JP4644382B2 - 露光システム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種の製造ライン中で、一つの工程から次工程に移るときに、基板の表裏面を反転させる搬送反転装置を用いて基板の両面に原版フィルムを密着して露光する露光システムに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から、この種の装置について、各種の提案が行われている。
例えば、特許第2897073号公報には、基板を保持する保持部の移動と回転を同一の駆動源で行う反転装置が記載されている。
しかし、上記公報に記載の反転装置では、露光システムに用いる場合、反転後に再度粗位置決めを行う必要があった。
また、特開平7−251921号公報には、反転後に粗位置決めが不要な反転装置が記載されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前述した従来の装置は、いずれも反転動作を独立して行うので、反転に必要な動作時間が露光システム全体の処理時間を長くする原因となるという問題があった。
また、特開平7−251921号公報に記載の反転装置では、装置が複雑であった。
【0004】
本発明の課題は、反転後に基板の粗位置決めを再度行わなくてもよく、駆動源が少なく、エアー(空気)配管等を連れ回して移動することもなく、構造が簡単な露光システムを提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
【0008】
請求項1の発明は、感光性を有する基板(K)の両面に露光を行う露光システムであって、搬入された基板を粗位置決めする粗位置決め部(10)と、前記粗位置決め部によって粗位置決めされた前記基板を精密位置決めして、前記基板の第1の面(KA)を露光する第1の露光部(20)と、前記第1の露光部により露光された前記基板を反転させる反転部(30)と、前記反転部により反転された前記基板を精密位置決めして、前記基板の第2の面(KB)を露光する第2の露光部(40)と、を備え、前記反転部の搬送反転装置は、基板の第1の面を保持し、第1の移動手段により移動される第1の保持手段と、前記第1の移動手段による移動位置に応じて、前記第1の保持手段の保持面を略垂直位置と略水平位置との間で回転させる第1の回転手段と、第1の付勢手段と、を有する第1のユニットと、前記基板の第2の面を保持し、第2の移動手段により移動される第2の保持手段と、前記第2の移動手段による移動位置に応じて、前記第2の保持手段の保持面を略垂直位置と略水平位置との間で回転させる第2の回転手段と、第2の付勢手段と、を有する第2のユニットと、前記第1の保持手段の保持面及び前記第2の保持手段の保持面が略垂直位置にある状態であって、前記基板の第1の面と第2の面とがそれぞれ前記第1の保持手段の保持面と前記第2の保持手段の保持面とに密着しているときに、前記基板の保持を前記第1の保持手段から前記第2の保持手段に切り替えるように前記第1及び第2のユニットを制御する制御部と、前記第1及び第2の回転手段は、前記第1及び第2のユニットの移動方向に沿って設けられた第1及び第2のラックギヤとかみ合い、前記第1及び第2の移動手段によって移動されることにより得た回転を、前記第1及び第2の保持手段に伝える段ギアを備えるものであって、前記第1の露光部は、前記基板の第1の面を露光するための第1の露光テーブルと、光源と、第1のアクチュエータとを備え、前記第1の保持手段に露光を完了した前記基板を渡す基板渡し部であって、前記第2の露光部は、前記基板の第2の面を露光するための第2の露光テーブルと、光源と、第2のアクチュエータとを備え、前記第2の保持手段から露光を完了した前記基板を受け取る基板受取部であって、前記第1及び第2の付勢手段は、略水平位置にあるときの前記第1及び第2の保持部の保持面を、前記第1及び第2の基板露光テーブルから所定距離離れた位置にあるように付勢するものであって、前記第1及び第2のアクチュエータは、それぞれ前記第1及び第2の付勢手段に抗して前記第1及び第2の保持部の保持面を前記第1及び第2の基板露光テーブルに接する方向に駆動するものである、ことを特徴とする露光システムである。
【0010】
請求項2の発明は、請求項1に記載の露光システムにおいて、前記基板の第1の面(KA)を保持する第3の保持手段(A1−6)を有し、第3の移動手段により前記粗位置決め部(10)から前記第1の露光部(20)へ移動する第3のユニット(A1)と、前記基板の第2の面(KB)を保持する第4の保持手段(B2−6)を有し、第4の移動手段により前記第2の露光部(40)から搬出部(50)へ移動する第4のユニット(B2)と、を備え、前記第1及び第2のユニット(A2,B1)は、前記第1の露光部と前記第2の露光部との間に設けられていること、を特徴とする露光システムである。
【0011】
請求項3の発明は、請求項2に記載の露光システムにおいて、前記第3及び第4のユニット(A1,B2)は、前記第3及び第4の保持手段(A1−6,B2−6)の保持面を、前記第1及び第2の基板露光テーブル(22,42)から所定距離離れた位置にあるように付勢する第3及び第4の付勢手段(A1−3,B2−3)を備え、前記第1及び第2のアクチュエータ(21,41)は、それぞれ前記第3及び第4の付勢手段に抗して前記第3及び第4の保持部の保持面を前記第1及び第2の基板露光テーブルに接する方向への駆動も行うこと、を特徴とする露光システムである。
【0012】
請求項4の発明は、請求項3に記載の露光システムにおいて、前記粗位置決め部(10)及び前記搬出部(50)には、それぞれ前記第3及び第4の付勢手段(A1−3,B2−3)に抗して前記第3及び第4の保持手段(A1−6,B2−6)の保持面を駆動する第3及び第4のアクチュエータ(11,51)が固定されていること、を特徴とする露光システムである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図面等を参照しながら、本発明の実施の形態について、更に詳しく説明する。
(第1実施形態)
図1及び図2は、本発明による搬送反転装置(反転部)と、この搬送反転装置を含む露光システムの第1実施形態の動作を説明する図である。
本実施形態における露光システムは、粗位置決め部10,A面露光部20,反転部30,B面露光部40,搬出部50を備えている。
【0014】
粗位置決め部10は、図示しない前工程から受け台12上に投入された基板K(図中には、基板K1〜K4を示すが、総じて基板Kとする)を粗位置決めする(概ねの位置に位置決めする)部分であり、図示しない複数のピンに基板Kの端面を突き当てる等して、位置決めを行う。粗位置決め部10には、シリンダ11(第3のアクチュエータ)が設けられているが、これについての説明は、他のシリンダ21(第1のアクチュエータ),41(第2のアクチュエータ),51(第4のアクチュエータ)と併せて後に行う。
【0015】
A面露光部20は、シリンダ21,露光テーブル(第1の基板台)22,原版フィルム23,光源24を備え、露光テーブル22に空気吸引により吸着された基板Kを原版フィルム23に対して精密位置決め(以下、整合)した後に、基板KのA面(第1の面)に原版フィルム23を密着してA面を光源24により露光する第1の露光部(基板渡し部)である。
【0016】
粗位置決め部10とA面露光部20との間には、キャリアA1が両者の間を往復可能に設けられている。キャリアA1は、基板Kを保持部A1−6により保持して粗位置決め部10からA面露光部20へ移動するユニット(第3のユニット)である。
【0017】
反転部30は、ラックギア31,32と、キャリアA2,B1を備え、基板Kの表裏を反転する搬送反転装置である。
図3は、キャリアA2を拡大した図である。
図4は、キャリアA2を図3中の矢印X方向から見た図である。
キャリアA2は、ベース部A2−1,上下可動部A2−2,付勢ばねA2−3,第1ギヤA2−4,第2ギヤA2−5,保持部A2−6を備えたユニット(第1のユニット)である。
ベース部A2−1は、レール60によりガイドされ、図示しない駆動部(第1の移動手段)によりレール60に沿った方向に移動する。
上下可動部A2−2は、ベース部1に対して上下方向(図3及び図4においての上下とする。以下、本実施形態の説明中において、同様に使用する)に移動可能に設けられた部材であり、付勢ばねA2−3によって上方向に付勢され、付勢ばねA2−3による付勢力以外の外力を受けない場合には、ベース部A2−1に対して所定の位置に規制されている。
第1ギヤA2−4は、大歯車がラック31とかみ合う位置に設けられ、小歯車に第2ギヤA2−5がかみ合っている段ギヤである。
保持部A2−6は、基板Kを空気の負圧により吸引して保持する部分であり、第2ギヤA2−5の回転軸に対して一体で回転するように保持されている。
なお、上記各部は、図4に示すように、保持部6を中心にして、両側に同様な形態で設けられている。
【0018】
ここで、キャリアA2の基本的な動作について説明する。
図3(a)と図4は、A面露光部20にキャリアA2がある状態を示しており、シリンダ21と露光テーブル22を併せて示している。なお、位置関係が明確になるように、図4には、ラックギヤ31も併せて示しているが、図1〜図3に示すように、ラックギヤ31は、反転部30に設けられている。
露光を終えた基板Kを反転部30へ移動するときには、キャリアA2がA面露光部20に移動し、シリンダ21の先端部が上下可動部A2−2の作用部A2−2aを引き下げ、付勢ばねA2−3の付勢力に抗して上下可動部A2−2を下降させる。上下可動部A2−2が下降すると、保持部A2−6も同時に下降し、基板KのA面KAに保持面A2−6aが接する〔図3(a)の状態〕。この状態で保持部A2−6の空気吸引を開始して、基板Kを保持部A2−6に吸着し、露光テーブル22側の吸引を解除する。そして、シリンダ21を上昇させてやることにより、基板Kは、保持部A2−6に保持されたまま上昇し、キャリアAにより移動可能になる。
【0019】
基板Kを保持したキャリアA2は、図示しない駆動部により駆動力を得て図1中右方向に移動を行う。移動開始直後の第1ギヤA2−4は、ラックギヤ31とかみ合う位置にないので、保持部A2−6は、略水平を保ったまま移動する(図1におけるT1)。そのまま移動を続けると、第1ギヤA2−4がラックギヤ31とかみ合う位置に到達し、第1ギヤA2−4が回転を開始する(図1におけるT2)。図3(b)には、保持部A2−6が移動しながら回転する状態を示した(6−1〜6−5)。保持部A2−6の回転は、ラックギヤ31と第1ギヤA2−4がかみ合う範囲で90度回転するようにラックギヤ31,第1ギヤA2−4,第2ギヤA2−5の歯数が設定されている。したがって、保持部A2−6は、略水平状態から略垂直状態まで回転する。
なお、キャリアA2は、第1ギヤA2−4とラックギヤ31とのかみ合いが外れた後も、わずかな距離だけ移動を行う。このとき、保持部A2−6は、略垂直状態のまま移動する。
【0020】
キャリアB1は、キャリアA2と同様な形態のユニット(第2のユニット)であり、保持部B1−6の保持面B1−6aがキャリアA2の保持面A2−6aと対面可能な向きに回転するように設けられており、その他のベース部B1−1,上下可動部B1−2,付勢ばねB1−3,第1ギヤB1−4,第2ギヤB1−5は、キャリアA2と同様に設けられている。
基板Kを反転するときには、キャリアA2によって90度回転した基板Kを、略垂直状態でキャリアB1の保持面B1−6aに密着させて(図1におけるT2〜T3)、キャリアB1側で保持させる。つぎに、キャリアA2側による保持を解除し、その後に、キャリアB1が図1中左方向に移動することにより、基板Kは、更に90度回転する。以上のようにして、基板Kは、キャリアA2及びキャリアB1により合計180度回転して表裏の反転が行われる。
【0021】
B面露光部40は、シリンダ41,露光テーブル(第2の基板台)42,原版フィルム43,光源44を備え、露光テーブル42に空気吸引により吸着された基板Kを原版フィルム43に対して整合した後に、基板KのB面(第2の面)に原版フィルム43を密着してB面を光源44により露光する第2の露光部(基板受取部)である。
【0022】
搬出部50は、両面の露光が完了した基板Kをつぎの工程に搬出する部分であり、シリンダ51を有している。
B面露光部40と搬出部50との間には、キャリアB2が両者の間を往復可能に設けられている。キャリアB2は、基板Kを保持部B2−6により保持してB面露光部40から搬出部50へ移動するユニット(第4のユニット)である。
【0023】
キャリアA1及びキャリアB2は、ほぼ同様な形態のユニットであり、キャリアA2の保持部A2−6を回転する機構を省いた構造であり、それぞれベース部A1−1,B2−1,上下可動部A1−2,B2−2,付勢ばねA1−3,B2−3を備えている。よって、キャリアA2,B1と同様にして、キャリアA1は、シリンダ11,21により保持部A1−6が上下し、キャリアB2は、シリンダ41,51により保持部B2−6が上下する。
【0024】
上述のキャリアA1,A2,B1,B2は、各々独立して移動するので、それぞれが独立した不図示の移動手段(第1〜4の移動手段)により移動される。本実施形態では、リニアモータを4つ設けている。
また、キャリアA1,A2,B1,B2及び粗位置決め部10,A面露光部20,反転部30,B面露光部40,搬出部50の動作は、図示しない制御部により一括して制御されている。
【0025】
図5は、本実施形態における露光システムの各部の動作を時間毎に示す図である。図5におけるT1〜T5は、図1,2におけるT1〜T5にそれぞれ対応している。
以下、T1〜T5の時間毎に、本実施形態における露光システム全体の動作について説明する。
【0026】
(T1)
粗位置決め部10:キャリアA1が基板K3を保持して粗位置決め部10からA面露光部20へ移動する。
A面露光部20:キャリアA2が基板K2を保持してA面露光部20反転部30へ移動する。
反転部30:キャリアB1が保持面B1−6aを垂直にして待機中。
B面露光部40:基板K1と原版フィルム43との密着を確認する。
搬出部50:キャリアB2が待機中。
【0027】
(T2)
粗位置決め部10:キャリアA1が基板K3をA面露光部20において保持を解除した後、空のキャリアA1がA面露光部20から粗位置決め部10へ戻る。
A面露光部20:基板K3をキャリアA1から受け取り、保持する。
反転部30:キャリアA2が基板K2を保持したまま、移動を継続する。この途中で、ラックギヤ31と第1ギヤA2−4とがかみ合い、基板K2を保持する保持部A2−6が回転する。
B面露光部40:基板K1のB面を露光する。
搬出部50:キャリアB2が待機中。
【0028】
(T2〜T3)
粗位置決め部10:キャリアA1が待機中。
A面露光部20:基板K3を保持中。
反転部30:基板K2がキャリアA2の保持部A2−6に保持されたまま、キャリアB1の保持面B1−6aに密着して保持され、その後に、保持部A2−6による保持が解除される。これにより、基板K2がキャリアA2からキャリアB1に受け渡される。
B面露光部40:基板K1のB面の露光が完了する。
搬出部50:キャリアB2が待機中。
【0029】
(T3)
粗位置決め部10:キャリアA1が待機中。基板K4が新たに投入され、粗位置決めを開始する。
A面露光部20:基板K3を整合する。
反転部30:空のキャリアA2は、戻りながら、保持部A2−6が垂直から水平へ回転する。同時に、基板K2を保持したキャリアB1は、移動しながら、保持部B1−6が垂直から水平へ回転する。
B面露光部40:キャリアB2が搬出部から移動してきて、基板K1を保持する。
搬出部50:待機中。
【0030】
(T4)
粗位置決め部10:基板K4の粗位置決め中。
A面露光部20:基板K3と原版フィルム23との密着を確認する。
反転部30:キャリアA2は、A面露光部20に戻る手前で停止し、待機する。
B面露光部40:キャリアB1から基板K2を受け取る。キャリアB2は、基板K1を搬出部へ移動する。
搬出部50:待機中。
【0031】
(T5)
粗位置決め部10:基板K4の粗位置決め中。
A面露光部20:基板K3のA面を露光する。
反転部30:キャリアA2は、待機中。キャリアB1は、B面露光部40から戻り移動を行う。
B面露光部40:基板K2を保持して待機中。
搬出部50:基板K1を搬出する。
【0032】
(T6)
粗位置決め部10:基板K4の粗位置決め中。
A面露光部20:キャリアA2が反転部30から移動してきて、基板K3を保持する。
反転部30:キャリアB1が保持部B1−6を水平から垂直へ回転しながら戻る。
B面露光部40:基板K2の整合を行う。
搬出部50:待機中。
【0033】
T6の後には、T1からの動作を繰り返す。このように、本実施形態における露光システムは、T1〜T6を1つの節(タクト)として繰り返し、複数の基板Kに対して同時に処理を行う。本実施形態では、この1つのタクトに要する時間(タクトタイム)は、12秒であった。
【0034】
(比較例)
本実施形態と比較するために、移動しながらの反転を行わない従来の手法を用いた場合のタクトタイムを求めた。
図6は、比較例とした露光システムの反転動作を説明する図である。
比較例では、キャリアA1が基板を保持して反転部のキャリアB1上に移動してくると、キャリアA1が下降して基板をキャリアA2とキャリアB1とにより両側から保持する。そして、そのまま180度回転して基板の表裏を反転させる。その後に、キャリアB1が基板を保持して上昇し、移動を行う。
【0035】
図7は、比較例における露光システムの各部の動作を時間毎に示す図である。
図7に示すように、反転に要する時間が長くなり、A面露光とB面露光の後に、待機している時間が発生しており、タクトタイムは、18秒となっており、本実施形態のタクトタイム12秒に比べて、5割も長く掛かっている。
【0036】
本実施形態によれば、キャリアA2,B1が回転しながら移動を行い、反転動作を2つのキャリアに分担させたので、反転動作に要する時間を短くすることができる。
また、キャリアA1,A2,B1,B2の保持部の上下動作を行うシリンダを粗位置決め部10,A面露光部20,B面露光部40,搬出部50に設けたので、各キャリアに保持部を上下動作用のアクチュエータを設ける必要が無く、各キャリアを駆動するときに必要な駆動力を小さくすることができると共に、保持部に必要な空気配管のみ行えばよいので、シリンダ用の配管が移動する空間が不要であり、空間を有効に利用することができ、配置の自由度を高くすることができる。
各キャリアは、独立して移動するので、キャリアの駆動源は、4つ必要であることから、各キャリアを駆動するときに必要な駆動力を小さくすることにより得られる効果は大きく、小型で低出力の駆動源を使用することにより、システム全体を小さくすることができ、必要な消費電力等も少なくすることができる。
更に、反転を行うときに、基板を吸着したまま行うので、基板の位置が安定しており、反転後に粗位置決めを行う必要もない。
【0037】
(変形形態)
以上説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
例えば、本実施形態では、第1ギヤA2−4、第2ギヤA2−5を用いて、減速を行う例を示したが、これに限らず、例えば、減速を行わなくてもよいし、更にギヤを追加して、減速してもよい。
また、キャリアA2,B1の保持部の回転は、ラックとギヤの組合わせにより行う例を示したが、これに限らず、例えば、キャリアA2,B1の移動に応じて、保持部が所定位置に回転移動するように、斜面や溝等及び係合部を有する案内部により回転させてもよいし、別途駆動源としてモータ等をキャリアA2,B1に設けてもよい。
更に、本実施形態では、搬送反転装置を露光システムに使用した例を示したが、これに限らず、搬送反転装置は、基板の反転が必要な各種システムに使用してもよい。
【0038】
【発明の効果】
以上詳しく説明したように、請求項1の発明によれば、基板の第1の面を保持し、第1の回転手段を有する第1のユニットと、基板の第2の面を保持し、第2の回転手段を有する第2のユニットと、基板の保持を第1の保持手段から第2の保持手段に切り替えるように第1及び第2のユニットを制御する制御部とを備えたので、反転動作を分担して行うことができ、反転に要する動作時間を短くすることができる。
【0039】
請求項2の発明によれば、第1及び/又は第2の回転手段は、第1及び/又は第2のラックギヤとかみ合い、回転を第1及び/又は第2の保持手段に伝えるギヤ部材を備えるので、回転専用の駆動源を設けなくてもよくすることができる。また、駆動源を第1及び第2のユニットと共に移動する必要もないので、第1及び第2のユニットの移動に必要な駆動力を小さくすることができる。
【0040】
請求項3の発明によれば、第1及び第2のユニットは、第1及び第2の付勢手段を備え、基板渡し部及び基板受取部には、第1及び第2のアクチュエータが固定されているので、保持面の動作に必要な駆動源を移動する必要が無く、第1及び第2のユニットの移動を小さい駆動力で行うことができる。また、第1及び第2のアクチュエータに接続される動力伝達部材も移動する必要がないので、空間を有効に利用することができる。
【0041】
請求項4の発明によれば、第1の露光部により露光された基板を反転させる請求項1又は請求項2に記載の搬送反転装置を有する反転部を備える露光システムであるので、反転部によって反転された基板について、再度の粗位置決めを省略することができる。
【0042】
請求項5の発明によれば、第1及び第2のユニットは、第1及び第2の付勢手段を備え、第1及び第2の露光部には、第1及び第2のアクチュエータが固定されているので、保持面の動作に必要な駆動源を移動する必要が無く、第1及び第2のユニットの移動を小さい駆動力で行うことができる。また、第1及び第2のアクチュエータに接続される動力伝達部材も移動する必要がないので、空間を有効に利用することができる。
【0043】
請求項6の発明によれば、第3のユニットと第4のユニットとを備え、第1及び第2のユニットは、第1の露光部と第2の露光部との間に設けられているので、複数の基板の処理を同時に行うことができ、効率よく処理を行うことができる。
【0044】
請求項7の発明によれば、第3及び第4のユニットは、第3及び第4の付勢手段を備え、第1及び第2のアクチュエータは、それぞれ第3及び第4の付勢手段に抗して第3及び第4の保持部の駆動も行うので、第3及び第4のユニット専用のアクチュエータを設ける必要が無く、露光システムを小型で安価にすることができる。
【0045】
請求項8の発明によれば、粗位置決め部及び搬出部には、第3及び第4の保持手段を駆動する第3及び第4のアクチュエータが固定されているので、粗位置決め部及び搬出部を簡単な構成とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による搬送反転装置(反転部)と、この搬送反転装置を含む露光システムの第1実施形態の動作を説明する図である。
【図2】本発明による搬送反転装置(反転部)と、この搬送反転装置を含む露光システムの第1実施形態の動作を説明する図である。
【図3】キャリアA2を拡大した図である。
【図4】キャリアA2を図3中の矢印X方向から見た図である。
【図5】本実施形態における露光システムの各部の動作を時間毎に示す図である。
【図6】比較例とした露光システムの反転動作を説明する図である。
【図7】比較例における露光システムの各部の動作を時間毎に示す図である。
【符号の説明】
10 粗位置決め部
11 シリンダ(第3のアクチュエータ)
20 A面露光部
21 シリンダ(第1のアクチュエータ)
30 反転部
40 B面露光部
41 シリンダ(第2のアクチュエータ)
50 搬出部
51 シリンダ(第3のアクチュエータ)
A1 キャリア(第3のユニット)
A1−6 保持部
A2 キャリア(第1のユニット)
A2−6 保持部
B1 キャリア(第2のユニット)
B1−6 保持部
B2 キャリア(第4のユニット)
B2−6 保持部
Claims (4)
- 感光性を有する基板の両面に露光を行う露光システムであって、
搬入された基板を粗位置決めする粗位置決め部と、
前記粗位置決め部によって粗位置決めされた前記基板を精密位置決めして、前記基板の第1の面を露光する第1の露光部と、
前記第1の露光部により露光された前記基板を反転させる反転部と、
前記反転部により反転された前記基板を精密位置決めして、前記基板の第2の面を露光する第2の露光部と、を備え、
前記反転部の搬送反転装置は、
基板の第1の面を保持し、第1の移動手段により移動される第1の保持手段と、前記第1の移動手段による移動位置に応じて、前記第1の保持手段の保持面を略垂直位置と略水平位置との間で回転させる第1の回転手段と、第1の付勢手段と、を有する第1のユニットと、
前記基板の第2の面を保持し、第2の移動手段により移動される第2の保持手段と、前記第2の移動手段による移動位置に応じて、前記第2の保持手段の保持面を略垂直位置と略水平位置との間で回転させる第2の回転手段と、第2の付勢手段と、を有する第2のユニットと、
前記第1の保持手段の保持面及び前記第2の保持手段の保持面が略垂直位置にある状態であって、前記基板の第1の面と第2の面とがそれぞれ前記第1の保持手段の保持面と前記第2の保持手段の保持面とに密着しているときに、前記基板の保持を前記第1の保持手段から前記第2の保持手段に切り替えるように前記第1及び第2のユニットを制御する制御部と、
前記第1及び第2の回転手段は、前記第1及び第2のユニットの移動方向に沿って設けられた第1及び第2のラックギヤとかみ合い、前記第1及び第2の移動手段によって移動されることにより得た回転を、前記第1及び第2の保持手段に伝える段ギアを備えるものであって、
前記第1の露光部は、前記基板の第1の面を露光するための第1の露光テーブルと、光源と、第1のアクチュエータとを備え、前記第1の保持手段に露光を完了した前記基板を渡す基板渡し部であって、
前記第2の露光部は、前記基板の第2の面を露光するための第2の露光テーブルと、光源と、第2のアクチュエータとを備え、前記第2の保持手段から露光を完了した前記基板を受け取る基板受取部であって、
前記第1及び第2の付勢手段は、略水平位置にあるときの前記第1及び第2の保持部の保持面を、前記第1及び第2の基板露光テーブルから所定距離離れた位置にあるように付勢するものであって、
前記第1及び第2のアクチュエータは、それぞれ前記第1及び第2の付勢手段に抗して前記第1及び第2の保持部の保持面を前記第1及び第2の基板露光テーブルに接する方向に駆動するものである、
ことを特徴とする露光システム。 - 請求項1に記載の露光システムにおいて、
前記基板の第1の面を保持する第3の保持手段を有し、
第3の移動手段により前記粗位置決め部から前記第1の露光部へ移動する第3のユニットと、
前記基板の第2の面を保持する第4の保持手段を有し、第4の移動手段により前記第2の露光部から搬出部へ移動する第4のユニットと、を備え、
前記第1及び第2のユニットは、前記第1の露光部と前記第2の露光部との間に設けられていること、
を特徴とする露光システム。 - 請求項2に記載の露光システムにおいて、
前記第3及び第4のユニットは、前記第3及び第4の保持部の保持面を、前記第1及び第2の基板露光テーブルから所定距離離れた位置にあるように付勢する第3及び第4の付勢手段を備え、
前記第1及び第2のアクチュエータは、それぞれ前記第3及び第4の付勢手段に抗して前記第3及び第4の保持手段の保持面を前記第1及び第2の基板露光テーブルに接する方向への駆動も行うこと、
を特徴とする露光システム。 - 請求項3に記載の露光システムにおいて、
前記粗位置決め部及び前記搬出部には、それぞれ前記第3及び第4の付勢手段に抗して前記第3及び第4の保持手段の保持面を駆動する第3及び第4のアクチュエータが固定されていること、
を特徴とする露光システム。
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