CN103022155A - 一种沟槽mos结构肖特基二极管及其制备方法 - Google Patents
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Cited By (4)
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---|---|---|---|---|
CN103456627A (zh) * | 2013-08-28 | 2013-12-18 | 中航(重庆)微电子有限公司 | 一种复合型沟槽栅肖特基器件结构及其制造方法 |
CN107293601A (zh) * | 2016-04-12 | 2017-10-24 | 朱江 | 一种肖特基半导体装置及其制备方法 |
CN109004035A (zh) * | 2017-06-07 | 2018-12-14 | 中航(重庆)微电子有限公司 | 肖特基器件结构及其制造方法 |
CN109599443A (zh) * | 2017-09-30 | 2019-04-09 | 华润微电子(重庆)有限公司 | 一种肖特基器件的制备方法及结构 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040155287A1 (en) * | 2000-06-30 | 2004-08-12 | Ichiro Omura | Power semiconductor switching element |
US20070241338A1 (en) * | 2006-04-11 | 2007-10-18 | Denso Corporation | SIC semiconductor device and method for manufacturing the same |
CN101542731A (zh) * | 2005-05-26 | 2009-09-23 | 飞兆半导体公司 | 沟槽栅场效应晶体管及其制造方法 |
-
2011
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040155287A1 (en) * | 2000-06-30 | 2004-08-12 | Ichiro Omura | Power semiconductor switching element |
CN101542731A (zh) * | 2005-05-26 | 2009-09-23 | 飞兆半导体公司 | 沟槽栅场效应晶体管及其制造方法 |
US20070241338A1 (en) * | 2006-04-11 | 2007-10-18 | Denso Corporation | SIC semiconductor device and method for manufacturing the same |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103456627A (zh) * | 2013-08-28 | 2013-12-18 | 中航(重庆)微电子有限公司 | 一种复合型沟槽栅肖特基器件结构及其制造方法 |
CN103456627B (zh) * | 2013-08-28 | 2016-04-06 | 中航(重庆)微电子有限公司 | 一种复合型沟槽栅肖特基器件结构及其制造方法 |
CN107293601A (zh) * | 2016-04-12 | 2017-10-24 | 朱江 | 一种肖特基半导体装置及其制备方法 |
CN107293601B (zh) * | 2016-04-12 | 2021-10-22 | 朱江 | 一种肖特基半导体装置及其制备方法 |
CN109004035A (zh) * | 2017-06-07 | 2018-12-14 | 中航(重庆)微电子有限公司 | 肖特基器件结构及其制造方法 |
CN109004035B (zh) * | 2017-06-07 | 2024-02-13 | 华润微电子(重庆)有限公司 | 肖特基器件结构及其制造方法 |
CN109599443A (zh) * | 2017-09-30 | 2019-04-09 | 华润微电子(重庆)有限公司 | 一种肖特基器件的制备方法及结构 |
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