CN104216113A - 压电扫描器 - Google Patents
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Abstract
压电扫描器，属于电子扫描器领域，尤其涉及一种压电式扫描器。包括基底、弹性外壳、压电陶瓷叠堆、电阻应变片、铰链支架和反射镜组成；其特征在于，反射镜粘接在铰链支架的顶部平面上，铰链支架为对称结构，通过螺钉栓接在两个弹性外壳的一侧，弹性外壳的另一侧固定在基座上，压电陶策叠堆通过预紧力内嵌于弹性外壳内，每个压电陶瓷叠堆的外侧粘结有电阻应变片。经过结构上的调整有效的提高了扫描的频率，且本发明所述的压电扫描器结构简单且易于推广使用。
Description
技术领域
本发明属于电子扫描器领域，尤其涉及一种压电式扫描器。
背景技术
激光扫描技术是一种将激光光束偏转、移动、扫描的技术，能实现激光扫描的设备称为激光扫描器。现在常见的激光扫描器有旋转多面镜扫描器、检流计式振镜、音圈电机扫描器和压电扫描器等。旋转多面镜扫描具有转速高、扫描角度大、稳定性好等优点，但也存在扫描非线性、入瞳漂移等缺点。检流计振镜在高频扫描时，扫描最大角度和线性度都会严重下降。音圈电机扫描器扫描角度较大，但是谐振频率低，无法实现高速线性扫描。传统的压电扫描器扫描频率较高，但是扫描角度小，限制了其应用。
发明内容
本发明旨在提供一种有效提高扫描频率的压电扫描器。
压电扫描器，包括基底、弹性外壳、压电陶瓷叠堆、电阻应变片、铰链支架和反射镜组成；其特征在于，反射镜粘接在铰链支架的顶部平面上，铰链支架为对称结构，通过螺钉栓接在两个弹性外壳的一侧，弹性外壳的另一侧固定在基座上，压电陶策叠堆通过预紧力内嵌于弹性外壳内，每个压电陶瓷叠堆的外侧粘结有电阻应变片。
本发明所述的压电扫描器，其特征在于所述的压电陶瓷叠堆设置有两个，且对称设置。
本发明所述的压电扫描器，其特征在于所述的反射镜的宽度大于或等于弹性外壳的宽度，弹性外壳完全处于反射镜的垂直投影内。
本发明所述的压电扫描器，其特征在于所述的电阻应变片设置于两块压电陶瓷叠堆的中间部位。
本发明所述的压电扫描器，经过结构上的调整有效的提高了扫描的频率，且本发明所述的压电扫描器结构简单且易于推广使用。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
其中1-基底、2-弹性外壳、3-压电陶瓷叠堆、4-电阻应变片、5-铰链支架、6-反射镜。
具体实施方式
本发明所述压电扫描器，包括基底1、弹性外壳2、压电陶瓷叠堆3、电阻应变片4、铰链支架5和反射镜6组成；其特征在于，反射镜6粘接在铰链支架5的顶部平面上，铰链支架5为对称结构，通过螺钉栓接在两个弹性外壳2的一侧，弹性外壳2的另一侧固定在基座1上，压电陶策叠堆3通过预紧力内嵌于弹性外壳2内，每个压电陶瓷叠堆3的外侧粘结有电阻应变片4。本发明所述的压电扫描器，所述的压电陶瓷叠堆设置有两个，且对称设置。所述的反射镜的宽度大于或等于弹性外壳的宽度，弹性外壳完全处于反射镜的垂直投影内。所述的电阻应变片设置于两块压电陶瓷叠堆的中间部位。
通过两个压电陶瓷叠堆3施加电压使两者至相同的伸缩长度。然后通过给两个压电陶瓷叠堆3施加互为反向的驱动电压，可以使两个压电陶瓷叠堆3做互为反向的运行，弹性外壳2将压电陶瓷叠堆3的伸缩位移转化为放大后的垂直伸缩方向的位移，使弹性铰链支架5周围轴向形成转动，实现反射镜6的转动。电阻应变片4和外部电路中电阻构成双臂电桥，给两个压电陶瓷叠堆3施加反向电压，当一桥臂电阻拉伸，一桥臂电阻压缩时，则两臂之间产生一定的压差。此压差可以间接反映压电扫描器角度变化。
Claims (4)
1.压电扫描器，包括基底（1）、弹性外壳（2）、压电陶瓷叠堆（3）、电阻应变片（4）、铰链支架（5）和反射镜（6）组成；其特征在于，反射镜（6）粘接在铰链支架（5）的顶部平面上，铰链支架（5）为对称结构，通过螺钉栓接在两个弹性外壳（2）的一侧，弹性外壳（2）的另一侧固定在基座（1）上，压电陶策叠堆（3）通过预紧力内嵌于弹性外壳（2）内，压电陶瓷叠堆（3）的外侧粘结有电阻应变片（4）。
2.如权利要求1所述的压电扫描器，其特征在于所述的压电陶瓷叠堆（3）设置有两个，且对称设置。
3.如权利要求1所述的压电扫描器，其特征在于所述的反射镜（6）的宽度大于或等于弹性外壳（2）的宽度，弹性外壳（2）完全处于反射镜（6）的垂直投影内。
4.如权利要求1所述的压电扫描器，其特征在于所述的电阻应变片（4）设置于两块压电陶瓷叠堆（3）的中间部位。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410407899.9A CN104216113A (zh) | 2014-08-19 | 2014-08-19 | 压电扫描器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201410407899.9A CN104216113A (zh) | 2014-08-19 | 2014-08-19 | 压电扫描器 |
Publications (1)
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| CN104216113A true CN104216113A (zh) | 2014-12-17 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201410407899.9A Pending CN104216113A (zh) | 2014-08-19 | 2014-08-19 | 压电扫描器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| CN (1) | CN104216113A (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105403997A (zh) * | 2015-11-19 | 2016-03-16 | 苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 | 一种压电驱动二维扫描微镜 |
| CN106526833A (zh) * | 2016-12-29 | 2017-03-22 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 无应力压电驱动激光振镜*** |
| CN109669267A (zh) * | 2019-01-18 | 2019-04-23 | 成都理想境界科技有限公司 | 一种扫描致动器及光纤扫描器 |
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2014
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105403997A (zh) * | 2015-11-19 | 2016-03-16 | 苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 | 一种压电驱动二维扫描微镜 |
| CN106526833A (zh) * | 2016-12-29 | 2017-03-22 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 无应力压电驱动激光振镜*** |
| CN106526833B (zh) * | 2016-12-29 | 2019-02-19 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 无应力压电驱动激光振镜*** |
| CN109669267A (zh) * | 2019-01-18 | 2019-04-23 | 成都理想境界科技有限公司 | 一种扫描致动器及光纤扫描器 |
| CN109669267B (zh) * | 2019-01-18 | 2021-01-05 | 成都理想境界科技有限公司 | 一种扫描致动器及光纤扫描器 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20141217 |