CN104024916B - 用于使受限旋转电机***中的镜子平衡的***和方法 - Google Patents
用于使受限旋转电机***中的镜子平衡的***和方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104024916B CN104024916B CN201280031858.3A CN201280031858A CN104024916B CN 104024916 B CN104024916 B CN 104024916B CN 201280031858 A CN201280031858 A CN 201280031858A CN 104024916 B CN104024916 B CN 104024916B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- mirror
- high density
- density components
- counterweight screws
- threaded
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1821—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors for rotating or oscillating mirrors
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49826—Assembling or joining
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Telescopes (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Manufacture Of Motors, Generators (AREA)
Abstract
披露了一种使受限旋转电机***中的镜子平衡的方法。该方法包括下述步骤:在受限旋转电机***的转轴上提供镜子,从而镜子初始是不平衡的,镜子稍微更受力以向包含镜子的前反射面的镜子的前侧倾斜;以及调节镜子后侧上的至少一个有螺纹的配重螺钉,使其至少达到镜子在前、后侧之间变得平衡的位置。
Description
优先权
本申请要求于2011年10月5日提交的、序列号为13/253,194的美国发明专利申请和于20儿年7月29日提交的、序列号为61/513,248的美国临时专利申请做为优先权,这些专利申请的全文以引用的方式合并于此。
背景技术
本发明一般地涉及扫描镜***中的减振***,特别地,涉及包括用于在限制的角度范围上扫描激光束的受限旋转电机的扫描镜***中的减小振动和失衡的***。
扫描镜***包括连续旋转电机***和受限旋转电机***。连续旋转电机***例如可以包括连续旋转的旋转多边形镜,并且受限旋转电机***在限制的旋转角度范围上来往地旋转转子。
现有技术的扫描镜***中的平衡***部分地涉及校正由扫描***自身的部分造成的不可避免的失衡。例如,美国专利7,316,356披露了使用钨配重物用于平衡镜子,其中披露的配重物用以解决通过使旋转器绕两个轴旋转而造成的进动力矩所导致的失衡。配重物不可调。美国专利4,756,586披露了使用螺钉组以调节多边形镜的旋转面使其垂直于驱动轴,且进一步披露了使用配重螺钉以校正由螺钉组造成的失衡。但这两篇文献都未披露精确地平衡安装在轴上的镜子以解决制造缺陷。
在典型的受限旋转扫描***中,镜子安装至受限旋转电机(例如,电流计)的输出轴上,且受限旋转电机由设法引起电机旋转的控制环控制,从而使得镜子以任意高的保真度遵循位置和速度命令波形。然而,***遵循命令的保真度受到一定限制。
例如,***中镜子的加速受到电机线圈中的电流上升速率的限制。位置精确度受到反馈方法信噪比的限制。***的带宽(其在可能的最短时间内以期望的高速从位置A移动至位置B、且随后精确地定位在位置B上的能力)主要受移动部件中的振动的限制。***的带宽名义上为移动结构的第一扭转共振。因此,镜子必须在电机轴上两个角度位置之间非常快速地前、后旋转,且保持较高的硬度。这不仅要求镜子由硬材料制成,还要求其重量足够的低,以满足将镜子从停止位置移动时的惯性不能太大的要求。
通常,使得移动部件尽可能的硬且较佳的平衡,并符合***允许的惯性限制。由于达到特定加速度所要求的电机扭矩与惯性直接成正比,且与电流(如上所述其上升速率受限)成正比,通常,当***参数为特定惯性而优化时,一些器件,典型地镜子,即使由高硬度-惯性材料制成,其硬度和/或平衡也不满足实现***带宽的目的。
因此,这种用于受限旋转电机***的镜子必须被平衡(前-后和侧-侧),从而移动时引入尽可能小的摇晃。在某些应用中,在镜子背面上增加额外的材料以增大其硬度和/或平衡,但其代价就是额外的惯性,需要大型、昂贵的电机和能够驱动附加惯性的控制环。在一些示范应用中,通过在镜子后侧上粘附少量环氧树脂来影响这种平衡,以在工业上实现这种平衡。然而,这种工艺在诸如大规模制造应用的所有引用中并不能令人充分地满意。
用于平衡镜子(侧-侧)的其它技术包括使用配平重量,形式为容纳在镜子的相对孔中的相对的螺钉组,从而镜子在包括螺钉组中心的平面上的任何失衡可通过调节一个或两个螺钉组来矫正,如美国专利6,972,885所述。所披露的螺钉组容纳在镜子的外后侧和两个横侧中,但当镜子自身非常接***衡时,难以使用以达到完美平衡。此外,美国专利6,972,885中披露的螺钉组的使用难以实现前-后平衡,且螺钉组增加了重量(增加了惯性),且在镜子移动时会移动。
因而,需要一种受限旋转电机***,无需大型、昂贵的电机和附属控制***即能提供改进的带宽,特别地,需要提供一种改进的镜子平衡,而不对镜子的惯性产生不利影响。
发明内容
根据一实施例,本发明提供了一种使受限旋转电机***中的镜子平衡的方法。该方法包括下述步骤:在受限旋转电机***的转轴上提供镜子,从而镜子初始是不平衡的,镜子稍微更受力以向包含镜子前反射面的镜子前侧倾斜;以及调节镜子后侧上的至少一个有螺纹的配重螺钉,使其至少达到镜子在前、后侧之间变得平衡的位置上。
根据另一实施例,该方法包括下述步骤:在受限旋转电机***的转轴上提供镜子;以及调节互相相对的有螺纹的配重螺钉,该互相相对的有螺纹的配重螺钉锁住(capture)在它们之间的高密度元件,从而使得高密度元件在大体与镜子的前侧-后侧方向横切的方向上、朝着镜子的一侧远离镜子内的中心位置。
根据又一实施例,本发明提供了一种用在受限旋转电机***中的镜子,其中该镜子包括在镜子后侧上的至少一个有螺纹的配重螺钉,其可从由于稍微更受力以向包含镜子的前反射面镜子前侧倾斜而镜子失衡的朝前位置调节到镜子在前、后侧之间变得平衡的位置。
根据又一实施例,该镜子包括前反射侧、后侧、以及转轴,所述后侧包括至少两个有螺纹的配重螺钉,其中每一个被朝向旋转轴定向。
根据又一一实施例,本发明的镜子包括互相相对的有螺纹的配重螺钉,该互相相对的有螺纹的配重螺钉锁住在它们之间的高密度元件,其中所述相对的配重螺钉可调节为使得高密度元件在大体与镜子的前侧-后侧方向横切的方向上、朝着镜子的一侧远离镜子内的中心位置。
附图的简要说明
参考下述说明书附图,能够进一步地理解下述说明。
图1示出根据本发明实施例的镜子的图示性顶视图。
图2示出图1的镜子的图示性前视图。
图3示出图1的镜子的图示性后视图。
图4示出沿图3中的4_4线截取的图3的镜子的图示性侧截面视图。
图5示出图1的镜子的图示性侧视图。
图6示出沿图5中的6-6线截取的图5的镜子的图示性截面视图。
图7和8示出根据本发明的多个实施例使用的平衡判定***的图示性视图。
图9示出根据本发明的另一实施例的镜子的图示性顶视图。
图10示出图9的镜子的图示性前视图。
图11示出图9的镜子的图示性后视图。
图12示出沿图11中的11-11线截取的图11的镜子的图示性侧截面视图。
图13示出图9的镜子的图示性侧视图。
图14示出沿图13中的14-14线截取的图14的镜子的图示性截面视图。
附图仅以示意的目的示出。
具体实施方式
根据实施例,本发明首先涉及一种用于受限旋转电机***的镜子,其在镜子的前表面的方向上稍微顷斜地偏置。为了前后平衡,在镜子的背面设置一个或多个有螺纹的配重螺钉。当将配重螺钉一直旋拧入镜子里(朝着前表面)时,镜子保持朝着前方的偏置,但将一个或多个配重螺钉旋转拧出镜子时,可获得前后平衡点。
使用一对相对的、且其间锁住钨球的配重螺钉来实现侧-侧平衡。钨球初始沿镜子旋转的中心线设置,以最小化增加的惯性。将配重螺钉调节至各自的平衡点后,对每个螺钉都涂敷环氧树脂以将每个螺钉都固定在位置上,从而在镜子用在受限旋转扫描***期间,每个配重螺钉保持静止。
例如,图1-6示出了本发明的一个实施例,包括镜子10,其具有提供高反射面的前侧12、后侧14、以及用于将镜子连接至受限旋转电机***中的转轴(直接连接或通过连接构件)的安装结构16。如图3和4所示,镜子的后侧14包括一个或两个配重螺钉18,其容纳在镜子后侧的螺纹开口中。如图4所示,后侧被成形,以移除材料(例如,提供如图示的蜂窝图案)从而在保持硬度的情况下减少镜子的重量。
如图4的20所示,镜子被设计为相较于关于镜子转轴22的后侧质量M-,关于镜子转轴22的前侧具有稍大一点的质量M+。因而,当镜子初始安装在转轴上时,镜子是失衡的,会朝着镜子的前侧倾斜。配重螺钉18初始螺旋入其各自的开口,从而定位在最靠近镜子的前侧。在前至后侧的平衡期间,配重螺钉18被旋转(松开)以在远离镜子前侧的方向上移动。当使用两个这种配重螺钉18时,一个可提供粗调(例如,远离安装结构16的那个),另一个提供精调。在进一一步的实施例中,一个配重螺钉可具有比另一个配重螺钉更精细的螺纹节距。移动的范围被设计为在调节期间可达到前和后侧之间的平衡点。在某些可选实施例中,可从最远的松开位置朝前调节螺钉直至达到平衡点。
镜子10还包括互相相对的配重螺钉24,该互相相对的配重螺钉24锁住在它们之间的高密度元件26。高密度元件例如为由钨形成的球体。配重螺钉24
可被调节为使得高密度元件26在大体与镜子的前侧-后侧方向横切的方向上、朝着镜子的一侧远离镜子内的中心位置(例如,沿着镜子转轴的中心处)。这种调节提供了镜子的侧-侧(如图2所示的左-右)平衡。
基于上述配重螺钉的调节,可在每个配重螺钉暴露的部分上涂敷少量诸如环氧树脂的粘合剂28,以在镜子用于受限旋转电机***期间将它们固定在位置上。优选地,环氧树脂产生的重量可以忽略。如果不能忽略,则在涂敷环氧树脂之前,将各个配重螺钉向内微量地调节以调节环氧树脂的重量。
可采用多种方法来判定安装的镜子是否达到平衡。在具有低摩擦轴承的***中,可移除电机30的驱动线圈,转子可安装在电机轴承内。镜子10连接至镜子安装单元16,而镜子安装单元16连接至电机30的转轴32。如34所示,电机被设置为使得转轴32的转轴基本平行于平地,镜子较重的一一侧(前侧或后侧)朝向下方。相似地,如果镜子的一个横侧的质量(M+)大于另一侧(M-),则质量更大的一侧朝向下方。如果两组配重螺钉皆需要调节,则镜子相对于平地成一角度。可如上所述地调节配重螺钉,直至当镜子被允许在其上自由的旋转(或停止)时、在转轴上不具有偏向性的旋转位置。
参考图8,也可使用包括安装在压力敏感V-模块上的轴承的电机40来判定安装的镜子的平衡。例如,通过施加如46所示的驱动信号(或通过使用移除的驱动线圈在转子的暴露部分上施加驱动带)来驱动电机。连接至电机内的V-模块的传感器将输出信号50,其指示振动量,从而也指示了***的失衡。可调节并再次测试配重,直至信号50被最小化。在某些实施例中,处理器44可提供关于哪些配重螺钉需被调节的信息。
如图9-14所示,根据本发明另一实施例的镜子60包括提供高反射面的前侧62、后侧64、以及用于将镜子连接至受限旋转电机***中的转轴的安装结构66。如图9和10所示,镜子的后侧64包括两个配重螺钉68、69,其容纳在镜子后侧的螺纹开口中。
如图10的70所示,镜子被设计为相较于关于镜子转轴72的后侧的质量M-,关于镜子转轴72的前侧具有稍大一点的质量M+。因而,当镜子初始安装在转轴上时,镜子是不平衡的,试图朝着镜子的前侧倾斜。配重螺钉68、69初始螺旋入其各自的开口,从而设置为最靠近镜子的前侧。在前后侧的平衡中,配重螺钉68、69被旋转(松开)以在远离镜子前侧的方向上移动。使用距安装结构66更远的配重螺钉,配重螺钉68、69可提供粗调,而另一个提供精调。进一步地,如图示,粗调配重螺钉68比精调配重螺钉69更大。同样,在进一步的实施例中,一个配重螺钉可具有比另一个配重螺钉更精细的螺纹节距。移动的范围被设计为在调节中可达到前后侧之间的平衡点。在某些可选实施例中,可从最远的松开位置朝前调节螺钉直至达到平衡点。
镜子70还包括相对的配重螺钉74,该互相相对的配重螺钉锁住在它们之间的高密度元件76。高密度元件例如为由钨形成的球体。配重螺钉74可被调节为使得高密度元件76在大体与镜子的前侧-后侧方向横切的方向上、朝着镜子的一侧远离镜子内的中心位置(例如,沿着镜子转轴的中心处)。这种调节提供了镜子的侧-侧(左-右)平衡。
同样,基于上述配重螺钉的调节,可在每个配重螺钉暴露的部分上涂敷少量诸如环氧树脂的粘合剂78,以在受限旋转电机***中使用镜子时保持它们固定在位置上。同样,环氧树脂产生的重量可以忽略。如果不能忽略,则在施加环氧树脂之前,将各个配重螺钉向内微量地调节以调节环氧树脂的重量。
本领域技术人员可以理解,在不背离本发明精神和范围的情况下,可对上述披露的实施例进行各种修改或变型。
Claims (18)
1.一种使受限旋转电机***中的镜子平衡的方法,所述方法包括下述步骤:
在受限旋转电机***的转轴上提供镜子,使得所述镜子初始是不平衡的,所述镜子稍微更受力以向包含镜子前反射面的镜子前侧倾斜;以及
调节镜子后侧上的至少一个有螺纹的配重螺钉,使其至少达到镜子在前、后侧之间变得平衡的位置。
2.如权利要求1所述的方法,其中所述方法进一步包括下述步骤:调节互相相对的有螺纹的配重螺钉,该互相相对的有螺纹的配重螺钉锁住在它们之间的高密度元件,从而使得高密度元件在大体与镜子的前侧-后侧方向横切的方向上朝着镜子的一侧远离镜子内的中心位置。
3.如权利要求2所述的方法,其中所述高密度元件的形状为球形。
4.如权利要求1所述的方法,其中所述方法进一步包括下述步骤:在每个有螺纹的配重螺钉的暴露部分上涂敷粘合剂。
5.一种使受限旋转电机***中的镜子平衡的方法,所述方法包括下述步骤:
在受限旋转电机***的转轴上提供镜子;以及
调节互相相对的有螺纹的配重螺钉,该互相相对的有螺纹的配重螺钉锁住在它们之间的高密度元件,从而使得高密度元件在大体与镜子的前侧-后侧方向横切的方向上朝着镜子的一侧远离镜子内的中心位置。
6.如权利要求5所述的方法,其中所述镜子被提供在转轴上,使得所述镜子初始是不平衡的,所述镜子稍微更受力以向包含镜子前反射面的镜子前侧倾斜,且其中所述方法还包括下述步骤:调节镜子后侧上的至少一个有螺纹的配重螺钉,使其至少达到镜子在前、后侧之间变得平衡的位置。
7.如权利要求5所述的方法,其中所述高密度元件包括钨。
8.如权利要求5所述的方法,其中所述高密度元件的形状为球形。
9.如权利要求5所述的方法,其中所述方法进一步包括下述步骤:在每个有螺纹的配重螺钉的暴露部分上涂敷粘合剂。
10.一种用在受限旋转电机***中的镜子,所述镜子包括在镜子后侧上的至少一个有螺纹的配重螺钉,其可从镜子稍微更受力以向包含镜子前反射面的镜子前侧倾斜以使所述镜子不平衡的朝前位置调节到镜子在前、后侧之间变得平衡的位置。
11.如权利要求10所述的镜子,其中所述镜子进一步包括互相相对的有螺纹的配重螺钉,该互相相对的有螺纹的配重螺钉锁住在它们之间的高密度元件,其中所述互相相对的有螺纹的配重螺钉可调节为使得高密度元件在大体与镜子的前侧-后侧方向横切的方向上朝着镜子的一侧远离镜子内的中心位置。
12.如权利要求11所述的镜子,其中所述高密度元件包括钨。
13.如权利要求11所述的镜子,其中所述高密度元件的形状为球形。
14.如权利要求10所述的镜子,其中所述镜子包括在每个有螺纹的配重螺钉的暴露部分上的粘合剂。
15.一种用在受限旋转电机***中的镜子,所述镜子包括互相相对的有螺纹的配重螺钉,该互相相对的有螺纹的配重螺钉锁住在它们之间的高密度元件,其中所述互相相对的有螺纹的配重螺钉可调节为使得高密度元件在大体与镜子的前侧-后侧方向横切的方向上朝着镜子的一侧远离镜子内的中心位置。
16.如权利要求15所述的镜子,其中所述高密度元件包括钨。
17.如权利要求15所述的镜子,其中所述高密度元件的形状为球形。
18.如权利要求15所述的镜子,其中所述镜子包括在每个有螺纹的配重螺钉的暴露部分上的粘合剂。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201161513248P | 2011-07-29 | 2011-07-29 | |
US61/513,248 | 2011-07-29 | ||
US13/253,194 | 2011-10-05 | ||
US13/253,194 US8585226B2 (en) | 2011-07-29 | 2011-10-05 | Systems and methods for balancing mirrors in limited rotation motor systems |
PCT/US2012/047590 WO2013019430A1 (en) | 2011-07-29 | 2012-07-20 | System and methods for balancing mirrors in limited rotation motor systems |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN104024916A CN104024916A (zh) | 2014-09-03 |
CN104024916B true CN104024916B (zh) | 2016-10-19 |
Family
ID=47597006
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201280031858.3A Active CN104024916B (zh) | 2011-07-29 | 2012-07-20 | 用于使受限旋转电机***中的镜子平衡的***和方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8585226B2 (zh) |
EP (1) | EP2737358B1 (zh) |
JP (1) | JP6171122B2 (zh) |
KR (1) | KR102047715B1 (zh) |
CN (1) | CN104024916B (zh) |
CA (1) | CA2839292C (zh) |
TW (1) | TW201329510A (zh) |
WO (1) | WO2013019430A1 (zh) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102016125670A1 (de) | 2016-12-23 | 2018-06-28 | Scanlab Gmbh | Scanspiegel mit Auswuchtkörper sowie Verfahren zum Auswuchten eines Scanspiegels |
US20200192058A1 (en) * | 2018-12-12 | 2020-06-18 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Mirror device |
CN110058405A (zh) * | 2019-04-04 | 2019-07-26 | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 | 一种高速旋转偏心光波反射机构 |
WO2021039235A1 (ja) * | 2019-08-26 | 2021-03-04 | 株式会社小糸製作所 | 回転リフレクター及び回転リフレクターの製造方法 |
CN111061031B (zh) * | 2019-11-26 | 2021-12-07 | 北京空间机电研究所 | 一种空间封闭式柔性精密调整装置及其装配方法 |
DE102020200270A1 (de) * | 2020-01-10 | 2021-07-15 | AM App GmbH | Spiegel mit Spiegelhalter und Spiegelrotor in Leichtbauweise und Bauteil oder Körper in Leichtbauweise mit interner Versteifungsrippenstruktur |
CN112269261A (zh) * | 2020-09-30 | 2021-01-26 | 广州新可激光设备有限公司 | 一种高速往复转动振镜的制造工艺 |
DE102022107598A1 (de) | 2022-03-30 | 2023-10-05 | Raylase Gmbh | 1Ausgewuchtete Spiegeleinheit für eine Laserablenkvorrichtung und entsprechendes Auswuchtverfahren |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4655543A (en) * | 1985-05-08 | 1987-04-07 | General Scanning, Inc. | Mount for attaching an optical element to a rotating shaft |
US4902083A (en) * | 1988-05-31 | 1990-02-20 | Reflection Technology, Inc. | Low vibration resonant scanning unit for miniature optical display apparatus |
US5543954A (en) * | 1994-03-01 | 1996-08-06 | Nicholson; James E. | Method and apparatus for selectively scanning for or aiming a signal |
US6181410B1 (en) * | 1997-05-29 | 2001-01-30 | Seiko Instruments Inc. | Oscillating motor, measurement device for measuring distance, speed or direction using a laser light, and vehicle having the measurement device |
CN1902521A (zh) * | 2003-11-24 | 2007-01-24 | 杰斯集团公司 | 采用受限转动马达的扫描仪的改进的镜子安装结构 |
US7316356B2 (en) * | 2005-09-01 | 2008-01-08 | Ncr Corporation | Optical scanner having a balanced mirrored spinner |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3772464A (en) | 1972-04-17 | 1973-11-13 | Spectrotherm Corp | Rotating polygon mirror assembly with an interior motor |
US3897139A (en) | 1974-04-15 | 1975-07-29 | United Aircraft Corp | Adjustable mounting apparatus |
US4060315A (en) | 1975-07-07 | 1977-11-29 | Rockwell International Corporation | Precision mirror mount |
DE2717299C2 (de) | 1977-04-19 | 1982-11-25 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Vorrichtung zur Aufnahme und zum Antrieb eines Polygonspiegels |
NL8501142A (nl) | 1985-04-19 | 1986-11-17 | Oce Nederland B V Patents And | Omwentelingslichaam, in het bijzonder polygoonspiegel. |
JPH0915526A (ja) * | 1995-06-29 | 1997-01-17 | Line Denshi Kk | 光偏向装置 |
JP2000223760A (ja) | 1999-02-04 | 2000-08-11 | Nec Corp | イオンレーザ装置及びイオンレーザ装置のミラー角度調整方法 |
JP3531554B2 (ja) * | 1999-10-21 | 2004-05-31 | 松下電器産業株式会社 | 光学ミラーと光学スキャナーおよびレーザ加工機 |
JP2002006255A (ja) * | 2000-06-23 | 2002-01-09 | Hitachi Via Mechanics Ltd | スキャナおよびレーザ加工機 |
US7463828B2 (en) | 2001-06-01 | 2008-12-09 | John Moon | Optical channel monitor |
US7009752B1 (en) | 2003-01-21 | 2006-03-07 | Lockheed Martin Corporation | Actively-supported multi-degree of freedom steerable mirror apparatus and method |
US6932274B2 (en) | 2003-05-27 | 2005-08-23 | Symbol Technologies, Inc. | Vibration reduction in electro-optical readers |
US6972885B2 (en) | 2003-06-24 | 2005-12-06 | Drs Sensors & Targeting Systems, Inc. | Precision mirror displacement assembly |
JP4674183B2 (ja) * | 2006-05-30 | 2011-04-20 | 日立ビアメカニクス株式会社 | スキャナ装置 |
WO2008042552A2 (en) * | 2006-09-29 | 2008-04-10 | Inphase Technologies, Inc. | Magnetic field position feedback for holographic storage scanner |
FI119007B (fi) * | 2006-12-29 | 2008-06-13 | Picodeon Ltd Oy | Optinen skanneri ja sen sovelluksia |
-
2011
- 2011-10-05 US US13/253,194 patent/US8585226B2/en active Active
-
2012
- 2012-07-20 EP EP12820627.3A patent/EP2737358B1/en active Active
- 2012-07-20 WO PCT/US2012/047590 patent/WO2013019430A1/en unknown
- 2012-07-20 KR KR1020147001457A patent/KR102047715B1/ko active IP Right Grant
- 2012-07-20 JP JP2014522904A patent/JP6171122B2/ja active Active
- 2012-07-20 CN CN201280031858.3A patent/CN104024916B/zh active Active
- 2012-07-20 CA CA2839292A patent/CA2839292C/en active Active
- 2012-07-26 TW TW101126955A patent/TW201329510A/zh unknown
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4655543A (en) * | 1985-05-08 | 1987-04-07 | General Scanning, Inc. | Mount for attaching an optical element to a rotating shaft |
US4902083A (en) * | 1988-05-31 | 1990-02-20 | Reflection Technology, Inc. | Low vibration resonant scanning unit for miniature optical display apparatus |
US5543954A (en) * | 1994-03-01 | 1996-08-06 | Nicholson; James E. | Method and apparatus for selectively scanning for or aiming a signal |
US6181410B1 (en) * | 1997-05-29 | 2001-01-30 | Seiko Instruments Inc. | Oscillating motor, measurement device for measuring distance, speed or direction using a laser light, and vehicle having the measurement device |
CN1902521A (zh) * | 2003-11-24 | 2007-01-24 | 杰斯集团公司 | 采用受限转动马达的扫描仪的改进的镜子安装结构 |
US7316356B2 (en) * | 2005-09-01 | 2008-01-08 | Ncr Corporation | Optical scanner having a balanced mirrored spinner |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130027761A1 (en) | 2013-01-31 |
CA2839292A1 (en) | 2013-02-07 |
CA2839292C (en) | 2019-08-27 |
EP2737358A4 (en) | 2015-06-03 |
TW201329510A (zh) | 2013-07-16 |
CN104024916A (zh) | 2014-09-03 |
KR20140053110A (ko) | 2014-05-07 |
EP2737358B1 (en) | 2021-03-17 |
JP6171122B2 (ja) | 2017-08-02 |
JP2014523006A (ja) | 2014-09-08 |
US8585226B2 (en) | 2013-11-19 |
EP2737358A1 (en) | 2014-06-04 |
KR102047715B1 (ko) | 2019-11-22 |
WO2013019430A1 (en) | 2013-02-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN104024916B (zh) | 用于使受限旋转电机***中的镜子平衡的***和方法 | |
KR101468517B1 (ko) | 구조물의 진동제어용 장치 | |
CN104950905B (zh) | 一种基于复合pid的质心调节机构及调节方法 | |
CN101509819B (zh) | 单轴气浮台平衡调整方法 | |
CN102261911B (zh) | 多线激光标线仪 | |
CN104440836A (zh) | 基于密珠环形支承与双轴复合驱动的空间两自由度调整方法与装置 | |
JP2018159659A (ja) | 擬似加振装置 | |
RU2694142C1 (ru) | Способ балансировки ротора в одной плоскости коррекции | |
CN103033209B (zh) | 三维运动试验装置 | |
CN110001328B (zh) | 一种空间飞行器模拟装置 | |
CN106896822A (zh) | 航天器活动部件干扰力矩标定方法和*** | |
CN105910758B (zh) | 落体质心光心重合度测量机构、测量方法及调整方法 | |
JP2977551B2 (ja) | 描画装置および釣合い重りの取り付け方法 | |
CN103512566B (zh) | 精度容易保障且成本低廉的多线激光标线仪 | |
CN103512564B (zh) | 多线激光标线仪 | |
CN103512565B (zh) | 加工及安装精度容易保障的多线激光标线仪 | |
Maucher et al. | Blade deformation measurements with IPCT on an EC 135 helicopter rotor | |
CN103542841B (zh) | 安装调试方便的多线激光标线仪 | |
CN103542839B (zh) | 一种结构简单、成本低廉的多线激光标线仪 | |
CN105652689A (zh) | 一种基于平衡梁的卫星附件振动挠性力矩模拟器 | |
CN116818078A (zh) | 移动计量装置用支撑设备 | |
JP2003182694A (ja) | 回転翼航空機のロータの揺動制御装置 | |
CN114137579A (zh) | 一种环形天线卫星导航***的性能测试装置 | |
CN107462358A (zh) | 用于表面铣削刀具的模拟测试装置 | |
CN107463191A (zh) | 控制力矩陀螺仪***及行驶装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: Massachusetts, USA Patentee after: Wanda Address before: Massachusetts, USA Patentee before: GSI Group Ltd. |
|
CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20170420 Address after: Massachusetts, USA Patentee after: GSI Group Ltd. Address before: Massachusetts, USA Patentee before: Cambridge Technology, Inc. |
|
TR01 | Transfer of patent right |