CN103663933A - 玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造装置 - Google Patents

Abstract

本发明的玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造装置可抑制经由成形体的支撑部件而释放的成形体的热量，且抑制由成形体的热蠕变特性所引起的变形。本发明的玻璃板的制造方法是使熔融玻璃从成形体(52)的上端面溢出并分流，在成形体(52)的下端合流而连续成形玻璃板的玻璃板的制造方法。成形体(52)介隔支撑部件(54a、54b)及绝热部件(56a、56b)，而在对成形体(52)的长度方向的两端面施加长度方向的力的状态下设置。支撑部件(54a、54b)与成形体(52)接触。绝热部件(56a、56b)不与成形体(52)接触，而与支撑部件(54a、54b)接触。绝热部件(56a、56b)具有较支撑部件(54a、54b)小的热传导率，且具有50MPa以上的压缩强度。

Description

玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造装置

技术领域

本发明涉及一种玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造装置。

背景技术

液晶显示器及等离子显示器等平板显示器(FPD，flat panel display)中所使用的玻璃板要求表面具有较高的平坦度。通常，这样的玻璃板由溢流下拉(overflow down draw)法制造。溢流下拉法中，如专利文献1(美国专利第3,338,696号)所记载，流入成形体并溢出的熔融玻璃沿着成形体的外表面流下，在成形体的下端合流，一面被向下方拉伸一面成形为带状的玻璃。

溢流下拉法中，成形体设置在成形炉内的高温的环境下。另外，成形体中施加有由自重及玻璃的重量所引起的荷重。因此，成形体的长度方向的中央部容易因热蠕变特性而向下方垂下。尤其，近年来，玻璃的大型化进展，成形体具有在长度方向变长的倾向，因此，由热蠕变特性引起的垂下变得更为显著。

为了解决该问题，如专利文献2(日本专利特开昭46-34437号公报)所记载，使用在从成形体的长度方向的两端，将长度方向的力施加于成形体的状态下，支撑成形体的方法。该方法中，成形体是在由支撑块及耐火绝缘砖支撑的状态下，被赋予长度方向的压缩力，因此起因于热蠕变特性的变形得到抑制。

另外，溢流下拉法中，成形体的温度分布对从成形体的下端连续成形的玻璃板的品质带来较大影响。优选成形体尤其在它的长度方向不具有较高的温度差。此处，在对成形体施加长度方向的压缩力而支撑成形体的所述方法中，如果经由成形体的支撑部件而向炉外释放的成形体的热量较大，那么成形体的长度方向的温度差扩大，对玻璃的品质带来影响。具体来说，成形体的温度差使沿着成形体的表面流下的熔融玻璃的温度差产生，熔融玻璃的温度差使成形的玻璃板的厚度差产生。即，成形体的温度差对玻璃板的板厚偏差带来影响。另外，成形体的温度分布也对成形炉内的环境的温度分布带来影响。成形炉内的温度分布也与成形体的温度差同样地，对玻璃板的板厚偏差带来影响。另外，为了补偿向炉外释放的成形体的热量，必须从成形炉的外部向成形体供给热。为了解决该问题，专利文献2中，成形体由耐火绝缘砖而支撑。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]美国专利第3,338,696号

[专利文献2]日本专利特开昭46-34437号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

此处，为了施加长度方向的压缩力而支撑成形体的部件必须具有充分的压缩强度。然而，一般来说，具有较高的压缩强度的砖由于热传导率较大，而容易释放炉内的热。相反，专利文献2所记载的耐火绝缘砖虽然热传导率较小，但不具有充分的压缩强度，因此无法对成形体施加充分的压缩力。在对成形体施加必要充分的压缩力时，产生耐火绝缘砖被破坏的较高的危险。

本发明的目的在于提供一种可抑制经由成形体的支撑部件而释放的成形体的热量，且抑制由成形体的热蠕变特性所引起的变形的玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造装置。

[解决问题的技术手段]

本发明的玻璃板的制造方法是使熔融玻璃从成形体的上端面溢出并分流，在成形体的下端合流而连续成形玻璃板的玻璃板的制造方法。成形体介隔支撑部件及绝热部件，在对成形体的长度方向的两端面施加长度方向的力的状态下设置。支撑部件与成形体接触。绝热部件不与成形体接触，而与支撑部件接触。绝热部件具有较支撑部件小的热传导率，且，具有50MPa以上的压缩强度。

本发明的玻璃板的制造方法中，溢流下拉法中所使用的成形体在从成形体的长度方向的两端施加长度方向的力的状态下，设置在成形炉内。成形体的长度方向的中央部具有起因于热蠕变特性而容易向下方垂下的倾向。因此，通过对成形体施加长度方向的压缩力，而抑制成形体的变形。另外，成形体介隔支撑部件及绝热部件而设置在成形炉内。具体来说，成形体由一对支撑部件，在长度方向的两端夹着。一对支撑部件进而由一对绝热部件，在长度方向的两端夹着。成形体介隔一对支撑部件及一对绝热部件，由设置在成形炉外的压缩机构而施加长度方向的压缩力。由于绝热部件的热传导率较小，所以成形炉内的环境的热及成形体的热不易沿着绝热部件而向成形炉的外部释放。因此，利用绝热部件，而良好地保持成形体及成形炉内的环境的温度分布。另外，因从成形炉的内部释放的热而成形体的压缩机构的温度过度上升而超过压缩机构的耐热温度，压缩机构破损的情况可由绝热部件来避免。另外，绝热部件具有50MPa以上的压缩强度，可充分耐受对成形体施加的长度方向的压缩力。因此，起因于热蠕变特性的成形体的变形得到充分抑制。此外，优选绝热部件包含云母。

另外，本发明的玻璃板的制造方法中，优选绝热部件具有2W/(m·K)以下的热传导率。此时，绝热部件具有充分低的热传导率，因此可更有效地抑制成形体及成形炉内的热向炉外释放。

另外，本发明的玻璃板的制造方法中，优选绝热部件具有550℃(JIS C2116：1982)以上的耐热温度。绝热部件的耐热温度越高，绝热部件的设置场所的制约越少，因此可使绝热部件与更高温的支撑部件接触而设置。由此，可通过使接近成形体的高温侧的绝热部件的厚度增加等，而提高绝热性能。

绝热部件由与支撑部件不同种类的材料而成形。绝热部件的压缩强度为50MPa～1000MPa时，绝热部件可充分耐受对成形体施加的长度方向的压缩力，因此起因于热蠕变特性的成形体的变形充分得到抑制。绝热部件的压缩强度更优选为100MPa～1000MPa，进而优选为200MPa～1000MPa。绝热部件的压缩强度的测定方法为JIS K6911：2006。

另外，绝热部件的热传导率优选为0W/(m·K)～2W/(m·K)。此时，由于绝热部件具有充分低的热传导率，因此可更有效地抑制成形体及成形炉内的热向炉外释放的情况。绝热部件的热传导率更优选为0W/(m·K)～1W/(m·K)，进而优选为0W/(m·K)～0.5W/(m·K)。绝热部件的热传导率的测定方法为常温下的激光闪光法。

另一方面，优选支撑部件为具有较高的耐火性能与较大的压缩强度的砖块。用作支撑部件的砖块的压缩强度为300MPa左右(JIS R2206-1：2007)，砖块的热传导率为4.0W/(m·K)左右(JIS R2616：2001)。另外，具有较高的绝热性的绝热砖的压缩强度为4MPa左右(JIS R2206-1：2007)，绝热砖的热传导率为0.35W/(m·K)左右(JIS R2616：2001)。即，绝热部件具有较支撑部件更小的热传导率。另外，绝热部件具有较绝热砖更大的压缩强度。

此外，绝热部件必须设置在不超过它的耐热温度的场所。例如，可通过增加支撑部件的厚度，或者将支撑部件在厚度方向分割为多个而在它们之间夹着陶瓷纤维纸，来阻碍各接触面的热传导，而实现所述情况。

本发明的玻璃板的制造方法是使熔融玻璃从成形体的上端面溢出并分流，在成形体的下端合流而连续成形玻璃板的玻璃板的制造方法。成形体介隔支撑部件及绝热部件，而在对成形体的长度方向的两端面施加长度方向的力的状态下设置。支撑部件与成形体接触。绝热部件不与成形体接触，而与支撑部件接触。绝热部件包含云母。

本发明的玻璃板的制造方法中，为了将成形体及成形炉内的热不易向炉外释放而使用的绝热部件包含云母。例如，包含云母的陶瓷具有较高的耐热性、较低的热传导率及较高的压缩强度，作为绝热部件具有优异的性质。因此，通过使用包含云母的绝热部件，可更有效地达成不易将成形炉内的热向炉外释放的效果、及抑制起因于热蠕变特性的成形体的变形的效果。

本发明的玻璃板的制造方法中，优选玻璃板为平板显示器用玻璃基板，另外，优选为低温多晶硅用玻璃基板。

本发明的玻璃板的制造装置包括成形体、支撑部件、及绝热部件。成形体是用以使熔融玻璃溢出并分流，在下方合流而连续成形玻璃板的部件。支撑部件与成形体接触。绝热部件不与成形体接触，而与支撑部件接触。成形体介隔支撑部件及绝热部件，而在对成形体的长度方向的两端面施加长度方向的力的状态下设置。绝热部件具有较支撑部件小的热传导率，且，具有50MPa以上的压缩强度。

[发明的效果]

本发明的玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造装置可抑制经由成形体的支撑部件而释放的成形体的热量，且抑制由成形体的热蠕变特性所引起的变形。

附图说明

图1是实施方式的玻璃板制造装置的整体构成图。

图2是表示设置在成形炉内的成形体的图。

图3是成形体的剖视图。

[符号的说明]

52   成形体

54a  左支撑部件(支撑部件)

54b  右支撑部件(支撑部件)

56a  左绝热部件(绝热部件)

56b  右绝热部件(绝热部件)

具体实施方式

(1)玻璃板制造装置的整体构成

一面参照图式，一面对本发明的玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造装置的实施方式进行说明。图1是表示本实施方式的玻璃板制造装置200的构成的一例的模式图。玻璃板制造装置200包括：熔解槽40、澄清槽41、搅拌装置100、成形装置42、及导管43a、43b、43c。导管43a将熔解槽40与澄清槽41连接。导管43b将澄清槽41与搅拌装置100连接。导管43c将搅拌装置100与成形装置42连接。

熔解槽40中产生的熔融玻璃通过导管43a流入至澄清槽41。澄清槽41中澄清的熔融玻璃通过导管43b流入至搅拌装置100。搅拌装置100中搅拌的熔融玻璃通过导管43c流入至成形装置42。成形装置42中，利用溢流下拉法而由熔融玻璃成形玻璃带。玻璃带在之后的步骤中被切断为特定的大小，而制造玻璃板。玻璃板的宽度方向的尺寸例如为500mm～3500mm。玻璃板的长度方向的尺寸例如为500mm～3500mm。

由本发明的玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造装置而制造的玻璃板作为液晶显示器、等离子显示器、有机EL(Electroluminescence，电致发光)显示器等的平板显示器(FPD)用的玻璃基板特别适合。作为FPD用的玻璃基板，可使用无碱玻璃、或含有微量碱的玻璃。FPD用的玻璃基板的高温粘性较高。具体来说，具有10^2.5泊的粘性的熔融玻璃的温度为1500℃以上。高温粘性较高的玻璃必须使成形时的温度变高，因此下述由热蠕变特性所引起的变形更为显著。

熔解槽40中虽未图示，但具备燃烧器等加热机构。熔解槽40中，由加热机构将玻璃原料熔解，而产生熔融玻璃。玻璃原料是以实质上可获得所期望的组成的玻璃的方式而制备。作为玻璃的组成的一例，作为FPD用的玻璃基板而较好的无碱玻璃含有：SiO₂：50质量％～70质量％，A1₂O₃：0质量％～25质量％，B₂O₃：1质量％～15质量％，MgO：0质量％～10质量％，CaO：0质量％～20质量％，SrO：0质量％～20质量％，BaO：0质量％～10质量％。此处，MgO、CaO、SrO及BaO的合计的含量为5质量％～30质量％。

另外，作为FPD用的玻璃基板，也可使用包含微量碱金属的含有微量碱的玻璃。含有微量碱的玻璃中，作为成分，包含0.1质量％～0.5质量％的R′₂O，优选为包含0.2质量％～0.5质量％的R′₂O。此处，R′为选自Li、Na及K中的至少1种。此外，R′₂O的含量的合计也可为未达0.1质量％。

另外，由本发明制造的玻璃除了包含所述成分以外，也可进而含有SnO₂：0.01质量％～1质量％(优选为0.01质量％～0.5质量％)，Fe₂O₃：0质量％～0.2质量％(优选为0.01质量％～0.08质量％)，考虑环境负荷，也可实质上不含有As₂O₃、Sb₂O₃及PbO。

将以所述方式制备的玻璃原料投入至熔解槽40中。熔解槽40中，玻璃原料以对应于它的组成等的温度而熔解。由此，熔解槽40中，例如，获得1500℃～1600℃的高温的熔融玻璃。

熔解槽40中所获得的熔融玻璃从熔解槽40通过导管43a流入至澄清槽41。澄清槽41中虽未图示，但与熔解槽40同样地设置着加热机构。澄清槽41中，通过使熔融玻璃进一步升温而澄清。例如，澄清槽41中，熔融玻璃的温度为1550℃以上，进而上升至1600℃以上。熔融玻璃通过升温而澄清，且熔融玻璃中所包含的微小的泡被去除。

澄清槽41中被澄清的熔融玻璃从澄清槽41通过导管43b流入至搅拌装置100。熔融玻璃通过导管43b时被冷却。搅拌装置100中，以较澄清槽41中的温度更低的温度，来搅拌熔融玻璃。例如，搅拌装置100中，熔融玻璃的温度冷却至1250℃～1450℃为止。此外，搅拌装置100中，熔融玻璃的粘度例如为500泊～1300泊。熔融玻璃在搅拌装置100中被搅拌并均质化。

搅拌装置100中被均质化的熔融玻璃从搅拌装置100通过导管43c流入至成形装置42。熔融玻璃通过导管43c时进一步被冷却，且冷却至适合成形的粘度为止。熔融玻璃被冷却至例如1200℃附近。成形装置42中，由溢流下拉法而成形熔融玻璃。具体来说，流入至成形装置42中的熔融玻璃被供给至设置在成形炉50内的成形体52。成形体52由耐火砖而成形，且具有楔状的截面形状。在成形体52的上表面，沿着成形体52的长度方向而形成着槽。熔融玻璃被供给至成形体52的上表面的槽。从槽溢出的熔融玻璃沿着成形体52的一对侧面向下方流下。沿着成形体52的侧面流下的一对熔融玻璃在成形体52的下端合流，连续地成形玻璃带。玻璃带随着朝向下方而逐渐被冷却，然后，被切断为所期望的大小的玻璃板。

(2)成形体的构成

图2是表示设置在成形炉50内的成形体52的概略图。在图2中，成形体52的长度方向为左右方向。以下，“长度方向”是指成形体52的长度方向。成形体52具有主体52a、供给熔融玻璃的上表面槽52b、及成形体52的长度方向的端面52c。图3是图2的III-III线的成形体52的剖视图。图3中表示着从成形体52的上表面槽52b溢出并流下的一对熔融玻璃在成形体52的下端合流，而成形玻璃带的状况。

如图2所示，成形体52介隔一对支撑部件54a、54b、及一对绝热部件56a、56b，而固定在成形炉50的炉壁50a。以下，将图2中左侧所示的支撑部件称为左支撑部件54a，将图2中右侧所示的支撑部件称为右支撑部件54b。另外，将图2中左侧所示的绝热部件称为左绝热部件56a，将图2中右侧所示的绝热部件称为右绝热部件56b。

左支撑部件54a与成形体52及左绝热部件56a接触。左绝热部件56a与左支撑部件54a接触，但不与成形体52接触。左支撑部件54a在成形体52的端面52c中，与成形体52接触。左支撑部件54a在与成形体52的端面52c接触的面所对向的面中，与左绝热部件56a接触。以上的说明也同样地适用于右支撑部件54b及右绝热部件56b。

成形体52在对长度方向的两侧的端面52c施加长度方向的力的状态下，设置在成形炉50内。即，如图2所示，成形体52中施加着在长度方向压缩成形体52的压缩力F。

右支撑部件54b及右绝热部件56b由右端板58b而固定在长度方向。右绝热部件56b在与右支撑部件54b接触的面所对向的面中，与右端板58b接触。右端板58b连结于位置调节机构60。位置调节机构60可根据成形体52及成形炉50的尺寸的微小的变化，而将右端板58b的位置在长度方向进行微调整。右支撑部件54b、右绝热部件56b及右端板58b由成形炉50的炉壁50a而支撑。右支撑部件54b***至形成在炉壁50a的孔中。

左支撑部件54a及左绝热部件56a由左端板58a支撑在长度方向上。左绝热部件56a在与左支撑部件54a接触的面所对向的面中，与左端板58a接触。左端板58a连结于成形体压缩机构62。左支撑部件54a、左绝热部件56a及左端板58a由成形炉50的炉壁50a而支撑。左支撑部件54a***至形成在炉壁50a的孔中。

成形体压缩机构62沿着长度方向将左端板58a朝向成形体52按压，由此可对成形体52施加压缩力F。本实施方式中，成形体压缩机构62设置在成形炉50的外部，且具有气缸62a与活塞62b。利用气缸62a内部的空气压力，而活塞62b可朝向成形体52在长度方向上移动。成形体压缩机构62可通过使气缸62a内部的空气压力变化，而调节对成形体52所施加的压缩力F。

支撑部件54a、54b是具有较高的耐热性与较高的压缩强度的砖块。绝热部件56a、56b是具有较支撑部件54a、54b低的热传导率，且具有较高的压缩强度及较高的耐热性的部件。具体来说，绝热部件56a、56b具有2W/(m·K)以下的热传导率，且具有50MPa以上的压缩强度，且具有550℃以上的耐热温度。

绝热部件56a、56b的优选例为包含云母的绝热材料。例如，由达马550L(股份有限公司冈部云母工业所制)、达马700L(股份有限公司冈部云母工业所制)、或云母陶瓷TMC-110(日本特殊陶业股份有限公司制)而成形的块从热传导率、耐热性及压缩强度的观点考虑，优选作为绝热部件56a、56b。

(3)特征

(3-1)

本实施方式的玻璃板制造装置200中，由溢流下拉法所形成的玻璃带的成形所使用的成形体52，如图2所示，在对长度方向的两侧的端面52c施加长度方向的压缩力F的状态下，设置在成形炉50的内部。

成形体52设置在成形炉50内的高温的环境下，且在成形体52中，施加着由自重及玻璃带的重量所引起的荷重。因此，成形体52的长度方向的中央部具有因热蠕变特性而容易向下方垂下的倾向。由于成形体52的下端为连续地成形玻璃带的点，因此起因于热蠕变特性的成形体52的变形可能会对所制造的玻璃板的品质带来影响。

另外，成形体52的温度分布对从成形体52的下端连续成形的玻璃板的品质带来较大的影响。具体来说，成形体52的长度方向的温度差使沿着成形体52的表面流下的熔融玻璃的长度方向的温度差产生。熔融玻璃的长度方向的温度差使所成形的玻璃板的长度方向的厚度差产生。即，成形体52的长度方向的温度差对玻璃板的板厚偏差带来影响。另外，成形体52的温度分布也对成形炉50内的环境的温度分布带来影响。成形炉50内的环境的长度方向的温度差也与成形体52的长度方向的温度差同样地，对玻璃板的板厚偏差带来影响。

本实施方式中，通过对成形体52施加长度方向的压缩力F，而抑制起因于热蠕变特性的成形体52的变形。压缩力F为将成形体52在长度方向压缩的力，可抑制成形体52的长度方向的中央部向下方垂下的变形。

另外，成形体52介隔支撑部件54a、54b及绝热部件56a、56b，被支撑在成形炉50的内部。如图2所示，成形体52在长度方向的两侧，由一对支撑部件54a、54b夹着，进而，由一对绝热部件56a、56b夹着。绝热部件56a、56b具有2W/(m·K)以下的较低的热传导率，因此，成形炉50内的环境的热、及成形体50的热不易沿着绝热部件56a、56b而向成形炉50的外部释放。因此，利用绝热部件56a、56b，可防止成形体52及成形炉50内的温度分布的恶化。具体来说，利用绝热部件56a、56b，而成形体52的长度方向的温度差降低，由此，成形炉50内的环境的长度方向的温度差也降低。因此，绝热部件56a、56b具有减少从成形体52的下端成形的玻璃板的长度方向的厚度差的效果。

另外，利用绝热部件56a、56b，可避免因从成形炉50的内部释放的热而设置在成形炉50的外部的成形体压缩机构62破损。具体来说，可避免成形体压缩机构62的气缸62a的衬垫因热而劣化，无法维持密封性能。

另外，绝热部件56a、56b具有50MPa以上的压缩强度，因此，可充分耐受由成形体压缩机构62对成形体50所施加的长度方向的压缩力F。因此，也可使用绝热部件56a、56b，充分抑制起因于热蠕变特性的成形体50的变形。

(3-2)

在FPD用的玻璃基板的表面形成TFT(thin film transistor，薄膜晶体管)等的半导体元件。近年来，为了实现显示器装置的进一步的高精细化，要求代替以往的α-Si·TFT，将低温p-Si(多晶硅)·TFT、及氧化物半导体形成在玻璃基板的表面的技术。

然而，将低温p-Si·TFT、及氧化物半导体形成在玻璃基板的表面的步骤与将α-Si·TFT形成在玻璃基板的表面的步骤相比，需要更高温的热处理。因此，将低温p-Si·TFT、及氧化物半导体形成在表面的玻璃板，要求热收缩率较小的性质。为了使热收缩率减小，优选为提高玻璃的应变点。然而，应变点高的玻璃具有液相温度变高，液相温度下的粘度即液相粘度变低的倾向。另外，为了防止玻璃的失透，必须使成形时的熔融玻璃的温度较α-Si·TFT用玻璃基板的成形时的熔融玻璃的温度更高，因此，必须使成形炉内部的环境更高温。因此，在将低温p-Si·TFT、及氧化物半导体形成在表面的玻璃基板的制造步骤中，起因于成形体的热蠕变特性的变形变得更为显著。

本实施方式的玻璃板制造装置200通过使用具有所述特征的绝热部件56a、56b来支撑成形体52，而特别适合于采用低温p-Si·TFT的平板显示器、及采用氧化物半导体的平板显示器用的玻璃基板的制造。具体来说，特别适合于采用低温p-Si·TFT的液晶显示器、及采用氧化物半导体的液晶显示器用的玻璃基板的制造。

将低温p-Si·TFT、及氧化物半导体形成在表面的玻璃板例如具有655℃以上的应变点，或，具有45000泊以上的液相粘度。另外，该玻璃板的组成优选为SiO₂：52质量％～78质量％，Al₂O₃：3质量％～25质量％，B₂O₃：1质量％～15质量％，RO：3质量％～20质量％。此处，R为玻璃板中含有的选自Mg、Ca、Sr及Ba中的至少1种的成分。该玻璃板优选为以(SiO₂+Al₂O₃)/B₂O₃所表示的质量比为7～20的无碱玻璃或含有微量碱的玻璃。

将低温p-Si·TFT、及氧化物半导体形成在表面的玻璃板为了具有较高的应变点，而以(SiO₂+Al₂O₃)/RO所表示的质量比为5以上，优选为6以上，进而优选为7.5以上。另外，该玻璃板如果β-OH值过小，那么高温区域中的粘性变高而熔解性降低，另外，也需要特殊的环境控制而成本变高。另一方面，该玻璃板如果β-OH值过大，那么应变点变低。因此，该玻璃板优选为具有0.05/mm～0.3/mm的β-OH值。另外，该玻璃板为了具有较高的应变点且防止液相粘度的降低，而以CaO/RO表示的质量比为0.3以上，优选为0.5以上，更优选为0.65以上。另外，考虑环境负荷，该玻璃板优选为实质上不含有As₂O₃、Sb₂O₃及PbO。

Claims (9)

1.一种玻璃板的制造方法，其使熔融玻璃从成形体的上端面溢出并分流，在所述成形体的下端合流而连续成形玻璃板，

所述成形体介隔与所述成形体接触的支撑部件、及不与所述成形体接触而与所述支撑部件接触的绝热部件，在对所述成形体的长度方向的两端面施加所述长度方向的力的状态下设置，

所述绝热部件具有较所述支撑部件小的热传导率，且具有可充分耐受对所述成形体所施加的所述长度方向的压缩力的压缩强度。

2.根据权利要求1所述的玻璃板的制造方法，其中

所述绝热部件具有2W/(m·K)以下的热传导率。

3.根据权利要求1所述的玻璃板的制造方法，其中

所述绝热部件具有550℃以上的耐热温度。

4.根据权利要求2所述的玻璃板的制造方法，其中

所述绝热部件具有550℃以上的耐热温度。

5.一种玻璃板的制造方法，其使熔融玻璃从成形体的上端面溢出并分流，在所述成形体的下端合流而连续成形玻璃板，

所述成形体介隔与所述成形体接触的支撑部件、及不与所述成形体接触而与所述支撑部件接触的绝热部件，在对所述成形体的长度方向的两端面施加所述长度方向的力的状态下设置，

所述绝热部件包含云母。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中

所述玻璃板为平板显示器用玻璃基板。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中

所述玻璃板为低温多晶硅用玻璃基板。

8.根据权利要求6所述的玻璃板的制造方法，其中

所述玻璃板为低温多晶硅用玻璃基板。

9.一种玻璃板的制造装置，其包括：

成形体，用以使熔融玻璃溢出并分流，在下方合流而连续成形玻璃板；

支撑部件，与所述成形体接触；及

绝热部件，不与所述成形体接触而与所述支撑部件接触；

所述成形体介隔所述支撑部件及所述绝热部件，而在对所述成形体的长度方向的两端面施加所述长度方向的力的状态下设置，

所述绝热部件具有较所述支撑部件小的热传导率，且具有可充分耐受对所述成形体所施加的所述长度方向的压缩力的压缩强度。

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