CN104124361A - 一种有机电致发光器件及其制备方法 - Google Patents

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黄辉
张振华
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Abstract

本发明提供了一种有机电致发光器件及其制备方法。本发明制备的有机电致发光器件采用依次层叠的导电氧化物层、富勒烯衍生物层和双极性金属氧化物层作为阴极，改善了器件的出光性能，并提高了器件的稳定性，使光能更有效地抵达导电阳极玻璃基底，从而提高器件的发光效率。本发明制备方法简单，易于控制和操作，并且原材料容易获得。

Description

一种有机电致发光器件及其制备方法
技术领域
本发明属于有机电致发光领域，具体涉及一种有机电致发光器件及其制备方法。
背景技术
有机电致发光器件（OLED）是一种以有机材料为发光材料，能把施加的电能转化为光能的能量转化装置。它具有超轻薄、自发光、响应快、低功耗等突出性能，在显示、照明等领域有着极为广泛的应用前景。
有机电致发光器件的结构为三明治结构，在阴极和导电阳极之间夹有一层或多层有机薄膜。在含多层结构的器件中，两极内侧主要包括发光层、注入层及传输层。有机电致发光器件是载流子注入型发光器件，在阳极和阴极加上工作电压后，空穴从阳极，电子从阴极分别注入到工作器件的有机材料层中，两种载流子在有机发光材料中形成空穴-电子对发光，然后光从电极发出。
在传统的发光器件中，一般都是以低功函数的金属或者合金作为阴极，这种结构中，低功函数的金属化学性质活泼，在空气中易于氧化，使器件的稳定性较差，并且阴极的电子注入能力不佳，导致器件的发光效率、出光性能较低。
发明内容
为了解决上述问题，本发明旨在提供一种具有较高出光效率的有机电致发光器件及其制备方法。
第一方面，本发明提供了一种有机电致发光器件，包括依次层叠的导电阳极玻璃基底、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极，所述阴极包括依次层叠的导电氧化物层、富勒烯衍生物层和双极性金属氧化物层；所述导电氧化物层的材质为铟锡氧化物、铝锌氧化物和铟锌氧化物中的一种，所述富勒烯衍生物层的材质为足球烯（C60）、碳70（C70）、[6,6]-苯基-C61-丁酸甲酯（P61BM）和[6,6]-苯基-C71-丁酸甲酯（P71BM）中的一种，所述双极性金属氧化物层的材质为三氧化钼、三氧化钨和五氧化二钒中的一种。
优选地，导电阳极玻璃基底为铟锡氧化物玻璃、铝锌氧化物玻璃和铟锌氧化物玻璃中的一种。
优选地，空穴注入层的材质为三氧化钼（MoO3）、三氧化钨（WO3）和五氧化二钒（V2O5）中的一种。更优选地，空穴注入层的材质为MoO3。
优选地，空穴注入层的厚度为20～80nm。更优选地，空穴注入层的厚度为30nm。
优选地，空穴传输层的材质为1,1-二[4-[N,N′-二(p-甲苯基)氨基]苯基]环己烷（TAPC）、4,4',4''-三（咔唑-9-基）三苯胺（TCTA）和N,N'-二苯基-N,N'-二(1-萘基)-1,1'-联苯-4,4'-二胺（NPB）中的一种。更优选地，空穴传输层的材质为NPB。
优选地，空穴传输层的厚度为20～60nm。更优选地，空穴传输层的厚度为50nm。
优选地，发光层的材质为4-（二腈甲基）-2-丁基-6-（1,1,7,7-四甲基久洛呢啶-9-乙烯基）-4H-吡喃（DCJTB）、9,10-二（β-萘基）蒽（ADN）、4,4’-双（9-乙基-3-咔唑乙烯基）-1,1’-联苯（BCzVBi）和8-羟基喹啉铝（Alq3）中的一种。更优选地，发光层的材质为Alq3。
优选地，发光层的厚度为5～40nm。更优选地，发光层的厚度为20nm。
电子传输层的材质为具有较高的电子迁移率，能有效传导电子的有机分子材料。
优选地，电子传输层的材质为4,7-二苯基-1,10-菲罗啉（Bphen）、1,2,4-***衍生物和1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯（TPBi）中的一种。
更优选地，1,2,4-***衍生物为3-(联苯-4-基)-5-(4-叔丁基苯基)-4-苯基-4H-1,2,4-***（TAZ）。更优选地，电子传输层的材质为TAZ。
优选地，电子传输层的厚度为40～200nm。更优选地，电子传输层的厚度为50nm。
优选地，电子注入层的材质为碳酸铯（Cs2CO3）、氟化铯（CsF）、叠氮铯（CsN3）和氟化锂（LiF）中的一种。更优选地，第二电子注入层的材质为LiF。
优选地，电子注入层的厚度为0.5～10nm。更优选地，电子注入层的厚度为1nm。
阴极设置在电子注入层上。阴极包括依次层叠的导电氧化物层、富勒烯衍生物层和双极性金属氧化物层。
导电氧化物层的材质为铟锡氧化物（ITO）、铝锌氧化物（AZO）和铟锌氧化物（IZO）中的一种。
优选地，导电氧化物层的厚度为50～150nm。
富勒烯衍生物层的材质为足球烯、碳70、[6,6]-苯基-C61-丁酸甲酯和[6,6]-苯基-C71-丁酸甲酯中的一种。
在电子注入层之上制备一层由导电氧化物构成的导电氧化物层，可提高器件的导电性和电子浓度，从而提高激子复合几率。富勒烯衍生物结晶后链段排列整齐，膜层表面形成波纹状结构，改变光的方向，使垂直发射的光散射，从而不会与金属层的自由电子发生耦合，避免平行的自由电子会与垂直的光子耦合而产生的损耗，提高光子利用率。同时，富勒烯是富电子材料，可进一步提高电子浓度。
优选地，富勒烯衍生物层的厚度为20～100nm。
双极性金属氧化物层的材质为三氧化钼、三氧化钨和五氧化二钒中的一种。
将双极性金属氧化物层设置在富勒烯衍生物层之上，双极性金属氧化物对光进行反射，使光回到器件底部出射，有效地提高了器件的发光效率，同时，双极性金属氧化物具有良好的稳定性，能进一步提高器件的稳定性。
优选地，双极性金属氧化物层的厚度为50～200nm。
第二方面，本发明提供了一种有机电致发光器件的制备方法，包括以下步骤：
提供清洁的导电阳极玻璃基底；
在所述导电阳极玻璃基底上依次热阻蒸镀制备空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层，所述热阻蒸镀的条件为压强5×10-5～2×10-3Pa，所述空穴注入层和电子注入层的蒸镀速率为1～10nm/s，所述空穴传输层、发光层和电子传输层的蒸镀速率为0.1～1nm/s；
在所述电子注入层上制备阴极，所述阴极包括依次层叠的导电氧化物层、富勒烯衍生物层和双极性金属氧化物层，其中：
所述导电氧化物层通过磁控溅射方法制备，所述导电氧化物层的材质为铟锡氧化物、铝锌氧化物和铟锌氧化物中的一种，所述磁控溅射的条件为加速电压300～800V，磁场50～200G，功率密度1～40W/cm2；
所述富勒烯衍生物层通过旋涂制备，具体操作为将足球烯、碳70、[6,6]-苯基-C61-丁酸甲酯和[6,6]-苯基-C71-丁酸甲酯中的一种溶于有机溶剂中得到第一溶液，将所述第一溶液旋涂在所述导电氧化物层上，条件为转速2000～8000rpm，时间10～30s，旋涂后在50～300°C下烘烤10～30min，得到所述富勒烯衍生物层；
所述双极性金属氧化物层通过旋涂制备，具体操作为将三氧化钼、三氧化钨和五氧化二钒中的一种溶于氨水中，得到第二溶液，将所述第二溶液旋涂在所述富勒烯衍生物层上，条件为转速4000～8000rpm，时间10～30s，旋涂后在100～200°C下烘烤10～30min，得到所述双极性金属氧化物层；
以上步骤完成后，得到所述有机电致发光器件。
优选地，导电阳极玻璃基底为铟锡氧化物玻璃、铝锌氧化物玻璃和铟锌氧化物玻璃中的一种。
优选地，将导电阳极玻璃基底进行光刻处理，然后剪裁成所需要的大小。
通过对导电阳极玻璃基底的清洗，除去表面的有机污染物。
具体地，导电阳极玻璃基底的清洁操作为：将导电阳极玻璃基底依次用洗洁精、去离子水各超声清洗15min，去除表面的有机污染物，得到清洁的导电阳极玻璃基底。
通过热阻蒸镀的方法，在清洁的导电阳极玻璃基底上依次蒸镀设置空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层。其中，热阻蒸镀的条件为压强5×10-5～2×10-3Pa，空穴注入层和电子注入层的蒸镀速率为1～10nm/s，所述空穴传输层、发光层和电子传输层的蒸镀速率为0.1～1nm/s。
优选地，空穴注入层的材质为三氧化钼（MoO3）、三氧化钨（WO3）和五氧化二钒（V2O5）中的一种。更优选地，空穴注入层的材质为MoO3。
优选地，空穴注入层的厚度为20～80nm。更优选地，空穴注入层的厚度为30nm。
优选地，空穴传输层的材质为1,1-二[4-[N,N′-二(p-甲苯基)氨基]苯基]环己烷（TAPC）、4,4',4''-三（咔唑-9-基）三苯胺（TCTA）和N,N'-二苯基-N,N'-二(1-萘基)-1,1'-联苯-4,4'-二胺（NPB）中的一种。更优选地，空穴传输层的材质为NPB。
优选地，空穴传输层的厚度为20～60nm。更优选地，空穴传输层的厚度为50nm。
优选地，发光层的材质为4-（二腈甲基）-2-丁基-6-（1,1,7,7-四甲基久洛呢啶-9-乙烯基）-4H-吡喃（DCJTB）、9,10-二（β-萘基）蒽（ADN）、4,4’-双（9-乙基-3-咔唑乙烯基）-1,1’-联苯（BCzVBi）和8-羟基喹啉铝（Alq3）中的一种。更优选地，发光层的材质为Alq3。
优选地，发光层的厚度为5～40nm。更优选地，发光层的厚度为20nm。
电子传输层的材质为具有较高的电子迁移率，能有效传导电子的有机分子材料。
优选地，电子传输层的材质为4,7-二苯基-1,10-菲罗啉（Bphen）、1,2,4-***衍生物和1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯（TPBi）中的一种。
更优选地，1,2,4-***衍生物为3-(联苯-4-基)-5-(4-叔丁基苯基)-4-苯基-4H-1,2,4-***（TAZ）。更优选地，电子传输层的材质为TAZ。
优选地，电子传输层的厚度为40～200nm。更优选地，电子传输层的厚度为50nm。
优选地，电子注入层的材质为碳酸铯（Cs2CO3）、氟化铯（CsF）、叠氮铯（CsN3）和氟化锂（LiF）中的一种。更优选地，第二电子注入层的材质为LiF。
优选地，电子注入层的厚度为0.5～10nm。更优选地，电子注入层的厚度为1nm。
阴极设置在电子注入层上。阴极包括依次层叠的导电氧化物层、富勒烯衍生物层和双极性金属氧化物层。
导电氧化物层通过磁控溅射方法设置在电子注入层上。
导电氧化物层的材质为铟锡氧化物（ITO）、铝锌氧化物（AZO）和铟锌氧化物（IZO）中的一种。
磁控溅射的条件为加速电压300～800V，磁场50～200G，功率密度1～40W/cm2。
优选地，导电氧化物层的厚度为50～150nm。
富勒烯衍生物层通过旋涂制备设置在导电氧化物层上，具体操作为将足球烯、碳70、[6,6]-苯基-C61-丁酸甲酯和[6,6]-苯基-C71-丁酸甲酯中的一种溶于有机溶剂中得到第一溶液，将第一溶液旋涂在所述导电氧化物层上，条件为转速2000～8000rpm，时间10～30s，旋涂后在50～300°C下烘烤10～30min，得到富勒烯衍生物层。
优选地，有机溶剂为氯苯、甲苯、对二甲苯和三氯甲烷中的一种。
优选地，第一溶液的质量浓度为8～20mg/mL。
在电子注入层之上制备一层由导电氧化物构成的导电氧化物层，可提高器件的导电性和电子浓度，从而提高激子复合几率。将富勒烯衍生物溶于有机溶剂中，旋涂后可缓慢结晶，旋涂方法简单可控，能够较好的控制厚度，并且通过烘烤等后处理可控制结晶程度，富勒烯衍生物结晶后链段排列整齐，膜层表面形成波纹状结构，改变光的方向，使垂直发射的光散射，从而不会与金属层的自由电子发生耦合，避免平行的自由电子会与垂直的光子耦合而产生的损耗，提高光子利用率。同时，富勒烯是富电子材料，可进一步提高电子浓度。
优选地，富勒烯衍生物层的厚度为20～100nm。
双极性金属氧化物层通过热阻蒸镀的方法设置在富勒烯衍生物层上。
双极性金属氧化物层通过旋涂制备，具体操作为将三氧化钼、三氧化钨和五氧化二钒中的一种溶于氨水中，得到第二溶液，将第二溶液旋涂在富勒烯衍生物层上，条件为转速4000～8000rpm，时间10～30s，旋涂后在100～200°C下烘烤10～30min，得到所述双极性金属氧化物层。
优选地，第二溶液的质量浓度为5～30mg/mL。
将双极性金属氧化物通过旋涂的方法设置在富勒烯衍生物层之上，能与富勒烯衍生物层连接紧密，双极性金属氧化物对光进行反射，使光回到器件底部出射，有效地提高了器件的发光效率，同时，双极性金属氧化物具有良好的稳定性，能进一步提高器件的稳定性。
优选地，双极性金属氧化物层的厚度为50～200nm。
本发明具有如下有益效果：
（1）本发明制备的有机电致发光器件采用依次层叠的导电氧化物层、富勒烯衍生物层和双极性金属氧化物层作为阴极，提高了器件的稳定性，并使光能更有效地抵达导电阳极玻璃基底，从而提高器件的发光效率。
（2）导电氧化物层提高器件的导电性和电子浓度，从而提高激子复合几率；富勒烯衍生物结晶后链段排列整齐，膜层表面形成波纹状结构，改变光的方向，使垂直发射的光散射，提高光子利用率；双极性金属氧化物对光进行反射，使光回到器件底部出射，有效地提高了器件的发光效率。
（3）本发明制备方法简单，易于控制和操作，并且原材料容易获得。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例1提供的有机电致发光器件的结构图；
图2是本发明实施例1提供的有机电致发光器件与对比例提供的有机电致发光器件的电流密度与流明效率的关系图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
以下为具体实施例及对比例部分，其中，“/”表示层叠。
实施例1
一种有机电致发光器件的制备方法，包括以下步骤：
（1）将ITO玻璃基底用洗洁精、去离子水各超声清洗15min，得到清洁的导电阳极玻璃基底；
（2）在高真空镀膜***（沈阳科学仪器研制中心有限公司）中，压强为8×10-5Pa的条件下，在清洁的导电阳极玻璃基底上依次热阻蒸镀空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层；
具体地，在本实施例中，空穴注入层的材质为MoO3，厚度为30nm；空穴传输层的材质为NPB，厚度为50nm；发光层的材质为Alq3，厚度为20nm；电子传输层的材质为TAZ，厚度为50nm；电子注入层的材质为LiF，厚度为1nm；
其中，MoO3和LiF的蒸镀速率为3nm/s，NPB、Alq3和TAZ的蒸镀速率为0.2nm/s；
（3）在压强为8×10-5Pa的条件下，在电子注入层上制备阴极：
先磁控溅射制备导电氧化物层，导电氧化物层的材质为ITO，厚度为100nm，磁控溅射条件为加速电压500V，磁场150G，功率密度10W/cm2；
再旋涂制备富勒烯衍生物层，具体操作为将P71BM溶于氯苯中，得到质量浓度为16mg/mL的第一溶液，将该第一溶液旋涂在导电氧化物层上，条件为转速4000rpm，时间15s，旋涂后在250°C下烘烤20min，得到富勒烯衍生物层，厚度为60nm；
最后，旋涂制备双极性金属氧化物层，具体操作为将MoO3溶于氨水中，得到质量浓度为20mg/mL的第二溶液，将该第二溶液旋涂在富勒烯衍生物层上，条件为转速6000rpm，时间15s，旋涂后在150°C下烘烤20min，得到双极性金属氧化物层，厚度为180nm；
以上步骤完成后，得到一种有机电致发光器件，结构具体表示为：ITO/MoO3/NPB/Alq3/TAZ/LiF/ITO/P71BM/MoO3。
图1是本实施例的有机电致发光器件的结构示意图。如图1所示，该有机电致发光器件的结构包括依次层叠的导电阳极玻璃基底10、空穴注入层20、空穴传输层30、发光层40、电子传输层50、电子注入层60和阴极70（包括导电氧化物层701、富勒烯衍生物层702、双极性金属氧化物层703）。
实施例2
一种有机电致发光器件的制备方法，包括以下步骤：
（1）将AZO玻璃基底用洗洁精、去离子水各超声清洗15min，得到清洁的导电阳极玻璃基底；
（2）在高真空镀膜***（沈阳科学仪器研制中心有限公司）中，压强为2×10-3Pa的条件下，在清洁的导电阳极玻璃基底上依次热阻蒸镀空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层；
具体地，在本实施例中，空穴注入层的材质为MoO3，厚度为80nm；空穴传输层的材质为TCTA，厚度为60nm；发光层的材质为ADN，厚度为5nm；电子传输层的材质为TAZ，厚度为200nm；电子注入层的材质为CsF，厚度为10nm；
其中，MoO3和CsF的蒸镀速率为10nm/s，TCTA、ADN和TAZ的蒸镀速率为0.1nm/s；
（3）在压强为2×10-3Pa的条件下，在电子注入层上制备阴极：
先磁控溅射制备导电氧化物层，导电氧化物层的材质为IZO，厚度为150nm，磁控溅射条件为加速电压800V，磁场50G，功率密度40W/cm2；
再旋涂制备富勒烯衍生物层，具体操作为将C60溶于甲苯中，得到质量浓度为20mg/mL的第一溶液，将该第一溶液旋涂在导电氧化物层上，条件为转速2000rpm，时间10s，旋涂后在300°C下烘烤10min，得到富勒烯衍生物层，厚度为100nm；
最后，旋涂制备双极性金属氧化物层，具体操作为将WO3溶于氨水中，得到质量浓度为5mg/mL的第二溶液，将该第二溶液旋涂在富勒烯衍生物层上，条件为转速8000rpm，时间30s，旋涂后在100°C下烘烤30min，得到双极性金属氧化物层，厚度为50nm；
以上步骤完成后，得到一种有机电致发光器件，结构具体表示为：AZO/MoO3/TCTA/ADN/TAZ/CsF/IZO/C60/WO3。
实施例3
一种有机电致发光器件的制备方法，包括以下步骤：
（1）将IZO玻璃基底用洗洁精、去离子水各超声清洗15min，得到清洁的导电阳极玻璃基底；
（2）在高真空镀膜***（沈阳科学仪器研制中心有限公司）中，压强为5×10-5Pa的条件下，在清洁的导电阳极玻璃基底上依次热阻蒸镀空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层；
具体地，在本实施例中，空穴注入层的材质为V2O5，厚度为20nm；空穴传输层的材质为TCTA，厚度为30nm；发光层的材质为BCzVBi，厚度为40nm；电子传输层的材质为TPBi，厚度为60nm；电子注入层的材质为Cs2CO3，厚度为0.5nm；
其中，V2O5和Cs2CO3的蒸镀速率为1nm/s，TCTA、BCzVBi和TPBi的蒸镀速率为1nm/s；
（3）在压强为5×10-5Pa的条件下，在电子注入层上制备阴极：
先磁控溅射制备导电氧化物层，导电氧化物层的材质为AZO，厚度为50nm，磁控溅射条件为加速电压300V，磁场200G，功率密度1W/cm2；
再旋涂制备富勒烯衍生物层，具体操作为将C70溶于对二甲苯中，得到质量浓度为8mg/mL的第一溶液，将该第一溶液旋涂在导电氧化物层上，条件为转速8000rpm，时间30s，旋涂后在50°C下烘烤30min，得到富勒烯衍生物层，厚度为20nm；
最后，旋涂制备双极性金属氧化物层，具体操作为将V2O5溶于氨水中，得到质量浓度为30mg/mL的第二溶液，将该第二溶液旋涂在富勒烯衍生物层上，条件为转速4000rpm，时间10s，旋涂后在200°C下烘烤10min，得到双极性金属氧化物层，厚度为200nm；
以上步骤完成后，得到一种有机电致发光器件，结构具体表示为：IZO/V2O5/TCTA/BCzVBi/TPBi/Cs2CO3/AZO/C70/V2O5。
实施例4
一种有机电致发光器件的制备方法，包括以下步骤：
（1）将IZO玻璃基底用洗洁精、去离子水各超声清洗15min，得到清洁的导电阳极玻璃基底；
（2）在高真空镀膜***（沈阳科学仪器研制中心有限公司）中，压强为5×10-4Pa的条件下，在清洁的导电阳极玻璃基底上依次热阻蒸镀空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层；
具体地，在本实施例中，空穴注入层的材质为WO3，厚度为30nm；空穴传输层的材质为TAPC，厚度为20nm；发光层的材质为DCJTB，厚度为5nm；电子传输层的材质为Bphen，厚度为40nm；电子注入层的材质为CsN3，厚度为1nm;
其中，WO3和CsN3的蒸镀速率为5nm/s，TAPC、DCJTB和Bphen的蒸镀速率为0.2nm/s；
（3）在压强为5×10-4Pa的条件下，在电子注入层上制备阴极:
先磁控溅射制备导电氧化物层，导电氧化物层的材质为AZO，厚度为120nm，磁控溅射条件为加速电压600V，磁场70G，功率密度15W/cm2；
再旋涂制备富勒烯衍生物层，具体操作为将PC61BM溶于三氯甲烷中，得到质量浓度为15mg/mL的第一溶液，将该第一溶液旋涂在导电氧化物层上，条件为转速3000rpm，时间25s，旋涂后在150°C下烘烤15min，得到富勒烯衍生物层，厚度为70nm；
最后，旋涂制备双极性金属氧化物层，具体操作为将MoO3溶于氨水中，得到质量浓度为10mg/mL的第二溶液，将该第二溶液旋涂在富勒烯衍生物层上，条件为转速5000rpm，时间20s，旋涂后在120°C下烘烤20min，得到双极性金属氧化物层，厚度为80nm；
以上步骤完成后，得到一种有机电致发光器件，结构具体表示为：IZO/WO3/TAPC/DCJTB/Bphen/CsN3/AZO/PC61BM/MoO3。
对比例
一种有机电致发光器件的制备方法，包括以下步骤：
（1）将ITO玻璃基底用洗洁精、去离子水各超声清洗15min，得到清洁的导电阳极玻璃基底；
（2）在高真空镀膜***（沈阳科学仪器研制中心有限公司）中，压强为8×10-5Pa的条件下，在清洁的导电阳极玻璃基底上依次热阻蒸镀空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极；
具体地，在本实施例中，空穴注入层的材质为MoO3，厚度为40nm；空穴传输层的材质为TCTA，厚度为50nm；发光层的材质为Alq3，厚度为20nm；电子传输层的材质为TAZ，厚度为200nm；电子注入层的材质为LiF，厚度为0.7nm；阴极的材质为Ag，厚度为150；
其中，MoO3、LiF和Ag的蒸镀速率为3nm/s，NPB、Alq3和TAZ的蒸镀速率为0.2nm/s；
以上步骤完成后，得到一种有机电致发光器件，结构具体表示为：ITO/MoO3/TCTA/Alq3/TAZ/LiF/Ag。
利用美国吉时利公司的Keithley2400测试电学性能，色度计（日本柯尼卡美能达公司，型号：CS-100A）测试亮度和色度，光纤光谱仪（美国海洋光学公司，型号：USB4000）测试电致发光光谱。
图2是实施例1的有机电致发光器件与对比例的有机电致发光器件的电流密度与流明效率的关系图。其中，曲线1为实施例1的有机电致发光器件的电流密度与流明效率的关系图；曲线2为对比例提供的有机电致发光器件的电流密度与流明效率的关系图。
从图2中可以看到，在不同电流密度下，实施例1的流明效率都比对比例的要大，实施例1的最大的流明效率为9.14lm/W，而对比例的仅为7.31lm/W，同时，随着电流密度的提高，实施例1的流明效率衰减更慢，这说明，本发明制备的阴极提高了器件的电子浓度和光子利用率，对光进行反射，使光回到器件底部出射，有效地提高了器件的发光效率。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种有机电致发光器件，其特征在于，包括依次层叠的导电阳极玻璃基底、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极，所述阴极包括依次层叠的导电氧化物层、富勒烯衍生物层和双极性金属氧化物层；所述导电氧化物层的材质为铟锡氧化物、铝锌氧化物和铟锌氧化物中的一种，所述富勒烯衍生物层的材质为足球烯、碳70、[6,6]-苯基-C61-丁酸甲酯和[6,6]-苯基-C71-丁酸甲酯中的一种，所述双极性金属氧化物层的材质为三氧化钼、三氧化钨和五氧化二钒中的一种。
2.如权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述导电阳极玻璃基底为铟锡氧化物玻璃、铝锌氧化物玻璃和铟锌氧化物玻璃中的一种。
3.如权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述空穴注入层的材质为三氧化钼、三氧化钨和五氧化二钒中的一种；空穴传输层的材质为1,1-二[4-[N,N′-二(p-甲苯基)氨基]苯基]环己烷、4,4',4''-三（咔唑-9-基）三苯胺和N,N'-二苯基-N,N'-二(1-萘基)-1,1'-联苯-4,4'-二胺中的一种；发光层的材质为4-（二腈甲基）-2-丁基-6-（1,1,7,7-四甲基久洛呢啶-9-乙烯基）-4H-吡喃、9,10-二（β-萘基）蒽、4,4’-双（9-乙基-3-咔唑乙烯基）-1,1’-联苯和8-羟基喹啉铝中的一种；电子传输层的材质为4,7-二苯基-1,10-菲罗啉、1,2,4-***衍生物和1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯中的一种；电子注入层的材质为碳酸铯、氟化铯、叠氮铯和氟化锂中的一种。
4.一种有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
提供清洁的导电阳极玻璃基底；
在所述导电阳极玻璃基底上依次热阻蒸镀制备空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层，所述热阻蒸镀的条件为压强5×10-5～2×10-3Pa，所述空穴注入层和电子注入层的蒸镀速率为1～10nm/s，所述空穴传输层、发光层和电子传输层的蒸镀速率为0.1～1nm/s；
在所述电子注入层上制备阴极，所述阴极包括依次层叠的导电氧化物层、富勒烯衍生物层和双极性金属氧化物层，其中：
所述导电氧化物层通过磁控溅射方法制备，所述导电氧化物层的材质为铟锡氧化物、铝锌氧化物和铟锌氧化物中的一种，所述磁控溅射的条件为加速电压300～800V，磁场50～200G，功率密度1～40W/cm2；
所述富勒烯衍生物层通过旋涂制备，具体操作为将足球烯、碳70、[6,6]-苯基-C61-丁酸甲酯和[6,6]-苯基-C71-丁酸甲酯中的一种溶于有机溶剂中得到第一溶液，将所述第一溶液旋涂在所述导电氧化物层上，条件为转速2000～8000rpm，时间10～30s，旋涂后在50～300°C下烘烤10～30min，得到所述富勒烯衍生物层；
所述双极性金属氧化物层通过旋涂制备，具体操作为将三氧化钼、三氧化钨和五氧化二钒中的一种溶于氨水中，得到第二溶液，将所述第二溶液旋涂在所述富勒烯衍生物层上，条件为转速4000～8000rpm，时间10～30s，旋涂后在100～200°C下烘烤10～30min，得到所述双极性金属氧化物层；
以上步骤完成后，得到所述有机电致发光器件。
5.如权利要求4所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，所述导电阳极玻璃基底为铟锡氧化物玻璃、铝锌氧化物玻璃和铟锌氧化物玻璃中的一种。
6.如权利要求4所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，所述有机溶剂为氯苯、甲苯、对二甲苯和三氯甲烷中的一种。
7.如权利要求4所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，所述第一溶液的质量浓度为8～20mg/mL。
8.如权利要求4所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，所述第二溶液的质量浓度为5～30mg/mL。
9.如权利要求4所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，所述空穴注入层的材质为三氧化钼、三氧化钨和五氧化二钒中的一种；空穴传输层的材质为1,1-二[4-[N,N′-二(p-甲苯基)氨基]苯基]环己烷、4,4',4''-三（咔唑-9-基）三苯胺和N,N'-二苯基-N,N'-二(1-萘基)-1,1'-联苯-4,4'-二胺中的一种；发光层的材质为4-（二腈甲基）-2-丁基-6-（1,1,7,7-四甲基久洛呢啶-9-乙烯基）-4H-吡喃、9,10-二（β-萘基）蒽、4,4’-双（9-乙基-3-咔唑乙烯基）-1,1’-联苯和8-羟基喹啉铝中的一种；电子传输层的材质为4,7-二苯基-1,10-菲罗啉、1,2,4-***衍生物和1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯中的一种；电子注入层的材质为碳酸铯、氟化铯、叠氮铯和氟化锂中的一种。
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