CN103777158A - 旋转阴极磁场均匀性测试设备及测试方法 - Google Patents

旋转阴极磁场均匀性测试设备及测试方法 Download PDF

Info

Publication number
CN103777158A
CN103777158A CN201410031748.8A CN201410031748A CN103777158A CN 103777158 A CN103777158 A CN 103777158A CN 201410031748 A CN201410031748 A CN 201410031748A CN 103777158 A CN103777158 A CN 103777158A
Authority
CN
China
Prior art keywords
magnetic field
instrument
handwheel
field intensity
gauss
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201410031748.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103777158B (zh
Inventor
黄林冲
顾海波
曹承
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JIANGSU AOLAN ARCHITECTURE GLASS CO Ltd
Original Assignee
JIANGSU AOLAN ARCHITECTURE GLASS CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JIANGSU AOLAN ARCHITECTURE GLASS CO Ltd filed Critical JIANGSU AOLAN ARCHITECTURE GLASS CO Ltd
Priority to CN201410031748.8A priority Critical patent/CN103777158B/zh
Publication of CN103777158A publication Critical patent/CN103777158A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103777158B publication Critical patent/CN103777158B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)

Abstract

本发明涉及磁控溅射阴极磁场均匀性测量设备及其测试方法，特别是测量阴极磁棒在轴向方向上同一区域的磁场强度变化。测量设备包括设有导轨的机台构架部分，所述机台构架部分的导轨上滑动连接移动小车，还包括第一手轮移动机构、第二手轮移动机构及仪器夹部分，其中，所述第一手轮移动机构用于控制小车前后运动，所述第二手轮移动机构用于调节测量磁场强度仪器的上下高度，所述仪器夹部分用于固定测量磁场强度仪器。本发明旋转阴极磁场均匀性测试设备结构简单，利用该发明设备进行测试后可满足磁棒的磁场在同一水平同一高度的位置准确测量磁棒磁场强度变化，操作方便简单，设备科重复使用。

Description

旋转阴极磁场均匀性测试设备及测试方法
技术领域
本发明涉及磁控溅射阴极磁场均匀性测量设备，特别是测量阴极磁棒在轴向方向上同一区域的磁场强度变化。
背景技术
随着节能玻璃的大规模使用，用于生产低辐射镀膜玻璃的磁控溅射镀膜生产线被广泛安装并投入生产，许多生产线的溅射阴极磁棒被冷却水不断腐蚀以及循环水温度的变化造成磁场在轴向方向上很不均匀，因而生产的产品性能下降甚至是不合格产品，因此需要定期对用于溅射的阴极磁场做均匀性检测以备及时将不合格磁棒更换，目前行业主要靠手持高斯仪对阴极磁场做磁场测量，但是所有的磁场在空间不同的位置强度是不一样的，因而靠人工用手在磁场空间同一水平同一高度测量磁棒均匀性误差很大，无法做出准确判断磁棒的均匀性是否合格。
发明内容
本发明的目的克服了以上的不足，提供一种简单易操作的设备准确测量出磁棒的磁场在轴向分布以及磁场强度的强弱变化。
旋转阴极磁场均匀性测试设备，旋转阴极磁场均匀性测试设备，包括设有导轨的机台构架部分，所述机台构架部分的导轨上滑动连接移动小车，还包括第一手轮移动机构、第二手轮移动机构及仪器夹部分，其中，所述第一手轮移动机构用于控制小车前后运动，所述第二手轮移动机构用于调节测量磁场强度仪器的上下高度，所述仪器夹部分用于固定测量磁场强度仪器。
所述机台构架部分包括机台底座、水平调节器及两根导轨，所述机台底座上部设置有四个用于调节所述机台水平的水平调节器，所述水平调节器的上部固定设置有所述两根导轨。
所述移动小车车体上固定连接所述仪器夹，所述仪器夹上固定连接所述测量磁场强度仪器。
所述的测量磁场强度仪器为高斯仪。
采用所述旋转阴极磁场均匀性测试设备进行测试的测试方法：包括以下几个步骤：
第一步、将旋转阴极导入阴极翻转台，并将四角用压板锁紧;
第二步、要转翻转台小车摇轮将阴极翻转180°至水平并插于锁杆将位置固定；
第三步、将阴极磁场测试台按照阴极靶材方向吊放在阴极盖板上；
第四步、调整测试台四个水平调节器高度，将整个机台调至水平状态；
第五步、旋转第二手轮移动机构在上下方向将仪器架调整至最高位置；
第六步、将高斯仪安装在仪器夹上并固定锁死；
第七步、旋转第一手轮移动机构在前后方向将高斯仪移至磁钢一与磁钢二中心位置；
第八步、旋转第二手轮移动机构在上下方向将高斯仪移至两个磁缸中心位置表面一定高度位置；
第九步、打开高斯仪；
第十步、手动推动机架小车从左向右移动，每隔一定距离记录磁钢强度并记录，所记录数值通过EXCEL绘成曲线并计算磁场强度公差判定磁棒是否合格或者重新充磁以保证均匀性；
进一步的，沿磁缸轴向每50mm测试磁场强度后移动第一螺杆机构手轮将高斯仪移至磁缸表面1mm高度，依次从左向右推动小车每50mm测试磁场强度并记录。
有益效果：本发明旋转阴极磁场均匀性测试设备结构简单，利用该发明设备进行测试后可满足磁棒的磁场在同一水平同一高度的位置准确测量磁棒磁场强度变化，操作方便简单，设备科重复使用。
附图说明
图1为本发明设备的主视图；
图2为图1的左视图；
其中，1、机台底座；2、导轨；3、水平调节器；4、移动小车；5、第一手轮移动机构；6、第二手轮移动机构；7、仪器夹；8、高斯仪；9、磁缸一；10、磁缸二。
具体实施方式
下面结合附图对本发明旋转阴极磁场均匀性测试设备作进一步详细描述。
本发明旋转阴极磁场均匀性测试设备包括如下部件：
包括两根导轨的长3900-4500mm、宽820-900mm、高200-300mm的机台构架；
一可搭载磁场强度检测仪器并在导轨上滑行的小车；
一用于小车前后运动的螺杆机构以及手轮；
一用于调节测量磁场强度仪器上下高度的螺杆机构以及手轮；
一用于固定测量磁场强度仪器的仪器夹；
四个用于调节机台构架水平的调节器；
用于方便起吊设备的龙骨耳朵；
利用上述测量阴极磁场均匀性的设备测试均匀性的方法，包括以下步骤：
第一步、将旋转阴极导入阴极翻转台，并将四角用压板锁紧;
第二步、要转翻转台小车摇轮将阴极翻转180°至水平并插于锁杆将位置固定；
第三步、将阴极磁场测试台按照阴极靶材方向吊放在阴极盖板上；
第四步、调整测试台四个水平调节器高度，将整个机台调至水平状态；
第五步、旋转第二手轮移动机构在上下方向将仪器架调整至最高位置；
第六步、将高斯仪安装在仪器夹上并固定锁死；
第七步、旋转第一手轮移动机构在前后方向将高斯仪移至磁钢一与磁钢二中心位置；
第八步、旋转第二手轮移动机构在上下方向将高斯仪移至两个磁缸中心位置表面一定高度位置；
第九步、打开高斯仪；
第十步、手动推动机架小车从左向右移动，每隔一定距离记录磁钢强度并记录，所记录数值通过EXCEL绘成曲线并计算磁场强度公差判定磁棒是否合格或者重新充磁以保证均匀性。
所述第十步中，沿磁缸轴向每50mm测试磁场强度后移动第一螺杆机构手轮将高斯仪移至磁缸表面1mm高度，依次从左向右推动小车每50mm测试磁场强度并记录。

Claims (5)

1. 旋转阴极磁场均匀性测试设备，其特征在于，包括设有导轨的机台构架部分，所述机台构架部分的导轨上滑动连接移动小车，还包括第一手轮移动机构、第二手轮移动机构及仪器夹部分，其中，所述第一手轮移动机构用于控制小车前后运动，所述第二手轮移动机构用于调节测量磁场强度仪器的上下高度，所述仪器夹部分用于固定测量磁场强度仪器。
2.根据权利要求1所述的旋转阴极磁场均匀性测试设备，其特征在于，所述机台构架部分包括机台底座、水平调节器及两根导轨，所述机台底座上部设置有四个用于调节所述机台水平的水平调节器，所述水平调节器的上部固定设置有所述两根导轨。
3.根据权利要求2所述的旋转阴极磁场均匀性测试设备，其特征在于，所述移动小车车体上固定连接所述仪器夹，所述仪器夹上固定连接所述测量磁场强度仪器。
4.根据权利要求3所述的旋转阴极磁场均匀性测试设备，其特征在于，所述的测量磁场强度仪器为高斯仪。
5.采用权利要求1所述旋转阴极磁场均匀性测试设备进行测试的测试方法：包括以下几个步骤：
第一步、将旋转阴极导入阴极翻转台，并将四角用压板锁紧;
第二步、要转翻转台小车摇轮将阴极翻转180°至水平并插于锁杆将位置固定；
第三步、将阴极磁场测试台按照阴极靶材方向吊放在阴极盖板上；
第四步、调整测试台四个水平调节器高度，将整个机台调至水平状态；
第五步、旋转第二手轮移动机构在上下方向将仪器架调整至最高位置；
第六步、将高斯仪安装在仪器夹上并固定锁死；
第七步、旋转第一手轮移动机构在前后方向将高斯仪移至磁钢一与磁钢二中心位置；
第八步、旋转第二手轮移动机构在上下方向将高斯仪移至磁缸表面一定高度位置；
第九步、打开高斯仪；
第十步、手动推动机架小车从左向右移动，每隔一定距离记录磁缸强度并记录，所记录数值通过EXCEL绘成曲线并计算磁场强度公差判定磁棒是否合格或者重新充磁以保证均匀性；
根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第十步中，沿磁缸轴向每50mm测试磁场强度后移动第一螺杆机构手轮将高斯仪移至磁缸表面1mm高度，依次从左向右推动小车每50mm测试磁场强度并记录。
CN201410031748.8A 2014-01-23 2014-01-23 旋转阴极磁场均匀性测试设备及测试方法 Active CN103777158B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410031748.8A CN103777158B (zh) 2014-01-23 2014-01-23 旋转阴极磁场均匀性测试设备及测试方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410031748.8A CN103777158B (zh) 2014-01-23 2014-01-23 旋转阴极磁场均匀性测试设备及测试方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103777158A true CN103777158A (zh) 2014-05-07
CN103777158B CN103777158B (zh) 2017-07-28

Family

ID=50569626

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410031748.8A Active CN103777158B (zh) 2014-01-23 2014-01-23 旋转阴极磁场均匀性测试设备及测试方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103777158B (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106707204A (zh) * 2016-11-14 2017-05-24 浙江上方电子装备有限公司 一种旋转阴极磁棒磁场自动标定装置
CN109932666A (zh) * 2019-03-28 2019-06-25 京东方科技集团股份有限公司 磁力测量治具及采用该治具进行磁力测量的方法
CN110967562A (zh) * 2019-11-27 2020-04-07 北京无线电计量测试研究所 一种辐射敏感度试验场均匀域测量方法及装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1113283A2 (en) * 1999-12-27 2001-07-04 Delta Tooling Co., Ltd. Magnetic field measuring equipment
CN1632609A (zh) * 2004-12-28 2005-06-29 陕西师范大学 三维空间磁场与磁力测试装置
CN1963555A (zh) * 2006-12-08 2007-05-16 哈尔滨工业大学 小型永磁体空间磁场的三维测量装置及其测量方法
CN101509961A (zh) * 2009-03-23 2009-08-19 哈尔滨工业大学 条形永磁铁截面磁通测量装置及其测量方法
CN201322791Y (zh) * 2008-12-23 2009-10-07 中国科学院电工研究所 一种用于超导磁体磁场分布测量装置
CN201387681Y (zh) * 2008-12-11 2010-01-20 浙江天煌科技实业有限公司 一种亥姆霍兹线圈磁场测定实验装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1113283A2 (en) * 1999-12-27 2001-07-04 Delta Tooling Co., Ltd. Magnetic field measuring equipment
CN1632609A (zh) * 2004-12-28 2005-06-29 陕西师范大学 三维空间磁场与磁力测试装置
CN1963555A (zh) * 2006-12-08 2007-05-16 哈尔滨工业大学 小型永磁体空间磁场的三维测量装置及其测量方法
CN201387681Y (zh) * 2008-12-11 2010-01-20 浙江天煌科技实业有限公司 一种亥姆霍兹线圈磁场测定实验装置
CN201322791Y (zh) * 2008-12-23 2009-10-07 中国科学院电工研究所 一种用于超导磁体磁场分布测量装置
CN101509961A (zh) * 2009-03-23 2009-08-19 哈尔滨工业大学 条形永磁铁截面磁通测量装置及其测量方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106707204A (zh) * 2016-11-14 2017-05-24 浙江上方电子装备有限公司 一种旋转阴极磁棒磁场自动标定装置
CN109932666A (zh) * 2019-03-28 2019-06-25 京东方科技集团股份有限公司 磁力测量治具及采用该治具进行磁力测量的方法
CN110967562A (zh) * 2019-11-27 2020-04-07 北京无线电计量测试研究所 一种辐射敏感度试验场均匀域测量方法及装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN103777158B (zh) 2017-07-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110082668B (zh) 一种用于亥姆霍兹线圈磁场测试的元件固定装置
CN203274665U (zh) 背调式平面度检测装置
CN103777158A (zh) 旋转阴极磁场均匀性测试设备及测试方法
CN103675723B (zh) 一种磁场测量分析***
CN202548307U (zh) 一种平面靶磁场强度的检测装置
CN103837131B (zh) 一种高精度拖曳水池轨道水平测量装置
CN204594987U (zh) 一种改进型立式接触法混凝土干缩测量仪
CN104020004A (zh) 一种用于测试椅子力学性能的试验机
CN107941279B (zh) 用于测量气浮***中气膜各种参数的测量装置
CN102641895B (zh) 热连轧精轧机组侧导开度快速标定方法
CN203616462U (zh) 一种磁场测量分析装置
CN203324604U (zh) 液晶面板检测装置
CN104865541A (zh) 一种检测磁性元件磁通量的设备
CN202925090U (zh) 一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置
CN103940378A (zh) 九头激光平面度测量仪
CN107576510A (zh) 基于激光测量位移的车厢性能检测方法及检测***
CN104075636A (zh) 一种测量盘孔位置度的装置
CN205037855U (zh) 筒体棱角度测量装置
CN106017286A (zh) 一种线轨安装面检验装置
CN205642337U (zh) 一种测厚仪
CN203772802U (zh) 一种基于穿过式涡流的牺牲阳极断芯检测***
CN203324379U (zh) 一种直流电阻测试仪样品固定装置
CN203396750U (zh) 一种磁记忆检测实验平台
CN110017930A (zh) 一种毫微牛量级推力测量装置的标定方法
CN204555884U (zh) 一种晶体片厚度测量装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant