CN103681402A - 一种自动跳货检测*** - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种自动跳货检测***，在任意一检测站点上对多个批次的产品进行检测，其特征在于，所述***包括存储模块、采集模块、处理模块和执行模块；所述存储模块储存有各机台信息；所述采集模块用于对经过站点的每个批次的产品进行扫描并通过所述存储模块获取该产品对应的机台信息；所述处理模块根据该批次产品对应的机台来选择不同的抽样检测规则并通过所述执行模块对产品进行检测。本发明根据批次的不同以及经过生产机台的重要程度的差异来设定不同的抽检规则对各批次产品进行抽样检测，提高了检测精度和检测效率。

Description

一种自动跳货检测***
技术领域
本发明涉及半导体检测领域，具体涉及一种自动跳货检测***，可自动筛选重要机台产品站点进站的产品数量，以及更好监控生产线让其更高效的运转等方面。
背景技术
半导体生产是一个非常复杂的过程，良率工程师的主要工作是监控生产线能够正常的运行，能够快速及时的发现生产线上的各种异常情况，良率工程师要通过大量的扫描生产线上的产品来发现生产线上的各种问题。
业界现在普遍采用设计不同的量测站点，每个缺陷扫描站点都对应一个机台或者相同机台的产品，且每个站点都设定一个比例，其中一机台产品在进入（到达）该检测站点时，***会抽取该比例的产品进行良率检测。
在该产品中选择该比例的部分产品进入良率站点的比例（samplerate），让一定比例的产品可以被检查到。
但是在实际生产中，生产线产品会不均匀，不同时期的产品的数量也会发生变化，例如某一产线上一天只有150批次产品，而良率站点一天至多能够对200批次的产品进行检测，这就造成了该良率站点一天内有部分时间由于产品不够而停止工作，影响了生产效率。业界普遍会让超出良率抽检站点产能的产品量进入该站点，例如控制300批次的产品一天内进入到良率检测站点，以实现机台满负荷生产，提高生产效率。但这也导致一个问题：由于站点一天至多能通过200批次的产品并对其进行检测，无法满足一天内对所有的300批次产品的检测需求，多出来的100批次产品就会直接不经过检测或者由良率工程师人为跳站而进入下一工序；如果在这100批次的产品中存在有严重缺陷产品，由于没有经过检测，良率工程师无法及时发现缺陷产品并找出导致产品产生缺陷的相应设备，进而该问题设备所生产的产品还会导致缺陷，进而降低了产品良率。
同时由于生产线上产品不均匀，可能同时很多相同站点但不同机台生产出来的lot（批次）进入YE（Yield Enhancement，良率提升）扫描站点，良率工程师人为对多余的100批次产品进行跳货，可能让多台机台生产的产品不能被检测到，而某几台的产品被重复抽检的情况，造成检测的范围缩小；还存在进入YE扫描站点的产品优先级不同，良率工程师人为跳货，会造成虽然有很多产品被扫描了，却不能检测到生产线上重要机台的情况等问题。
同时，由于一个站点一般只设置有一抽检概率，如图1所示，可能会有分别有三个来自不同机台的三个批次产品进入到该站进行检测，但是该站点的抽检概率为20%，即选取批次最后一位数字为1、5的产品进行检测，因此抽取了产品1、5、11、15进行检测，但是批次2的产品由于工艺比较重要或者缺陷率较高，理想情况下需要增加抽检概率对其进行检查（如50%）以便更精确定位其缺陷产品，但是一旦增大抽检概率其他批次产品也会受到影响，站点也会以50%的概率抽检其他批次产品，造成了抽检效率的低下；同时批次3产品重要程度较低，一般以10%的抽检概率即可，但是现有技术采用无差别的抽检规则进行检测，不仅检测精度较低，同时检测效率也比较一般。
发明内容
本发明提供了一种跳货检测***，其中，该***包括存储模块、采集模块、处理模块和执行模块；
所述存储模块储存有各机台信息；
所述采集模块用于对进入到良率扫描站点的每个批次的产品进行扫描并通过所述存储模块获取该产品对应的机台缺陷状况信息；
所述处理模块根据不同批次产品对应的机台的重要程度以及同型机台的不同条件来选择不同的抽样检测规则并通过所述执行模块对产品进行检测；
通过针对不同机台的产品来选取不同的抽样检测规则对该批次产品进行检测，以提高检测效率和检测精度。
上述的***，其中，所述处理模块有一可编辑单元，用于编辑各机台产品所对应的抽样检测规则，所述抽样检测规则根据机台的不同而设定。
上述的***，其中，所述***具有一最低抽样检测规则。
上述的***，其中，所述存储模块存储有生产线上所以生产机台信息。
上述的***，其中，所述***可控制所有良率检测站点对产品进行检测。
由于本发明采用了以上技术方案，根据批次的不同以及经过生产机台的重要程度的差异来设定不同的抽检规则对各批次产品进行抽样检测，提高了检测精度和检测效率。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明及其特征、外形和优点将会变得更明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。
图1为现有技术中一站点对多批次晶圆进行检测的示意图；
图2为本发明自动跳货检测***的组成示意图；
图3为本发明一站点对多批次晶圆进行检测的示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明：
本发明公开了一种自动跳货检测***，在任意一检测站点上对多个批次的产品进行检测，如图2所示，该***包括存储模块、采集模块、处理模块和执行模块；
存储模块存储有生产线上所有生产机台信息；
采集模块用于对经过站点的每个批次的产品进行扫描并通过存储模块获取该批次产品对应的机台信息；具体的，采集模块对流经站点的各批产品的部分产品进行扫描，并与存储模块储存的各机台信息进行比对，获取该批次产品所出自的机台；
处理模块根据该批次产品对应机台的不同来选择不同的抽样检测规则并通过执行模块对产品进行检测，处理模块有一可编辑单元，技术人员根据机台的不同通过可编辑单元来设定不同的抽样检测规则，进而可极大提高检测效率，并提高检测精度。其中，在本发明的实施例中，该***具有一最低的抽样检测规则，以确保检测的数量；同时，由于存储模块存储有生产线上所有生产机台信息，进而可实现该***可控制所有良率检测站点对产品进行检测，进而实现集成化和统一，提高了生产效率。
下面就本发明提供一实施例来进行进一步阐述，如图3所示，其中一站点需要对来自三个机台的三个批次产品进行抽样检测，技术人员事先通过可编辑单元分别编辑各批次产品的抽检规则：在批次1产品中，抽取末位数字为1、5的产品进行检测，在批次2产品中，抽取末位数字为1、3、5、7、9的产品进行检测，在批次1产品中，抽取末位数字为1的产品进行检测。由于机台1的工艺比较重要或容易产生缺陷产品，因此需要增大对机台1生产的批次1产品的抽检概率来提高缺陷检测的精度，即50%；同理，分别批次2和批次3所对应的机台采用20%及10%的抽检概率进行检测。
当其中一批次的产品进入到该站点进行检测时，采集模块对该批次的第一个产品进行扫描，并与存储模块储存的各机台信息进行比对，获取得出该批次产品出自机台1的产品批次；
处理模块根据存储模块中预储存的各机台对应的抽样检测规则，分别对每个批次的产品进行检测：在批次1中选取末位数字为1、5的产品进行检测；在批次2中选取末位数字为11、13、15、17、19的产品进行检测；在批次1中选取末位数字为1的产品进行检测，如图3所示，针对来自不同机台的不同批次产品分别采用不同的抽检规则进而提高检测效率，优化整个检测过程，降低生产风险，提高了检测效率和生产线的良率。
具体的，根据生产线上机台以及机台的CHAMBER(腔体)的重要程度将进入YE站点的产品分为不同等级，如AA_ET,POLY_ET,M*_ET等定义电路图形的站点，这些最重要的流程定义为最高优先级，当出现多批这些站点的产品时，***会自动统计通过不同机台出来的产品的数量，并允许每天skip同一个机台或者该机台的一个腔室生产出来的多于规定批次的产品（如跳掉多余5lots每天的量进行检测）；对于优先级稍低的站点如：SPA_ET,NP_IMP,PHOTO等站点，***会自动挑选某一个机台或者该机台的一个腔室生产出来的多于规定批次的产品（如跳掉多余3lots每天的量进行检测）；对于一些不太重要的站点的进站的lot，当出现很多优先级较高的产品进入站点的时候，会按照每台机台10%的比较抽样检测，以提高检测精度；同时，本发明提供的自动跳货检测***还设置有一最低抽样检测规则，以实现最大程度优化检测生产线的目的，提高发现问题产品的概率。
综上所述，在不同机台的不同批次产品通过站点进行检测时，通过本发明提供的自动跳货检测***来针对不同机台的产品批次来选取不同的抽样检测规则对该批次产品进行检测，极大提高了检测效率和检测精度。
以上对本发明的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本发明的实质内容。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。

Claims (5)

1.一种自动跳货检测***，其特征在于，该***包括存储模块、采集模块、处理模块和执行模块；
所述存储模块储存有机台信息；
所述采集模块用于对进入到良率扫描站点的每个批次的产品进行扫描并通过所述存储模块获取该产品对应的机台缺陷状况信息；
所述处理模块根据不同批次产品对应的机台的重要程度以及同型机台的不同条件来选择不同的抽样检测规则并通过所述执行模块对产品进行检测；
根据批次的不同以及经过生产机台的重要程度的差异来设定不同的抽检规则对各批次产品进行抽样检测，提高了检测精度和检测效率。
2.如权利要求1所述的***，其特征在于，所述处理模块有一可编辑单元，用于编辑各机台产品所对应的抽样检测规则，所述抽样检测规则根据机台的不同而设定。
3.如权利要求2所述的***，其特征在于，所述***具有一最低抽样检测规则。
4.如权利要求1所述的***，其特征在于，所述存储模块存储有生产线上所有生产机台信息。
5.如权利要求1所述的***，其特征在于，所述***用于控制所有良率检测站点对产品进行检测。
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