CN103335610B - 大口径凸高次非球面的检测*** - Google Patents
大口径凸高次非球面的检测*** Download PDFInfo
- Publication number
- CN103335610B CN103335610B CN201310303322.9A CN201310303322A CN103335610B CN 103335610 B CN103335610 B CN 103335610B CN 201310303322 A CN201310303322 A CN 201310303322A CN 103335610 B CN103335610 B CN 103335610B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- aspheric surface
- high order
- order aspheric
- convex
- convex high
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 42
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 33
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 30
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 28
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02034—Interferometers characterised by particularly shaped beams or wavefronts
- G01B9/02038—Shaping the wavefront, e.g. generating a spherical wavefront
- G01B9/02039—Shaping the wavefront, e.g. generating a spherical wavefront by matching the wavefront with a particular object surface shape
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/2441—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02083—Interferometers characterised by particular signal processing and presentation
- G01B9/02085—Combining two or more images of different regions
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/005—Testing of reflective surfaces, e.g. mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Holo Graphy (AREA)
Abstract
本发明是大口径凸高次非球面的检测***，包括相移干涉仪、辅助球面反射镜、计算全息片及计算机，计算机与相移干涉仪连接，计算全息片和凸高次非球面构成的光学***的前焦点与相移干涉仪发出的光波焦点重合，后焦点与辅助球面反射镜的球心重合，相移干涉仪发出光波经过计算全息片后，由凸高次非球面镜反射后成为标准球面波并经过辅助球面反射镜反射后，标准球面波原路返回至相移干涉仪中，实现对所述凸高次非球面对应区域的子孔径零检测，相移干涉仪获得所述凸高次非球面上有相互重叠区域的子区域，计算机中的数据处理单元对子区域数据进行处理，得到所述凸高次非球面的全口径面形分布信息；本发明还提供一种凸球面镜或凸非球面镜的检测装置。
Description
技术领域
本发明属于先进光学制造与检测领域，涉及光学检测方法，特别涉及大口径凸高次非球面检测方法。
技术背景
与传统光学球面相比，非球面在矫正像差方面有很大的优势，往往一块非球面镜可以替代多块球面镜的作用，大大减小了整个光学***单元的数量和重量，例如美国在本世纪初提出的“国家点火装置”NIF(NationalIgnitionFacility)中，大口径非球面具有较大的应用比例；空间光学、天文等学科的发展，越来越依赖于大口径光学设备，而大口径非球面元件已经成为起支撑作用的关键部件。随着科学技术及现代光学***的发展其所需的凸高次非球面镜口径越来越大。大口径凸高次非球面镜的制造需要相应的检测技术，然而，对大口径及超大口径凸高次非球面进行高精度定量检测仍然存在着巨大的挑战。
在大口径凸高次非球面的粗抛光阶段，由于面形精度不高，采用现有的三坐标测量机及其它检测***可以进行检测，在精抛光加工阶段，常用的检测方法有入射补偿器法和扫描法等。入射补偿器法属于非球面的法线像差补偿检验，它通过设计一组有球差补偿器组，使其产生的球差与非球面的法线像差正好大小相等，符号相反。所需的补偿器组的口径略大于凸高次非球面，这对补偿器组材料的均匀性提出了较高的要求，且大口径补偿器组在实际制造中存在较大困难，口径大于1m时更是难于实现。扫描法类似于三坐标检测，在测试过程中，测试光束对整个测试面进行扫描，得到表面倾斜角的连续变化，最后计算出个测试点的高度变化值，得到被测镜面的面形信息。
目前国内外主要采用的补偿器检测方法包括：背部球面工艺法、反射补偿器法、非球面样板法和计算全息法。随着被测大口径凸高次非球面口径增大，背部球面工艺法对材料均匀性的苛刻要求难以实现，反射补偿器法需要制造大口径的高精度非球面反射镜，非球面样板法需要制造与被测凸高次非球面口径相当的高精度非球面透镜，计算全息板法需要大型的激光直写设备刻划全息板；并且补偿器检测法中对补偿器装调精度也提出了跟高的要求，使得这些检测技术在检测大口径凸高次非球面时存在一定困难，其应用受到了一定的限制。
法国Reosc采用非球面样板法检测大口径凸高次非球面镜。非球面样板法通过制造一块口径略大于被测凸高次非球面镜口径的非球面样板实现零检验，该方法中由于测试光要透射过非球面样板，所以对样板的材料均匀性要求很高，同时制造和标定这样的非球面样板也存在相当大的挑战。由于德国Schott可以给法国提供大尺寸高均匀性的光学材料，同时法国的Reosc具有高精度加工设备和很强的非球面透镜加工能力，这是法国能够成功使用该检测方法的重要条件。但是对于口径超过1米的凸高次非球面使用此方法检测难度会急剧增加。
美国SOML实验室采用全息样板法检测大口径凸高次非球面镜，检测中使用的计算全息板口径略大于被测次镜，计算全息板靠近被测次镜从而实现零检验。该检测方法中的计算全息板的制作要通过专用的大型激光直写设备把计算全息图刻划在球面上以产生与被测高次非球面面形一致的检测波前，同时需要一块大口径非球面主镜与球面次镜组成照明***。制造如此大的计算全息难度系数很高。
美国SOML实验室考虑到大口径计算全息版和非对称全息版制造的困难，提出将子孔径拼接方法引入到凸非球面的检测中，在抗震菲索型干涉仪的基础上扩展一个带有非球面样板的辅助光学***组成口径1米级的抗振菲索型干涉仪，一次检测次镜面形的局部区域，最后通过拼接处理得到次镜全口径面形信息。该方法同样要制造大口径非球面透镜作为补偿器件，并且一个补偿器基本只能检测一种类型的非球面，检测成本高。
张孟伟，陈洪斌等人(大口径高次非球面高精度面形检测方法探讨，光电工程，26(增刊)，1-6，1999)提出使用细光束干涉测试方法检测大口径凸高次非球面，测试***中，光学头固定在测试***基座上，采用五棱镜沿导轨运动来完成对待测表面的扫描。光学头出射两路细光束对-测试光束对和校正光束对。测试光束对经反射镜和扫描五棱镜，沿被测表面扫描测试：校正光束通过导轨前端的固定五棱镜，垂直投向与待测表面同一转台上安置的基准反射镜。测试时，扫描五棱镜在待测表面中心与外圆之间来回移动，进行一系列的扫描，移动距离扫描导轨上的长光栅传感器给出，计算机控制***根据事先给定的采样间距对应读取CCD传感器上条纹位置，完成一条扫描线的扫描后，计算机控制测试转台旋转一个给定角度，扫描五棱镜继续扫描，进行下一扫描线的测试，直至整个镜面测试完毕。根据测试数据，获得整个待测表面的三维轮廓图；测试数据与待测表面的理论计算数据进行对比分析计算，可以给出待测表面的误差结果。该测试***中，误差源比较多测试精度不高。
发明内容
本发明要解决的技术问题：克服现有检测技术的不足，提出一种基于计算全息和辅助球面反射镜的大口径凸高次非球面检测***，该检测***利用容易加工实现的标准球面反射镜和小口径计算全息片，可以有效解决其它检测***中的辅助元件制造困难、成本高、材料均匀性高等问题，本发明结构相对简单，检测成本低。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案：大口径凸高次非球面的检测***，包括相移干涉仪、辅助球面反射镜、计算全息片及计算机，被测光学元件是大口径凸高次非球面的光学元件，计算机与相移干涉仪连接，计算全息片和被测大口径凸高次非球面构成的光学***的前焦点与相移干涉仪发出的光波焦点重合，后焦点与辅助球面反射镜的球心重合，相移干涉仪发出的光波经过计算全息片后，由被测大口径凸高次非球面反射后成为标准球面波，标准球面波经过辅助球面反射镜反射后，标准球面波原路返回至相移干涉仪中，实现对被测大口径凸高次非球面对应区域的子孔径零检测，通过调整被测大口径凸高次非球面和辅助球面反射镜，使相移干涉仪获得被测大口径凸高次非球面上有相互重叠区域的子区域，最后计算机中的数据处理单元对所得到的子区域数据进行处理，得到被测大口径凸高次非球面的全口径面形分布信息。
本发明与现有技术相比的优点在于：
(1)本发明的***中使用通常光学加工容易制造的辅助球面反射镜及小口径计算全息片，计算全息片用于产生测试光波、产生对准标志，用于降低***中光学器件位置调整的复杂度，从而降低检测成本；
(2)本发明采用反射光路布局，无需制造口径巨大的透射补偿器，避免了对光学材料均匀性的苛刻要求；
(3)本发明方法中计算全息采用组合全息的方法，不仅可以产生测试光波，而且可以产生对准标志，降低了***中光学器件位置调整的复杂度；
(4)本发明结构简单，易于操作，主要用于大口径凸高次非球面的制造过程和最终误差面形检测；
(5)用相移干涉仪检测得的相邻两个子孔径间存在的重叠区域，用以实现稳定的数据拼接处理。
(6)本发明方法不仅适用于凸高次非球面，同样适用于凸球面及凸非球面；
(7)本发明较好的平衡了检测***性能和检测成本。
附图说明
图1为***构成示意图；
图2为检测***光路图；
图3为一次检测时子孔径数据的采样分布示意图；
图4为覆盖被测大口径凸高次非球面全口径通光区域的子孔径数据采样分布示意图；
图5为测试***所涉及到的数据处理流程图。
图中标记符号说明：
1为相移干涉仪，2为辅助球面反射镜，3为计算全息片，
4为被测凸高次非球面，5为计算机。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明进一步详细说明。
图1所示，本实施例的一种大口径径凸高次非球面检测方法包括相移干涉仪1、辅助球面反射镜2、计算全息片3及计算机***5，被测光学元件是大口径凸高次非球面4的光学元件，计算机5与相移干涉仪1连接，计算全息片3和被测大口径凸高次非球面4构成的光学***的前焦点与相移干涉仪1发出的光波焦点重合，后焦点与辅助球面反射镜2的球心重合，相移干涉仪1发出的光波经过计算全息片3后，由被测大口径凸高次非球面4反射后成为标准球面波，标准球面波经过辅助球面反射镜2反射后，标准球面波原路返回至相移干涉仪1中，实现对被测大口径凸高次非球面4对应区域的子孔径零检测，通过调整被测大口径凸高次非球面4和辅助球面反射镜2，使相移干涉仪1获得被测大口径凸高次非球面4上有相互重叠区域的子区域，最后计算机5中的数据处理单元对所得到的子区域数据进行处理，得到被测大口径凸高次非球面4的全口径面形分布信息。
其中，利用相移干涉仪1检测得到的被测大口径凸高次非球面4的相邻两个子孔径间存在的重叠区域，用以实现数据拼接处理。
其中，计算全息片3用于产生测试光波、产生对准标志，用于降低***中光学器件位置调整的复杂度。
其中，根据被测大口径凸高次非球面4的口径及辅助球面镜反射镜2的参数基本对应关系，把大口径凸高次非球面4分成一个环带或两个以上的环带进行检测。
其中，所述基本对应关系为R和D分别是辅助球面反射镜的曲率半径和口径，f和d分别是被测大口径凸高次非球面的后焦距和被测口径。
其中，设定经过辅助球面反射镜反射的光波能够完全覆盖住被测大口径凸高次非球面镜，被测大口径凸高次非球面镜能一次性进行全口径面形信息检测。
其中，被测凸高次非球面将光波反射变成标准平面波后，辅助球面反射镜变成辅助平面镜。
本发明***的工作过程及检测步骤如下：
第一步：如图1所示，辅助球面反射镜2在光轴的一侧，计算全息片3在靠近相移干涉仪1焦点的光轴上，图2为该状态下的光路图，辅助球面反射镜2满足其子孔径区域可以覆盖住凸高次非球面中心遮拦到外部边缘的子孔径检测。根据计算全息片3中对准全息确定辅助球面反射镜2和计算全息片3与被测大口凸高次非球面4的相对位置关系，使得辅助球面反射镜2对应的检测区域在干涉仪上形成可被解析的干涉条纹，图3为对应的子孔径数据采集分布示意图。
第二步：保存由相移干涉仪1获得的子孔径数据，绕光轴旋转被测大口凸高次非球面4，调节其与辅助球面反射镜2的相对位置关系，保证相邻子孔径间存在足够的重叠区域，当测得的子孔径区域覆盖住整个被测大口径凸高次非球面镜4时停止。图4为子孔径检测数据在被测大口径凸高次非球面4的上的采样分布示意图。
第三步：子孔径数据拼接处理，测量***所涉及到的数据处理流程如图5所示：各个子孔径测量时由于调整误差的影响，使得测量数据中主要包含调整误差信息和面形误差信息，数据拼接处理的核心就是把面形误差信息从子孔径测量信息中分离出来，具体的步骤如下：
步骤S1：首先计算机5读入所有的子孔径检测数据；
步骤S2：根据调整机构移动位置或者镜面标记点，判读所有的重叠区域数据，提取重叠区域数据；
步骤S3：将重叠区域的数据进行均化误差处理，得到线性方程组；
步骤S4：对线性方程组进行计算，得到具有全局优化的拼接参数；
步骤S5：根据全局优化的拼接参数对所有子孔径检测数据进行校正，使其具有相同的参考标准；对拼接好的全口径数据进行Zernike多项式拟合，得到全口数据的低频面形信息；
步骤S6：对拼接好的全口径数据去除波前调整误差的影响，计算面形误差评价参数：波谷值(PV)和均方根值(RMS)，得到去除调整误差的全口径面形信息；
步骤S7：根据拼接好的全口径信息绘制出被测大口径凸高次非球面4的面形信息图及三维图；即可获得反映被测大口径凸高次非球面4的面形误差的全孔径波前信息。
本发明中：如果辅助球面反射镜2足够大，被测大口径凸高次非球面4可以一次性进行全口径面形信息检测，不必进行拼接处理；如果从相移干涉仪1发出的光波经过被测大口径凸高次非球面4反射后，成为标准平面波，辅助球面反射镜2可以变为辅助平面镜。
本发明中可以利用大口径凸高次非球面检测***的凸球面镜或凸非球面镜检测装置，如果被测大口径凸高次非球面4换成为凸球面镜及凸非球面镜，只要计算全息片3和凸球面镜或凸非球面镜构成的光学***满足把相移干涉仪1发出的光波在凸球面镜或凸非球面镜上面反射后变成标准平面波或者标准球面波，此检测方法都可以对凸球面镜或凸非球面镜进行检测。
以上所述，仅为本发明中的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉该技术的人在本发明所揭露的技术范围内，可理解想到的变换或替换，都应涵盖在本发明的包含范围之内。
Claims (8)
1.一种大口径凸高次非球面光学元件的检测***，其特征在于：包括相移干涉仪、辅助球面反射镜、计算全息片及计算机，被测光学元件是大口径凸高次非球面的光学元件，计算机与相移干涉仪连接，计算全息片和被测大口径凸高次非球面构成的光学***的前焦点与相移干涉仪发出的光波焦点重合，后焦点与辅助球面反射镜的球心重合，相移干涉仪发出的光波经过计算全息片后，由被测大口径凸高次非球面反射后成为标准球面波，标准球面波经过辅助球面反射镜反射后，标准球面波原路返回至干涉仪中，实现对被测大口径凸高次非球面对应区域的子孔径零检测，通过调整被测大口径凸高次非球面和辅助球面反射镜，使相移干涉仪获得被测大口径凸高次非球面上有相互重叠区域的子区域，最后计算机中的数据处理单元对所得到的子区域数据进行处理，得到被测大口径凸高次非球面的全口径面形分布信息。
2.如权利要求1所述的大口径凸高次非球面光学元件的检测***，其特征在于：利用相移干涉仪检测得到被测大口径凸高次非球面的相邻两个子孔径间存在的重叠区域，用以实现数据拼接处理。
3.如权利要求1所述的大口径凸高次非球面光学元件的检测***，其特征在于：计算全息片用于产生测试光波、产生对准标志。
4.如权利要求1所述的大口径凸高次非球面光学元件的检测***，其特征在于：根据被测大口径凸高次非球面的口径及辅助球面镜反射镜的参数基本对应关系，把大口径凸高次非球面分成一个环带或两个以上的环带进行检测。
5.如权利要求4所述的大口径凸高次非球面光学元件的检测***，其特征在于：所述基本对应关系是R和D分别是辅助球面反射镜的曲率半径和口径，f和d分别是被测大口径凸高次非球面的后焦距和被测口径。
6.如权利要求1所述的大口径凸高次非球面光学元件的检测***，其特征在于：设定经过辅助球面反射镜反射的光波能够完全覆盖住被测大口径凸高次非球面镜，被测大口径凸高次非球面镜能一次性进行全口径面形信息检测。
7.如权利要求1所述的大口径凸高次非球面光学元件的检测***，其特征在于：被测凸高次非球面将光波反射变成标准平面波后，辅助球面反射镜变成辅助平面镜。
8.一种使用权利要求1所述的大口径凸高次非球面光学元件的检测***的凸球面镜或凸非球面镜的检测装置，其特征在于：包括相移干涉仪、辅助球面反射镜、计算全息片及计算机，当被测光学元件为凸球面镜或凸非球面镜时，使计算全息片和凸球面镜或凸非球面镜构成的光学***满足把相移干涉仪发出的光波在凸球面镜或凸非球面镜上面反射后变成标准平面波或者标准球面波，用于实现所对凸球面镜或凸非球面镜进行检测。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310303322.9A CN103335610B (zh) | 2013-07-18 | 2013-07-18 | 大口径凸高次非球面的检测*** |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310303322.9A CN103335610B (zh) | 2013-07-18 | 2013-07-18 | 大口径凸高次非球面的检测*** |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103335610A CN103335610A (zh) | 2013-10-02 |
| CN103335610B true CN103335610B (zh) | 2016-04-27 |
Family
ID=49243818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201310303322.9A Expired - Fee Related CN103335610B (zh) | 2013-07-18 | 2013-07-18 | 大口径凸高次非球面的检测*** |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103335610B (zh) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103499330B (zh) * | 2013-10-10 | 2015-07-08 | 北京空间机电研究所 | 一种大口径凹非球面反射镜顶点法线光学引出方法 |
| CN106247973B (zh) * | 2015-12-29 | 2019-01-15 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种凸非球面镜面形检测***及检测方法 |
| CN106289096B (zh) * | 2015-12-29 | 2019-08-23 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种凸球面镜面形检测***及检测方法 |
| CN108007380B (zh) * | 2017-11-23 | 2019-06-04 | 北京理工大学 | 一种球面面形误差和曲率半径误差在线检测装置和方法 |
| CN108267094B (zh) * | 2018-01-12 | 2020-04-14 | 暨南大学 | 一种基于旋转cgh的非圆柱面干涉拼接测量***及方法 |
| CN108332683B (zh) * | 2018-02-09 | 2020-09-18 | 苏州大学 | 一种用于三维面形测量的干涉式光学探头 |
| CN108344381B (zh) * | 2018-02-09 | 2020-06-16 | 苏州大学 | 一种非接触式三维面形测量方法 |
| CN108344383B (zh) * | 2018-02-09 | 2020-09-18 | 苏州大学 | 一种非接触式坐标测量机 |
| CN109253864B (zh) * | 2018-10-10 | 2024-03-22 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种用于检验超大口径凸双曲面反射镜的光学*** |
| CN109490313B (zh) * | 2018-11-09 | 2022-08-23 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种大口径曲面光学元件表面缺陷自动检测装置及方法 |
| CN110986824B (zh) * | 2019-12-19 | 2021-06-11 | 华中科技大学 | 一种大口径凸自由曲面反射镜镜面面形检测***和方法 |
| CN111396761A (zh) * | 2020-04-25 | 2020-07-10 | 复旦大学 | 基于照明原理的非球面双透镜led头灯 |
| CN113175897B (zh) * | 2021-05-08 | 2023-03-14 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 离轴高次类椭球面反射镜的组合补偿面形检测***及方法 |
| CN113917669B (zh) * | 2021-09-08 | 2022-12-09 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 离轴反射式望远***及其装调检测装置、装调检测方法 |
| DE102022206650A1 (de) * | 2022-06-30 | 2024-01-04 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren sowie Messanordnung zur interferometrischen Bestimmung der Oberflächenform eines Prüflings |
| CN116577931B (zh) * | 2023-07-14 | 2023-09-22 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 基于仪器传递函数的光学元件拼接检测方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5737079A (en) * | 1994-11-07 | 1998-04-07 | Rayleigh Optical Corporation | System and method for interferometric measurement of aspheric surfaces utilizing test plate provided with computer-generated hologram |
| CN101261183A (zh) * | 2008-04-15 | 2008-09-10 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种大口径非球面镜检测*** |
| CN101419062A (zh) * | 2008-12-04 | 2009-04-29 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种大口径双曲面次镜检测*** |
| CN102374851A (zh) * | 2011-09-22 | 2012-03-14 | 西安工业大学 | 实时部分零位补偿光学非球面面型检测方法 |
| CN102778210A (zh) * | 2012-07-13 | 2012-11-14 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于计算全息的非球面绝对检测方法 |
-
2013
- 2013-07-18 CN CN201310303322.9A patent/CN103335610B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5737079A (en) * | 1994-11-07 | 1998-04-07 | Rayleigh Optical Corporation | System and method for interferometric measurement of aspheric surfaces utilizing test plate provided with computer-generated hologram |
| CN101261183A (zh) * | 2008-04-15 | 2008-09-10 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种大口径非球面镜检测*** |
| CN101419062A (zh) * | 2008-12-04 | 2009-04-29 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种大口径双曲面次镜检测*** |
| CN102374851A (zh) * | 2011-09-22 | 2012-03-14 | 西安工业大学 | 实时部分零位补偿光学非球面面型检测方法 |
| CN102778210A (zh) * | 2012-07-13 | 2012-11-14 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于计算全息的非球面绝对检测方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Manufacturing of secondary mirrors from sitall CO-115M for European projects TTL ,NOA and VST.;Semenov A P et al.;《Proc of SPIE》;20011231;第4451卷;138-144 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103335610A (zh) | 2013-10-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103335610B (zh) | 大口径凸高次非球面的检测*** | |
| CN101858735B (zh) | 一种大口径离轴非球面测量和标定*** | |
| CN101709955B (zh) | 子孔径拼接干涉检测光学非球面面形的装置 | |
| CN102997863B (zh) | 一种全口径光学非球面面形误差直接检测*** | |
| CN101858736B (zh) | 多焦全息差动共焦超大曲率半径测量方法与装置 | |
| CN102147240A (zh) | 差动共焦干涉元件多参数测量方法与装置 | |
| CN102252824B (zh) | 基于泰伯效应的复合差分式长焦距测量装置 | |
| CN102788683B (zh) | 一种基于牛顿法和泰伯效应的微透镜阵列焦距的检测方法 | |
| CN102607820B (zh) | 一种微透镜阵列焦距测量方法 | |
| CN102175426A (zh) | 共焦干涉定焦及曲率半径测量方法 | |
| CN106441816B (zh) | 计算全息法测量长焦距透镜透射波前的检测装置及检测方法 | |
| CN104006759A (zh) | 大口径大偏离量非球面反射镜抛光过程中复合检测方法 | |
| CN106595529B (zh) | 基于虚拟牛顿环的大曲率半径非零位干涉测量方法及装置 | |
| CN103983214A (zh) | 一种利用无衍射光测量导轨四自由度运动误差的装置 | |
| CN103557791B (zh) | 一种大口径非球面主镜二次常数测量装置与方法 | |
| CN102620681A (zh) | 一种超大口径凸双曲面镜分环带检测***及其检测方法 | |
| CN105318847A (zh) | 基于***建模的非球面非零位环形子孔径拼接方法 | |
| CN108895972A (zh) | 一种基于计算全息的光学元件顶点半径测量的方法和装置 | |
| CN103322933A (zh) | 非接触式光学镜面间隔测量装置 | |
| CN105444693A (zh) | 一种浅度非球面的面形误差测量方法 | |
| CN103528539A (zh) | 基于点源阵列的非零位干涉*** | |
| CN102519397A (zh) | 一种光学球面曲率半径的测量方法 | |
| CN103542813A (zh) | 一种基于边界微分和环境光自校准的激光测径仪 | |
| CN103673926A (zh) | 反射腔式共焦超大曲率半径测量方法 | |
| CN102175189A (zh) | 双光束干涉透镜中心误差测量*** |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20160427 |