CN103046073A - 一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料及制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料及制备方法,它是利用电镀、电刷镀或化学镀和溅射镀技术,在铁基材料表面首先涂覆一定厚度的纯铜作为过渡层,再利用溅射镀技术沉积氮化物,以形成一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料。本发明采用铁基材料作为电极材料,具有加工性能好、导电性好、强度高、成本低。在其上面镀一层铜增加导电性,并作为过渡层增加表面氮化物层的膜基结合强度,表面的氮化物层具有耐腐蚀、耐磨、强度硬度高、电阻率较小的优点,能大幅度提高电极的比能量与比功率,接触电阻保持恒定,电能消耗稳定并且较小。

Description

一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料及制备方法
技术领域
本发明一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料,属于表面工程技术领域。
背景技术
在工业生产中,电极材料作为一种电解用的正极材料,其基本要求是:具有良好的导电性、耐电化学腐蚀、一定的机械强度和便于加工制造的性能。最初的电极材料采用石墨,但是因为其强度低、生产成本高、容易损耗、易脱落、工作寿命短等缺点现在正在被逐步淘汰;金属材料基的电极材料(比如碳钢),虽然有良好强度、塑性、可加工性、成本较低,但是在使用中不耐腐蚀,且电能消耗大,寿命较短;现在常用的是不锈钢和金属钛作为电极材料,虽然有耐腐蚀、强度高等优点,但是阳极产生氧气,容易在表面存在一层致密的氧化膜(如:TiO2膜或者Cr2O3膜),这类氧化膜的导电性极差,随着时间的延长,膜厚度不断增加,导电性能恶化,耗电量急剧增大。
发明内容
本发明的目的是为克服现有技术的不足,而提供一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料及制备方法。这种材料表面涂层具有电导率大、耐磨损和腐蚀性好、膜基结合力强的特点。
实现本发明目的的技术方案是:
一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料,利用电镀(或者电刷镀、化学镀)和溅射镀技术,在铁基材料表面首先涂覆一定厚度的纯铜作为过渡层,再利用溅射镀技术沉积氮化物(或者氮化钛、氮化铬、氮化钨、氮化钼等),以形成一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料。
一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料的制备方法,包括如下步骤:
(1)以电极基体材料为碳钢进行表面处理,使材料表面粗糙度Ra <1 μm;
(2)清洗材料表面:用活化液、腐蚀液、净化液、清洗液等依次清洗表面,再放入超声波仪器中清洗半小时以上;
(3)在碱铜溶液中,利用电镀涂覆一定厚度的纯铜; 
(4)再用超声波清洗干净并烘干;
(5)放入溅射镀沉积设备中,调节负偏压、弧电流、工作总气压、氩气和氮气的流量比、沉积温度、沉积时间工艺参数;
(6)在镀纯铜的试样表面再沉积一层氮化物涂层即成。
步骤(1)所述电极基体材料为碳钢或不锈钢
步骤(3)所述电镀为电刷镀或化学镀;其工作电压为5~36V,时间为1分钟~10分钟。
步骤(5)所述溅射镀为离子镀、电弧离子镀、磁控溅射镀或射频溅射镀;其工艺参数为:真空度为10-4~10-3Pa,通入氩气至1 ~ 30 Pa,用-500 ~ -1000V的偏压清洗不锈钢10 ~ 50 min;沉积温度:室温 ~ 500°C,沉积气压为0.5~10Pa,沉积偏压为-100 ~ -300V,沉积时间为30 ~ 90min。
步骤(6)所述的氮化物涂层为氮化钛、氮化铬、氮化钨或氮化钼。
本发明的优点是:本发明采用铁基材料作为电极材料,具有加工性能好、导电性好、强度高、成本低。在其上面镀一层铜增加导电性,并作为过渡层增加表面氮化物层的膜基结合强度,表面的氮化物层具有耐腐蚀、耐磨、强度硬度高、电阻率较小的优点,能大幅度提高电极的比能量与比功率,接触电阻保持恒定,电能消耗稳定并且较小。
具体实施方式
以下通过具体的实例来进一步说明本发明
试样基材为4Cr13马氏体不锈钢,尺寸50mm×20mm×3mm(长×宽×厚),试样在开始前,表面经过不同型号的水砂纸打磨,并用角向抛光机抛光,表面粗糙度达Ra = 0.8μm。
首先进行表面电刷镀镀纯铜,刷镀电源型号为GSD-200A。将打磨并清洗后的试样接负极,镀笔接阳极,在工件表面分别刷镀电净液、1号活化液、2号活化液和碱铜,刷镀电净液的电压为12V、刷镀速度为60次每分钟、刷镀时间为60s;刷镀1号活化液的电压为10V、刷镀速度为65次每分钟、刷镀时间为60s;刷镀2号活化液的电压为11V、刷镀速度为70次每分钟、刷镀时间为70s;刷镀碱铜的电压为8V、刷镀速度为60次每分钟、刷镀时间为60s,每次刷镀完成后都用清水冲洗干净在继续刷镀。
然后在TSU-650超高真空磁控溅射及离子镀沉积设备上进行电弧离子镀TiN涂层,先将上一步得到的试样用超声波清洗干净并烘干,放入电弧离子镀膜设备,本底真空度抽至10-3Pa,通入氩气至5 Pa,用-700V的偏压清洗试样20 min;清洗完之后,基体温度升至200 °C,工作气压0.8 Pa,偏压-200 V,靶材弧电流70 A,氩氮气体比例1:8,工作时间为60 min。结束之后随炉冷却,试样表面即可获得表面致密的TiN涂层。

Claims (8)

1.一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料,其特征是:它是利用电镀、电刷镀或化学镀和溅射镀技术,在铁基材料表面首先涂覆一定厚度的纯铜作为过渡层,再利用溅射镀技术沉积氮化物,以形成一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料。
2.一种铁基、铜过渡层和表面氮化物涂层的新型复合电极材料的制备方法,其特征是:包括如下步骤:
(1)以电极基体材料为碳钢进行表面处理,使材料表面粗糙度Ra <1 μm;
(2)清洗材料表面:用活化液、腐蚀液、净化液、清洗液等依次清洗表面,再放入超声波仪器中清洗半小时以上;
(3)在碱铜溶液中,利用电镀涂覆一定厚度的纯铜; 
(4)再用超声波清洗干净并烘干;
(5)放入溅射镀沉积设备中,调节负偏压、弧电流、工作总气压、氩气和氮气的流量比、沉积温度、沉积时间工艺参数;
(6)在镀纯铜的试样表面再沉积一层氮化物涂层即成。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征是:步骤(1)所述电极基体材料为碳钢或不锈钢。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征是:步骤(3)所述电镀为电刷镀或化学镀。
5.根据权利要求1或4所述的制备方法,其特征是:所述电镀的工作电压为5~36V,时间为1分钟~10分钟。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征是:步骤(5)所述溅射镀为离子镀、电弧离子镀、磁控溅射镀或射频溅射镀。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征是:所述溅射镀的工艺参数为:真空度为10-4~10-3Pa,通入氩气至1 ~ 30 Pa,用-500 ~ -1000V的偏压清洗不锈钢10 ~ 50 min;沉积温度:室温 ~ 500°C,沉积气压为0.5~10Pa,沉积偏压为-100 ~ -300V,沉积时间为30 ~ 90min。
8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征是:步骤(6)所述的氮化物涂层为氮化钛、氮化铬、氮化钨或氮化钼。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103628032A (zh) * 2013-11-15 2014-03-12 桂林电子科技大学 一种在导电基体材料上制备纳米氮化钛层的方法
CN103628060A (zh) * 2013-11-15 2014-03-12 桂林电子科技大学 一种表面渗钼+沉积氮化钛的新型电极材料及其制备方法
CN103949472A (zh) * 2014-03-25 2014-07-30 长沙升华微电子材料有限公司 一种铜-钼铜-铜三层复合板及其制造方法
CN111041482A (zh) * 2019-12-25 2020-04-21 苏州涂冠镀膜科技有限公司 一种用于半导体封装模具内腔的复合涂层及其制备方法
CN114031124A (zh) * 2021-11-02 2022-02-11 远景动力技术(江苏)有限公司 钨双包覆正极材料及其制备方法与应用
CN115831433A (zh) * 2022-12-16 2023-03-21 中国航天科工集团有限公司 一种电极、电极组件、多芯电极板及成型工艺

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5512164A (en) * 1993-06-03 1996-04-30 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Method for sputtering with low frequency alternating current
JPH0927110A (ja) * 1995-07-07 1997-01-28 Kao Corp 磁気記録媒体及びその製造方法
CN201073834Y (zh) * 2007-06-20 2008-06-18 中国第一汽车集团公司 钢铁工件表面的彩色电镀电泳层结构
CN101209604A (zh) * 2006-12-30 2008-07-02 比亚迪股份有限公司 一种不锈钢制品及其制备方法
CN101298659A (zh) * 2007-04-30 2008-11-05 汉达精密电子(昆山)有限公司 绝缘导热金属基板的制造方法
CN101503794A (zh) * 2009-03-20 2009-08-12 上海工程技术大学 一种在钢铁表面制备装饰性TiN薄膜的工艺
CN201943835U (zh) * 2011-01-28 2011-08-24 浙江汇锦梯尔镀层科技有限公司 具有pvd镀层的活塞环
CN102534481A (zh) * 2010-12-23 2012-07-04 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 被覆件及其制造方法
CN102689467A (zh) * 2012-05-23 2012-09-26 北京天瑞星光热技术有限公司 一种具有Si3N4和AlN双陶瓷结构高温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法
CN102691043A (zh) * 2011-03-21 2012-09-26 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 镀膜件及其制备方法

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5512164A (en) * 1993-06-03 1996-04-30 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Method for sputtering with low frequency alternating current
JPH0927110A (ja) * 1995-07-07 1997-01-28 Kao Corp 磁気記録媒体及びその製造方法
CN101209604A (zh) * 2006-12-30 2008-07-02 比亚迪股份有限公司 一种不锈钢制品及其制备方法
CN101298659A (zh) * 2007-04-30 2008-11-05 汉达精密电子(昆山)有限公司 绝缘导热金属基板的制造方法
CN201073834Y (zh) * 2007-06-20 2008-06-18 中国第一汽车集团公司 钢铁工件表面的彩色电镀电泳层结构
CN101503794A (zh) * 2009-03-20 2009-08-12 上海工程技术大学 一种在钢铁表面制备装饰性TiN薄膜的工艺
CN102534481A (zh) * 2010-12-23 2012-07-04 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 被覆件及其制造方法
CN201943835U (zh) * 2011-01-28 2011-08-24 浙江汇锦梯尔镀层科技有限公司 具有pvd镀层的活塞环
CN102691043A (zh) * 2011-03-21 2012-09-26 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 镀膜件及其制备方法
CN102689467A (zh) * 2012-05-23 2012-09-26 北京天瑞星光热技术有限公司 一种具有Si3N4和AlN双陶瓷结构高温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JUNHWAN OH, JAEGAB LEE, CHONGMU LEE: "Plasma pretreatment of the Cu seed layer surface in Cu electroplating", 《MATERIALS CHEMISTRY AND PHYSICS》, vol. 73, no. 23, 15 January 2002 (2002-01-15), pages 227 - 234 *
高原, 徐重: "碳钢表面氮化钛陶瓷化的耐腐蚀性能研究", 《新技术新工艺》, no. 11, 25 November 2006 (2006-11-25), pages 25 - 27 *

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103628032A (zh) * 2013-11-15 2014-03-12 桂林电子科技大学 一种在导电基体材料上制备纳米氮化钛层的方法
CN103628060A (zh) * 2013-11-15 2014-03-12 桂林电子科技大学 一种表面渗钼+沉积氮化钛的新型电极材料及其制备方法
CN103628060B (zh) * 2013-11-15 2015-12-30 桂林电子科技大学 一种表面渗钼+沉积氮化钛的新型电极材料及其制备方法
CN103628032B (zh) * 2013-11-15 2016-04-27 桂林电子科技大学 一种在导电基体材料上制备纳米氮化钛层的方法
CN103949472A (zh) * 2014-03-25 2014-07-30 长沙升华微电子材料有限公司 一种铜-钼铜-铜三层复合板及其制造方法
CN111041482A (zh) * 2019-12-25 2020-04-21 苏州涂冠镀膜科技有限公司 一种用于半导体封装模具内腔的复合涂层及其制备方法
CN114031124A (zh) * 2021-11-02 2022-02-11 远景动力技术(江苏)有限公司 钨双包覆正极材料及其制备方法与应用
CN114031124B (zh) * 2021-11-02 2024-03-26 远景动力技术(江苏)有限公司 钨双包覆正极材料及其制备方法与应用
CN115831433A (zh) * 2022-12-16 2023-03-21 中国航天科工集团有限公司 一种电极、电极组件、多芯电极板及成型工艺

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