形较好。
附图说明
图1是未作处理的基底材料示意图;
图2是对基底进行激光蚀刻的示意图;
图3是基底激光照射留下微小孔洞示意图;
图4是轨道槽内表面吸附催化剂形成活化催化层的示意图;
图5是基底表面化学填铜的示意图;
图6是填铜完成示意图;其中,A是一种基底材料,如树脂材料FR-4,液晶高分子材料LCP等;B是活化层;C是催化层;D是混合层;E是金属层;F是导体线路。
具体实施方式
如图1至图6所示,下面根据发明工艺通过具体实施方式来详细说明。以下实施实例只是为了更好地将本发明技术原理阐释清楚,并不代表本发明只能限制使用该实施实例。
实施例一:
(1)利用液晶高分子聚合物(LCP)作为基底材料,并在该材料表面实现烧蚀填铜,形成导体图案。
(2)选择机械加工,热性能优异的液晶高分子聚合物(LCP)作为基底材料A,并切割成适合加工的尺寸。
(3)切割好的基材进行酸洗一次,水洗三次并烘干,除去基材表面污腻,保证后期激光处理的一致性。
(4)将基材置于激光加工设备中,输入激光图案文件后,对基材进行表面图形烧蚀,并在烧蚀周期末控制激光参数,利用激光再次照射烧蚀成的凹槽表面,使凹槽内面形成纳米孔洞。具体做法是,在激光烧蚀周期中,激光脉冲能量控制在70-90mJ,聚焦高度控制在0-10mm,激光频率控制在50-60kHz,激光脉冲宽度控制在102-120nms,光束直径控制在15-20mm;在激光烧蚀周期末,降低激光功率,激光脉冲能量控制在40-50mJ,聚焦高度控制在0-5mm,激光频率控制在60-70kHz,激光脉冲宽度控制在102-120nm,光束直径控制在15-20mm,使得激光照射基材凹槽时基材有机成分不致完全汽化,而是部分汽化,并借此在内壁形成纳米级孔洞。
(5)将刻槽后的基板放入等离子清洗设备中,对基材表面和凹槽内面微小孔洞进行清洁,有利于催化颗粒的吸附。
(6)根据清洁类型不同,在清理完毕后,内壁纳米级微孔往往会携带正电或者负电;对于带负电的催化剂微粒,需要进行电荷调整,使微孔带上正电;而对于带正电的催化剂微粒,则要调整微孔带上负电。
(7)调节完电荷的基板材料需要浸没到催化剂溶液中,本实例使用的催化剂溶液是纳米石墨溶液。浸没温度控制在40℃左右,浸没时间5~10min,可以在浸没设备加入震荡装置,以便催化成分与基板表面充分结合。
(8)基材吸附碳微粒后在40℃的热风条件下吹干,干燥的温度和时间不易过多,影响催化层结构和组成,最好加入气体保护。
(9)将吸附催化剂的基板材料浸入化学镀铜溶液中,镀铜液即普通的商业镀铜溶液。温度控制在25℃,时间控制在20min,使凹槽内表面均匀的镀上铜层,并继续填铜直到形成电路导线。
实施例二:
(1)利用聚酰亚胺(PI)作为基底材料,并在该材料表面实现烧蚀填铜,形成导体图案。
(2)选择聚酰亚胺(PI)作为基底材料A,聚酰亚胺薄膜厚度25微米,并切割成适合加工的尺寸。
(3)切割好的基材进行酸洗一次,水洗三次并烘干,除去基材表面污腻,保证后期激光处理的一致性。
(4)切割好的基材进行酸洗一次,水洗三次并烘干,除去基材表面污腻,保证后期激光处理的一致性。
(5)将基材置于激光加工设备中,输入激光图案文件后,对基材进行表面图形烧蚀,并在烧蚀周期末控制激光参数,利用激光再次照射烧蚀成的凹槽表面,使凹槽内面形成纳米孔洞。具体做法是,在激光烧蚀周期中,激光脉冲能量控制在50-60mJ,聚焦高度控制在0-10mm,激光频率控制在50-60kHz,激光脉冲宽度控制在102-120 nm,光束直径控制在15-20mm;在激光烧蚀周期末,降低激光功率,激光脉冲能量控制在30-40mJ,聚焦高度控制在0-5mm,激光频率控制在60-70kHz,激光脉冲宽度控制在102nms-120nm,光束直径控制在15-20mm,使得激光照射基材凹槽时基材有机成分不致完全汽化,而是部分汽化,并借此在内壁形成纳米级孔洞。
(6)将刻槽后的基板放入等离子清洗设备中,对基材表面和凹槽内面微小孔洞进行清洁,有利于催化颗粒的吸附。
(7)根据清洁类型不同,在清理完毕后,内壁纳米级微孔往往会携带正电或者负电;对于带负电的催化剂微粒,需要进行电荷调整,使微孔带上正电;而对于带正电的催化剂微粒,则要调整微孔带上负电。
(8)调节完电荷的基板材料需要浸没到催化剂溶液中,本实例使用的催化剂溶液是商业纳米银催化剂溶液。浸没温度控制在40℃左右,浸没时间5min,可以在浸没设备加入震荡装置,以便催化成分与基板表面充分结合。
(9)基材吸附纳米银微粒后在40℃的热风条件下吹干,干燥的温度和时间不易过多,防止影响催化层结构和组成,并加入气体保护。
(10)将吸附催化剂的基板材料浸入化学镀铜溶液中,镀铜液即普通的商业镀铜溶液。温度控制在25℃,时间控制在20min,使凹槽内表面均匀的镀上铜层,并继续填铜直到形成电路导线。
部分板材可能需要磨板,微蚀,得到光滑铜线的电路板。
上述两个实例可以看出,可以应用本发明方法的基材种类很多,包括但不限于热固性树脂,热塑性树脂或者两者共混物。
上述两种实例对本发明做了详细的说明,但不不意味着本发明仅仅局限于这两种实例。在不脱离本发明技术原理的情况下,对其进行改进和变形在本发明权利要求和技术之内,也应属于本发明的保护范围。

Claims (7)

1.一种加成法制作线路板的激光活化技术方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:
(1)对绝缘基底材料表面使用激光烧蚀形成线路轨道图形,同时在激光照射作用下,基材轨道表面形成纳米级孔洞;激光烧蚀过程中,激光的脉冲能量控制在80-100mJ,聚焦高度控制在50-60mm,频率控制在40-60 kHz,脉冲宽度控制在102-120nms,光束直径控制在15-20mm;在进行激光烧蚀的后段,激光的脉冲能量控制在10-40mJ,聚焦高度控制在50-60mm,频率控制在48-60 kHz,脉冲宽度控制在102-120nms,光束直径控制在15-20mm;
(2)将催化粒子渗透孔洞,吸附在材料表面,形成活化催化层,所述活化催化层的厚度为20nm-200nm;
(3)金属通过化学填铜的方法在凹槽内填铜形成导电图案。
2.根据权利要求1所述的一种加成法制作线路板的激光活化技术方法,其特征在于:在所述步骤(1)中,使用激光烧蚀的同时,使轨道侧壁和底部出现纳米级孔洞。
3.根据权利要求1所述的一种加成法制作线路板的激光活化技术方法,其特征在于:所述步骤(2)中,所述催化粒子包括但不限于胶体钯,纳米金属颗粒,纳米碳。
4.根据权利要求1所述的一种加成法制作线路板的激光活化技术方法,其特征在于:所述步骤(2)中,在纳米粒子吸附形成催化层后,对材料表面进行干燥。
5.根据权利要求1所述的一种加成法制作线路板的激光活化技术方法,其特征在于:所述步骤(3)中,化学填铜包括但不限于化学镀铜、镀镍、镀银、镀金、镀镍磷硼,后再进行填铜。
6.根据权利要求1所述的一种加成法制作线路板的激光活化技术方法,其特征在于:所述催化粒子的粒径小于或等于100nm,所述催化粒子应均匀悬浮在液态分散体系。
7.根据权利要求5所述的一种加成法制作线路板的激光活化技术方法,其特征在于:化学填铜时应将凹槽填满铜为止。
CN201510084225.4A 2015-02-16 2015-02-16 一种加成法制作线路板的激光活化技术方法 Active CN104661441B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510084225.4A CN104661441B (zh) 2015-02-16 2015-02-16 一种加成法制作线路板的激光活化技术方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510084225.4A CN104661441B (zh) 2015-02-16 2015-02-16 一种加成法制作线路板的激光活化技术方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104661441A CN104661441A (zh) 2015-05-27
CN104661441B true CN104661441B (zh) 2018-06-01

Family

ID=53251997

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510084225.4A Active CN104661441B (zh) 2015-02-16 2015-02-16 一种加成法制作线路板的激光活化技术方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104661441B (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105451456A (zh) * 2015-12-08 2016-03-30 昆山联滔电子有限公司 非导电基材的导体线路的制造方法
CN107403692A (zh) * 2016-05-18 2017-11-28 中山因塞施特电子科技有限公司 一种片式电感器及其制备方法
CN109195338A (zh) * 2018-10-26 2019-01-11 恩达电路(深圳)有限公司 氧化铝陶瓷电路板制作方法
CN109618487B (zh) * 2019-01-22 2022-07-29 张雯蕾 带有内埋电路的立体基件及其制备方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101562944A (zh) * 2008-04-16 2009-10-21 欣兴电子股份有限公司 线路板及其制作工艺
CN102137548A (zh) * 2010-01-21 2011-07-27 精工爱普生株式会社 电路布线形成方法、电路基板及布线膜的膜厚度比布线膜的宽度大的电路布线膜
CN102318452A (zh) * 2009-02-12 2012-01-11 住友电木株式会社 布线板用树脂组合物,布线板用树脂片,复合体,复合体的制造方法及半导体装置
CN102471889A (zh) * 2009-07-10 2012-05-23 三共化成株式会社 成型电路部件的制造方法
CN102480847A (zh) * 2010-11-26 2012-05-30 欣兴电子股份有限公司 线路板及其制造方法
CN102806789A (zh) * 2011-06-03 2012-12-05 上海安费诺永亿通讯电子有限公司 在绝缘体表面形成金属图案的方法
CN103053227A (zh) * 2010-11-04 2013-04-17 三共化成株式会社 成形电路部件的制造方法
CN103188877A (zh) * 2013-03-05 2013-07-03 深圳光韵达光电科技股份有限公司 一种陶瓷线路板快速高柔性制作的方法
CN104244588A (zh) * 2014-04-30 2014-12-24 深圳光韵达光电科技股份有限公司 立体电路的制作方法及改性激光烧结粉末材料

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2822167B1 (fr) * 2001-03-15 2004-07-16 Nexans Procede de metallisation d'une piece substrat
EP1622435A1 (en) * 2004-07-28 2006-02-01 ATOTECH Deutschland GmbH Method of manufacturing an electronic circuit assembly using direct write techniques
JP2007109921A (ja) * 2005-10-14 2007-04-26 Seiko Epson Corp 配線基板の製造方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101562944A (zh) * 2008-04-16 2009-10-21 欣兴电子股份有限公司 线路板及其制作工艺
CN102318452A (zh) * 2009-02-12 2012-01-11 住友电木株式会社 布线板用树脂组合物,布线板用树脂片,复合体,复合体的制造方法及半导体装置
CN102471889A (zh) * 2009-07-10 2012-05-23 三共化成株式会社 成型电路部件的制造方法
CN102137548A (zh) * 2010-01-21 2011-07-27 精工爱普生株式会社 电路布线形成方法、电路基板及布线膜的膜厚度比布线膜的宽度大的电路布线膜
CN103053227A (zh) * 2010-11-04 2013-04-17 三共化成株式会社 成形电路部件的制造方法
CN102480847A (zh) * 2010-11-26 2012-05-30 欣兴电子股份有限公司 线路板及其制造方法
CN102806789A (zh) * 2011-06-03 2012-12-05 上海安费诺永亿通讯电子有限公司 在绝缘体表面形成金属图案的方法
CN103188877A (zh) * 2013-03-05 2013-07-03 深圳光韵达光电科技股份有限公司 一种陶瓷线路板快速高柔性制作的方法
CN104244588A (zh) * 2014-04-30 2014-12-24 深圳光韵达光电科技股份有限公司 立体电路的制作方法及改性激光烧结粉末材料

Also Published As

Publication number Publication date
CN104661441A (zh) 2015-05-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104661441B (zh) 一种加成法制作线路板的激光活化技术方法
JP3399434B2 (ja) 高分子成形材のメッキ形成方法と回路形成部品とこの回路形成部品の製造方法
US20160207287A1 (en) Copper-resin composite body and method for producing the same
JP5859075B1 (ja) 配線基板の製造方法、配線基板及び配線基板製造用の分散液
JPS59104197A (ja) 過マンガン酸塩および苛性処理溶液を使用してプリント回路板の孔を浄化する加工法
TW201234945A (en) Printed circuit board and method for manufacturing the same
JP6484218B2 (ja) プリント配線板用基板及びプリント配線板
CN109844178A (zh) 一种在聚合物制品表面上形成导电迹线的方法
US9922951B1 (en) Integrated circuit wafer integration with catalytic laminate or adhesive
JPWO2016104347A1 (ja) プリント配線板用基板及びプリント配線板用基板の製造方法
TW201322835A (zh) 導電線路的製備方法及具有導電線路的基材
US10292265B2 (en) Substrate for printed circuit board, printed circuit board, and method for producing substrate for printed circuit board
US10237976B2 (en) Substrate for printed circuit board, printed circuit board, and method for producing substrate for printed circuit board
JP2008211060A (ja) 金属膜付基板の製造方法
JP6466110B2 (ja) プリント配線板用基板、プリント配線板及びプリント配線板用基板の製造方法
JP5391329B2 (ja) 配線板の製造方法
CN102918937B (zh) 印刷电路板以及该印刷电路板的制造方法
JP6484026B2 (ja) プリント配線板用基板及びプリント配線板並びにプリント配線板用基板の製造方法
JP2015115335A (ja) プリント配線板及びプリント配線板の製造方法
CN104661449B (zh) 一种基于激光活化技术的孔金属化方法
JP6609153B2 (ja) プリント配線板用基材、プリント配線板及び電子部品
JP6925814B2 (ja) 樹脂および樹脂の製造方法
JP7032127B2 (ja) プリント配線板用基材、プリント配線板及びプリント配線板用基材の製造方法
JP3813839B2 (ja) フレキシブル配線基板
JP2009007613A (ja) ポリイミド樹脂基材への金属薄膜パターン形成方法、金属薄膜回路パターン形成方法、金属薄膜基板、及び金属薄膜回路基板

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CP03 Change of name, title or address
CP03 Change of name, title or address

Address after: No.17, Xianggong Road, Hongwan Industrial Zone, Xiangzhou District, Zhuhai City, Guangdong Province, 519000

Patentee after: Zhuhai Zhongjing Yuansheng Electronic Technology Co.,Ltd.

Address before: No. 17, Xianggong Road, Hongwan Industrial Zone, Nanping, Xiangzhou District, Zhuhai City, Guangdong Province, 519060

Patentee before: ZHUHAI TOPSUN ELECTRONIC TECHNOLOGY Co.,Ltd.