CN103792197A - 一种检测装置及检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种检测装置和用该检测装置检测反应室内的玻璃基板是否破损的方法，用以在实际生产中方便、准确的检测玻璃基板在反应室内的破损情况。所述装置包括传感探头，用于接收被检测物体的散射光；光谱转化模块，用于将所述传感探头接收到的散射光转化为光谱；光谱比较模块，用于将所述转化的光谱与预先设定的光谱作比较，并根据比较结果判断是否检测到所述被检测物体。

Description

一种检测装置及检测方法

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种检测装置及检测方法。

背景技术

现有技术公开了一种使用光传感器来检测平面显示装置生产线上移动的玻璃基板的边缘部分破损情况的破损检测装置。该装置通过设置于玻璃基板要移动的位置的下部或上部两个传感器，在玻璃基板通过时，用于识别玻璃基板而发出信号；控制器与所述至少两个传感器电连接，接收所述至少两个传感器的各自的信号。在玻璃基板通过所述至少两个传感器的上部或下部时，从所述至少两个传感器分别读出接收的信号，确定玻璃基板完全通过各传感器所需的时间，或者是在玻璃基板通过所述至少两个传感器的上部或下部时，对从所述至少两个传感器接收的信号各自的脉冲个数分别进行计数，将这样分别确定的时间或分别计数的脉冲个数与预定的基准值进行比较，从而判断玻璃基板有无破损。

综上所述，现有技术判断玻璃基板有无破损，通过传送腔的机械手在拿取过程中，感知固定位置的破损，这时如果破损，传送腔和机械手已经带入玻璃碎片。另外，用传感器进行检查时，无论传感器的个数有多少，在检查过程中都会有传感器感知不到的盲区。

发明内容

本发明提供了一种检测装置和用该检测装置检测反应室内的玻璃基板是否破损的方法，用以在实际生产中方便、准确的检测玻璃基板在反应室内的破损情况。

根据本发明提供的一种检测装置，所述装置包括：

传感探头，用于接收被检测物体的散射光；

光谱转化模块，用于将所述传感探头接收到的散射光转化为光谱；

光谱比较模块，用于将所述转化的光谱与预先设定的光谱作比较，并根据比较结果判断是否检测到所述被检测物体。

由本发明提供的一种检测装置，由于该装置包括传感探头，用于接收被检测物体的散射光；光谱转化模块，用于将所述传感探头接收到的散射光转化为光谱；光谱比较模块，用于将所述转化的光谱与预先设定的光谱作比较，并根据比较结果判断是否检测到所述被检测物体，本发明提供的检测装置，可以用于检测反应室内的玻璃基板是否破损，在实际生产中能够方便、准确的检测玻璃基板在反应室内的破损情况。

较佳地，所述检测装置还包括：

温度转化模块，用于将所述传感探头接收到的散射光转化为温度；

温度比较模块，用于将所述转化的温度与预先设定的温度作比较，并根据比较结果判断是否检测到所述被检测物体。

这样，由于该装置还包括温度转化模块，用于将所述传感探头接收到的散射光转化为温度；温度比较模块，用于将所述转化的温度与预先设定的温度作比较，并根据比较结果判断是否检测到所述被检测物体，本发明提供的检测装置，可以用于检测反应室内的玻璃基板是否破损，在实际生产中能够方便、准确的检测玻璃基板在反应室内的破损情况。

较佳地，所述检测装置还包括：

信号反馈模块，用于当检测到所述被检测物体时，发出反馈信号到与所述检测装置连接的控制单元。

这样，由于该装置还包括信号反馈模块，于当检测到所述被检测物体时，发出反馈信号到与所述检测装置连接的控制单元，该控制单元可以控制所述反应室停止工作，能够及时将发生玻璃基板破损的反应室停止，杜绝了破损基板继续转送到其它腔室的可能，只在发生破损的反应室停下，其它腔室不影响正常生产，减轻了基板的损失和整个设备的停机时间。

较佳地，所述检测装置还包括与所述传感探头连接的摇摆式底座和电机，用于控制所述传感探头转动。

这样，与所述检测装置的传感探头连接的摇摆式底座和电机可以控制传感探头转动，以便检测装置能够更准确的收集玻璃基板的散射光。

本发明还提供了一种用上述检测装置检测反应室内的玻璃基板是否破损的方法，所述方法包括：

检测装置检测所述反应室内特定位置处的玻璃基板的散射光；

检测装置将检测到的所述反应室内特定位置处的玻璃基板的散射光转化为光谱；

检测装置将所述转化的光谱与预先设定的光谱作比较，并根据比较结果判断是否检测到所述反应室内特定位置处的玻璃基板。

由本发明提供的一种用上述检测装置检测反应室内的玻璃基板是否破损的方法，由于检测装置检测所述反应室内特定位置处的玻璃基板的散射光；检测装置将检测到的所述反应室内特定位置处的玻璃基板的散射光转化为光谱；检测装置将所述转化的光谱与预先设定的光谱作比较，并根据比较结果判断是否检测到所述反应室内特定位置处的玻璃基板，本发明提供的用于检测反应室内的玻璃基板是否破损的方法在实际生产中能够方便、准确的检测玻璃基板在反应室内的破损情况。

较佳地，所述检测装置检测所述反应室内特定位置处的玻璃基板的散射光前，该方法还包括：

反应室内提升柱将反应室内玻璃基板提升，使得所述玻璃基板与反应室电极表面无接触。

这样，若玻璃基板与反应室电极表面接触时，检测装置无法根据测试结果判断此时玻璃基板的破损情况，故在检测装置检测前，需要反应室内的提升柱将反应室内玻璃基板提升，使得该玻璃基板与反应室电极表面无接触。

较佳地，所述检测装置检测所述反应室内特定位置处的玻璃基板的散射光前，该方法还包括：

在所述反应室内设置照明装置，所述照明装置为所述反应室内特定位置处的玻璃基板提供照射光。

这样，由于在所述反应室内设置照明装置，所述照明装置为所述反应室内的玻璃基板提供照射光，故此时检测装置能够更好的收集到所述反应室内的玻璃基板的散射光。

较佳地，所述检测装置检测所述反应室内特定位置处的玻璃基板的散射光前，该方法还包括：

在所述反应室内形成等离子场，所述等离子场加热所述玻璃基板的表面。

这样，在所述反应室内形成等离子场，等离子场能够加热所述玻璃基板的表面，以便检测装置更好的检测。

较佳地，所述检测装置检测所述反应室内特定位置处的玻璃基板的散射光后，该方法还包括：

检测装置将检测到的所述反应室内特定位置处的玻璃基板的散射光转化为温度，将所述转化的温度与预先设定的温度作比较，并根据比较结果判断是否检测到所述反应室内特定位置处的玻璃基板。

这样，由于检测装置将检测到的所述反应室内的玻璃基板的散射光转化为温度，将所述转化的温度与预先设定的温度作比较，并根据比较结果判断是否检测到所述玻璃基板，本发明提供的检测装置，可以用于检测反应室内的玻璃基板是否破损，在实际生产中能够方便、准确的检测玻璃基板在反应室内的破损情况。

较佳地，所述检测装置检测到所述反应室内特定位置处的玻璃基板后，该方法还包括：

所述检测装置发出反馈信号到控制反应室工作的控制单元，该控制单元控制所述反应室停止工作。

这样，当所述检测装置发出反馈信号到控制反应室工作的控制单元，该控制单元控制所述反应室停止工作时，能够及时将发生玻璃基板破损的反应室停止，杜绝了破损基板继续转送到其它腔室的可能，只在发生破损的反应室停下，其它腔室不影响正常生产，减轻了基板的损失和整个设备的停机时间，提高了良品率和移动时间。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种检测装置结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种用于检测反应室内的玻璃基板是否破损的方法流程图；

图3为本发明实施例提供的一种检测装置检测反应室内的玻璃基板是否破损的示意图；

图4为本发明实施例提供的一种检测装置检测反应室内的玻璃基板是否破损的另一示意图。

具体实施方式

本发明实施例提供了一种检测装置和用该检测装置检测反应室内的玻璃基板是否破损的方法，用以在实际生产中方便、准确的检测玻璃基板在反应室内的破损情况。

下面给出本发明具体实施例提供的技术方案的详细介绍。

本发明具体实施例以干刻机的反应室为例具体进行说明，当然，本发明具体实施例并不限于干刻机的反应室，还可以为其它生产设备的反应室，如用于镀膜的磁控溅射设备的反应室。

目前的干刻机通常为多个反应室共用一个传送室，反应室内正在反应时，玻璃基板放置在下部电极，通过施加静电吸附固定基板，然后电极从玻璃基板背部吹出2000mtorr～3000mtorr压力的室温氦气，如果流量超过一定流量，如10sccm，则认为玻璃基板破裂。在实际反应完成后，反应室内的支撑柱将玻璃基板举起离开下部电极的过程中，无法用气体流量判断反应室内玻璃基板的破损情况，而在实际生产中，该过程是玻璃基板破损的高发时间段。一旦玻璃破损，直到传送室的双层机械手下手臂取出破损基板，才有可能被安装在传送室的光电传感器感知到。此时传送室已经存在破碎残片，对于上手臂的玻璃可能造成碰撞和污染，如果没有感知到破碎，甚至机械手会把碎片带到其它反应室造成更大范围的设备和玻璃基板损害。

如图1所示，本发明具体实施例提供的一种检测装置，所述装置包括：

传感探头10，用于接收被检测物体的散射光；

光谱转化模块11，用于将所述传感探头接收到的散射光转化为光谱；

光谱比较模块12，用于将所述转化的光谱与预先设定的光谱作比较，并根据比较结果判断是否检测到所述被检测物体。

如图2所示，本发明具体实施例还提供了一种用该检测装置检测反应室内的玻璃基板是否破损的方法，该方法包括：

S201、检测装置检测所述反应室内特定位置处的玻璃基板的散射光；

S202、检测装置将检测到的所述反应室内特定位置处的玻璃基板的散射光转化为光谱；

S203、检测装置将所述转化的光谱与预先设定的光谱作比较，并根据比较结果判断是否检测到所述反应室内特定位置处的玻璃基板。

如图3所示，本发明具体实施例提供的一种用于检测反应室内的玻璃基板是否破损的检测装置的具体检测过程为，首先反应室内提升柱35抬起玻璃基板32，使得玻璃基板32与反应室电极31表面无接触，由于在实际生产过程中，当玻璃基板32与反应室电极31表面接触时的反应过程可以通过气体流量判断反应室内玻璃基板的破损情况，本发明具体实施例提供的检测装置30主要用在玻璃基板与反应室电极表面无接触的情况，在此情况下检测反应室电极表面是否有玻璃基板的存在，此时若检测到有玻璃基板存在时，则认为此时反应室内的玻璃基板存在破损。

本发明具体实施例的检测装置中的传感探头10位于反应室的反应壁上的透视窗内，反应室的反应壁上的透视窗可以为矩形的氧化硅（SiO2）透视窗，也可以为椭圆型的SiO2透视窗33，本发明具体实施例中为了能够更好的收集玻璃碎片34的散射光，将位于反应室的反应壁上的透视窗33设置为椭圆型，同时也将本发明具体实施例中的传感探头10的表面设置为椭圆型。

具体地，为了更好的收集玻璃碎片34的散射光，在干刻机的反应室内设置照明装置，所述照明装置为所述反应室内的玻璃基板提供照射光，其中，玻璃碎片34的致密金属线能够将照明装置提供的照射光分光成单色的散射光，此散射光可以被本发明具体实施例的检测装置中的传感探头10感知并收集，此时检测装置中的光谱转化模块11可以将收集到的玻璃碎片34的散射光转化为光谱，光谱比较模块12将所述转化的光谱与预先设定的光谱作比较，并根据比较结果判断是否检测到玻璃碎片34。本发明具体实施例中检测的反应室内特定位置处的玻璃基板为检测反应室电极表面处是否存在破碎的玻璃基板，具体并不限定于检测下部的反应室电极31的表面，也可以检测上部的反应室电极表面处是否存在破碎的玻璃基板。由于反应室电极31的材料为陶瓷材料，玻璃碎片34的光谱特性和陶瓷的反应室电极的光谱特性差别很大，因此若上述的比较结果存在差异时，检测装置30判断为此时有玻璃碎片，检测装置30中的信号反馈模块发出反馈信号到干刻机设备的控制端，控制端通过软件发出禁止使用该反应室的信号，从而将该反应室禁用，其它反应室和传送室、送料室继续正常工作。

具体地，本发明具体实施例中的传感探头10接收到玻璃碎片34的散射光后，检测装置30中的温度转化模块可以将接收到的玻璃碎片34的散射光转化为其温度，本发明具体实施例中的散射光具体为红外光，转化的温度为红外温度，接着检测装置30中的温度比较模块将转化的玻璃碎片34的温度与预先设定的温度作比较，并根据比较结果判断是否检测到玻璃碎片34。具体的，传感探头10接收到玻璃碎片34的散射光后，通过检测装置中的光电探测器转变为相应的电信号，该电信号经过检测装置中的放大器和信号处理电路，并按照检测装置中的内置算法和检测装置对反应室电极31表面的发射率校正及环境温度补偿后转变为玻璃碎片34表面的温度值。由于反应室电极31的材料为陶瓷材料，玻璃碎片34的红外温度特性和陶瓷的反应室电极31的差别很大，因此若上述的比较结果存在差异时，检测装置判断为此时有玻璃碎片存在，检测装置30中的信号反馈模块发出反馈信号到干刻机设备的控制端，控制端通过软件发出禁止使用该反应室的信号，从而将该反应室禁用，其它反应室和传送室、送料室继续正常工作。具体地，当反应室内提升柱抬起玻璃基板到距离下部电极150mm高之时，通过反应室施加1000w的13.56MHz射频电压和500sccm的氧气，产生低浓度微弱等离子场，由于下部电极是冷却液的冷却和基板背部氦气的制冷吹拂，下部电极温度在50度±5度之间，当玻璃基板碎片残留在下部电极时，残留的玻璃表面由于弱等离子体产生表面的高温，其温度达到80度～100度之间。

如图4所示，为了使检测装置中的传感探头10能够收集到更大面积的反应室内特定位置处的玻璃基板的散射光，将传感探头10与摇摆式底座和电机40相连，此时传感探头10能够转动，收集能力更强。具体地，本发明具体实施例中，摇摆式底座和电机30可以控制传感探头10在上下160度和/或水平160度的范围内转动。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和集合。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的集合之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种检测装置，其特征在于，所述装置包括：

传感探头，用于接收被检测物体的散射光；

光谱转化模块，用于将所述传感探头接收到的散射光转化为光谱；

光谱比较模块，用于将所述转化的光谱与预先设定的光谱作比较，并根据比较结果判断是否检测到所述被检测物体。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：

温度转化模块，用于将所述传感探头接收到的散射光转化为温度；

温度比较模块，用于将所述转化的温度与预先设定的温度作比较，并根据比较结果判断是否检测到所述被检测物体。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：

信号反馈模块，用于当检测到所述被检测物体时，发出反馈信号到与所述检测装置连接的控制单元。

4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括与所述传感探头连接的摇摆式底座和电机，用于控制所述传感探头转动。

5.一种用权利要求1-4任一权项所述的检测装置检测反应室内的玻璃基板是否破损的方法，其特征在于，所述方法包括：

检测装置检测所述反应室内特定位置处的玻璃基板的散射光；

检测装置将检测到的所述反应室内特定位置处的玻璃基板的散射光转化为光谱；

检测装置将所述转化的光谱与预先设定的光谱作比较，并根据比较结果判断是否检测到所述反应室内特定位置处的玻璃基板。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述检测装置检测所述反应室内特定位置处的玻璃基板的散射光前，该方法还包括：

反应室内提升柱将反应室内玻璃基板提升，使得所述玻璃基板与反应室电极表面无接触。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述检测装置检测所述反应室内特定位置处的玻璃基板的散射光前，该方法还包括：

在所述反应室内设置照明装置，所述照明装置为所述反应室内特定位置处的玻璃基板提供照射光。

8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述检测装置检测所述反应室内特定位置处的玻璃基板的散射光前，该方法还包括：

在所述反应室内形成等离子场，所述等离子场加热所述玻璃基板的表面。

9.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述检测装置检测所述反应室内特定位置处的玻璃基板的散射光后，该方法还包括：

检测装置将检测到的所述反应室内特定位置处的玻璃基板的散射光转化为温度，将所述转化的温度与预先设定的温度作比较，并根据比较结果判断是否检测到所述反应室内特定位置处的玻璃基板。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述检测装置检测到所述反应室内特定位置处的玻璃基板后，该方法还包括：

所述检测装置发出反馈信号到控制反应室工作的控制单元，该控制单元控制所述反应室停止工作。

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