CN103230899A - 一种用于冲扫激光传输光学***中微小颗粒的进气节流板装置 - Google Patents

一种用于冲扫激光传输光学***中微小颗粒的进气节流板装置 Download PDF

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Abstract

一种用于冲扫激光传输光学***中微小颗粒的进气节流板装置,它涉及一种用于冲扫激光传输光学组件中颗粒物的进气节流板装置。本发明为了解决现有的激光传输光学组件中微小颗粒污染和有机物污染对激光的传输质量以及对光学元件损伤问题。冲扫进气口法兰连接在进气板的中心位置上,冲扫进气节流板连接在进气板上,冲扫进气口法兰和冲扫进气节流板分列在进气板的两侧,冲扫进气节流板与进气板之间形成冲扫进气室,冲扫进气节流板上开有多个节流孔,节流孔与进气室连通,冲扫进气口法兰的进气口与进气室连通,冲扫进气节流板的厚度为5mm。本发明用于防止冲扫气体形成紊流,保持激光传输光学组件内部的空气洁净度。

Description

一种用于冲扫激光传输光学***中微小颗粒的进气节流板装置
技术领域
本发明涉及一种用于冲扫激光传输光学组件中颗粒物的进气节流板装置,具体涉及一种用于冲扫激光传输光学***中微小颗粒的进气节流板装置。 
背景技术
在激光传输光学组件的内部安装有许多具有不同功能的各种口径的光学元件,在激光通过的过程中,无论是小口径的光学元件还是大口径的光学元件,在这些光学元件的表面上的微小颗粒污染和有机物污染对激光的传输都会产生巨大的影响。仅仅通过提高光学组件内光学元件以及这些光学元件附近的其他机械部件表面的洁净度要求来减少组件内部的污染,不能从根本上解决组件内部洁净度的问题。目前还没有合适的方法和装置来实现保持激光传输光学组件内部的空气洁净度。综上所述,亟需研制一种技术及时置换出光学组件内部的微小颗粒,进而保持光学组件内部的空气洁净度。 
发明内容
本发明的目的是为了解决激光传输光学组件中微小颗粒污染和有机物污染对激光的传输质量以及对光学元件损伤问题,进而提供一种用于冲扫激光传输光学***中微小颗粒的进气节流板装置。 
本发明的技术方案是:一种用于冲扫激光传输光学***中微小颗粒的进气节流板装置包括冲扫进气口法兰、进气板和冲扫进气节流板,所述冲扫进气口法兰连接在进气板的中心位置上,冲扫进气节流板连接在进气板上,冲扫进气口法兰和冲扫进气节流板分列在进气板的两侧,冲扫进气节流板与进气板之间形成冲扫进气室,冲扫进气节流板上开有多个节流孔,节流孔与进气室连通,冲扫进气口法兰的进气口与进气室连通,冲扫进气节流板的厚度为5mm。 
优选方案:冲扫进气节流板上的多个节流孔的排布形式为矩形阵列,在冲扫进气节流板的长度方向上设置22列,在冲扫进气节流板的宽度方向上设置5行,相邻的两个节流孔之间的距离为20mm。 
优选方案:节流孔为漏斗形,漏斗形节流孔的节流小孔直径为0.5mm,漏斗形节流孔的漏斗状开口角为90°,大孔直径为9mm。 
本发明与现有技术相比具有以下效果:本发明提出一种用于冲扫激光传输光学***中微小颗粒的进气节流板装置气体冲扫过程中,洁净气体按照特定进气量由冲扫进气口法兰进入,经过进气板、冲扫进气节流板进入冲扫进气室,对光学组件内部光学元件进行洁净冲扫,消除了激光传输光学组件中微小颗粒污染和有机物污染对激光的传输质量以及对光学元件损伤。 
附图说明
图1是本发明的用于冲扫激光传输光学组件中微小颗粒的进气节流板装置的总体结构主视图; 
图2是图1的俯视图; 
图3是图1的后视图; 
图4是图3的A-A剖视图; 
图5是冲扫进气节流板3的整体结构主视图; 
图6是图5的左视图; 
图7是节流孔3-1局部放大图。 
具体实施方式
具体实施方式一:结合图1至6说明本实施方式,本实施方式的一种用于冲扫激光传输光学***中微小颗粒的进气节流板装置包括冲扫进气口法兰1、进气板2和冲扫进气节流板3,所述冲扫进气口法兰1连接在进气板2的中心位置上,冲扫进气节流板3连接在进气板2上,冲扫进气口法兰1和冲扫进气节流板3分列在进气板2的两侧,冲扫进气节流板3与进气板2之间形成冲扫进气室4,冲扫进气节流板3上开有多个节流孔3-1,节流孔3-1与进气室4连通,冲扫进气口法兰1的进气口与进气室4连通,冲扫进气节流板3的厚度为5mm。 
具体实施方式二:结合图5说明本实施方式,本实施方式的冲扫进气节流板3上的多个节流孔3-1的排布形式为矩形阵列,在冲扫进气节流板3的长度方向上设置22列,在冲扫进气节流板3的宽度方向上设置5行,相邻的两个节流孔3-1之间的距离为20mm。如此设置。洁净气体经过冲扫进气节流板时,由于节流孔具有特定形状以及排布方式,气体得到有效整流,有效避免了紊流,使污染物随冲扫气体尽快排出光学组件内部,实现最优化的冲扫效果。其它组成和连接关系与具体实施方式一相同。 
具体实施方式三:结合图7说明本实施方式,本实施方式的节流孔3-1为漏斗形,漏斗形节流孔的节流小孔直径Φ2为0.5mm,漏斗形节流孔的漏斗状开口角为90°,大孔直径Φ1为9mm。如此设置,如此设置。洁净气体经过冲扫进气节流板时,由于节流孔具有特定形状以及排布方式,气体得到有效整流,有效避免了紊流,使污染物随冲扫气体尽快排出光学组件内部,实现最优化的冲扫效果。其它组成和连接关系与具体实施方式二相同 。

Claims (3)

1.一种用于冲扫激光传输光学***中微小颗粒的进气节流板装置,其特征在于:用于冲扫激光传输光学组件中微小颗粒的进气节流板装置包括冲扫进气口法兰(1)、进气板(2)和冲扫进气节流板(3),所述冲扫进气口法兰(1)连接在进气板(2)的中心位置上,冲扫进气节流板(3)连接在进气板(2)上,冲扫进气口法兰(1)和冲扫进气节流板(3)分列在进气板(2)的两侧,冲扫进气节流板(3)与进气板(2)之间形成冲扫进气室(4),冲扫进气节流板(3)上开有多个节流孔(3-1),节流孔(3-1)与进气室(4)连通,冲扫进气口法兰(1)的进气口与进气室(4)连通,冲扫进气节流板(3)的厚度为5mm。
2.根据权利要求1所述的一种用于冲扫激光传输光学***中微小颗粒的进气节流板装置,其特征在于:冲扫进气节流板(3)上的多个节流孔(3-1)的排布形式为矩形阵列,在冲扫进气节流板(3)的长度方向上设置22列,在冲扫进气节流板(3)的宽度方向上设置5行,相邻的两个节流孔(3-1)之间的距离为20mm。
3.根据权利要求2所述的一种用于冲扫激光传输光学***中微小颗粒的进气节流板装置,其特征在于:节流孔(3-1)为漏斗形,漏斗形节流孔的节流小孔直径Φ2为0.5mm,漏斗形节流孔的漏斗状开口角为90°,大孔直径Φ1为9mm。
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