CN108470705A - 应用于光电子封装的平面运动平台 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种应用于光电子封装的平面运动平台，包括：载物台、第一解耦装置、第一驱动装置、第二解耦装置和第二驱动装置；第一解耦装置的顶部和第二解耦装置的顶部均与载物台的底部连接，第一解耦装置的底部与第一驱动装置的顶部连接，第二解耦装置的底部与第二驱动装置的顶部连接。本发明通过第一驱动装置驱动第一解耦装置以使第一解耦装置带动载物台沿第一方向运动，第二驱动装置驱动第二解耦装置以使第二解耦装置带动载物台沿第二方向运动，无需将一个方向的运动构件搭载于另一方向的运动构件上，从而避免增加另一方向对应直线电机的负载，使得另一方向对应直线电机的运动速度、加速度和启停精度不会受到影响。
Description
技术领域
本发明涉及光电子封装技术领域，更具体地，涉及一种应用于光电子封装的平面运动平台。
背景技术
光电子器件是光纤通信中的核心器件，具体使用时需要分别与输入阵列光纤和输出阵列光纤连接。光电子器件分别与输入阵列光纤和输出阵列光纤的连接为光电子封装。光电子封装是利用运动平台上的负载装夹机构将光电子器件与输入阵列光纤或输出阵列光纤进行光学对准耦合的过程。其中，运动平台的运动速度、加速度和启停精度决定了光电子封装的效率和精度。
现有技术中常采用的传统运动平台为载物台搭载于X(或Y)方向的运动构件上，在X(或Y)方向对应直线电机的作用下在X(或Y)方向的运动构件上沿X(或Y)方向运动；X(或Y)方向的运动构件搭载于Y(或X)方向的运动构件上，在Y(或X)方向对应直线电机的作用下在Y(或X)方向的运动构件上沿Y(或X)方向运动，从而带动载物台沿Y(或X)方向运动。
上述传统运动平台由于X(或Y)方向的运动构件搭载于Y(或X)方向的运动构件上，加重了Y(或X)方向对应直线电机的负载，使得Y(或X)方向对应直线电机的运动速度、加速度和启停精度受到影响，进而降低光电子封装的效率和精度。
发明内容
本发明提供一种应用于光电子封装的平面运动平台，以克服现有技术中，传统运动平台由于X(或Y)方向的运动构件搭载于Y(或X)方向的运动构件上，加重了Y(或X)方向对应直线电机的负载，使得Y(或X)方向对应直线电机的运动速度、加速度和启停精度受到影响，进而降低光电子封装的效率和精度的问题。
根据本发明的一个方面，提供一种应用于光电子封装的平面运动平台，包括：载物台、第一解耦装置、第一驱动装置、第二解耦装置和第二驱动装置；所述第一解耦装置的顶部与所述载物台的底部连接，所述第一解耦装置的底部与所述第一驱动装置的顶部连接；所述第二解耦装置的顶部与所述载物台的底部连接，所述第二解耦装置的底部与所述第二驱动装置的顶部连接；所述第一驱动装置用于驱动所述第一解耦装置以使所述第一解耦装置带动所述载物台沿第一方向运动；所述第二驱动装置用于驱动所述第二解耦装置以使所述第二解耦装置带动所述载物台沿第二方向运动；所述第一解耦装置还用于在所述第二解耦装置带动所述载物台沿第二方向运动时避免所述第一驱动装置阻碍所述载物台运动；所述第二解耦装置还用于在所述第一解耦装置带动所述载物台沿第一方向运动时避免所述第二驱动装置阻碍所述载物台运动。
其中，所述第一解耦装置包括：第一光轴、第一直线轴承和第一直线轴承座；所述第一直线轴承座与所述载物台的底部固定连接；所述第一直线轴承设置于所述第一直线轴承座内；所述第一光轴穿过所述第一直线轴承和所述第一直线轴承座并与所述第一直线轴承相互配合；所述第一光轴两端固定于所述第一驱动装置的顶部；所述第二解耦装置包括：第二光轴、第二直线轴承和第二直线轴承座；所述第二直线轴承座与所述载物台的底部固定连接；所述第二直线轴承设置于所述第二直线轴承座内；所述第二光轴穿过所述第二直线轴承和所述第二直线轴承座并与所述第二直线轴承相互配合；所述第二光轴两端固定于所述第二驱动装置的顶部。
其中，所述第一驱动装置包括：第一直线电机、第一直线电机上平台和第一直线电机底座；所述第一直线电机上平台与所述第一直线电机底座滑动连接；所述第一直线电机上平台的顶部与所述第一解耦装置的底部连接；所述第一直线电机的动子固定于所述第一直线电机底座的上表面，所述第一直线电机的定子设置于所述第一直线电机上平台的下表面；所述第二驱动装置包括：第二直线电机、第二直线电机上平台和第二直线电机底座；所述第二直线电机上平台与所述第二直线电机底座滑动连接；所述第二直线电机上平台的顶部与所述第二解耦装置的底部连接；所述第二直线电机的动子固定于所述第二直线电机底座的上表面，所述第二直线电机的定子设置于所述第二直线电机上平台的下表面。
其中，对于所述第一直线电机和所述第二直线电机中每一电机，每一电机的定子包括上板和下板；所述上板和下板平行设置；所述上板和下板在长度方向上的两端分别固定于两个转接板上；所述转接板与每一电机上平台连接；对于所述第一直线电机和所述第二直线电机中每一电机，每一电机的动子为板状，位于所述上板和下板之间且分别与所述上板和下板平行。
其中，所述第一直线电机上平台与所述第一直线电机底座通过直线滚子轴承滑动连接；所述第二直线电机上平台与所述第二直线电机底座通过直线滚子轴承滑动连接。
其中，所述运动平台还包括辅助运动架，所述辅助运动架用于承载所述载物台同时可避免所述载物台相对所述辅助运动架运动时所受的阻力。
其中，所述辅助运动架包括:滚珠承载台、若干滚珠和滚珠限位板；所述滚珠承载台用于承载所述若干滚珠；所述滚珠限位板固定于所述滚珠承载台上，用于使每一滚珠保持原地转动。
其中，所述辅助运动架还包括滚珠保护板；所述滚珠保护板固定于所述滚珠承载台上，用于避免任一滚珠离开所述滚珠承载台。
其中，所述运动平台还包括运动测量装置，用于测量所述载物台在第一方向或第二方向运动的距离。
其中，所述运动测量装置包括两个线性光栅尺；一个所述线性光栅尺设置于所述第一驱动装置内，一个所述线性光栅尺设置于所述第二驱动装置内。
本发明提出的应用于光电子封装的平面运动平台，通过第一解耦装置的顶部与载物台的底部连接，第一解耦装置的底部与第一驱动装置的顶部连接，第二解耦装置的顶部与载物台的底部连接，第二解耦装置的底部与第二驱动装置的顶部连接，第一驱动装置驱动第一解耦装置以使第一解耦装置带动载物台沿第一方向运动，第二驱动装置驱动第二解耦装置以使第二解耦装置带动载物台沿第二方向运动，无需将一个方向的运动构件搭载于另一方向的运动构件上，从而避免增加另一方向对应直线电机的负载，使得另一方向对应直线电机的运动速度、加速度和启停精度不会受到影响。此外，通过第一解耦装置的底部与第一驱动装置连接，第二解耦装置的底部与第二驱动装置连接，使得第一解耦装置带动载物台沿第一方向运动时避免了第二驱动装置阻碍载物台运动，第二解耦装置带动载物台沿第二方向运动时避免了第一驱动装置阻碍载物台运动，从而保证两个驱动装置互不影响。此外，本发明提出的应用于光电子封装的平面运动平台体积小，可克服传统运动平台因运动构件耦合方式导致的体积较大，不适合用于较狭小的空间的问题。
附图说明
图1为根据本发明实施例的应用于光电子封装的平面运动平台***图；
图2为根据本发明实施例的应用于光电子封装的平面运动平台结构示意图；
图3为根据本发明实施例的第一解耦装置的正视图；
图4为根据本发明实施例的第一解耦装置的侧视图；
图5为根据本发明实施例的第一驱动装置的正视图；
图6为根据本发明实施例的第一驱动装置的侧视图；
图7为根据本发明实施例的辅助运动架***图；
图8为根据本发明实施例的辅助运动架承载载物台的示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
根据本发明的一个方面，提供一种应用于光电子封装的平面运动平台。图1为根据本发明实施例的应用于光电子封装的平面运动平台***图，图2为根据本发明实施例的应用于光电子封装的平面运动平台示意图。该运动平台包括：载物台10、第一解耦装置20、第一驱动装置30、第二解耦装置40和第二驱动装置50；所述第一解耦装置20的顶部与所述载物台10的底部连接，所述第一解耦装置20的底部与所述第一驱动装置30的顶部连接；所述第二解耦装置40的顶部与所述载物台10的底部连接，所述第二解耦装置40的底部与所述第二驱动装置50的顶部连接；所述第一驱动装置30用于驱动所述第一解耦装置20以使所述第一解耦装置20带动所述载物台10沿第一方向运动；所述第二驱动装置50用于驱动所述第二解耦装置40以使所述第二解耦装置40带动所述载物台10沿第二方向运动；所述第一解耦装置20还用于在所述第二解耦装置40带动所述载物台10沿第二方向运动时避免所述第一驱动装置30阻碍所述载物台10运动；所述第二解耦装置40还用于在所述第一解耦装置20带动所述载物台10沿第一方向运动时避免所述第二驱动装置50阻碍所述载物台10运动。
在本实施例中，载物台10用于放置待与其他对象对齐的目标对象，如，目标对象可以光电子器件，其他对象可以为输入阵列光纤。具体放置方式可以为将用于固定目标对象的装夹机构固定于载物台10，再利用装夹机构固定目标对象。
第一驱动装置30工作时，沿第一方向运动，并带动第一解耦装置20沿第一方向运动。第一解耦装置20带动载物台10沿第一方向运动。此时，第二解耦装置40上部随着载物台10沿第一方向运动，第二解耦装置40下部静止不动，从而避免第二驱动装置50阻碍载物台10运动，进而避免了第二驱动装置50对第一驱动装置30的运动速度、加速度和启停精度的影响。同理，第二驱动装置50工作时，第二解耦装置40可避免第一驱动装置30对第二驱动装置50的运动速度、加速度和启停精度的影响。
本发明提出的应用于光电子封装的平面运动平台，通过第一解耦装置的顶部与载物台的底部连接，第一解耦装置的底部与第一驱动装置的顶部连接，第二解耦装置的顶部与载物台的底部连接，第二解耦装置的底部与第二驱动装置的顶部连接，第一驱动装置驱动第一解耦装置以使第一解耦装置带动载物台沿第一方向运动，第二驱动装置驱动第二解耦装置以使第二解耦装置带动载物台沿第二方向运动，无需将一个方向的运动构件搭载于另一方向的运动构件上，从而避免增加另一方向对应直线电机的负载，使得另一方向对应直线电机的运动速度、加速度和启停精度不会受到影响。此外，通过第一解耦装置的底部与第一驱动装置连接，第二解耦装置的底部与第二驱动装置连接，使得第一解耦装置带动载物台沿第一方向运动时避免了第二驱动装置阻碍载物台运动，第二解耦装置带动载物台沿第二方向运动时避免了第一驱动装置阻碍载物台运动，从而保证两个驱动装置互不影响。此外，本发明提出的应用于光电子封装的平面运动平台体积小，可克服传统运动平台因运动构件耦合方式导致的体积较大，不适合用于较狭小的空间的问题。
如图1所示，作为一种可选实施例，所述第一解耦装置20包括：第一光轴21、第一直线轴承22和第一直线轴承座23；所述第一直线轴承座23与所述载物台10的底部固定连接；所述第一直线轴承22设置于所述第一直线轴承座23内；所述第一光轴21穿过所述第一直线轴承22和所述第一直线轴承座23并与所述第一直线轴承22相互配合；所述第一光轴21两端固定于所述第一驱动装置30的顶部；所述第二解耦装置40包括：第二光轴41、第二直线轴承42和第二直线轴承座43；所述第二直线轴承座43与所述载物台10的底部固定连接；所述第二直线轴承42设置于所述第二直线轴承座43内；所述第二光轴41穿过所述第二直线轴承42和所述第二直线轴承座43并与所述第二直线轴承42相互配合；所述第二光轴41两端固定于所述第二驱动装置50的顶部。
图3为第一解耦装置的正视图。图4为第一解耦装置的侧视图。第一解耦装置20与第二解耦装置40结构相同仅设置位置不同。在本实施例中，光轴为长柱状。第一解耦装置20工作时，两端固定于第一驱动装置30的顶部的第一光轴21，在沿第一方向运动的第一驱动装置30的带动下沿第一方向运动。第一光轴21带动第一直线轴承座23沿第一方向运动。第一直线轴承座23带动载物台10沿第一方向运动。此时，载物台10带动第二直线轴承座43沿第一方向运动，第二直线轴承42随着第二直线轴承座43相对第二光轴41沿第一方向运动，但第二光轴41静止不动，第二驱动装置50也静止不动。因此，第二驱动装置50不会阻碍载物台10运动。第二解耦装置40工作时，具体过程与第二解耦装置40工作时相似，在此不再复述。
如图1所示，作为一种可选实施例，所述第一驱动装置30包括：第一直线电机31、第一直线电机上平台32和第一直线电机底座33；所述第一直线电机上平台32与所述第一直线电机底座33滑动连接；所述第一直线电机上平台32的顶部与所述第一解耦装置20的底部连接；所述第一直线电机31的动子固定于所述第一直线电机底座33的上表面，所述第一直线电机31的定子设置于所述第一直线电机上平台32的下表面；所述第二驱动装置50包括：第二直线电机51、第二直线电机上平台52和第二直线电机底座53；所述第二直线电机上平台52与所述第二直线电机底座53滑动连接；所述第二直线电机上平台52的顶部与所述第二解耦装置40的底部连接；所述第二直线电机51的动子固定于所述第二直线电机底座53的上表面，所述第二直线电机51的定子设置于所述第二直线电机上平台52的下表面。
图5为第一驱动装置的正视图。图6为第一驱动装置的侧视图。第一驱动装置30与第二驱动装置50结构相同仅设置位置不同。在本实施例中，第一直线电机和第二直线电机采用超大、无铁芯电机线圈，这一方面能确保零齿槽，使得产生的热量显著减少，另一方面可实现超平滑速度控制，二者均使得本发明提出的运动平台具有更高的效率和精度。第一驱动装置30工作时，第一直线电机31的定子沿第一方向相对动子运动，带动第一直线电机上平台32沿第一方向相对第一直线电机底座33滑动。滑动的具体实现方式可以为：第一直线电机上平台32和第一直线电机底座33通过直线滚子轴承可滑动地配合。第一直线电机上平台32带动第一解耦装置20沿第一方向运动。第一解耦装置20带动载物台10沿第一方向运动。第二驱动装置50工作时，具体过程与第一驱动装置30工作时相似，在此不再复述。
如图1所示，作为一种可选实施例，对于所述第一直线电机和所述第二直线电机中每一电机，每一电机的定子包括上板61和下板62；所述上板61和下板62平行设置；所述上板61和下板62在长度方向上的两端分别固定于两个转接板70上；所述转接板70与所述直线电机上平台连接；对于所述第一直线电机和所述第二直线电机中每一电机，每一电机的动子63为板状，位于所述上板61和下板62之间且分别与所述上板61和下板62平行。
在本实施例中，上板61和下板62在长度方向上的两端分别固定于两个转接板70上使得上板61和下板62平行。转接板70与直线电机上平台连接，使得上板61和下板62运动时可带动直线电机上平台运动。
在本实施例中，动子63位于上板61和下板62之间且分别与上板61和下板62平行，使得动子63通电后，动子63的上板61和下板62受到沿动子63长度方向的力运动且不被动子63阻碍。
作为一种可选实施例，所述第一直线电机上平台与所述第一直线电机底座通过直线滚子轴承滑动连接；所述第二直线电机上平台与所述第二直线电机底座通过直线滚子轴承滑动连接。
传统运动平台中，直线电机作为驱动部件，运动部分为动子。动子以类似于悬臂梁结构设置于运动机构上，在运动时会产生的震颤，影响运动精度。在本实施例中，直线电机作为驱动部件，运动部分为定子。由于第一直线电机上平台与第一直线电机底座通过直线滚子轴承滑动连接，使得第一直线电机上平台相对第一直线电机底座的移动比较平稳，因而可以消除第一直线电机上平台上设置的定子的震颤，进而消除对载物台运动速度的影响。
作为一种可选实施例，所述运动平台还包括辅助运动架；所述辅助运动架用于承载所述载物台10同时可避免所述载物台10相对所述辅助运动架运动时所受的阻力。
在本实施例中，通过设置辅助运动架用于承载载物台10可减小第一解耦装置20和第二解耦装置40承载载物台10时的受力。由于载物台10会在第一解耦装置20或第二解耦装置40的带动下运动，为了避免载物台10运动时与辅助运动架间摩擦力影响载物台10的运动，因此需使载物台10相对辅助运动架运动时所受的阻力足够小，从而避免了载物台10因阻力导致速度受影响进而导致光电子封装的效率降低的问题。
如图7所示，作为一种可选实施例，所述辅助运动架包括:滚珠承载台81、若干滚珠82和滚珠限位板83；所述滚珠承载台81固定于所述基板上，用于承载所述若干滚珠82；所述滚珠限位板83固定于所述滚珠承载台81上，用于使每一滚珠保持原地转动。
图8为根据本实施例的辅助运动架的侧视图。在本实施例中，滚珠承载台81主要用于盛放滚珠，滚珠为标准圆球状，一方面承载载物台10，另一方面当载物台10相对滚珠移动时，滚珠在摩擦力下的作用下原地转动，以减小载物台10所受的阻力。滚珠限位板83为设置有若干孔的薄板，每一滚珠位于滚珠限位板83的一个孔中以限定滚珠使滚珠仅能原地转动不可移动。滚珠限位板83可采用自润滑特性的非金属材料，以减小滚珠在高速启停时与滚珠限位板83之间的摩擦力，减小滚珠运动发热变形的可能性，避免影响载物台10的运动速度和启动精度，进而提高光电子封装精度。滚珠限位板83与滚珠承载台81上表面平行且间距小于滚珠的直径。优选地，滚珠限位板83上的孔为方孔，滚珠限位板83与滚珠承载台81上表面间距为滚珠的半径。为了加工的方便，在滚珠承载台81两侧分别设置挡板，作为辅助运动架的侧壁。
如图7所示，作为一种可选实施例，所述辅助运动架还包括滚珠保护板84；所述滚珠保护板84固定于所述滚珠承载台81上，用于避免任一滚珠离开所述滚珠承载台81。
在本实施例中，滚珠保护板84为设置有若干孔的薄板，每一滚珠位于滚珠保护板84的一个孔中以避免运动平台倒置时任一滚珠离开滚珠承载台81。滚珠保护板84可采用自润滑特性的非金属材料，以减小滚珠在高速启停时与滚珠保护板84之间的摩擦力，减小滚珠运动发热变形的可能性，避免影响载物台10的运动速度和启动精度，进而提高光电子封装精度。滚珠保护板84与滚珠承载台81上表面平行且间距大于滚珠的半径。优选地，滚珠限位板83上的孔为圆孔。
作为一种可选实施例，所述运动平台还包括运动测量装置，用于测量所述载物台10在第一方向或第二方向运动的距离。
运动测量装置主要用于获取测量载物台10沿第一方向或第二方向移动的距离。该距离数据可作为调节直线电机速度的依据，进而控制载物台10的移动和停止。运动测量装置为可用于进行位移检测的装置，如电感式位移传感器、电涡流式位移传感器、光栅尺等。
作为一种可选实施例，所述运动测量装置包括两个线性光栅尺90；一个所述线性光栅尺90设置于所述第一驱动装置30内，一个所述线性光栅尺90设置于所述第二驱动装置50内。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (10)
1.一种应用于光电子封装的平面运动平台，其特征在于，包括：载物台、第一解耦装置、第一驱动装置、第二解耦装置和第二驱动装置；
所述第一解耦装置的顶部与所述载物台的底部连接，所述第一解耦装置的底部与所述第一驱动装置的顶部连接；所述第二解耦装置的顶部与所述载物台的底部连接，所述第二解耦装置的底部与所述第二驱动装置的顶部连接；
所述第一驱动装置用于驱动所述第一解耦装置以使所述第一解耦装置带动所述载物台沿第一方向运动；所述第二驱动装置用于驱动所述第二解耦装置以使所述第二解耦装置带动所述载物台沿第二方向运动；所述第一解耦装置还用于在所述第二解耦装置带动所述载物台沿第二方向运动时避免所述第一驱动装置阻碍所述载物台运动；所述第二解耦装置还用于在所述第一解耦装置带动所述载物台沿第一方向运动时避免所述第二驱动装置阻碍所述载物台运动。
2.根据权利要求1所述的运动平台，其特征在于，所述第一解耦装置包括：第一光轴、第一直线轴承和第一直线轴承座；所述第一直线轴承座与所述载物台的底部固定连接；所述第一直线轴承设置于所述第一直线轴承座内；所述第一光轴穿过所述第一直线轴承和所述第一直线轴承座并与所述第一直线轴承相互配合；所述第一光轴两端固定于所述第一驱动装置的顶部；
所述第二解耦装置包括：第二光轴、第二直线轴承和第二直线轴承座；所述第二直线轴承座与所述载物台的底部固定连接；所述第二直线轴承设置于所述第二直线轴承座内；所述第二光轴穿过所述第二直线轴承和所述第二直线轴承座并与所述第二直线轴承相互配合；所述第二光轴两端固定于所述第二驱动装置的顶部。
3.根据权利要求1或2所述的运动平台，其特征在于，所述第一驱动装置包括：第一直线电机、第一直线电机上平台和第一直线电机底座；所述第一直线电机上平台与所述第一直线电机底座滑动连接；所述第一直线电机上平台的顶部与所述第一解耦装置的底部连接；
所述第一直线电机的动子固定于所述第一直线电机底座的上表面，所述第一直线电机的定子设置于所述第一直线电机上平台的下表面；
所述第二驱动装置包括：第二直线电机、第二直线电机上平台和第二直线电机底座；所述第二直线电机上平台与所述第二直线电机底座滑动连接；所述第二直线电机上平台的顶部所述第二解耦装置的底部连接；
所述第二直线电机的动子固定于所述第二直线电机底座的上表面，所述第二直线电机的定子设置于所述第二直线电机上平台的下表面。
4.根据权利要求3所述的运动平台，其特征在于，对于所述第一直线电机和所述第二直线电机中每一电机，每一电机的定子包括上板和下板；所述上板和下板平行设置；所述上板和下板在长度方向上的两端分别固定于两个转接板上；所述转接板与每一电机上平台连接；
对于所述第一直线电机和所述第二直线电机中每一电机，每一电机的动子为板状，位于所述上板和下板之间且分别与所述上板和下板平行。
5.根据权利要求3所述的运动平台，其特征在于，所述第一直线电机上平台与所述第一直线电机底座通过直线滚子轴承滑动连接；所述第二直线电机上平台与所述第二直线电机底座通过直线滚子轴承滑动连接。
6.根据权利要求1所述的运动平台，其特征在于，所述运动平台还包括辅助运动架；所述辅助运动架用于承载所述载物台同时可避免所述载物台相对所述辅助运动架运动时所受的阻力。
7.根据权利要求6所述的运动平台，其特征在于，所述辅助运动架包括:滚珠承载台、若干滚珠和滚珠限位板；
所述滚珠承载台用于承载所述若干滚珠；
所述滚珠限位板固定于所述滚珠承载台上，用于使每一滚珠保持原地转动。
8.根据权利要求7所述的运动平台，其特征在于，所述辅助运动架还包括滚珠保护板；
所述滚珠保护板固定于所述滚珠承载台上，用于避免任一滚珠离开所述滚珠承载台。
9.根据权利要求1所述的运动平台，其特征在于，所述运动平台还包括运动测量装置，用于测量所述载物台在第一方向或第二方向运动的距离。
10.根据权利要求9所述的运动平台，其特征在于，所述运动测量装置包括两个线性光栅尺；一个所述线性光栅尺设置于所述第一驱动装置内，一个所述线性光栅尺设置于所述第二驱动装置内。
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| CN201810205696.XA CN108470705A (zh) | 2018-03-13 | 2018-03-13 | 应用于光电子封装的平面运动平台 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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