CN104418496A - 基板反转搬送装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种基板反转搬送装置，其能够以较短的作业时间高效地使基板反转并交付至下一作业平台。该基板反转搬送装置包括：吸附搬送机构(2)，吸附应反转的基板(W)并交付至反转机构(3)；及反转机构(3)，使自吸附搬送机构(2)接收到的基板(W)反转并交付至下一步骤的平台(4)；吸附搬送机构(2)与反转机构(3)可向相互接近、背离的方向移动地形成，且以如下方式形成，即在吸附搬送机构(2)与反转机构(3)移动至相互接近的基板交付位置时，进行自吸附搬送机构(2)向反转机构(3)交付基板(W)，且在吸附搬送机构(2)与反转机构(3)相互远离的位置，进行利用吸附搬送机构(2)的基板(W)的吸附动作与(W)自反转机构(3)向下一步骤的平台(4)的基板的交付动作。

Description

基板反转搬送装置

技术领域

本发明涉及一种在对如玻璃、硅股的脆性材料基板或其他基板加工划线、或沿着该划线将基板切断的基板加工装置等中，在反转并移送基板时使用的基板反转搬送装置。本发明尤其涉及如下的基板反转搬送装置，其包括：吸附搬送机构，其吸附并搬送已在前一步骤进行了加工的基板；及反转机构，其使自吸附搬送机构交付的基板反转并载置在下一步骤的平台上。

背景技术

自先前以来，众所周知的是如下方法，例如在专利文献1等中有所揭示，即该方法为利用划线装置使刀轮(也称为划线轮)相对于载置在平台上的母基板转动，或者对载置在平台上的母基板扫描激光束而在该母基板形成划线之后，使母基板反转并载置在切断装置的平台上，将切断杆按压于该划线的正上方部位而将基板切断。

另外，在将如液晶面板股贴合有2片玻璃基板的母基板切断的情况下，首先，通过使刀轮相对于划线装置的平台上的母基板转动，而在基板的一个面(A面)形成划线。其次，使母基板反转之后载置在切断装置的平台上，利用切断杆等按压该划线的正上方部位而将基板A面切断。继而，在基板的另一个面(B面)形成划线，使基板反转之后，与所述同样地利用切断杆等按压而将基板B面切断。以如以上股的顺序切断的方法例如在专利文献2(图11、图14)或专利文献3(图45)等中有所揭示。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]国际公开W02005/053925号公报

[专利文献2]日本专利特开2010-076957号公报

[专利文献3]国际公开W02002/057192号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

所述之任一情况均需要用以使基板反转的反转机构、及用以将基板交付至该反转机构的吸附搬送机构。而且，例如，利用划线装置划线，并利用吸附搬送机构的吸附板吸附载置在平台上的基板，将基板搬送并交付至使吸附面朝上并待机的反转机构的反转板，使该反转板反转，将经正背反转的基板载置在作为下一步骤的切断装置的平台上。

另外，反之采用如下方法等，即利用反转机构的反转板吸附载置在划线装置的平台上的基板并使之反转之后，利用吸附搬送机构的吸附板吸附位于朝上的反转机构的反转板上的基板，并搬送至切断装置的平台。

然而，以往的方法中，吸附搬送机构上下升降而吸附基板之后，移动至反转机构并交付基板，其后进行再次返回至原来的基板吸附位置的动作，相对于此，反转机构仅使接收到的基板反转即可，所以在两者的所需作业时间产生较大的差异。因此，反转机构在使基板反转并交付至切断装置的平台之后，必须待机至吸附搬送机构将基板搬送来为止，此期问的时间的损失较大。

另外，后者的情况也相同，吸附搬送机构自切断装置的平台返回至反转机构之后，自反转机构接收基板并移动至切断装置的平台的动作花费时间。

因此，存在无法进行等待时间较少的顺利的作业处理，反转并移送的处理整体的工作时间也变长而作业效率较差的问题点。

因此，本发明鉴于所述的以往的问题，其目的在于提供一种可消除吸附搬送机构与反转机构的所需作业时间的不平衡，而以较短的作业时间高效地将基板反转并交付至下一作业平台的基板反转搬送装置。

[解决问题的技术手段]

为了达成所述目的，本发明中采用如下技术性方法。即，本发明的基板反转搬送装置的特征在于包括：吸附搬送机构，其吸附应反转的基板并交付至下述反转机构；及反转机构，其使自该吸附搬送机构接收到的基板反转并交付至下一步骤的平台上；且所述吸附搬送机构与所述反转机构可向相互接近、背离的方向移动地形成，且以如下方式形成，即在所述吸附搬送机构与所述反转机构移动至相互接近的基板交付位置时，进行自所述吸附搬送机构向所述反转机构交付基板，且在所述吸附搬送机构与所述反转机构相互远离的位置，进行所述吸附搬送机构的基板吸附动作与自所述反转机构向下一步骤的平台的基板的交付动作。

此处，以所述吸附搬送机构的基板吸附动作与所述反转机构的基板反转动作同步进行的方式形成为佳。

另外，优选以吸附着所述基板的吸附搬送机构朝向所述反转机构移动的动作与所述反转机构朝向吸附搬送机构移动的动作同步进行的方式形成。

[发明的效果]

本发明如上所述股构成，因此能以大致相同的长度设定吸附搬送机构的动作时间与反转机构的动作时间，由此，可消除两者的所需动作时间的不平衡而缩短作业时间。

附图说明

图1是表示本发明的基板反转搬送装置的概略构成的立体图。

图2(a)-(e)是表示图1所示的基板反转搬送装置的作业顺序的说明图。

图3(a)-(d)是表示图2的作业顺序的后续的说明图。

具体实施方式

以下，根据表示实施例的图式来说明本发明的基板反转搬送装置的详细内容。

如图1所示，本实施例所示的基板反转搬送装置A包括：搬送体1，其载置并搬送应反转的基板W；吸附搬送机构2，其吸附并抬升搬送而来的基板W，且交付至下述反转机构3；及反转机构3，其使自该吸附搬送机构2接收到的基板W反转并交付至下一步骤的平台4。

在利用搬送体1搬送而来的基板W，例如通过划线装置(未图示)在上表面形成有多条切断用的划线。此外，搬送体1也可作为划线装置的可动平台来代替图1所示的传送带1a。另外，接收已通过反转机构3反转的基板W的下一步骤的平台4在本实施例中使用传送带4a，该传送带4a将基板W搬送至沿着划线而切断基板W的切断装置(未图示)，但关于此，也可作为切断装置的可动平台来代替传送带4a。

此外，为方便说明，图1中，将吸附搬送机构2与反转机构3相对性地移动的方向设为X方向，将与X方向正交的方向设为Y方向。

所述的吸附搬送机构2具备第一移行体7，该第一移行体7在基板反转搬送装置A的机器框架5的上表面，可沿着左右的轨道6、6而移动地设置，所述左右的轨道6、6沿着X方向延伸。第一移行体7具备沿着Y方向延伸的导件8，且设置有可沿着导件8移动的支持部件9，在支持部件9安装有通过气缸10升降的水平的吸附板11。

在吸附板11的下表面设置有多个空气吸引孔，虽然省略图示，但经由配管而连接于真空泵等空气吸引源。另外，第一移行体7由内置着发动机的驱动部12驱动。

反转机构3具备可沿着轨道6、6移动地设置的第二移行体13，且由内置着发动机的驱动部14驱动。

在第二移行体13设置有沿着Y方向延伸的旋转轴15，在旋转轴15上经由臂16、16而安装有反转板17。通过该旋转轴15的转动，反转板17以可自朝向吸附搬送机构2侧的水平姿势(参照图1及图2(a))向反转至平台4侧的姿势(参照图2(b))、及其相反方向反转旋动的方式形成。

反转板17在朝向吸附搬送机构2侧的水平姿势下，在其上表面设置有多个空气吸引孔17a，虽然图示省略，但经由配管而连接于真空泵等空气吸引源。另外，旋转轴15由内置着发动机的驱动部18驱动。

通过所述构成，吸附搬送机构2与反转机构3可向相互接近或远离的方向移动。而且，吸附搬送机构2与反转机构3在移动至相互接近的位置、即基板交付位置时进行基板W的交付，且在相互远离的位置，同步进行利用吸附搬送机构2的基板W的吸附动作与利用反转机构3的基板W的反转动作。

以下，基于图2及图3说明该动作。

图2(a)表示吸附搬送机构2与反转机构3处于最远离的位置的状态。此时，基板W由搬送体1搬送至吸附搬送机构2的下方并待机。另外，在反转机构3的反转板17的上表面尚未载置基板W。

在该位置，如图2(b)所示，同步进行吸附搬送机构2的吸附板11的下降与反转机构3的反转板17的反转动作，且由吸附板11吸附着基板W。

此外，以下，将吸附搬送机构2吸附搬送体1上的基板W的位置称为“基板吸附位置”，将反转机构3的反转板17反转的位置称为“基板反转位置”，且将“基板吸附位置”与“基板反转位置”的中间地点称为“基板交付位置”。

接下来，如图2(c)所示，与吸附着基板W的吸附搬送机构2的吸附板11上升的同时，反转机构3的反转板17恢复至使吸引孔17a朝上的姿势。继而，如图2(c)及图2(d)所示，吸附搬送机构2及反转机构3朝向相互接近的方向开始移动，且移动至基板交付位置Z为止。在该基板交付位置，如图2(e)所示，将基板W自吸附搬送机构2的吸附板11交付至反转机构3的反转板17。

其次，如图3(a)所示，吸附搬送机构2及反转机构3向相互背离的方向开始移动，如图3(b)所示，吸附搬送机构2移动至基板吸附位置，反转机构3移动至反转位置。此时，由搬送体1将下一个基板W′搬送至吸附搬送机构2的下方并待机。

然后，如图3(c)所示，吸附搬送机构2的吸附板11下降并吸附基板W′，并且同步地，反转机构3的反转板17反转并将前一个基板W交付至平台4。此后，如图3(d)的箭头所示，吸附搬送机构2及反转机构3朝向相互接近的基板交付位置开始移动，在基板交付位置将基板W′自吸附搬送机构2交付至反转机构3。通过重复所述动作，由搬送体1搬送的基板依次被反转并交付至下一平台4。

此外，所述吸附搬送机构2及反转机构3的动作是通过对各个机构的各驱动部进行电脑控制而进行。

如上所述以如下方式形成，即在吸附搬送机构2与反转机构3移动至相互接近的位置时，进行基板W的交付，并且吸附搬送机构2与反转机构3在相互远离的位置，进行利用吸附搬送机构2的基板W的吸附动作与反转机构3的反转动作，因此，能以大致相同的长度设定吸附搬送机构2的动作时间与反转机构3的动作时间。由此，可消除两者的所需动作时间的不平衡，从而可缩短整体上的作业时间。

以上，对本发明的代表性的实施例进行了说明，但本发明并非必须限定于所述的实施方式。例如，在所述实施例中，第一移行体7与第二移行体13沿着共用的轨道6移行，但也能以设置各者专用的轨道而供各者移行的方式形成。另外，在本发明中，可在达成其目的、且不脱离权利要求的范围内适当地进行修正、变更。

[产业上的可利用性]

本发明用于在基板上形成划线并沿着该划线切断的基板反转搬送装置。

[符号的说明]

A    基板反转搬送装置

W    基板

1    搬送体

2    吸附搬送机构

3    反转机构

4  下一步骤的平台

5    机器框架

6    轨道

11   吸附板

17   反转板

Claims (3)

1.一种基板反转搬送装置，其特征在于包括：吸附搬送机构，吸附应反转的基板并交付至下述反转机构；及反转机构，使自该吸附搬送机构接收到的基板反转并交付至下一步骤的平台上；且

所述吸附搬送机构与所述反转机构可在相互接近、背离的方向移动地形成，且以如下方式形成，即在所述吸附搬送机构与所述反转机构移动至相互接近的基板交付位置时，进行自所述吸附搬送机构向所述反转机构交付基板，且在所述吸附搬送机构与所述反转机构相互远离的位置，进行利用所述吸附搬送机构的基板的吸附动作与自所述反转机构向下一步骤的平台的基板的交付动作。

2.根据权利要求1所述的基板反转搬送装置，其特征在于：以所述吸附搬送机构的基板吸附动作与所述反转机构的基板反转动作同步进行的方式形成。

3.根据权利要求1或2所述的基板反转搬送装置，其特征在于：以吸附着所述基板的所述吸附搬送机构朝向所述反转机构移动的动作与所述反转机构朝向所述吸附搬送机构移动的动作同步进行的方式形成。