CN104540648B

CN104540648B - 具备多关节型机器人的作业机及电子元件安装机

Info

Publication number: CN104540648B
Application number: CN201280075020.4A
Authority: CN
Inventors: 藤田政利; 儿玉诚吾; 永田良
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2012-08-02
Filing date: 2012-08-02
Publication date: 2018-10-12
Anticipated expiration: 2032-08-02
Also published as: JP6228120B2; EP2881226A1; US10099365B2; US20150158176A1; JPWO2014020739A1; WO2014020739A1; CN104540648A; EP2881226A4

Abstract

作业机具备安装有作业头(14)并使该作业头移动的多关节型机器人(16)，在机器人的前端安装有对作业对象物(P)的至少一部分或该作业机的一部分(36)进行拍摄的拍摄装置(30、32)，基于该拍摄装置拍摄到的拍摄数据、根据作业对象物的设计数据而生成的关于该作业对象物的多个特征点的位置数据或关于设定于作业机的多个特征点的位置数据，对机器人的目标动作位置进行校正。由于基于拍摄数据而使机器人的动作适当，作业头的实际作业位置、或作业头的实际移动路径准确，因此能够执行高精度的作业。

Description

具备多关节型机器人的作业机及电子元件安装机

技术领域

本发明涉及通过多关节型机器人使作业头移动而进行作业的作业机及电子元件安装机。

背景技术

关于具备多关节机器人的作业机，研究了记载在下述专利文献中的技术，详细而言，是在该机器人的前端安装拍摄装置并基于通过该拍摄装置而得到的拍摄数据对该机器人的动作进行控制的技术。

专利文献1：日本特开2003-305676号公报

发明内容

在基于图像数据而进行的多关节型机器人的动作控制中，还有较多改良的余地，通过实施某种改良，能够提高具备该机器人的作业机的实用性。而且，在该作业机为电子元件安装机的情况下，尤其期待提高其实用性。本发明鉴于这样的实际情况而作出，课题在于提供一种实用性高的作业机及电子元件安装机。

为了解决上述课题，本发明的作业机具备安装有作业头并使该作业头移动的多关节型机器人，并构成为在机器人的前端安装有对作业对象物的至少一部分或该作业机的一部分进行拍摄的拍摄装置，基于通过该拍摄装置的拍摄而得到的拍摄数据、根据作业对象物的设计数据而生成的关于该作业对象物的多个特征点的位置数据或关于设定于作业机的多个特征点的位置数据，对机器人的目标动作位置进行校正。而且，本发明的电子元件安装机具备安装有电子元件保持头并使该作业头移动的多关节型机器人，并构成为在机器人的前端安装有对电路基板和安装于该电路基板的电子元件中的至少一方的至少一部分进行拍摄的拍摄装置，基于通过该拍摄装置的拍摄而得到的拍摄数据、根据电路基板和电子元件中的至少一方的设计数据而生成的数据，对机器人的动作位置进行反馈控制。

发明效果

根据本发明的作业机或电子元件安装机，基于拍摄数据而使机器人的动作适当，具体而言，作业头(在电子元件安装机的情况下，为电子元件保持头)的实际作业位置、或作业头的实际移动路径准确，因此能够执行高精度的作业。

附图说明

图1是作为本发明的实施例的作业机的电子元件安装机的立体图。

图2是对多关节型机器人的动作进行控制的控制装置的功能框图。

图3是表示在第一校正中由拍摄装置拍摄到的图像的示意图。

图4是表示在第二校正中由拍摄装置拍摄到的图像的示意图。

具体实施方式

以下，作为关于电子元件安装机的实施例，参照附图，详细说明本发明的代表性的实施方式。

实施例

(a)电子元件安装机的硬件结构

如图1所示，实施例的电子元件安装机(以下，有时简称为“安装机”)是向电路基板(以下，有时简称为“基板”)S安装多个电子元件(以下，有时简称为“元件”)P的作业机。安装机包括：将基板S保持在预定作业位置的基板保持装置10；分别供给元件P的多个元件供给装置12；将从各元件供给装置12供给的元件P保持为能够脱离的作为作业头的电子元件保持头(以下，有时简称为“头”)14；及在前端保持头14并使该头14移动的多关节型机器人(以下，有时简称为“机器人”)16。

头14具有吸嘴(以下，有时简称为“嘴”)20，通过所供给的负压的作用，在嘴20的下端以能够脱离的方式吸附保持元件P。头14是一般的结构，除了嘴20之外，还具有嘴升降装置、嘴旋转装置等，它们收纳在壳体之中。在图中，省略了壳体、上述装置、用于向嘴20供给负压的管等。

机器人16的基座(省略图示)固定于成为该安装机的主体的一部分的梁(省略图示)上，肩部22相对于该基座绕轴线θ1在水平面内旋转。并且，上臂24相对于肩部22绕着轴线θ2旋转，下臂26相对于上臂24绕着轴线θ3旋转，固定地保持有头14的肘杆28相对于下臂26绕着轴线θ4旋转。即，机器人16设为具有四个控制轴的串联型机器人。另外，肩部22、上臂24、下臂26、肘杆28通过与四个控制轴对应的四个马达中的每个马达而单独地旋转。而且，为了掌握肩部22、上臂24、下臂26、肘杆28各自的旋转位置(旋转角度)，而在各马达附设有编码器。

在肘杆28安装有分别作为拍摄装置而发挥功能的下方相机30、侧方相机32。下方相机30主要拍摄作业对象物、即由基板保持装置10保持的基板P的一部分及已经安装于基板S的元件P。另一方面，侧方相机32主要拍摄描绘于该安装机的面板34的内侧面上的基准矩阵36的一部分。另外，虽然省略详细说明，但是侧方相机32对应于肩部22的旋转，绕着与肩部22的轴θ1平行的轴线θ5旋转，始终以与面板34正对的姿势来拍摄基准矩阵36。

(b)多关节型机器人的基本控制

由本安装机进行的元件P的安装作业利用机器人16使头14移动来进行。详细而言，首先，以使嘴20位于供给应安装的元件P的元件供给装置12的上方的方式使头20移动，使嘴20保持元件P，接着，以使嘴20位于由基板保持装置10保持的基板S中的该元件P的安装位置的上方的方式使该头14移动，在该位置处，使所保持的元件P脱离。这一连串的安装动作反复进行与应安装的元件P的个数对应的次数，由此进行对一个基板S的安装作业。另外，元件P的吸附保持/脱离的动作伴随着由嘴升降装置进行的嘴20的升降而进行。而且，虽然省略详细的说明，但是在元件P的脱离即元件P的安装动作时，为了使元件P的水平面内的姿势适当，而由嘴旋转装置进行嘴20的旋转动作。

由控制装置控制机器人16的动作，由此来控制上述安装作业中的头14的移动。该控制装置40以计算机为主体而构成，如图2所示，具有目标动作位置决定部42、动作指令发令部44这样的功能部。

头14的移动位置由作为作业空间内的以预定基准位置为基准的三维正交坐标系中的坐标值的H(x、y、z)定义，用于进行安装作业的源数据也由三维或二维正交坐标系中的值来定义。另一方面，机器人16的动作位置由作为与四个轴θ1、θ2、θ3、θ4对应的肩部22、上臂24、下臂26、肘杆28各自的旋转位置的值的集合的R(θ1、θ2、θ3、θ4)定义。目标动作位置决定部42根据源数据来决定头14的目标移动位置H^*(x^*、y^*、z^*)，基于该目标移动位置H^*(x^*、y^*、z^*)来决定目标动作位置R^*(θ1^*、θ2^*、θ3^*、θ4^*)。顺便提及，在本安装机中，以嘴20始终维持沿铅垂方向延伸的姿势的方式决定肘杆28的目标旋转位置θ4^*。

机器人16的动作位置R(θ1、θ2、θ3、θ4)始终由之前说明的编码器46掌握，动作指令发令部44以极短的时间间距求出所掌握的动作位置R(θ1、θ2、θ3、θ4)相对于目标动作位置R^*(θ1^*、θ2^*、θ3^*、θ4^*)的偏差ΔR(θ1^*-θ1、θ2^*-θ2、θ3^*-θ3、θ4^*-θ4)，基于该偏差ΔR(θ1^*-θ1、θ2^*-θ2、θ3^*-θ3、θ4^*-θ4)，按照PID控制的方法等来决定关于应向各马达供给的电流的指令值(I1、I2、I3、I4)。并且，将所决定的指令值(I1、I2、I3、I4)向作为各马达的驱动电路的驱动器48发送，从各驱动器48将与该指令值(I1、I2、I3、I4)对应的电流向各马达M供给。

(c)多关节型机器人的控制中的目标动作位置的校正

上述多关节型机器人16与所谓XY型机器人相比，刚性低，因此存在头14的位置精度低这样的问题。尤其是在串联型机器人的情况下，该问题变大。而且，作为作业对象物的基板S也有在基板保持装置10上未保持在准确位置的可能性。鉴于这些情况，为了提高作业的精度，在本安装机的机器人16的动作的控制中，基于通过下方相机30或侧方相机32的拍摄而得到的拍摄数据，进行目标动作位置的校正。

作为用于进行上述目标动作位置的校正的功能部，控制装置40具有对下方相机30或侧方相机32的拍摄进行控制的拍摄控制部50、保存用于进行与上述拍摄数据的比较处理的参照数据的参照数据保存部52、基于拍摄数据和参照数据来检测与动作位置相关的偏差的偏差检测部54及基于检测出的偏差来校正目标动作位置的目标动作位置校正部56。

所执行的目标动作位置的校正准备了两种。其中的一种是以元件P向基板S的安装位置的适当化为目的的第一校正，另一种是以头14的移动路径的适当化为目的的第二校正。在本安装机中，能够选择性地执行上述第一校正和第二校正中的一方。以下，依次说明这两种校正。

i)第一校正

简单来说，以安装位置的适当化为目的的第一校正是基于与由基板保持装置10保持的基板S和头14的相对位置相关的偏差而进行的校正，具体而言是用于消除该偏差的校正。该校正基于通过下方相机30的拍摄而得到的拍摄数据和上述参照数据进行。

在第一校正中，保存于参照数据保存部52的参照数据设为包括表示关于基板S或者在该基板S上已安装元件R时的该元件P、即作业对象物的多个特征点的在该基板S上的位置的数据在内的数据。换言之，设为包括基板S在准确位置处保持于基板保持装置10时的、以上述特征点的在上述作业空间内的预定基准位置为基准的位置数据在内的数据。上述特征点设为印刷于基板S的各焊料焊盘(有时称为“焊料垫”)L的上表面的中心，而且，在已安装有元件P的情况下，设为该元件P的上表面的中心。具体而言，参照数据是各特征点SP₁、SP₂、···的、以上述基准位置为基准的三维正交坐标系中的位置数据SP₁(x₁、y₁、z₁)、SP₂(x₂、y₂、z₂)、···的集合。

该参照数据不是基于通过实际拍摄基板S或安装有元件P的基板S而得到的拍摄数据所生成的数据，而是基于基板S及元件P的设计数据(也可以考虑为电气电路的设计数据)来生成的数据。因此，参照数据的数据量比较小，能够比较简便地进行用于生成参照数据生成的处理，而且，也能够迅速地进行该参照数据与后述的拍摄数据的比较处理。

保持有元件P的头14在向与该元件的安装位置对应的目标移动位置H^*(x^*、y^*、z^*)移动的过程中，在下方相机30进入到能够拍摄到基板S的区域的情况下，使该头14减速，开始用于进行第一校正的处理。详细而言，首先，拍摄控制部50向下方相机30发出拍摄的指令，将通过进行该拍摄而得到的拍摄数据与进行该拍摄的时刻的机器人16的动作位置R(θ1、θ2、θ3、θ4)建立关联，向偏差检测部54发送。图3表示由下方相机30拍摄到的基板S的一部分的图像，即下方相机30的一视野内的二维图像，将与该图像对应的拍摄数据向偏差检测部54发送。

参照图3进行说明，则偏差检测部54首先基于发送来的拍摄数据，确定该拍摄数据中包含的多个特征点中的适当的两个特征点SP1、SP2。接着，从参照数据之中，提取与这两个特征点SP1、SP2相关的位置数据，然后，基于拍摄数据和所提取出的位置数据，检测偏差。若以更易于理解的方式进行说明，则首先基于发送来的动作位置R(θ1、θ2、θ3、θ4)，将机器人16在该位置动作时应拍摄的上述确定的两个特征点SP1、SP2设为正常特征点SP1’、SP2’，并使其与上述图像重合。并且，基于这些特征点SP1、SP2、正常特征点SP1^*、SP2^*各自的图像内的位置SP1(x1、y1)、SP2(x2、y2)、SP1^*(x1^*、y1^*)、SP2^*(x2^*、y2^*)，按照几何学的方法，检测基板S与头14的相对位置偏差(δx、δy、δz)。该相对位置偏差(δx、δy、δz)是以上述基准位置为基准的三维正交坐标系中的偏差，基于该偏差，求出与机器人16的动作位置相关的偏差δR(δθ1、δθ2、δθ3、δθ4)即校正量。目标动作位置校正部56基于求出的偏差δR(δθ1、δθ2、δθ3、δθ4)，来校正目标动作位置R^*(θ1^*、θ2^*、θ3^*、θ4^*)。

与第一校正相关的上述一连串的处理在头14到达目标移动位置H^*(x^*、y^*、z^*)之前，即在机器人16移动至目标动作位置R^*(θ1^*、θ2^*、θ3^*、θ4^*)之前，以能够进行上述一连串处理的间距反复进行。即，拍摄控制部50在头14的移动过程中，依次使下方相机30进行拍摄，偏差检测部54依次检测偏差，目标动作位置校正部56依次对目标动作位置进行校正。

通过进行上述那样的校正处理，机器人16基于由下方相机30得到的拍摄数据和上述参照数据，对动作位置进行反馈控制。而且，通过进行上述那样的校正处理，基于拍摄数据而使机器人的动作适当。详细而言，进行消除基板S相对于基板保持装置10的偏差、因机器人16的刚性不足等引起的头14的在作业空间内的位置偏差等那样的电子元件安装作业，因此通过执行上述第一校正，该作业的精度、尤其是元件P的安装位置的精度高。

ii)第二校正

简单来说，以头14的移动路径的适当化为目的的第二校正是基于头14与应通过的移动路径之间的偏差而进行的校正，具体而言，是用于消除该偏差的校正。该校正基于通过侧方相机32的拍摄而得到的拍摄数据和上述参照数据来进行。

在第二校正中，保存于参照数据保存部52的参照数据设为包含描绘于面板34的内侧面上的基准矩阵36的多个特征点的以上述作业空间内的预定基准位置为基准的位置数据在内的数据。上述多个特征点设为基准矩阵36中的纵线与横线的各交点。具体而言，参照数据是各特征点SP₁₁、SP₁₂、···、SP₂₁、SP₂₂、···的、以上述基准位置为基准的三维正交坐标系中的位置数据的集合。

该参照数据可以是基于通过实际拍摄面板34而得到的拍摄数据所生成的数据，也可以是基于该作业机的设计数据所生成的数据。

在头14向下一目标移动位置H^*(x^*、y^*、z^*)移动时，以沿着距该位置的距离最短的移动路径即预定移动路径移动的方式控制机器人16的动作。拍摄控制部50在头14的移动过程中，向侧方相机32发出拍摄描绘于面板34的基准矩阵36的指令。并且，将通过基于该指令进行拍摄而得到的基准矩阵36的一部分拍摄数据与进行该拍摄的时刻的机器人16的动作位置R(θ1、θ2、θ3、θ4)建立关联，向偏差检测部54发送。图4表示由侧方相机32拍摄到的基准矩阵36的一部分的图像，即侧方相机32的一视野内的二维图像，并将与该图像对应的拍摄数据向偏差检测部54发送。

参照图4进行说明，则偏差检测部54与上述的第一校正的情况同样，首先，基于发送来的拍摄数据，确定该拍摄数据中包含的多个特征点中的适当的两个特征点SP1、SP2。接着，从参照数据之中，提取与这两个特征点SP1、SP2相关的位置数据，然后，基于拍摄数据和提取出的位置数据，来检测偏差。按照与之前关于第一校正已说明的情况同样的过程，基于特征点SP1、SP2及与其对应的正常特征点SP1^*、SP2^*各自的图像内的位置SP1(y1、z1)、SP2(y2、z2)、SP1^*(y1^*、z1^*)、SP2^*(y2^*、z2^*)，检测头14与上述移动路径之间的位置偏差(δx、δy、δz)。基于该位置偏差(δx、δy、δz)，求出与机器人16的动作位置相关的偏差δR(δθ1、δθ2、δθ3、δθ4)即校正量。目标动作位置校正部56基于求出的偏差δR(δθ1、δθ2、δθ3、δθ4)，校正对应于上述目标移动位置H^*(x^*、y^*、z^*)而决定的目标动作位置R^*(θ1^*、θ2^*、θ3^*、θ4^*)。

与第二校正相关的上述一连串的处理在头14到达目标移动位置H^*(x^*、y^*、z^*)之前，以能够进行上述一连串处理的间距反复进行。即，拍摄控制部50在头14的移动过程中的全部过程中，依次使侧方相机30进行拍摄，偏差检测部54依次检测偏差，目标动作位置校正部56依次校正目标动作位置。

通过进行上述那样的校正处理，机器人16基于由侧方相机32得到的拍摄数据和上述参照数据，对动作位置进行反馈控制。而且，通过进行上述那样的校正处理，头14几乎不会偏离预定移动路径地到达下一目标移动位置。因此，上述第二校正例如在进行头14与预定移动路径之间的偏差有可能会使该头14对该作业机的一部分等造成干扰的作业时特别有效。通过执行上述第二校正，基于拍摄数据而使机器人的动作适当，作业的精度高。

(d)变形例

上述实施例是与电子元件安装机相关的实施例，但是本发明也可以适用于具备各种作业头的各种作业机。上述实施例的安装机中的机器人16是控制轴为四个的多关节型机器人，但是本发明也可以适用于采用控制轴的个数为三个以下或五个以上的多关节型机器人的作业机中。另外，本发明也可以适用于不采用多关节型机器人而采用由XYZ正交型移动装置构成的所谓XYZ型机器人的作业机中。

在上述实施例中，作为拍摄装置的下方相机30、侧方相机32安装于机器人16的肘杆28，但也可以安装于作业头。另外，本发明也可以适用于不安装两个拍摄装置而仅安装一个拍摄装置的作业机中。

在上述实施例中，能够选择性地执行第一校正、第二校正这两个校正，但也可以仅执行第一校正和第二校正中的一方。在上述实施例中，利用两个特征点来进行偏差的检测，但也可以利用三个以上的特征点，按照与之前的方法不同的几何学方法，来检测偏差。另外，作为第一校正，以焊料焊盘L、所安装的元件P的中心为特征点，但也可以在焊料焊盘L、所安装的元件P的角部、除上述部分以外的基板S的一部分设定特征点。而且，在安装连接器元件等向设于基板S的孔***或嵌合的元件的情况下，可以基于该孔来设定特征点。而且，在第二校正中，利用了描绘于一个面板34上的基准矩阵36，但也可以利用分别描绘在彼此相向或相交的两个以上面板上的基准矩阵来检测偏差。此外，也可以在作业机的除面板以外的部分、例如主体部分设置特征点，并利用该特征点来检测偏差。

附图标记说明

14：元件保持头(作业头) 16：多关节型机器人 30：下方相机(拍摄装置) 32：侧方相机(拍摄装置) 34：板 36：基准矩阵 40：控制装置 42：目标动作位置决定部 44：动作指令发令部 46：编码器 50：拍摄控制部 52：参照数据保存部 54：偏差检测部 56：目标动作位置校正部 S：电路基板(作业对象物) P：电子元件(作业对象物) L：焊料焊盘

Claims

1.一种作业机，具备：

作业头，以能够脱离的方式保持元件；

多关节型机器人，保持所述作业头而使所述作业头相对于作业对象物移动至作业空间内的以预定的基准位置为基准作为三维正交坐标系中的位置所定义的目标移动位置；及

控制装置，具有(a)基于所述目标移动位置来决定所述多关节型机器人的目标动作位置的目标动作位置决定部及(b)基于所述目标动作位置而向所述多关节型机器人发出动作指令的动作指令发令部，并控制所述多关节型机器人，

所述作业机还具备摄像装置，所述摄像装置安装于所述作业头，并拍摄所述作业对象物的至少一部分，

并且，所述控制装置还具有：

参照数据保存部，保存参照数据，所述参照数据是基于所述作业对象物的设计数据而生成的数据、且是表示以所述基准位置为基准作为三维正交坐标系中的位置所定义的、所述作业对象物的多个特征点中的各个特征点的在所述作业对象物中的位置的数据的集合；

偏差检测部，基于(A)通过所述摄像装置的拍摄而得到的拍摄数据所包含的表示所述多个特征点中的特定的两个特征点的位置的数据和(B)从所述参照数据提取的与所述两个特征点有关的位置数据并且是与在所述摄像装置进行拍摄的时刻下的所述多关节型机器人的动作位置中应拍摄的该两个特征点有关的位置数据，来检测关于所述作业头与所述作业对象物的三维正交坐标系中的相对位置的偏差；及

目标动作位置校正部，基于由所述偏差检测部检测出的所述偏差来校正所述目标动作位置，

并且，在所述作业头向所述目标移动位置移动过程中在所述作业对象物的至少一部分进入到能够拍摄的区域的情况下，所述摄像装置依次拍摄该作业对象物的至少一部分，

所述偏差检测部基于通过所述摄像装置依次拍摄所得到的摄像数据依次检测关于所述作业头与所述作业对象物的相对位置的偏差，所述目标动作位置校正部基于该依次检测出的偏差依次对所述目标动作位置进行校正直至所述作业头到达所述目标移动位置。

2.根据权利要求1所述的作业机，其中，

所述作业头是用于保持所供给的电子元件且所述电子元件能够脱离的电子元件保持头，且所述多关节型机器人构成为使保持有电子元件的所述元件保持头进行移动以将该元件保持头所保持的电子元件向电路基板安装，由此所述作业机作为电子元件安装机发挥功能。

3.一种电子元件安装机，具备：

电子元件保持头，保持所供给的电子元件且所述电子元件能够脱离；

多关节型机器人，保持所述电子元件保持头，并使所述电子元件保持头相对于电路基板移动至作业空间内的以预定的基准位置为基准作为三维正交坐标系中的位置所定义的目标移动位置；

摄像装置，安装于所述电子元件保持头，并以所述电路基板和安装于所述电路基板的电子元件中的至少一方作为作业对象物而拍摄该作业对象物的至少一部分；及

控制装置，控制所述多关节型机器人，

所述控制装置保存参照数据，所述参照数据是基于所述作业对象物的设计数据而生成的数据、且是表示以所述基准位置为基准作为三维正交坐标系中的位置所定义的、所述作业对象物的多个特征点中的各个特征点的在所述作业对象物中的位置的数据的集合，

所述控制装置构成为，基于(a)由所述摄像装置得到的拍摄数据所包含的表示所述作业对象物的多个特征点中的特定的两个特征点的位置的数据和(b)从所述参照数据提取的与所述两个特征点有关的位置数据并且是与在所述摄像装置进行拍摄的时刻下的所述多关节型机器人的动作位置中应拍摄的该两个特征点有关的位置数据，对所述多关节型机器人的动作位置进行反馈控制，

所述反馈控制中，

在所述电子元件保持头向所述目标移动位置移动过程中在所述作业对象物的至少一部分进入到能够拍摄的区域的情况下，所述摄像装置依次拍摄该作业对象物的至少一部分，

基于通过所述摄像装置依次拍摄所得到的摄像数据依次检测关于所述电子元件保持头与所述电路基板的相对位置的偏差，并基于该依次检测出的偏差依次对根据所述目标移动位置所决定的所述多关节型机器人的目标动作位置进行校正直至所述电子元件保持头到达所述目标移动位置。

4.一种作业机，具备：

作业头，以能够脱离的方式保持元件；

多关节型机器人，保持所述作业头而使所述作业头相对于作业对象物移动至作业空间内的以预定的基准位置为基准的目标移动位置；及

并且，所述控制装置还具有：(c)保存参照数据的参照数据保存部、(d)基于通过所述摄像装置的拍摄而得到的拍摄数据和参照数据来检测所述作业头的偏差的偏差检测部及(e)基于由所述偏差检测部检测出的所述偏差来校正所述目标动作位置的目标动作位置校正部，并且所述控制装置能够选择性地执行：(A)基于关于所述作业对象物与所述作业头的相对位置的偏差进行的第一校正和(B)基于所述作业头与应通过的移动路径的偏差进行的第二校正，

在执行所述第一校正的情况下，

作为所述参照数据，所述参照数据保存部保存基于所述作业对象物的设计数据而生成的数据、且是表示以所述基准位置为基准所述作业对象物的多个特征点中的各个特征点的在所述作业对象物中的位置的数据的集合，

所述偏差检测部基于所述拍摄数据所包含的表示所述特征点的位置的数据和从所述参照数据提取的与所述特征点有关的位置数据来检测关于所述作业头与所述作业对象物的相对位置的偏差，

所述偏差检测部基于通过所述摄像装置依次拍摄所得到的摄像数据依次检测关于所述作业头与所述作业对象物的相对位置的偏差，所述目标动作位置校正部基于该依次检测出的偏差依次对所述目标动作位置进行校正直至所述作业头到达所述目标移动位置，

在执行所述第二校正的情况下，

作为所述参照数据，所述参照数据保存部保存表示对所述作业机的一部分设定的多个特征点中的各个特征点的以所述作业空间为基准的位置的数据，所述偏差检测部基于所述拍摄数据和所述参照数据来检测在所述作业头移动中该作业头与预定的移动路径的偏差。