CN104249899A - 物品保管设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种物品保管设备，其结构简单，并且容易进行区域单位中设置的机器的维护作业。在多个区域用供给部分的每一个中设有第一切换阀，在多个收纳部用供给部分的每一个中设有第二切换阀，将多个泄放路径连接到惰性气体供给路径中的第一切换阀（69）设置位置的气体供给方向的下游且第二切换阀设置位置的气体供给方向的上游侧，在多个泄放路径的每一个中设有区域用泄放切换阀。

Description

物品保管设备

技术领域

本发明涉及一种物品保管设备，设有收纳容器的多个收纳部、向所述多个收纳部的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径、将由所述惰性气体供给路径供给到所述收纳部的惰性气体向收纳在该收纳部中的所述容器的内部排放的排放部，所述多个收纳部划分为多个区域。

背景技术

日本特开平11-168135号公报（专利文献1）中公开了上述物品保管设备的一个例子。专利文献1的物品保管设备构造成具备收纳容器的多个收纳部、将氮气或氩气等惰性气体供给至多个收纳部的每一个的惰性气体供给路径，由惰性气体供给路径向排放部供给惰性气体，从该排放部排放惰性气体，向收纳于收纳部的容器内供给惰性气体。

在上述专利文献1的物品保管设备中，在容器已收纳于收纳部时向容器内供给惰性气体。由此，将对半导体基板的品质管理不利的氧气和水蒸气等从容器内排出，抑制收容在容器中的半导体基板的氧化等不利情况的发生。

已知这样的将惰性气体供给至收纳在收容部的容器内，防止容器内的物品的品质劣化的物品保管设备。

发明内容

解决问题的手段

在上述专利文献1的物品保管设备中，设有6个收纳部，该6个收纳部划分为两个区域。并且，两个区域的每一个分别设有惰性气体供给路径。因此，两路惰性气体供给路径的每一个中设有惰性气体供给源，从这两个供给源向两路惰性气体供给路径分别供给惰性气体。

在这样的物品保管设备中，可以考虑共同的基干供给部分连接到两路惰性气体供给路径，由单一的气体供给源向属于两区域的收纳部供给惰性气体，由此减少供给源的数量，能够谋求物品保管设备的结构的简化。

在构成上述那样的物品保管设备的情况下，例如，在区域单位中设置的主阀21发生故障而更换该主阀21时，需要对于设有主阀21的惰性气体供给路径停止惰性气体的供给，并且将以压缩的状态残留在该惰性气体供给路径中的惰性气体的一部分排出至外部，使惰性气体供给路径内的压力与外部压力相符合（排压）。但是，两路惰性气体供给路径连接到共同的基干供给部分，为了停止惰性气体的供给而停止基干供给部分的惰性气体的供给，则两路惰性气体的供给都停止。结果是，对于物品保管设备全部收纳部的惰性气体的供给停止。因此，即使在更换区域单位中所设的机器的情况下，也需要对于物品保管设备的全部收纳部停止惰性气体的供给。

另外，由于在更换上述机器时，惰性气体供给路径中可能混入不纯物，再次运转前需要进行使惰性气体在惰性气体供给路径中流通，将惰性气体和不纯物排出至外部的预备运转。此时，如果将在惰性气体供给路径中流通的惰性气体从排放部排放，如果容器正收纳于收纳部，则不纯物可能随着从排放部排放的惰性气体一起混入容器中。因此，在进行预备运转时，需要预先从收纳部取出容器，存在为预备运转而进行的事前准备作业繁琐的问题。

这样，在构成上述物品保管设备时，能够简单地构成物品保管设备，但在更换区域单位所设机器的情况下对设置该机器的区域之外的区域也产生影响，因此难以进行机器的维护作业。

鉴于上述背景，期望实现一种物品保管设备，其结构简单并且容易进行区域单位中所设机器的维护作业。

本发明的物品保管设备具备：收纳容器的多个收纳部；向所述多个收纳部中的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径；排放部，所述排放部将由所述惰性气体供给路径供给至所述收纳部的惰性气体排放至收纳于该收纳部的所述容器的内部；其中，所述多个收纳部被划分为多个区域，所述惰性气体供给路径具备：基干供给部分；多个区域用供给部分，所述多个区域用供给部分从所述基干供给部分向着所述多个区域的每一个分支，将在所述基干供给部分中流通的惰性气体供给至所述多个区域中的每一个；多个收纳部用供给部分，所述多个收纳部用供给部分将在所述区域用供给部分中流通的惰性气体分别供给至与该区域用供给部分对应的所述区域所属的所述多个收纳部，使惰性气体从所述排放部排放，所述物品保管设备还具备：第一切换阀，设在所述多个区域用供给部分的每一个中，能够自由切换为惰性气体能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态；第二切换阀，所述第二切换阀设置在所述多个区域用供给部分的每一个中的所述第一切换阀设置位置的气体供给方向下游侧，或者设置在所述多个收纳部用供给部分的每一个中，能够自由切换为惰性气体能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态；多个泄放路径，所述多个泄放路径与所述多个区域用供给部分的每一个连接，用于将惰性气体从所述区域用供给部分排出，所述多个泄放路径连接在所述惰性气体供给路径中的所述第一切换阀设置位置的所述气体供给方向的下游侧、所述第二切换阀设置位置的所述气体供给方向的上游侧，所述多个泄放路径的每一个中设有区域用泄放切换阀，所述区域用泄放切换阀自由切换为惰性气体能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态。

根据上述结构，惰性气体供给路径将来自基干供给部分的惰性气体通过多个区域用供给部分而分别供给至多个区域，关于区域用供给部分的每一个，将在区域用供给部分中流通的惰性气体通过多个收纳部用供给部分分别供给至多个收纳部。因此，能够利用一个惰性气体供给路径向多个区域所属的多个收纳部的每一个供给惰性气体，因此与多个区域中的每一个分别设置惰性气体供给路径的情况相比，能够谋求物品保管设备的结构的简化。

并且，区域用供给部分中设有第一切换阀，另外，区域用供给部分或多个收纳部用供给部分的每一个中设有第二切换阀。

因此，通过将第一切换阀和设在区域用供给部分中的第二切换阀或设在多个收纳部用供给部分的每一个中的第二切换阀切换为关闭状态和打开状态，能够在区域单位中切换向收纳部供给惰性气体的状态和不供给状态。

泄放路径连接在第一切换阀设置位置的气体供给方向的下游侧且在第二切换阀设置位置的气体供给方向的上游侧部分（以下，称为区域的对象部分）。因此，通过将第一切换阀和第二切换阀切换为关闭状态，能够在区域单位中停止对收纳部的惰性气体供给，通过将区域用泄放切换阀切换为打开状态，能够将区域的对象部分中残留的惰性气体从泄放路径排出，仅对于区域的对象部分排压。

这样，在更换区域的对象部分中设置的机器的情况下，能够对该区域停止惰性气体的供给而排压，并且对其它区域继续惰性气体的供给。

另外，通过将第一切换阀和区域用泄放切换阀切换为打开状态，将第二切换阀切换为关闭状态，能够将从基干供给部分供给至区域的对象部分的惰性气体从泄放路径排出。因此，例如，在更换区域单位中设置的机器的情况下，为了除去该交换时混入的不纯物，在再次运转前使惰性气体在惰性气体供给路径的区域对象部分中流通、将惰性气体和不纯物排出至外部的预备运转情况下，惰性气体不从排放部排放，能够抑制不纯物随着从排放部排放的惰性气体混入容器中。结果是，在预备运转时，不需要取出收纳在收纳部中的容器，能够降低事前准备作业的繁杂程度。

这样，能够简单地构成物品保管设备，并且在更换区域单位中设置的机器的情况下，降低了对于设置该机器的区域之外的区域的影响，因此容易进行机器的更换等维护作业。

以下说明本发明的优选实施方式的例子。

本发明的物品保管设备的实施方式中，优选的是，设有壁体，该壁体覆盖设置了所述多个收纳部的设置空间，所述区域用泄放切换阀由人为操作而切换至所述打开状态和所述关闭状态的人为操作式切换阀构成，并且设在所述壁体的外部。

根据上述结构，作业者通过将区域用泄放切换阀切换为打开状态，能够使供给至区域用供给部分的惰性气体从泄放路径排出，对在该区域用供给部分中流通的惰性气体进行采样。

另外，存在从容器排出的惰性气体充满设置空间的情况，通过将区域用泄放切换阀设置在壁体的外部，作业者能够不进入设置空间地切换区域用泄放切换阀。

本发明的物品保管设备的实施方式中，优选的是，设有合流用泄放路径，所述合流用泄放路径连接在所述多个泄放路径的每一个中的所述区域用泄放切换阀设置位置的所述气体排出方向的下游侧，所述合流用泄放路径中设有合流用泄放切换阀，所述合流用泄放切换阀由人为操作而自由切换为惰性气体能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态，所述合流用泄放切换阀设在所述壁体的外部。

根据上述结构，作业者能够不进入设置空间地切换区域用泄放切换阀和合流用泄放切换阀，通过将区域用泄放切换阀和合流用泄放切换阀切换为打开状态，能够将惰性气体在区域单位内排出。

并且，人为操作式切换阀二重设置区域用泄放切换阀和合流用泄放切换阀，只要两个切换阀中的至少一个被切换为关闭状态，就能够停止惰性气体的排出，因此能够抑制人为失误忘记将切换阀切换为关闭状态导致的惰性气体的排出。

本发明的物品保管设备的实施方式中，优选的是，设有与所述基干供给部分连接的基干用泄放路径，所述基干用泄放路径中具备基干用泄放切换阀，其自由切换为惰性气体能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态。

根据上述结构，作业者通过将基干用泄放切换阀切换为打开状态，能够使供给至基干供给部分的惰性气体从基干用泄放路径排出，能够对在基干用供给部分中流通的惰性气体进行采样。

并且，基于从区域单位内设置的泄放路径排出的采样的检测结果和基于从基干用泄放路径排出的采样的检测结果，能够判断基干供给部分中是否存在污染源、区域用供给部分中是否存在污染源，能够获得污染源的特别有利的信息。

附图说明

图1是物品保管设备的纵截侧面图。

图2是显示同一设备的一部分的纵截正面图。

图3是收纳部的立体图。

图4是收纳部的正面图。

图5是显示向区域供给惰性气体的供给方式的图。

图6是显示基干供给部分和基干用泄放路径的图。

图7是显示区域用供给部分和区域用泄放路径的图。

图8是显示收纳部用供给部分的图。

图9是控制框图。

符号说明

10i 排放部

10S 收纳部

50 容器

60 惰性气体供给路径

61 基干供给部分

62 区域用供给部分

63 收纳部用供给部分

69 第一切换阀

74 第二切换阀

81 基干用泄放路径

82a 泄放路径

82b 合流用泄放路径

83 基干用泄放切换阀

84 区域用泄放切换阀

85 合流用泄放切换阀

K 壁体

W 基板

CH 区域。

具体实施方式

以下，基于附图说明本发明的实施方式。

整体结构

如图1所示，物品保管设备中设有具备多个收纳容器50的收纳部10S的保管架10、搬送容器50的堆垛起重机20、覆盖设置有保管架10（多个收纳部10S）和堆垛起重机20的设置空间的壁体K、以贯通壁体K的状态配设的载置搬送容器50的出入库输送机CV。

此外，保管架10以相对状态成对设置。另外，在本实施方式中，保管架10将收容半导体基板W（以下称为基板W）的FOUP（Front Opening Unified Pod）作为容器50保管。

容器50的结构

如图4所示，容器50具备壳体51和盖体52，壳体51具备用于使基板W进出的开口，盖体52是关闭壳体51的开口的自由装拆的盖体52。

如图1、图2和图4所示，在壳体51的上表面形成由升降式搬送车D把持的顶部凸缘53。另外，在壳体51的底表面设有用于将作为惰性气体的氮气注入容器50内的给气口50i以及用于将氮气从容器50内排出的排气口50o。尽管图示省略了，但给气口50i设有注入侧开闭阀，排气口50o设有排出侧开闭阀。

即，容器50构成为，在收容了基板W的状态下，开口由盖体52关闭，给气口50i以及排气口50o分别由开闭阀关闭，由此具有气密性。

给气口50i的注入侧开闭阀被弹簧等施力体向着闭阀侧施力，供给到给气口50i的氮气的排放压力若变为被设定成高于大气压值的设定开阀压力以上时，注入侧开闭阀借助于其压力而开阀。

另外，排气口50o的排出侧开闭阀被弹簧等施力体向着闭阀侧施力，容器50内部的压力若变为被设定成高于大气压值的设定开阀压力以上时，排出侧开闭阀借助于其压力而开阀。

堆垛起重机20的结构

如图1所示，堆垛起重机20具备走行台车21、立柱22、上部框23和升降台24，走行台车21在保管架10的前表面侧沿着保管架10的架横向宽度方向走行移动，立柱22立设在该走行台车21上，上部框23设在立柱22的上端并与未图示的上部导轨卡合，升降台24在被上述立柱22引导的状态下升降移动。

升降台24上装备有相对于收纳部10S或出入库输送机CV移载容器50的移载装置25。

并且，堆垛起重机20通过走行台车21的走行移动、升降台24的升降移动以及移载装置25的移载动作，执行将出入库输送机CV上的容器50向收纳部10S搬送的入库作业、将收纳部10S的容器50向出入库输送机CV上搬送的出库作业、以及将收纳部10S的容器50向其它的收纳部10S搬送的撤空作业。

收纳部10S的结构

如图2所示，在保管架10上，沿上下方向及架横向宽度方向排列地设有多个收纳部10S。如果加以说明的话，在本实施方式中，在保管架10上沿上下方向8行、架横向宽度方向9列（图2中仅示出了4列）地排列设有收纳部10S。即，保管架10上设有72个收纳部10S。

并且，如图5所示，作为上下方向排列设置的4行、架横向宽度方向排列设置的3列共计12个收纳部10S属于一个区域CH的收纳部10S，72个收纳部10S被区分为属于6个区域CH中的一个。这样，设在保管架10上的多个收纳部10S被区分为多个（本例中为6个）区域CH。

如图3所示，在多个收纳部10S的各个上具备载置支撑容器50的载置支撑部10a。并且，收纳部10S以将容器50载置支撑在载置支撑部10a上的状态收纳容器50。

另外，在载置支撑部10a上设有多个（本例中为3个）定位突起10b和存货传感器10z，定位突起10b与形成在容器50的下表面部的多个（本例中为3个）被卡合部（未图示）卡合，将该容器50定位在规定位置，存货传感器10z检测容器50是否载置在载置支撑部10a上（即，容器50是否收纳在收纳部10S）。在本例中，两个存货传感器10z设在载置支撑部10a上。

另外，如图3和图4所示，载置支撑部10a上设有排放喷嘴10i和排出用通气体10o，排放喷嘴10i作为向收纳在收纳部10S的容器50的内部供给氮气的排放部，排出用通气体10o使得从容器50的内部排出的气体流通。

如图4所示，排放喷嘴10i设置在容器50载置于载置支撑部10a上的规定位置的状态下与该容器50的下表面部具备的给气口50i嵌合的部位。另外，排出用通气体10o设置在容器50载置于载置支撑部10a上的规定位置的状态下与该容器50的下表面部具备的排气口50o嵌合的部位。

即，如果容器50收纳在收纳部10S中并且载置在载置支撑部10a，则水平方向的位置由定位突起10b定位在规定位置，并且排放喷嘴10i与给气口50i连接为嵌合状态，并且排出用通气体10o与排气口50o连接为嵌合状态。

并且，通过在容器50载置支撑于载置支撑部10a的状态下从排放喷嘴10i排放出设定为比大气压更高值的设定值以上的高压氮气，由容器50的给气口50i将氮气注入容器50的内部，由容器50的排气口50o将容器50内的气体排出至外部。

氮气供给结构

如图5-图8所示，在物品保管设备中设有作为将氮气供给至多个收纳部10S的惰性气体供给路径的氮气供给路径60。并且，该氮气供给路径60仅相对于一对保管架10中的一个设置，仅向该一个保管架10供给氮气。接着，说明该氮气供给路径60。氮气供给路径60具备与图外的氮气供给源连接的基干供给部分61、从该基干供给部分61对应于区域CH而分支的区域用供给部分62、以及从该区域用供给部分62进一步对应于收纳部10S而分支的收纳部用供给部分63。

顺便指出，图5是显示对于各个区域CH供给氮气的结构的图。图6-图8是部分地显示氮气供给路径60的图。顺便指出，图6和图7中，以比其它旁通路径77和氮气泄放路径80（基干用泄放路径81和区域用泄放路径82）更粗的线来图示氮气供给路径60。

其中，在说明氮气供给路径60时，将氮气从供给源向着排放喷嘴10i流通的方向称为气体供给方向，基于该气体供给方向的流动，定义气体供给方向的上游和下游地进行说明。

基干供给部分

如图6所示，在基干供给部分61的基干设置部61a中，从气体供给方向的上游依次设置有第一基干用手动阀65、基干用控制阀66、第二基干用手动阀67。顺便指出，在基干供给部分61中，图6中箭头A所示的方向为气体供给方向。

第一基干用手动阀65、基干用控制阀66、第二基干用手动阀67中的每一个都构成为自由地切换为氮气能够从基干供给部分61流通至区域用供给部分62的打开状态和不能够流通的关闭状态。基干用控制阀66基于控制装置H的控制指令而被分别切换操作为打开状态或关闭状态。另外，第一基干用手动阀65和第二基干用手动阀67通过作业者的人为操作而被切换操作为关闭状态和打开状态。

并且，通过将第一基干用手动阀65、基干用控制阀66和第二基干用手动阀67中的每一个切换为打开状态，氮气从基干供给部分61向区域用供给部分62的流通成为可能状态，通过将第一基干用手动阀65、基干用控制阀66和第二基干用手动阀67中的至少一个切换为关闭状态，则氮气从基干供给部分61向区域用供给部分62的流通成为不能状态。

区域用供给部分

如图5所示，区域用供给部分62被连接到基干连接部61b，该基干连接部61b位于基干供给部分61的基干设置部61a的下游侧。如果加以说明的话，在氮气供给路径60中具有与区域CH数目相同路径数的区域用供给部分62，在本例中，基干供给部分61的基干连接部61b连接有6路区域用供给部分62。并且，各个区域用供给部分62的区域用连接部62b被分支为与区域CH的收纳部10S的行数相同的4路。顺便指出，在区域用供给部分62中，图7中箭头A所示的方向为气体供给方向。另外，区域用供给部分62是比基干供给部分61更细的配管尺寸。

如图7所示，区域用供给部分62的区域用设置部62a中，从气体供给方向的上游依次设有区域用手动阀69、压力调整阀70、压力检测传感器71、区域用控制阀72。其中，在本实施方式中，区域用手动阀69相当于本发明的第一切换阀。

区域用手动阀69和区域用控制阀72构成为在氮气能够从区域用供给部分62流通至收纳部用供给部分63的打开状态和不能流通的关闭状态之间切换。区域用控制阀72基于控制装置H的控制指令而被分别切换操作为打开状态或关闭状态。另外，区域用手动阀69由作业者的人为操作切换操作为关闭状态和打开状态。

并且，通过将区域用手动阀69和区域用控制阀72中的每一个切换为打开状态，氮气从区域用供给部分62向收纳部用供给部分63的流通成为可能状态，通过将区域用手动阀69和区域用控制阀72中的至少一个切换为关闭状态，则氮气从区域用供给部分62向收纳部用供给部分63的流通成为不能状态。

另外，压力调整阀70通过调整氮气从区域用供给部分62流通至收纳部用供给部分63的流通量来调整收纳部用供给部分63中氮气的压力。压力检测传感器71检测收纳部用供给部分63中的氮气的压力。

收纳部用供给部分

如图5所示，收纳部用供给部分63连接到区域用供给部分62的区域用连接部62b。如果加以说明的话，氮气供给路径60中具备与收纳部10S的数量相同路径数（在本例中为72路）的收纳部用供给部分63，在本例中，区域用供给部分62的一个区域用连接部62b连接有3路收纳部用供给部分63。

顺便指出，在收纳部用供给部分63中，图8中箭头A所示的方向为气体供给方向。另外，收纳部用供给部分63是比区域用供给部分62更细的配管尺寸。

如图8所示，在收纳部用供给部分63中，从气体供给方向的上游依次设有收纳部用手动阀74、收纳部用控制阀75、质量流量控制器40，在收纳部用供给部分63的下游侧端部连接有排放喷嘴10i。

另外，在本实施方式中，收纳部用手动阀74相当于本发明的第二切换阀。

收纳部用手动阀74和收纳部用控制阀75构成为在氮气能够从收纳部用供给部分63流通至排放喷嘴10i的打开状态和不能流通的关闭状态之间切换。收纳部用控制阀75基于控制装置H的控制指令而被分别切换操作为打开状态或关闭状态。另外，收纳部用手动阀74由作业者的人为操作切换操作为关闭状态和打开状态。

并且，通过将收纳部用手动阀74和收纳部用控制阀75中的每一个切换为打开状态，氮气从收纳部用供给部分63向排放喷嘴10i的流通成为可能状态，通过将收纳部用手动阀74和收纳部用控制阀75中的至少一个切换为关闭状态，则氮气从收纳部用供给部分63向排放喷嘴10i的流通成为不能状态。

另外，质量流量控制器40具备调整氮气从收纳部用供给部分63流通至排放喷嘴10i的流通量的流量调整阀和检测氮气从收纳部用供给部分63流通至排放喷嘴10i的流量的流量检测传感器的功能。

基干用控制阀66、区域用控制阀72以及收纳部用控制阀75中每一个的控制阀基于控制装置H的控制指令被分别切换操作为打开状态或关闭状态。

另外，第一基干用手动阀65、第二基干用手动阀67、区域用手动阀69以及收纳部用手动阀74中的每一个的手动阀由作业者的人为操作切换操作为关闭状态和打开状态。

控制结构

如图9所示，控制装置H被输入存货传感器10z的检测信息，另外与堆垛起重机20自由通信地连接。由此，控制装置H管理保管架10中的容器50的在库状态等，并且基于来自图外的上位控制器的入库指令和出库指令来控制堆垛起重机20的动作。

如果加以说明的话，控制装置H被来自上位控制器的入库指令所命令，执行入库搬送处理。在入库搬送处理时，基于在库状态，将未收纳容器50的空的收纳部10S之一选择为收纳对象的收纳部10S，控制堆垛起重机20的动作，将容器50从出入库输送机CV搬送至收纳对象的收纳部10S。另外，控制装置H被来自上位控制器的出库指令所命令，执行出库搬送处理。在出库搬送处理时，控制堆垛起重机20的动作，将出库对象容器50从收纳有该出库对象容器50的收纳部10S搬送至出入库输送机CV上。

另外，可编程逻辑控制器P和多个IO扩展模块A通过通信线连接到控制装置H，以便能够自由通信。多个质量流量控制器40连接到可编程逻辑控制器P。属于对应的区域CH的存货传感器10z、压力检测传感器71以及多头管87连接到IO扩展模块A。

并且，控制装置H控制基干用控制阀66的动作，并且向可编程逻辑控制器P发送供给信息，该供给信息示出氮气的供给量和供给氮气的收纳部10S。可编程逻辑控制器P基于来自控制装置H的供给信息，控制质量流量控制器40（流量调整阀）的动作，并且通过IO扩展模块A向多头管87发送指令信息。多头管87基于指令信息进行动作，使得区域用控制阀72和收纳部用控制阀75进行动作，对于供给氮气的供给对象的收纳部10S供给氮气。

这样，控制装置H通过可编程逻辑控制器P和IO扩展模块A等，控制基干用控制阀66、区域用控制阀72、收纳部用控制阀75以及质量流量控制器40的动作。

旁通路径

如图5所示，将多个区域用供给部分62中的两个作为一组，以成为该组的两个区域用供给部分62彼此连通的状态设有旁通路径77。

在本例中，该旁通路径77设置成使得与上下方向邻接的两个区域CH分别对应的区域用供给部分62彼此连通，与6个区域CH对应而设有3路。另外，旁通路径77是与区域用供给部分62相同的配管尺寸。

如图7所示，旁通路径77中设有旁通用手动阀78，该旁通用手动阀78将旁通路径77自由切换为氮气能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态。该旁通用手动阀78由作业者的人为操作而被切换操作至关闭状态和打开状态。

泄放路径

如图5所示，设有氮气泄放路径80，该氮气泄放路径80与氮气供给路径60连接，用于从氮气供给路径60排出氮气。并且，作为该氮气泄放路径80，如图5-图7所示，设置有基干用泄放路径81和区域用泄放路径82，基干用泄放路径81与基干供给部分61连接，用于从基干供给部分61排出氮气，区域用泄放路径82与多个区域用供给部分62连接，用于从区域用供给部分62排出氮气。另外，在说明氮气泄放路径80时，将来自氮气供给路径60的氮气流通的方向称为气体排出方向，基于该气体排出方向的流，对气体排出方向的上游和下游进行定义和说明。

基干泄放

如图6所示，基干用泄放路径81连接在基干供给部分61的基干设置部61a中的设置有第一基干用手动阀65和基干用控制阀66的位置的气体供给方向的下游侧，并且连接在设置第二基干用手动阀67的位置的气体供给方向的上游侧。其中，基干用泄放路径81与区域用供给部分62相同配管尺寸。

并且，在基干用泄放路径81中，从气体排出方向的上游侧依次设有泄放用压力调整阀86、基干用泄放手动阀83，基干用泄放手动阀83自由切换为惰性气体能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态。泄放用压力调整阀86与压力调整阀70同样地构成。基干用泄放手动阀83由作业者的人为操作而被切换操作为关闭状态和打开状态。此外，在本实施方式中，基干用泄放手动阀83相当于本发明的基干用泄放切换阀。

因此，通过将第一基干用手动阀65和第二基干用手动阀67切换为打开状态，将基干用泄放手动阀83切换为关闭状态，能够使来自图外供给源的全部氮气都向着区域用供给部分62流动。

另外，通过将第一基干用手动阀65、第二基干用手动阀67以及基干用泄放手动阀83切换为打开状态，能够在使来自供给源的氮气向着区域用供给部分62流动的同时，使来自供给源的氮气的一部分向基干用泄放路径81流动而排出至外部，能够进行来自供给源的氮气的采样等。

另外，通过将第一基干用手动阀65切换为打开状态，将第二基干用手动阀67切换为关闭状态，将基干用泄放手动阀83切换为打开状态，能够使来自供给源的全部氮气向着基干用泄放路径81流动，能够使氮气在供给源和基干供给部分61之间流通。

另外，通过将第一基干用手动阀65切换为关闭状态，将第二基干用手动阀67以及基干用泄放手动阀83切换为打开状态，能够使基干供给部分61的氮气向着基干用泄放路径81流动，能够进行基干供给部分61的排压。

顺便指出，在基干用泄放路径81中，图6中箭头B所示的方向为气体排出方向。

区域泄放

如图7所示，区域用泄放路径82具备多个区域用泄放部分82a（相当于本发明的泄放路径）和合流用泄放部分82b（相当于本发明的合流用泄放路径），其中，多个区域用泄放部分82a与多个区域用供给部分62中的各个连接，用于从区域用供给部分62排出氮气，合流用泄放部分82b与多个区域用泄放部分82a中的各个连接。其中，区域用泄放路径82与收纳部用供给部分63相同配管尺寸。

区域用泄放部分82a具备与区域CH的数目相同的路径数（本例中为6路），该各路区域用泄放部分82a的每一个中设有区域用泄放手动阀84。该区域用泄放手动阀84构成为由作业者的人为操作而被切换为氮气能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态。其中，在本实施方式中，区域用泄放手动阀84相当于本发明的区域用泄放切换阀。

并且，多个区域用泄放部分82a连接在区域用供给部分62的区域用设置部62a中设有区域用手动阀69的位置的气体供给方向下游侧。这样，区域用泄放部分82a连接在氮气供给路径60中的设有区域用手动阀69的位置的气体供给方向下游侧，并且连接在设有收纳部用手动阀74的位置的气体供给方向上游侧。

另外，合流用泄放部分82b连接到多个区域用泄放部分82a的每一个的设置区域用泄放手动阀84位置的气体排出方向的下游侧，合流用泄放部分82b设有合流用泄放手动阀85，该合流用泄放手动阀85由作业者的人为操作而被自由切换为氮气能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态。此外，在本实施方式中，合流用泄放手动阀85相当于本发明的合流用泄放切换阀。

因此，通过将区域用手动阀69和收纳部用手动阀74切换为打开状态，能够使来自基干供给部分61的氮气从排放喷嘴10i排放。

另外，通过将区域用手动阀69和收纳部用手动阀74切换为打开状态并且将对应的区域用泄放手动阀84和合流用泄放手动阀85切换为打开状态，能够使来自基干供给部分61的氮气从排放喷嘴10i排放，并且使来自基干供给部分61的氮气的一部分向着区域用泄放路径82流动，排出至外部，能够在区域单位中进行氮气的采样等。

另外，通过将收纳部用手动阀74切换为关闭状态，将区域用手动阀69、区域用泄放手动阀84以及合流用泄放手动阀85切换为打开状态，能够使来自基干供给部分61的全部氮气向区域用泄放路径82流动，能够在区域单位中使氮气流通。

另外，通过将区域用手动阀69和收纳部用手动阀74切换为关闭状态并且将区域用泄放手动阀84和合流用泄放手动阀85切换为打开状态，能够使区域用供给部分62（特别是区域用手动阀69所设置的位置的气体供给方向的下游侧且在收纳部用手动阀74所设置位置的气体供给方向的上游侧的部分的区域的对象部分）的氮气向着区域用泄放路径82流动，能够进行区域用供给部分62（区域的对象部分）的排压。

顺便指出，在区域用泄放路径82中，图7的箭头B所示的方向是气体排出方向。

这样，在本实施方式的物品保管设备中，在多个区域用供给部分62的每一个中设置区域用手动阀69，在多个收纳部用供给部分63的每一个中设置收纳部用手动阀74。另外，在氮气供给路径60中的区域用手动阀69的下游且在收纳部用手动阀74的上游连接有区域用泄放路径82。因此，能够进行区域单位中的排压和采样、氮气的流通。

其它实施方式

（1）在上述实施方式中，第一切换阀、第二切换阀、区域用泄放切换阀、合流用泄放切换阀以及基干用泄放切换阀全部都由作业者的人为操作来切换的手动阀构成，但这些切换阀的一部分或全部也可以由基于控制装置H的控制指令来切换的控制阀构成。

具体而言，例如也可以构成为：区域用泄放切换阀和合流用泄放切换阀由控制阀构成，如果由操作台指定了区域CH并且输入了采样开始，则基于控制装置H的控制指令，该区域CH的区域用泄放切换阀和合流用泄放切换阀***作为打开，在经过了设定时间或由操作台输入了采样结束，则基于控制装置H的控制指令，该区域用泄放切换阀和合流用泄放切换阀***作为关闭。

（2）在上述实施方式中，构成为设有多个区域用泄放部分82a和合流用泄放部分82b，将从区域用泄放路径82排出的惰性气体从一个部位排出，但是也可以构成为仅设置多个区域用泄放部分82a和合流用泄放部分82b中的多个区域用泄放部分82a，将从区域用泄放路径82排出的惰性气体根据区域CH而从不同的部位排出。

（3）在上述实施方式中，将基干用泄放切换阀、区域用泄放切换阀以及合流用泄放切换阀设在壁体K的外部，但是也可以将这些泄放切换阀的一部分或全部设在壁体K的内部。

顺便指出，所谓壁体K的外部，只要是设有保管架10或堆垛起重机20的设置空间的外部即可，例如，将壁体K构成为形成设置空间以及设有控制装置H的第二空间的两个空间的情况下，将第二空间作为外部，将上述泄放切换阀设在该第二空间中也可以。

另外，在设置于壁体K的外部时，至少上述泄放切换阀的一部分（具体而言，作业者操作的操作杆等操作部分）设在壁体K的外部即可，可以不将该泄放切换阀的整体都设在壁体K的外部。

（4）在上述实施方式中，将第二切换阀设在多个收纳部用供给部分63的每一个上，但也可以将第二切换阀设在多个区域用供给部分62的每一个上。在此情况下，第二切换阀可以设在区域用供给部分62中的第一切换阀设置位置以及区域用泄放路径82（区域用泄放部分82a）连接位置的气体供给方向的下游侧。

（5）在上述实施方式中，容器50被例示为收容半导体基板的FOUP的结构，但是不限于这样的结构，例如，也可以是收容掩膜的掩膜容器。另外，氮气用作了惰性气体，但惰性气体可以使用氮气以外的氩气等对被收容的基板的反应性低的各种气体。顺便指出，作为收容在容器50中的物品，可以广泛地适用于工业制品、食品、医药品等。

（6）在上述实施方式中，仅对于设在物品保管设备中的一对保管架10中的一个保管架10设置了惰性气体供给路径，但也可以对于两个保管架10设置惰性气体供给路径。顺便指出，在对于两个保管架10设置惰性气体供给路径的情况下，可以对于两个保管架10分别设置基干供给部分61和供给源，或者也可以由两个保管架10共用基干供给部分61和供给源地设置。

（7）关于其它结构，在本说明书中公开的实施方式在全部的点都是例示，本发明的范围不限于这些。在不脱离本发明精神的范围内可以进行适当变更。因此，在不脱离本发明精神范围内变更的其它实施方式当然也包含在本发明的范围内。

Claims (4)

1.一种物品保管设备，具备：

收纳容器的多个收纳部；

向所述多个收纳部中的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径；

排放部，所述排放部将由所述惰性气体供给路径供给至所述收纳部的惰性气体排放至收纳于该收纳部的所述容器的内部；

其中，所述多个收纳部被划分为多个区域，

其特征在于，

所述惰性气体供给路径具备：基干供给部分；多个区域用供给部分，所述多个区域用供给部分从所述基干供给部分向着所述多个区域的每一个分支，将在所述基干供给部分中流通的惰性气体供给至所述多个区域中的每一个；多个收纳部用供给部分，所述多个收纳部用供给部分将在所述区域用供给部分中流通的惰性气体分别供给至与该区域用供给部分对应的所述区域所属的所述多个收纳部，使惰性气体从所述排放部排放，

所述物品保管设备还具备：

第一切换阀，设在所述多个区域用供给部分的每一个中，能够自由切换为惰性气体能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态，

第二切换阀，所述第二切换阀设置在所述多个区域用供给部分的每一个中的所述第一切换阀设置位置的气体供给方向下游侧，或者设置在所述多个收纳部用供给部分的每一个中，能够自由切换为惰性气体能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态，

多个泄放路径，所述多个泄放路径与所述多个区域用供给部分的每一个连接，用于将惰性气体从所述区域用供给部分排出，

所述多个泄放路径连接在所述惰性气体供给路径中的所述第一切换阀设置位置的所述气体供给方向的下游侧、所述第二切换阀设置位置的所述气体供给方向的上游侧，

所述多个泄放路径的每一个中设有区域用泄放切换阀，所述区域用泄放切换阀自由切换为惰性气体能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态。

2.如权利要求1所述的物品保管设备，其特征在于，

设有壁体，所述壁体覆盖设置所述多个收纳部的设置空间，

所述区域用泄放切换阀由人为操作而切换至所述打开状态和所述关闭状态的人为操作式切换阀构成，并且设在所述壁体的外部。

3.如权利要求2所述的物品保管设备，其特征在于，

设有合流用泄放路径，所述合流用泄放路径连接在所述多个泄放路径的每一个中的所述区域用泄放切换阀设置位置的气体排出方向的下游侧，

所述合流用泄放路径中设有合流用泄放切换阀，所述合流用泄放切换阀由人为操作而自由切换为惰性气体能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态，

所述合流用泄放切换阀设在所述壁体的外部。

4.如权利要求1或2所述的物品保管设备，其特征在于，

设有与所述基干供给部分连接的基干用泄放路径，

在所述基干用泄放路径中具备基干用泄放切换阀，所述基干用泄放切换阀自由切换为惰性气体能够流通的打开状态和不能流通的关闭状态。