CN103003760A - 用于调节可动时计机芯构件或时计游丝摆轮组件的振荡频率和/或调节其惯性和/或平衡的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及用于调节游丝摆轮组件的振荡频率的方法。该方法包括在转变装置的脉冲作用下对所述组件的构件进行材料的去除和/或增加和/或移位,以对所述构件的材料或附加材料进行微加工和/或微熔融操作,以使所述材料气化和/或移位和/或焊接所述材料,所述脉冲由控制装置控制,所述控制装置被布置成生成、排序、中断任何脉冲并且控制所述转变装置的光束的移动,其中所述控制装置连接至测量或比较装置或者由测量或比较装置控制。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于调节可动时计机芯构件或时计游丝摆轮组件的振荡频率和/或调节其惯性和/或平衡的方法。
本发明还涉及将这种方法应用于调节包括至少一个摆轮的时计游丝摆轮组件的振荡频率,所述摆轮包括外缘和在内桩处与内桩附接的至少一个螺旋游丝,其中所述游丝摆轮组件能够围绕摆轮轴线枢转。
本发明还涉及一种不带指针组件的时计游丝摆轮组件,其被布置成执行所述方法以便调节其振荡频率。
本发明还涉及一种用于执行所述方法的设备。
本发明涉及微机械领域,且更具体地涉及钟表制造领域。
具体而言,本发明涉及钟表或时计、且特别是钟表或时计游丝摆轮组件的调校机构且特别是摆轮的调节和控制。
背景技术
尽管加工操作具有极好的精度和高再现性,但在可动件的情况下,在装配操作期间,或者更普遍地在调节或设定操作期间,特别是对于频率调节、不平衡调节或惯性调节,必须几乎始终进行调节。
特别是在装配阶段,需要完善特定构件的配对,其在独立地进行时在加工或生产公差内,但其由于已安装的组件的使用应力而不能被精确地装配。
对于时计的调校机构且更具体地对于游丝摆轮组件这种情况尤其存在。事实上,看上去静态和动态的不平衡调节和惯性调节在单个构件阶段已经非常精细,并且当这些构件被装配在一起时这些设定操作变得特别复杂。特别地,动态调节的执行被证实是复杂的,特别是频率调节。
当这种组件已经被集成在较大的组件例如手表机芯中时情况更加复杂,例如,其原因在于可达性不足,而且还在于执行调节、控制或平衡操作而造成的对机芯的正确操作的干扰。
因此存在双重困难,这是因为存在能否管理对构件的动态控制和调节的问题,所述动态控制和调节为:
-移动,或
-一体形成在时计机芯中,或
-移动并一体形成在时计机芯中。
与动态平衡相关的问题仍是行业内极少数专家的研究范围,这可以通过缺乏全球可购得的工业平衡机器来证实。微机械的领域仅可以放大该现象,因为待平衡的部件具有大小为一克或一分克的极低质量并且具有在微克×平方厘米范围内的惯性公差。这与对数量众多的机动车辆的车轮或专用于重工业、铁路或高速处理的机器使用平衡机器的领域毫无关系。
与动态平衡相关的问题长期以来成为用于与在待平衡的可动元件的旋转停止后执行的定位增加或去除材料的区以及将这些增加和去除量化有关的解决方案的灵感,如申请人为Kohlhagen的专利文献US2538528中所描述的。在一变型中,如申请人为Hettich的专利文献DE1142796中所描述的,元件必须定位或者相反地压入钟表摆轮的整个圆周上的预先钻出的孔中。申请人为OMEGA的专利CH367444说明了通过在钟表摆轮上铣削的传统去除的缺点并且提出一种通过电化手段来增加或去除材料的方案,该方案的结果是可以保证质量的校正和平衡的精度。
申请人为HAMILTON的专利US3225586提出了使用连接至可旋转的仪表的机器的“Watchmaster”型麦克风来非常精确地确定摆轮外缘上的4个螺钉的调节。
为了在测量然后调节这两个步骤中改善这些处理,申请人为Zenger的专利CH390165提出了一种用于在频闪测量后以很轻微的延迟通过连续电镀侵蚀来进行平衡的工艺,但这需要该摆轮沿一致的方向旋转。
申请人为Witschi的专利CH690874还记载了一种用于在初步测量后去除或增加材料的工艺,使用摆轮停止装置来保持摆轮面向去除或增加装置。
申请人为Compagnie Généraled′Electricité的专利CH526097提出了通过平行于待平衡件的枢转轴线的光束来平衡转动或振荡部件,包括用于使光束偏离从而使光束与移动部件同步的光学设备,并因此在激光器所发出的脉冲的整个持续时间段使材料在适当的位置气化。该技术代表相对于现有技术的显著进步,但由于废料和组件的污染而不是很适于安装在组件中的构件。
申请人为Les Fabriques d′Assortiments Réunies的专利FR2159367同样是这种情况,其提出使操作数量最小化的加工工艺,但其中加工头的位置取决于待修正的缺陷,这在安装好的组件中不可行。
总之,能够对移动部件进行惯性或平衡或诸如游丝的刚度的其他物理量的修正的已知工艺极其缺乏并且不适于对已安装在组件中的该同一个部件进行这种修正。而且,它们不太适于摆轮或安装好的游丝摆轮组件的交替移动。
申请人为ETA SA Fabrique d′Ebauches的专利US6534742提出了一种用于通过使用作用在螺旋游丝上以通过减小其厚度或其高度来减小其弹性扭矩的激光器来调节游丝摆轮的振荡频率的方法。虽然其代表相对于现有技术的明显进步,但该指导并未解决全部所讨论的情况,因为其仅可以通过使游丝弱化来形成推后。另一方面,由于激光器的作用所产生的污染和废料,其仅可以在时计机芯的外部使用。
发明内容
本发明提出通过开发一种合适的工艺来提供对这一问题的解决方案,所述工艺用于微机械构件、特别是时计构件并且特别是已安装的组件中的枢转构件的动态控制和调节,最特别地进行用于调节时计机芯或特别是时计游丝摆轮组件的这种可动构件的振荡频率和/或惯性调节和/或平衡的控制操作。
本发明的特定目的之一是省略游丝摆轮调节组件上的指针组件。
特别地,本发明致力于提出一种用于这些用于调节振荡频率、惯性调节、动态平衡的调节的控制操作或用于调节螺旋游丝等的控制操作的有效、快速和精确的方法,该方法可应用于安装在较大组件、特别是时计机芯中的构件的情况,而且还在这些构件本身移动时适用。
本发明提出了通过借助于开发一种用于对构件的动态控制和调节的合适的工艺来提出这一问题的解决方案来改善这种状况,所述动态控制和调节为:
-移动,或
-结合在时计机芯中,或
-移动并结合在时计机芯中。
基于这一点,本发明涉及一种用于调节时计机芯或时计游丝摆轮组件的可动构件的振荡频率和/或调节其惯性和/或使其平衡的方法,其特征在于,通过使用至少一个转变装置来对所述构件或所述组件的至少一个构件进行材料的去除和/或材料的增加和/或材料的移位,所述转变装置包括至少一个激光器或等离子体源,以对所述构件或所述组件的所述至少一个构件的材料和/或至少一种附加材料进行微加工和/或微熔融操作,以在所述转变装置的至少一个脉冲的作用下将至少一种附加材料气化和/或升华和/或移位和/或焊接到所述构件上或所述组件的所述至少一个构件上,并且,所述至少一个脉冲由被布置成生成、排序、中断所述至少一个转变装置的任何脉冲的控制装置控制,其中所述控制装置也被布置成控制从所述转变装置发出的至少一个光束的移动,其中所述控制装置连接至测量或比较装置或者由所述测量或比较装置自动控制。
根据本发明的一个特征,所述测量或比较装置被布置成在所述构件或所述组件的移动期间对所述构件或所述组件的所述至少一个构件进行测量。
根据本发明的另一特征,所述控制装置被编程以便限定所述构件或所述组件的所述至少一个构件的表面的至少一个特定区,在所述区上去除和/或增加材料和/或使材料移位,并且所述控制装置被编程以便以所述转变装置的高平均频率产生至少一个脉冲序列,从而在所述区上产生由所述至少一个转变装置发出的光束的至少一条连续冲击线。
根据本发明的另一个特征,使所述构件或所述组件在所述转变装置的所述至少一个脉冲序列期间围绕其主惯性轴线枢转,并且出于测量或比较所述构件在所述构件或所述组件的主惯性轴线周围的动态惯性的目的而使用所述测量或比较装置。
根据本发明的又一个特征,使用单个转变装置,并且使用振幅稳定装置来维持所述构件或所述组件在每一个脉冲序列的过程中以恒定振幅振荡进行枢转移动。
根据本发明的另一个特征,所述振幅被稳定在具有137°或316.5°的值的角度。
根据本发明的另一个特征,通过局部熔化,接着熔化区的移位,接着固化冷却,或者通过在热处理期间或在外力的作用下形成或释放内部应力,或者通过使可变形区或凸耳或销弯曲,或者通过材料的拉伸,来进行构件或所述组件的至少一个构件内的材料移位。
根据本发明的另一个特征,通过局部熔化,接着为熔化区的移位,接着为固化冷却,来进行材料移位,其中通过重力、或在操作调节期间在离心力的作用下、或在磁力和/或静电吸引力的作用下进行熔化材料的移位。
根据本发明的另一个特征,执行形成所述构件或所述组件的至少一个构件的材料的局部物理状态改变,以通过其几何形状和/或其密度的局部修改来修改其惯性。
根据本发明的另一个特征,所述构件或所述组件的所述至少一个构件上的所述材料去除和/或材料增加和/或材料移位在所述构件或所述组件的所述至少一个构件被装配在时计机芯中的情况下进行。
根据本发明的另一个特征,该工艺适用于调节时计游丝摆轮组件的振荡频率,所述时计游丝摆轮组件包括外缘和在内桩处与内桩附接的至少一个螺旋游丝,其中所述游丝摆轮组件能够绕平衡轴线枢转,其特征在于,进行材料的去除和/或增加和/或移位,以进行所述游丝摆轮组件的振荡频率的调节,并且,所述方法包括第一过程,其中:
-针对期望振荡频率来评估所述游丝摆轮组件的提前(增益,avance)或推后(损失,retard);
-所述控制装置被编程以便限定至少一个特定区,在适用时,必须在所述区上去除和/或增加材料和/或使材料移位,在需要形成提前的情况下的第一替代方案中,所述区被限定在所述摆轮的所述边缘处或由所述摆轮承载的构件或惯性块或外桩或螺钉处,或者在需要形成推后的情况下的第二替代方案中,所述区被限定在所述螺旋游丝的至少一个螺圈处;
-所述控制装置被编程以便在适用时通过借助于在所述摆轮上移除材料而减小惯性来产生提前,或者通过借助于向所述螺旋游丝增加材料而修改所述螺旋游丝的刚度来产生提前,或者通过在所述摆轮或所述螺旋游丝处使材料移位来产生提前,或者通过借助于向所述摆轮增加材料而增加惯性来形成推后,或者通过借助于在所述螺旋游丝上去除材料而修改所述螺旋游丝的刚度来产生推后,或者通过在所述摆轮或所述螺旋游丝处使材料移位来产生推后。
根据本发明的另一特征,所述控制装置被编程以便通过对所述区重复微雕刻操作而在所述摆轮上形成提前,从而达到期望频率值,所述期望频率值能由所述测量或比较装置控制,并且在所述区上进行所述微雕刻操作以便针对期望值使所述游丝摆轮相对于其主惯性轴线平衡,所述期望值能由所述测量或比较装置控制,并且所述控制装置被编程以便通过借助于在所述转变装置中的至少一个的至少一个脉冲序列的作用下进行微雕刻以使所述螺旋游丝的至少一个螺圈和/或终端的扭曲部分(在所述螺旋游丝有此部分的情况下)变薄而在不修改所述螺旋游丝的晶体结构或其热系数的情况下修改所述螺旋游丝的刚度来形成推后。
本发明还涉及一种不带指针组件的时计游丝摆轮组件,其被布置成执行所述方法以便调节其振荡频率,其特征在于,所述时计游丝摆轮组件包括多个惯性块,所述惯性块以允许在售后服务中使用标准工具的形式制成并且构造成相同的并定位在相同直径或不同直径上,或构造成不同的并定位在相同直径或不同直径上;或者包括特别用于熔化材料的移位或重新定位的一个或多个封闭的内部腔室;或者包括表面层或牺牲(被去除)部分;或者包括在外力作用下可以释放的预应力区;或者包括能够在热处理的作用下处于不同物理状态的区;或者包括带电和/或磁化区;或者包括具有可变的应力分布的多金属区。
本发明还涉及一种用于执行所述方法的设备,其特征在于,所述设备包括:至少一个激光器或皮秒激光器源,其形成所述转变装置;用于所述源的控制装置,其被布置成产生、排序、中断所述激光器或皮秒激光器的至少一个脉冲序列,其中所述控制装置还被布置成控制从所述激光器或皮秒激光器发出的至少一个光束的移动或所述源自身的移动;与所述控制装置接口的测量和比较装置;以及用于待进行微加工的构件或组件的夹持和支承装置;用于使所述构件或所述组件枢转的驱动装置,其与所述控制装置接口;用于维持所述构件或所述组件以恒定振幅的振荡进行枢转移动的振幅稳定装置,并且,所述设备包括用于通过压差排放与材料的升华相关的气体和/或废料的装置。
附图说明
在参照附图阅读以下详细描述后,本发明的其他特征和优点将变得更加明显,在附图中:
图1是曲线图,其纵坐标侧为根据时计摆轮的角向位置的振幅使用激光器或皮秒光束在通过烧蚀进行的微加工操作期间去除的材料的质心位置的代数值;
图2示意性地示出了用于执行本发明的设备;
图3示意性地部分示出了在图中简化为其单个摆轮的游丝摆轮组件上进行微加工期间两个激光器或皮秒激光器的同时介入;
图4以与图3相似的视图示出了两个这种激光器或皮秒激光器的延迟介入;
图5以与图3相似的视图示出了单个这种激光器或皮秒激光器的介入。
具体实施方式
本发明涉及一种用于特别是通过微加工和/或增加材料和/或使材料移位来调节可动微机械或时计机芯构件或者时计游丝摆轮组件的振荡频率和/或调节其惯性和/或平衡的方法。
本发明还涉及将这种方法应用于不带指针组件的时计游丝摆轮。
本发明还涉及一种用于执行该方法的设备。
本发明还涉及一种通过根据该方法的振荡控制来调节不带指针组件的时计游丝摆轮,并且更特别地设计成特别是在材料移位的情况下利用该方法的某些特定特征。
一般而言,本发明涉及微机械领域并且更具体而言涉及手表制造领域。
具体而言,本发明涉及手表或时计、且特别是手表或时计游丝摆轮组件的调校机构且特别是摆轮的调节和精确调节。
本发明涉及一种用于调节可动时计机芯构件或时计游丝摆轮组件的振荡频率和/或调节其惯性和/或平衡的方法,其特征在于,通过使用至少一个转变装置来对所述构件或所述组件的至少一个构件进行材料的去除和/或材料的增加和/或材料的移位,所述至少一个转变装置包括至少一个激光器或等离子源,以对所述构件或所述组件的所述至少一个构件的材料和/或至少一种附加材料进行微加工和/或微熔融操作,以在所述转变装置的至少一个脉冲的作用下使至少一种附加材料气化和/或升华和/或移位和/或焊接到所述构件上或所述组件的所述至少一个构件上,并且,所述至少一个脉冲由被布置成生成、排序、中断所述至少一个转变装置的任何脉冲的控制装置控制,其中所述控制装置也被布置成控制从所述转变装置发出的至少一个光束的移动,其中所述控制装置连接至测量或比较装置或者由所述测量或比较装置自动控制。
有利地,选择至少一个激光器或皮秒激光器作为这种转变装置,以在该激光器或皮秒激光器的至少一个脉冲的作用下通过微雕刻来执行材料的去除,以便通过升华将所述的构件的固体材料直接转变成气态流,并且使用该激光器或皮秒激光器在该构件的处理期间在其任一侧上建立压差以便排放同升华相关的气体和/或废料。
该方法优选涉及时计机芯的可动构件的振荡频率和/或惯性和/或平衡的调节或控制,所述可动构件围绕包括外缘并且能够围绕摆轮轴线枢转的时计摆轮的枢转轴线枢转或者围绕包括至少一个摆轮——其包括外缘和在内桩处与内桩附接的至少一个螺旋游丝——的时计游丝摆轮组件的枢转轴线枢转,其中所述游丝摆轮组件能够围绕摆轮轴线枢转。
为了在不拆卸的情况下与测量或比较操作同时进行微加工操作,需要利用相对于由测量或比较链控制的动作迅速地作用的、用于去除和/或增加材料和/或使材料移位的装置。在本发明的一个特别实用的示例中,可以与作为闭环***的一部分的测量和/或比较实时地进行这些微加工操作和/或材料的增加和/或材料的移位。但是,该方法还被设计为至少以略微的延迟来处理之前的测量或比较的结果。通过延迟并且交替地处理测量和烧蚀操作和/或材料的增加和/或材料的移位来获得良好的结果。
根据本发明的方法有利地使用对形成时计可动部件、特别是游丝摆轮的构件或对承载该可动部件或该游丝摆轮的构件例如惯性块、螺钉、指针等或对不包括摆轮的这些单个构件和游丝使用材料的烧蚀和增加的结合。
在本发明的一个替代的创新的特定实施例中,该方法在该构件或这些构件的水平(层)处使用材料移位。
在另一个有利的变型中,材料移位与材料的烧蚀和增加的结合相结合。
本发明的目的之一是使指针组件能够被省略。本发明所提出的振荡频率调节和惯性控制的可能性允许实现这一目的。
烧蚀在此应理解为指的是通过任何方法执行的材料的任何去除。
本发明的目的之一是在其几何定位和所去除的材料的量两方面既非常迅速又非常精确地进行微加工和/或材料的增加和/或材料的移位,以在仅进行一至两次中间测量或比较的情况下非常快速地达到最终结果。
该目的还涉及进行非常整齐和清洁并且不剩下任何固体废料的微加工和/或材料的微增加和/或材料的移位。
在一个特定变型中,本发明限定了一种用于调节包括至少一个摆轮的时计游丝摆轮组件的方法,所述摆轮包括外缘和在内桩处与内桩附接的至少一个螺旋游丝,其中所述游丝摆轮组件能够围绕摆轮轴线枢转。
有利地,特别是为了调节时计游丝摆轮组件的振荡频率而执行该方法。
根据本发明,通过借助于烧蚀、特别是升华而转变该构件或该游丝摆轮组件的材料的至少一部分来进行材料的去除,通过使用合适的微加工装置来进行惯性和/或平衡和/或振荡频率的调节,或者通过使用合适的喷涂或沉积装置和/或用于通过修改所述构件的内在几何形状而使材料移位的装置来进行材料的增加。
通过升华来使材料烧蚀是关于材料的烧蚀执行本发明的优选方法,并且实际上升华允许进行材料的去除的区保持清洁。但是,应理解中间方案,也允许获得期望结果并且也构成用于执行本发明的替代方法的该中间方案包括从固相变成液相,可能接着从液相变成气相。
当然,例如,如果诸如汞的液态金属在有用于收集这些气体的充足防范措施的情况下转变成气体,则也应该考虑气化的情形。
有利地,该构件或该游丝摆轮组件或承载该游丝摆轮组件的构件的材料的至少一部分因此通过升华而转变,即构件通过升华、也就是从固态直接变成气态而至少部分地且优选尽可能完全地改变,而不会有固态或液态废料再次沉积在构件上。
优选选择至少一个激光器或皮秒激光器或实际上飞秒激光器作为这种微加工装置。通过在该激光器或皮秒激光器的至少一个脉冲的作用下进行微雕刻以便通过升华而将固体材料直接转变成气态流也可以进行材料的去除。
该脉冲或优选这些脉冲由控制装置控制,所述控制装置被布置成生成、排序、中断该激光器或皮秒激光器等的任何脉冲。这些控制装置也被布置成控制从该激光器或皮秒激光器发出的至少一个光束的移动,或者还控制皮秒激光器自身的移动。这些控制装置与测量或比较装置接口或连接或者还由这种测量或比较装置自动控制。
通过激光器、特别是通过皮秒激光器进行微加工对于可动时计构件的本发明情形特别有效,特别是当可动时计构件被安装在机芯中时,并且当它们本身正在移动时。也可使用诸如离子轰击、电弧之类的替代烧蚀手段或其他方法而不脱离本发明。
等离子体加热可以允许进行烧蚀操作或者还通过喷涂诸如等离子体焰炬等气态流或微等离子体焊接来施用材料,且其成本低。
在另一个变型中,通过将线材等熔化到所述可动部件的表面上来进行材料的沉积。
使用切削工具或砂轮的传统加工技术为本领域技术人员所公知且在此不详细介绍。
向时计构件上增加材料的工艺包括将外部来源的材料沉积到构件上并且优选选择至少一个激光器或皮秒激光器或者喷头作为沉积装置以执行该材料增加,以及通过被布置成在适用时生成、排序、中断该激光器或皮秒激光器或者所述喷头的任何脉冲的控制装置来控制该脉冲,其中所述控制装置也被布置成在适用时控制从该激光器或皮秒激光器或者从所述喷头发出的至少一个光束的移动,其中这些控制装置连接至测量或比较装置或者也由这些测量或比较装置自动控制。
测量或比较装置被选择且被布置成既在该构件的停止位置又在该构件的移动期间对该构件进行优选至少惯性和振荡频率的测量。
本发明执行用于特别是通过升华而将材料从固态直接转变成挥发状态而不特别是通过升华而经过材料的液态的条件。这种微加工操作可以借助于诸如皮秒激光器等非热激光器的技术,该技术使得光束能够被定向到用于持续时间极短但能量密度很高的脉冲的表面上,这允许使材料直接升华而不经过熔化过程的液态或者至少通过极大地避免通过液体熔化状态而升华,因为不可避免的是,继发效应引起随后在通过光束的冲击形成的凹部的高度处立即再次固化的局部微熔融区域。该脉冲持续时间的数量级为皮秒,即在平均功率在1W与10W之间的范围内的皮秒激光器的情况下为10-12秒,并且在从数皮秒至数十或数百皮秒的范围内的持续时间在本发明的范围内。
升华提供了保证工作区域完全清洁的优点,这允许其用在已经装配的成品上。其足以例如通过在工作区域周围形成特别是连续气流和空气流的压差来引导气体,以收集在它们的升华期间排出的气体,从而根据它们的毒性进行处理或破坏或排放。
本发明因此包括创造这种非热激光器的使用条件以便使操作经济上可行。事实上,应理解的是,在每个脉冲上升华的材料量很小,这是因为所去除的厚度是微量的,这意味着微加工时间将很长并且是禁止性的。在游丝摆轮的情况下,由于交替的序列而周期性地切穿的一连串位置将需要长得多的处理时间来产生效益。使用这种称为皮秒激光器的皮秒激光器,允许对摆轮边缘或者还对该摆轮在该边缘的水平处承载的一个或多个构件诸如外桩、惯性块、调节螺钉等进行材料的烧蚀。该材料的烧蚀减小了该摆轮的惯性并因此使得能够修正任何操作故障。
这种处理的特征在于若干参数:执行的简化、用于进行给定修正的处理时间、可能的不平衡的形成、需要进行特定测量等。
本文献提出一种用于在移动的游丝组件上、也就是在其围绕其摆轮轴线的枢转移动期间进行烧蚀的策略。通过执行该新方法,本发明提出对该摆轮进行频率调节和/或惯性调节和/或平衡调节,以便使摆轮或该游丝摆轮的该枢转轴线与其主惯性轴线重合。
本发明被开发成使得其同样可以适用于单个摆轮、装配好的游丝摆轮以及被一体形成并安装在时计机芯中的游丝摆轮。
由于该策略而优化了处理时间和所形成的不平衡。
为了执行用于调节包括外缘并且能够围绕摆轮轴线枢转的时计摆轮的频率和/或惯性和/或平衡的方法的材料烧蚀步骤,执行通过烧蚀去除材料,从而通过使用适合于进行该摆轮的惯性和/或平衡和/或频率的调节的微加工装置优选通过升华来转变该摆轮的至少一部分材料。摆轮或该摆轮承载的构件的至少一部分材料通过升华而转变,并且选择至少一个皮秒激光器作为这种微加工装置,以通过在皮秒激光器的至少一个脉冲的作用下进行微雕刻以便通过升华将固态材料直接转变成气态流来进行该材料的去除。该脉冲或这些脉冲由控制装置控制,所述控制装置被布置成生成、排序、中断该皮秒激光器或者在如图3中的示例中使用若干皮秒激光器时这些皮秒激光器的任何脉冲。
这些控制装置也被布置成控制从该激光器发出的至少一个光束的移动,或者还控制皮秒激光器源本身的移动。当然,所述控制装置控制在该方法的执行中所使用的全部皮秒激光器源的移动。这些控制装置与测量或比较装置接口或连接或者还由这些测量或比较装置自动控制。
有利地,所述控制装置被编程以便限定构件的表面的至少一个特定区,特别是在摆轮的情况下限定摆轮的边缘或该摆轮所承载的构件。该区是必须在其上去除材料的区。
在游丝摆轮的情况下,该工艺用于进行包括至少一个摆轮的时计游丝摆轮组件的振荡频率的调节,所述组件包括外缘和在内桩处与内桩附接的至少一个螺旋游丝,其中该游丝摆轮组件能够围绕摆轮轴线枢转,其特征在于,进行材料的去除和/或增加和/或移位以进行该游丝摆轮组件的振荡频率的调节,且该过程包括第一过程,其中:
-针对所期望的振荡频率来评估所述游丝摆轮组件的提前或推后;
-所述控制装置被编程以便限定至少一个特定区,在所述区,在适用时,必须去除和/或增加材料和/或使材料移位,在需要形成提前的情况下的第一替代方案中,所述区被限定在所述摆轮的所述边缘处或由所述摆轮承载的构件或惯性块或外桩或螺钉处,或者在需要形成推后的情况下的第二替代方案中,所述区被限定在所述螺旋游丝的至少一个螺圈处;
-所述控制装置被编程以便在适用时通过借助于在所述摆轮上移除材料而减小惯性来产生提前,或者通过借助于向所述螺旋游丝增加材料而修改所述螺旋游丝的刚度来产生提前,或者通过在所述摆轮或所述螺旋游丝处使材料移位来产生提前,或者通过借助于向所述摆轮增加材料而增加惯性来形成推后,或者通过借助于在所述螺旋游丝上去除材料而修改所述螺旋游丝的刚度来产生推后,或者通过在所述摆轮或所述螺旋游丝处使材料移位来产生推后。
控制装置优选被编程以通过在转变装置、优选激光器或皮秒激光器的高平均频率下生成至少一个脉冲序列而在适用时对摆轮或螺旋游丝进行材料的去除,以便在该区或这些区上在适用时生成激光器或皮秒激光器的光束的至少一条连续冲击线,从而通过对材料的局部去除来进行微雕刻操作,和/或这些控制装置被编程以在适用时对摆轮或螺旋游丝进行材料的增加和/或材料的移位。
该冲击线不必是直的或甚至不必是连续的,并且事实上取决于构件和激光器或皮秒激光器的一个光束或者在存在若干激光器的情况下多个光束的相对移动。
应理解,在此指定激光器或皮秒激光器的脉冲的高平均频率,这是因为脉冲的频率不必是恒定的,特别是脉冲的生成可以是随机的或者遵循特定的变化规则。
因此,有利地,形成扫描作用,也就是说,在构件的特定区中,其表面承受激光器或皮秒激光器的连续脉冲序列,这通过构件表面上的凹槽标记表示。为了形成该扫描作用,至少构件或激光器或皮秒激光器的光束的方向优选在激光器或皮秒激光器的该脉冲期间移动,且因此在构件表面的特定几何区中形成多个脉冲分量。优选使激光器或皮秒激光器的光束移动,这是因为光斑应该优选至少移动其在两个连续的射点之间的半径的值,使得后续的射点不会落入通过前一射点生成的等离子体泡中,即使这种微加工操作保留了这种可能性。
事实上,可设想本着特别是完成和装配好的构件上的清洁的目的,要么在停止时要么在同步移动期间在加工件与激光器或皮秒激光器的光束之间无相对移动的情况下使用激光器或皮秒激光器进行诸如钻削的加工操作,但需要随着时间推移而充分移开脉冲。
该第一过程可以但不必是直至在一定公差内达到期望振荡频率的第一迭代过程。
控制装置被编程以便限定构件或所述组件的所述至少一个构件的表面的至少一个特定区,必须在所述区上去除和/或增加材料和/或使材料移位,并且控制装置被编程以便在转变装置的高平均频率下生成至少一个脉冲序列,从而在该区上生成由该至少一个转变装置发出的光束的至少一条连续冲击线。
控制装置被编程以便限定至少一个特定区,在适用时必须在所述区上去除或增加材料或使材料移位,并且优选地:
-在需要形成提前的情况下的第一替代方案中,该区被限定在摆轮的边缘或该摆轮所承载的构件或惯性块或外桩或螺钉的水平;
-或者在需要形成推后的第二替代方案中,该区被限定在螺旋游丝的至少一个螺圈的水平。
总之,优选执行控制装置的编程以便在适用时:
-通过借助于在摆轮上去除材料而减小惯性来生成提前,
-或通过借助于在螺旋游丝上去除材料而修改螺旋游丝的刚度来生成推后,
-或者还通过借助于向摆轮增加材料而增加惯性来生成推后,
-或者还通过借助于向螺旋游丝增加材料而修改螺旋游丝的刚度来生成提前。
通过与材料的烧蚀和/或增加结合或不结合的材料的移位也可以获得这些提前和推后。
也可以对形成游丝摆轮的构件或者对其所承载的构件诸如惯性块、螺钉等进行材料的增加或者结合来进行材料的烧蚀、移位、增加。
在一优选实施例中,控制装置被编程以便允许前一个射点的等离子体泡在任何新射点前排放。能够理解用于在该区上生成激光器或皮秒激光器的光束的至少一条或优选若干条连续冲击线的、在激光器或皮秒激光器的高平均频率下的脉冲序列的全部优点。
因此,该长路径补偿了单个脉冲的弱点并且使得能够总的实现充分的材料去除以通过局部微雕刻来进行期望调节。
应理解,可以采用不同方式来使用该过程:
-测量和/或比较阶段与微加工和/或材料的增加和/或材料的移位阶段之间的延迟处理,或
-在微加工或材料的微增加或材料的移位的特定操作的执行期间与特定测量和/或比较操作的执行同时或半同时处理。
还应理解,在此指定激光器或皮秒激光器的脉冲的高平均频率,这是因为脉冲的频率不必是恒定的,特别是脉冲的生成可以是随机的或者遵循特定的变化规则。
在一优选示例性实施例中,激光器射击的平均频率在50Hz与500kHz之间的范围内,优选在100kHz与500kHz之间的范围内,并且优选大小为300kHz。
例如,在对钟表摆轮的惯性调节的操作中,所生成的脉冲数量可以是105至1010的数量级。
因此,为了获得该扫描作用,需要至少构件或者激光器或皮秒激光器的光束方向在激光器或皮秒激光器的该脉冲序列期间移动。应理解,激光器或皮秒激光器的光束的方向是移动的,这是因为激光器或皮秒激光器源本身可以保持固定并且光束可以通过由压电元件控制的一组镜子或者以检流计朝向待进行微加工的表面区的方式定向。
应理解,将控制装置编程为限定所需的那么多区并且生成所需的那么多脉冲序列即可。
在一优选应用、特别是诸如游丝摆轮的调节组件或其构件之一的惯性和/或平衡的调节中,该构件在激光器或皮秒激光器的该脉冲序列期间移动。为了提高工艺的效率和迅捷性,激光器或皮秒激光器的光束的方向优选在激光器或皮秒激光器的该同一个脉冲序列期间也移动。
控制装置考虑待微加工的构件的几何形状和组成并且约束光束的移动幅度和脉冲的生成,使得光束仅与可以且希望进行微加工的区接触。特别地,在调节游丝摆轮的惯性和/或平衡的实例中,所述区可以被约束为摆轮的外缘并且特别是其中的金属区,特别是该摆轮所包括的惯性块、外桩或平衡螺钉,这是因为使用激光器或皮秒激光器的目的是使金属材料升华并且不与局部升温可能引起其他不希望的效应且特别是形成渣、灰尘等的其他材料彼此作用。所容许的区的限定有利地使用在中心限定半径范围和角度范围的极坐标来实现。
关于使激光器或皮秒激光器的光束的方向更特别地在待微加工的构件能够围绕枢转轴线枢转时移动,存在各种可能性:
-在简单构造中,该移动在一个平面内发生并且使激光器或皮秒激光器的光束的方向在激光器或皮秒激光器的该脉冲序列期间相对于构件的枢转轴线在径向平面内移动。例如,在游丝摆轮的惯性和/或平衡的调节中,该平面被有利地选择成平行于摆轮的枢转轴线,并且对边缘的环形部分、或优选对被分配该用途的外桩进行的微加工操作的模式因此采取倾斜或径向断续的光束形式,其缘于光束和摆轮的两种移动的结合,且其在所选择的平面相对于摆轮轴线是径向的并且光束在该平面内的移位速率显著高于摆轮的切向速度的情况下更接近直线;
-在特别的构造以及简单和优选的应用中,使激光器或皮秒激光器的光束的方向移动,从而使光束保持平行于构件的枢转轴线;
-在另一种构造中,使激光器或皮秒激光器的光束的方向在激光器或皮秒激光器的该脉冲序列期间在包含相对于构件的枢转轴线的径向平面的空间中三维地移动,其中该空间内接在扫描锥体中。所获得的图案因此更接近缠结的环;
-在又一个构造中,使激光器或皮秒激光器的光束的方向在激光器或皮秒激光器的该脉冲序列期间三维地移动,其中该三维移动与三轴数控机器的三维移动相当,不过在实践中角向地控制两个镜以到达空间的每个点即可。所获得的图案也更接近缠结的环,但考虑光束和构件的相应速度矢量的特定编程使得能够根据确定的栅格进行微加工。
因此可以在所述区中形成一种永久扫描并且因此可以去除足够的材料。
当然,在构件被固定并且仅激光器或皮秒激光器的光束可移动的情况下,激光器或皮秒激光器的光束也可以使用上述这些控制方法中的任何一者来控制。
在这方面,通过激光器或优选通过皮秒激光器来进行微加工的应用还使得能够以肉眼几乎不可见的方式雕刻构件,并且例如允许形成特定防伪标记。
优选使构件在激光器或皮秒激光器的各脉冲序列期间围绕其枢转轴线进行枢转移动。在时计调节机构的情况下,该枢转移动是交替的。
在本发明的一个特别实用的示例中,使用至少两个转变装置,特别是激光器或皮秒激光器,使得对称光束相对于通过构件的主惯性轴线的平面或者相对于构件的主惯性轴线移动。特别地,当光束移动相对于主惯性轴线对称时,所进行的材料去除操作是对称的并且不会形成不平衡。因此,这些至少两个激光器或皮秒激光器应该是同步的并且微加工在激光器或皮秒激光器中的一者由于任何原因而停止发射的情况下应该停止。当使用两个或更多激光器或皮秒激光器工作时的有用预防措施是在它们所执行的微加工操作中彻底改变这些情况,这是因为所述光束与来自单个源的分支的光束相比永远不会严格等同。
对称扫描不必是匀整的。例如,可以在通过构件的主惯性轴线并且均成120°的三个平面内进行扫描操作。
脉冲持续时间优选在皮秒范围内,也就是在平均功率在1W与10W之间的范围内的皮秒激光器的情况下为10-12秒,并且介于从数皮秒至数十或数百皮秒的范围内的脉冲持续时间在本发明的范围内。
有利地,控制装置被编程以便通过在这些区上重复微雕刻操作而在摆轮上形成提前,从而达到可以由测量或比较装置控制的期望频率值,并且针对可以由测量或比较装置控制的期望值在这些区上进行所述微雕刻操作以相对于其主惯性轴线平衡游丝摆轮,并且所述控制装置被编程以便借助于在至少一个转变装置的至少一个脉冲序列的作用下进行微雕刻以使螺旋游丝的至少一个螺圈和/或终端的扭转部分(在所述螺旋游丝有此部分的情况下)变薄而在不修改螺旋游丝的晶体结构或其热系数的情况下通过修改螺旋游丝的刚度来形成推后。
在第一替代方案中,控制装置被编程以便通过在该区或这些区上重复微雕刻操作而在摆轮上形成提前,从而达到可以由测量或比较装置控制的期望频率值,并且针对可以由测量或比较装置控制的期望值在这些区上进行微雕刻操作以相对于其主惯性轴线平衡游丝摆轮组件。
在第二替代方案中,控制装置被编程以便通过借助于在至少一个皮秒激光器的至少一个脉冲序列的作用下进行微雕刻以使螺旋游丝的至少一个螺圈和/或终端的扭转部分(在所述螺旋游丝有此部分的情况下)变薄而在不修改螺旋游丝的晶体结构或其热系数的情况下通过修改螺旋游丝的刚度来形成推后,其目的仍然是为了针对可以由测量或比较装置控制的期望值而相对于其主惯性轴线来平衡游丝摆轮组件。
因此,可以通过以下方式来形成推后:
-通过使螺旋游丝的螺旋部分的至少一个螺圈变薄来修改螺旋游丝的刚度,和/或
-通过使终端的扭转部分(在所述螺旋游丝有此部分的情况下)变薄来修改螺旋游丝的刚度。
在第一实施例中,通过分割单个皮秒激光器的光束或者通过使两个皮秒激光器同步接收来自控制装置的相同指令,将具有相同特征的至少两个光束同时定向到彼此远离并与摆轮轴线径向相距相同值的两个这种区中。光束的分割可以通过诸如镜子、半反射棱镜等光学元件来实现。优选地,在与其他区等同的这些区中的每一个区上生成脉冲序列。如果这例如由于两个激光器的稍微不同的特征而无法实现,则确保中途改变微加工操作以平衡实际在两侧上去除的材料。
当然,尽管在此给出的示例具有两个皮秒激光器,但可以使用更多激光器源。但是,空间要求和工作区的到达常常使在同一个组件上使用多于两个光束不切实际。
在一特定实施例中,通过分割单个皮秒激光器的光束或者通过使若干皮秒激光器同步接收来自控制装置的相同指令,将具有相同特征的至少两个光束同时定向在边缘或由摆轮承载的构件的至少两个这种区中。这些区彼此远离并且优选与摆轮轴线径向相距相同值。在与其他区等同的这些区中的每一个区上生成脉冲序列。更一般地,可以以任何n阶对称来进行扫描操作。
当前自动控制的快速响应使得对于单个激光器或皮秒激光器而言,可以将其光束定向在构件的彼此远离、特别是位于其主惯性轴线的任一侧上的区上,当工作区域打开时,这允许从各个方面进行微加工,并且特别是允许进行相对于主惯性轴线仍然对称的加工操作,以免形成不平衡。因此可以花费数十分之一秒从一个微加工区来到另一个微加工区而在同一构件的任一侧上以摆锤方式工作。
在修正振荡器的提前或推后的情况下,还可以通过使用激光器或皮秒激光器扫描摆轮的高度集中在一侧上的单个区来立即修正该提前或该推后的一半,由此形成的不平衡随后通过以相同的方式在摆轮的另一侧上进行材料的对称去除来消除。在该微加工方法中,对于最大限度地缩短的光束的中间路径而言,每天节省了数十秒,并且在待修正的值大的情况下这一点特别重要。在对振荡组件进行微加工的情况下,优选对多个完整的循环进行作业以使不平衡最小化。
当然,也可以分割从带有一组棱镜或镜子的单个激光器或皮秒激光器发出的光束,以便获得在两个不同区中撞击构件的两个光束。该分割于是有利地对称地执行以达到相同的结果。事实上,一个或多个激光器或皮秒激光器的使用取决于工作区域中的空间和待进行微加工的区的可达性,该可达性在构件一体形成在安装好的组件中时会受到约束,于是与沿复杂的路线分割单个激光器或皮秒激光器的光束相比可以更容易地对称地同时使用若干个激光器或皮秒激光器。
为了很好地利用本发明,使用测量和比较装置来测量或比较该构件的惯性轴线周围、特别是其主惯性轴线周围的部分的动态惯性。其枢转轴线优选被选择成与该主惯性轴线合并。这些测量和比较装置也可以用来将构件与理论模型进行比较。
这些测量或比较装置优选与通过激光器或皮秒激光器进行的微雕刻和/或与材料的增加和/或材料的移位实时同步使用。
有利地,优选在构件被装配在由若干个元件、例如模块或时计机芯形成的组件中的情况下对构件进行微加工。
特别地,在构件被装配在时计机芯的游丝摆轮中的情况下对构件进行微加工,或者还在特别可以是游丝摆轮的构件被装配在时计机芯中的情况下对该构件进行该微加工。
本发明对于不同时计而言特别有效,不论所述时计是否可动,由于本发明是通用的,因此所述构件可以包括作为非限制性的示例的:摆轮、螺旋游丝、游丝摆轮、分轮摩擦轮或其他。
因此,在一特定构造中,对时计螺旋游丝使用用于调节频率的方法,其外螺圈通过第二端部延伸以便其连接至摆轮游丝外桩。根据该方法,通过借助于通过在至少一个激光器或皮秒激光器的至少一个脉冲序列的作用下进行的微雕刻操作在不修改其晶体结构或其热系数的情况下至少使第一螺旋部分或第二端部部分变薄而修改该螺旋游丝的刚度来形成推后。特别地,当第二端部具有扭转部分时,对第二端部的这种扭转部分进行微加工。也可以通过在其若干螺圈的水平使第一螺旋部分变薄而以相同的方式修改螺旋游丝的刚度。当然,也可以执行第一螺旋部分和第二螺旋部分的变薄。
如果需要的话,可以定位至少一个掩模以保护构件或装配好的组件的特定表面,并且这些表面当然也可以由控制装置用作激光器或皮秒激光器的光束的路径的不通过表面。
本发明还涉及一种用于执行根据本发明的方法的设备,该设备包括:至少一个激光器或皮秒激光器源;用于该源的控制装置,其也被布置成控制从该源发出的光束的移动或者控制该源本身的移动;特别是用于惯性和/或振荡频率的测量或比较装置,其与这些控制装置接口;以及用于待进行微加工的构件或组件的夹持和支承装置。所述设备优选还包括用于使该构件或该组件枢转的驱动装置,其与这些控制装置接口。有利地,所述设备还包括用于分割从激光器或皮秒激光器发出的光束的装置,并且控制装置于是被布置成控制从分割得到的各光束,和/或所述设备包括若干个激光器或皮秒激光器源,其中控制装置于是被布置成控制它们的各个光束。
为了回到高速多轴铣削领域的特定术语而以激光器或皮秒激光器的光束空间中的控制级别选择微加工策略使得能够以很有效的方式进行惯性和/或质量平衡的调节,在从数秒至数十秒的范围内的最短时间内进行微加工处理而获得的不平衡小于2微克×厘米。例如,每天执行50秒的修正的处理时间不超过10秒。本发明还允许根据特定和可辨识的外观进行微加工。后一种优点可用于防伪。
所使用的测量和比较装置不复杂并且是传统设备。在摆轮的情况下,测量主要涉及与振荡器的惯性和频率的动态测量和比较相结合的摆轮的相位、边缘的振幅、速度和位置。
在游丝摆轮的操作期间能够进行烧蚀的事实允许通过频率的测量而立即反馈烧蚀结果。
选择静态构件来去除材料并不昂贵。对于转动构件,必须确保材料去除的对称性,因此控制装置必须控制对称扫描区并且验证凹槽的长度是相等的。
因此,通过不仅在摆轮、其边缘、外桩或惯性块或其螺钉的水平、而且在参与惯性的任何元件例如螺旋游丝的水平去除材料可以对振荡器的频率进行调节,只要这些构件的材料使它们自身通过激光器或优选皮秒激光器升华。每天数秒或更多的调节可以容易和快速地进行。此外,这是为何优选使用皮秒激光器而不是飞秒激光器或阿秒激光器的原因,也可以使用飞秒激光器或阿秒激光器,但在脉冲每次以1000的系数缩短的情况下,材料的去除不良并且更难提供与工业调节的兼容。相反地,在清洁性方面,实验室激光器或纳秒激光器的使用不如皮秒激光器有利。但是,由于通过纳秒激光器去除材料大大优于皮秒激光器,因此如果通过保护装置、遮蔽物或旋转叶片或者甚至通过与用于排放最轻的气体和废料的气态流结合的磁体来收集喷雾,则在工业上可倾向于使用纳秒激光器。
在大多数情况下,在诸如游丝摆轮的频率调节或惯性控制的制表操作中,已证实进行两次微加工即可,且所述微加工最多在数秒或数十秒内进行。
根据本发明的方法的实施方案的一个变型不包括进行烧蚀,而是相反地单独地或者与烧蚀和/或材料的移位相结合地进行材料的施加。应理解,因此随后同样可以进行振荡频率、惯性或平衡的调节或控制。
这种材料的施加——其当然可以与材料的烧蚀相结合,特别是在追求最佳调节的迭代过程中——可以由激光器或皮秒激光器等执行,或者还借助于诸如喷头的材料喷雾装置或通过“喷射”能够附着于所述的可动部件的重产品来执行。以良好受控的方式,该喷雾尤其可以是墨水喷雾或另一种材料的喷雾以便通过打印头等来快速定型。沉积速率很高并且操作时间的数量级与以上对材料的微去除所述的激光扫描相同。
可设想其他施加材料的方法,诸如接触喷涂处理,例如定向PVD或LEPVD、焊接、钎焊、回流、离子注入等。
图中未示出的被布置成用于施加材料的设备可以尤其包括三轴控制装置,以允许用于可动部分的待增加材料的每个区的至少一个喷雾单元的任何空间定向。
控制装置的编程使得能够通过在该区或这些区上重复微雕刻操作而在摆轮上形成提前,以便达到可以由测量或比较装置控制的期望频率值,并且针对可以由测量或比较装置控制的期望值而在这些区上进行这些微雕刻操作以使摆轮相对于其主惯性轴线平衡。
应理解,相比之下,材料的增加允许在摆轮上形成推后。如上所述,在游丝摆轮的情况下,在螺圈上的材料去除还允许在组件上形成推后。
因此,通过分别在摆轮上去除或增加材料,或者相反地通过在螺圈上增加或去除材料,可以按需在游丝摆轮上形成提前或推后。
在若干个光束的组合使用的情况下,也可设想使功率分布在不同光束之间变化以用于在控制装置的控制下使不平衡均等。
在本发明的一个特别实用的实施例中,为了使处理时间最小化,激光器或皮秒激光器的烧蚀位置保持固定或者可以在受约束的区内移动。结果是,可以以不中断的方式进行烧蚀,这使处理时间最小化。
但是,一般而言,形成了不得不考虑的不平衡。但是,以下将示出可以抵消这种不平衡,前提是游丝摆轮具有很好地选择的振幅。因此,该策略的特征在于两个要素:
-(a)在具有与摆轮边缘的环形宽度相同量级大小的区内或者在适用时在螺旋游丝的螺圈或末端曲线的区内进行连续烧蚀,以及
-(b)游丝摆轮组件具有很好地选择的振幅以使不平衡最小化。
在另一特定实施例中,单个激光器或皮秒激光器的光束在通过摆轮轴线的平面的任一侧上从这个区对称地移位至另一个区,并且该平面优选被选择成与游丝摆轮组件的枢转路径的极端振幅相距相等的距离。优选地,激光器或皮秒激光器的工作序列中的这种与在其之前或紧随其后的另一个区相同的脉冲序列在这些区中的每一个区上交替地产生。该平面优选被选择成与摆轮的枢转路径的极端振幅相距相等的距离。在一种特别的模式中,这些区可以被选择成在适用时相对于摆轮或游丝摆轮组件的枢转轴线轴向对称。
应理解,在与其他模式相似的模式中,光束相对于该区的移位是相对移位:同样可以使光束移动,或实际上(激光器)源、游丝摆轮组件、或优选光束和游丝摆轮组件同时移动。
在使用单个激光器或皮秒激光器的模式中,有利地使用振幅稳定装置来维持构件或游丝摆轮组件在每个脉冲序列的过程中以具有恒定振幅的振荡进行枢转移动。该振幅被稳定在具有137°或316.5°的值的角度。也可以使用同步装置来使皮秒激光器的光束的移动与游丝摆轮组件的枢转移动在每个脉冲序列的过程中同步。该振幅仍被稳定在具有137°或316.5°的值的角度。
为了更好的效率,优选该至少一个区被限定为一方面在摆轮或该摆轮所承载的构件或惯性块或外桩或调节螺钉的水平或另一方面在螺旋游丝的螺旋部分或端部弯曲的水平仅从由金属表面形成的表面形成。在缺少允许在必要的情况下修正提前或推后的这种金属表面的情况下,执行第二过程,通过该第二过程对不平衡调节进行调节,以在适用时在摆轮和/或螺旋游丝上重新形成修正能力。该第二过程可以是迭代的第二过程并且通过该第二过程恢复第一迭代过程直至在其公差内获得期望振荡频率。
在该方法的一个特别的不同实施例中,控制装置由测量或比较装置自动控制。
在开始该过程前,对游丝摆轮组件进行初始静态和动态平衡,以使其主惯性轴线与摆轮轴线一致并在给定公差内达到期望惯性值。
通过以下计算来阐明用于移动的游丝摆轮组件、也就是在其围绕摆轮轴线的枢转移动期间的烧蚀策略。
通过新颖的方法的执行,本发明提出进行该游丝摆轮组件的频率调节,而且实现其惯性调节和平衡以便使摆轮的该枢转轴线与其主惯性轴线一致。
本发明被开发成在单个摆轮、装配好的游丝摆轮以及一体形成并且安装在时计机芯中的游丝摆轮同等地进行。
由于该策略而优化了处理时间和所形成的不平衡。
以下介绍的振幅稳定方法同样适用于诸如摆轮的孤立可动构件和诸如游丝摆轮组件等组件。
如以下将介绍的,该振幅因此优选被稳定在具有137°或316.5°的值的角度。
不同方法可单独或相结合地用来稳定振幅:选择发条盒的特定缠绕状态,通过控制柄轴上或机芯的可动部件之一例如秒针或分针等上的外扭矩源对振幅进行自动闭环控制,使用外部稳定源,例如自由振荡的空气流,移除锚具等。
在使用单个激光器或皮秒激光器的情况下,也可使用同步装置来使从激光器或皮秒激光器发出的至少一个光束的移动在所述脉冲序列的过程中与游丝摆轮组件的枢转移动同步。
对于同步而言,重要的是在适用时估计摆轮或游丝摆轮组件的振荡相位,其可以使用单独的方法或不同方法的结合来进行:通过用麦克风捕获擒纵机构所产生的噪音的声学方法,通过检测摆轮的臂和臂的粗糙度以确定边缘的位置、速度和加速度的光学方法,或任何其他方法。
现将描述如何确定能够使不平衡最小化或者实际上被抵消的振幅。
由于烧蚀位置在游丝摆轮组件移动的同时不变,因此材料的去除沿边缘分布并且不一定在整个周边上,取决于游丝摆轮组件的振幅,或者沿螺圈分布。为了简化,边缘易于承载的元件例如惯性块、外桩、平衡和/或调节螺钉被归于与所述边缘相同的类别。类似地,螺旋游丝可以包括的相关元件例如端部弯曲、内桩或其他元件被归于与所述螺旋游丝的螺圈相同的类别。此外,由于在游丝摆轮组件的速度变化时优选以恒定的射击频率进行烧蚀,因此在角向位置θ处去除的材料量也变化。其目的是得出游丝摆轮组件的抵消不平衡或等价地引起被去除的材料的质心位于游丝摆轮组件的中心的振荡幅度。
所去除的材料的质心的位置Xcm通过下式提供:
其中沿边缘积分。将f称为θ的函数,其提供每单位长度(在适用时,沿边缘或螺圈)去除的材料的分布。为了确保由所去除的材料形成的不平衡为零,有必要满足下式:
仅考虑每单位长度的大小的原因是相对于游丝摆轮组件的宽度以及根据枢转轴线的不平衡分量能够忽略激光器或皮秒激光器的工作区的宽度,尽管f根据θ变化导致不一致的烧蚀深度。
考虑仅为单个周期的前四分之一的时刻。在θ周围的区间dθ去除的材料量dm与特定时间dt对应,并且也可得出
dm=k dt,
其中k是材料的去除率。由于激光器或皮秒激光器的射击频率优选是恒定的并且相对于摆轮的振荡频率很高,因此认为k是常数。因此
k dt=f(θ)dθ。
但θ=A(t),其中A是提供了摆轮在时间t的角向位置的函数,且因此 其表示
换言之,所去除的材料在边缘位置θ的分布与游丝摆轮组件在其角扩展等于θ时的速度成反比。
对于数量级为一秒或十分之一秒的处理时间而言,将游丝摆轮组件的振荡适当地描述为谐波变化,
A(t)=A0sin(ωt)。
因此,改写f的最后一个表达式,得出
将其最终表示为
当θ>A0时该表达式无意义,但认为对于高于A0的θ值,f等于0,其由于激光器或皮秒激光器未到达这些位置而正常。
为了达到这一结果,将其约束为游丝摆轮组件的四分之一振荡。
对应于完整周期的用于f的最终表达式从适用于该四分之一周期的振荡对称获得。但是,并非真正需要实际上包括这些。此外,任何额外的完整周期不会增加不平衡。
为了理解为何可以在计算时将本发明限制为第一个四分之一周期,我们将Ox称为与摆轮在激光器或皮秒激光器的工作位置处的轴线接合的轴线,且将Oy称为垂直于Ox的轴线。对f增加第二个半周期不会改变所去除的材料的质心的坐标Xcm并且确保坐标y将由于对称而为零。对f增加第二个四分之一周期使f被乘以2,这不会以任何方式改变确保Xcm=0的条件。因此,根据由式(1)定义的f来给出Xcm。
因此:
最后,确定用于确定抵消Xcm的A0的值的值。由于不存在允许对所述积分获得闭合形式解的原始积分,上式(2)的右侧项的零点以近似方式通过数值积分获得。
作为A0的函数的式(2)的右侧项的曲线图在图1中提供,其中在纵坐标侧示出了随角向位置的振幅A0变化的所去除的材料的质心的位置的代数值Xcm。
显然,对于0°与360°之间的振幅值,存在提供零不平衡的两个振幅,即A0=137°和A0=316°。
优选对这些值应用每微克×厘米的不平衡多于或少于2.5°的公差,即,例如,对于2微克×厘米的不平衡多于或少于5°。
在实践中,不需要激光器或皮秒激光器保持绝对固定不动。例如,在适用时,可以使其往复径向移动,同时保持在边缘或螺圈上移动。也可以使其呈不同形状,诸如圆形、8字形、多边形。但是,只要通过激光器或皮秒激光器扫描的区具有为边缘的厚度或螺圈的宽度的量级的典型延伸范围,以上理论模型就保持良好的近似且其结论保持有效。
在以上推理中未考虑相位移动的影响。但是,其对不平衡的影响是可忽略的,这是因为游丝摆轮组件的每一个完整振荡都产生零不平衡并且因此与相位移动相关的不平衡最多增加至在单个不完整的周期期间形成的最大不平衡。
当游丝摆轮组件的机芯的推进具有低于360°的振幅时,进行以上提出的限定计算。但是,不必局限于这种情况。例如,如果摆轮或游丝摆轮组件应具有高于360°的振幅,则函数A-1(θ)于是即使在四分之一周期上也将具有若干解,这使表达式的写法复杂,但没有改变对它们的推理。
本发明还涉及如图2所示的用于执行该方法的设备1,该设备包括至少一个激光器或皮秒激光器源2和用于该源的控制装置3,该控制装置被布置成生成、排序、中断激光器或皮秒激光器2的至少一个脉冲序列。这些控制装置3也被布置成控制从激光器或皮秒激光器2发出的至少一个光束20的移动或该源2本身的移动。设备1还包括与这些控制装置3接口或连接的测量和比较装置4,以及用于待进行微加工的摆轮11或游丝摆轮组件11的夹持和支承装置5等。为了简化,简化后的图1和3至5仅示出了该游丝摆轮组件11的摆轮11、边缘12和枢转轴线14。
该设备1优选还包括用于使待进行微加工的游丝摆轮组件11枢转的驱动装置6,其与这些控制装置3接口。在另一个变型中,也可以以自由振荡的摆轮或游丝摆轮组件来执行本发明且设备1因此包括用于其初始振荡的脉冲装置。
在第一实施例中,如从图2显而易见的,设备1包括用于分割从激光器或皮秒激光器2发出的光束的装置7。控制装置3被布置成控制通过分割形成的光束20、20A中的每一个。替代地或附加地,如从图3显而易见的,设备1还可以包括若干个激光器或皮秒激光器源2、2A,并且控制装置3于是被布置成将它们的光束20、20A均引向由控制装置3限定的微加工区13、13A。
图2提供了通过分割形成并且具有由电机驱动的镜子或棱镜21的定向所限定的空间轨迹的光束20和20A的控制示例,所述镜子或棱镜由控制装置3控制,优选具有一个或两个枢转移动自由度。这种镜子或棱镜21也可以结合到检流计中或者可以以功率激光器的一般领域中公知的任何方式配置。
有利地,设备1包括振幅稳定装置8,以保持游丝摆轮组件11的枢转移动,从而以恒定振幅的振荡对游丝摆轮组件11进行微加工。
有利地,设备1包括同步装置9,其优选是可分离的,以便使从激光器或皮秒激光器2发出的至少一个光束20的移动在每个脉冲序列的过程中与游丝摆轮组件11的枢转装置同步。
有利地,为了引导任何污染物并且还使工作区域完全清洁,设备1优选包括用于与升华相关的气体和/或废料的排放装置10,其中这些排放装置优选通过压差操作。这些排放装置具有双重功能:从工作区域去除由于升华而产生的气体并且在这些气体可能有毒的情况下还保护操作人员。
在要求使用惯性块的本发明的一个变型中,这些有利地被设计成实现对操作的调节,特别是作为售后服务的一部分,而且还作为初始出厂调节的一部分。
第一构造变型是等同但以不同直径定位的惯性块的使用。
第二构造变型是不同的、特别是具有不同厚度的但定位在相同直径上的惯性块的使用。厚度差可以从预制或者还从通过激光器或皮秒激光器在惯性块的厚度上对材料的烧蚀获得。
当然,惯性块的这两个变型的组合同样是可能的。
有利地,这些惯性块以允许在售后服务中使用标准工具、特别是“Bergeon”型工具等的形式构成。
本发明的一个变型允许防止材料的去除或增加或至少使其最小化,以便进行时计机芯或包括外缘并且能够绕摆轮轴线枢转的时计摆轮或游丝摆轮组件的振荡频率和/或惯性和/或平衡的调节或控制。该变型涉及通过局部熔化接着熔化区的移位、接着固化冷却操作来执行可动部分内的材料的移位。这允许最小化或实际上防止材料的去除或增加。
通过重力或者在操作的调节期间的离心力的作用下、或者在一个有利的变型中还在吸引力、特别是磁力和/或静电吸引力的作用下(如果材料允许这样),可以进行熔化材料的移位。
材料的移位也可以与在热处理期间形成或释放的内部应力相关。
通过使为此设置的可变形区、诸如凸耳或销等弯曲,也可以进行材料的移位。
材料的移位也可以通过拉伸材料来进行:选择易于拉伸的特定材料,诸如铟,或可以极大地有利于这种材料移位的特定塑料。可以使用滚子、凿子、钩等通过在停止时和/或在枢转期间推动和/或拉动材料来进行该拉伸操作。
可以通过如上所述的激光器、纳秒激光器或皮秒激光器技术或通过等离子体等来进行这种局部熔化。
可动部分的设计可以有利地定向成有利于材料的烧蚀、沉积或移位。
因此,本发明还涉及一种不带指针组件的时计游丝摆轮组件,其被布置成执行本文所述的方法以便调节其振荡频率,其特征在于,所述时计游丝摆轮组件包括多个惯性块,所述惯性块以允许在售后服务中使用标准工具的形式制成并且构造成相同的并定位在相同直径或不同直径上,或构造成不同的并定位在相同直径或不同直径上;或者包括特别用于移位或重新定位熔化材料的一个或多个封闭的内部腔室;或者包括表面层或牺牲部分,或者包括在外力作用下可以释放的预应力区;或者包括能够在热处理的作用下处于不同物理状态的区;或者包括带电和/或磁化区;或者包括具有可变的应力分布的多金属区。
特别地,在一有利构造中,所述可动部分包括表面层,该表面层的性质可以与所述可动部分的核心结构不同且其具有使这些烧蚀、沉积、转变或变形操作更容易的物理特性。该表面层(其可以是牺牲层)的结构有利地被选择成允许使用更简单和更快速的方法来进行期望操作。在激光烧蚀的情况下,特别是表面层的适当选择可以允许使用纳秒激光器或飞秒激光器代替对于直接作用在可动部分的结构的材料上最特别地推荐的皮秒激光器。该表面层还允许所述的可动构件呈现特定的外观。
在一特定构造中,所述可动部分包括可以连通或不连通的一个或多个内部腔室,在所述内部腔室中进行材料的熔化,该熔化材料的移位,然后进行固化。被熔化的材料完全可以具有与可动部分的结构的材料不同的性质,例如,该腔室可以容纳可在比该腔室布置在其中的结构的熔点低的熔点熔化的产品,例如,由黄铜制成的摆轮可以包括一腔室或通道,其中熔化的锡在制造阶段沉积,并且该锡的重新熔化和其离心或向心移位允许修改可动部分的惯性。
在可动部分内、例如在摆轮内,闭合腔室的形成实现了不可见的调节并且允许形成防伪标记。
另一个变型包括通过机械工艺、例如滚花、开槽、压花、冲孔、形成毛边或凹部等来使可动部分的表面变形,以便局部修改其惯性。
可动部分的几何形状可以被设计成用于在加热操作或机械作用期间整平,例如,摆轮的边缘可以具有用于通过熔化或通过施力而被整平的***部。
另一个变型包括设计希望对其进行操作的控制或调节的可动部分,该可动部分设置有可去除的和/或柔韧的牺牲部分。该布置结构允许对惯性的调节以及对螺旋游丝上的扭矩的调节,并且还允许残余应力的释放。
特别地,所述可动部分的某些区可以单独被设置成承受例如在***凸耳等的水平进行的烧蚀、材料沉积、转变或变形操作。
更特别地,在摆轮或游丝摆轮的情况下,其由于进行微加工的可达性、材料在边缘上以及在其两个相对面上的沉积或移位而有利。
有利地,执行形成构件的材料或组件的至少一个构件的物理状态的局部改变,以通过局部修改其几何形状和/或其密度来修改其惯性。
所述可动部分的设计也可以结合有可以在外力的作用下释放的一个或多个预应力区。例如,可以形成可以在调节期间释放的具有高表面张力的区,从而形成稍微修改的几何形状。
类似地,选择诸如“Nitinol”等形状记忆材料来形成可动部分允许获得在操作调节期间回到或呈现预定形状的几何形状。转变阈值对应于转变温度,其可以通过良好受控的局部加热来获得。
诸如陶瓷、半导体、聚合物、通过“LIGA”工艺获得的合金、石英、带电材料、非晶金属之类的特定材料的物理性质的使用也允许使用对应于这些材料可以呈现的不同物理状态的不同几何形状。例如,由非晶材料制成的摆轮在通过其玻璃化转变温度期间的转变引起密度的局部变化,这产生了期望效果。
这种特性的局部变化对于某些材料而言可以引起核心处理或相变或晶体结构的改变。
具有几种材料的组件和/或具有不同物理性质的金属例如像双金属的形式的可动部分的形成也允许修改应力的分布和待进行的惯性调节。特别地,在摆轮的情况下,双金属或多金属边缘的形成使得该目的能够实现。
根据本发明的方法在控制或调节操作上的应用揭示了可以在某些情况下通过使用相同手段来获得的可动部分的表面特征的修改的扩展:可动部分的一些内部区被处理,例如带电或磁化,然后用表面涂层覆盖。该表面涂层上的局部作用因此允许显露被处理区的全部或一部分,其使得可以通过用另一个元件通过吸引力或排斥力来改善控制或调节操作,并且这使得能够更容易地实现期望的控制或调节。
本发明的执行能够有利于控制和调节。
本发明的执行还可允许消除某些常见布置结构,诸如螺圈的扭转,其通常目的是通过固定计数位置而使在移动期间的操作变化最小化。事实上,本发明的概念允许使操作变化最小化。
Claims (27)
1.一种用于调节时计机芯或时计游丝摆轮组件的可动构件的振荡频率和/或惯性和/或使其平衡的方法,其特征在于,通过使用至少一个转变装置来对所述构件或所述组件的至少一个构件进行材料的去除和/或材料的增加和/或材料的移位,所述转变装置包括至少一个激光器或等离子体源,以对所述构件或所述组件的所述至少一个构件的材料和/或至少一种附加材料进行微加工和/或微熔融操作,以在所述转变装置的至少一个脉冲的作用下使至少一种附加材料气化和/或升华和/或移位和/或焊接到所述构件上或所述组件的所述至少一个构件上,并且,所述至少一个脉冲由被布置成生成、排序、中断所述至少一个转变装置的任何脉冲的控制装置控制,其中所述控制装置也被布置成控制从所述转变装置发出的至少一个光束的移动,其中所述控制装置连接至测量或比较装置或者还由所述测量或比较装置自动控制。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述测量或比较装置被布置成在所述构件或所述组件的移动期间对所述构件或所述组件的所述至少一个构件进行测量。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述控制装置被编程以便限定所述构件或所述组件的所述至少一个构件的表面的至少一个特定区,在所述区上去除和/或增加材料和/或使材料移位,并且在于,所述控制装置被编程以便以所述转变装置的高平均频率生成至少一个脉冲序列,从而在所述区上生成由所述至少一个转变装置发出的光束的至少一条连续冲击线。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述高平均脉冲频率在100kHz与500kHz之间的范围内。
5.根据权利要求3或4所述的方法,其特征在于,所生成的脉冲的数量在105与1010之间的范围内。
6.根据权利要求3至5中任一项所述的方法,其特征在于,所述构件或组件或所述转变装置的光束的方向在所述至少一个脉冲序列期间移动。
7.根据权利要求3至5中任一项所述的方法,其特征在于,至少所述构件或组件在所述至少一个脉冲序列期间移动或者所述转变装置的光束的方向在所述至少一个脉冲序列期间也移动。
8.根据权利要求4至7中任一项所述的方法,其特征在于,使所述构件或所述组件在所述转变装置的所述至少一个脉冲序列期间围绕其主惯性轴线枢转,并且,出于测量或比较所述构件在所述构件或所述组件的主惯性轴线周围的动态惯性的目的而使用所述测量或比较装置。
9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,使用单个转变装置,并且使用振幅稳定装置维持所述构件或所述组件在每一个脉冲序列的过程中以恒定振幅振荡进行枢转移动。
10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述振幅被稳定在具有137°或316.5°的值的角度。
11.根据权利要求9或10所述的方法,其特征在于,使用单个转变装置,并且使用振幅稳定装置维持从所述转变装置发出的至少一个光束的移动与所述构件或所述组件在每一个脉冲序列的过程中进行的枢转移动一致。
12.根据权利要求3至8中任一项所述的方法,其特征在于,使用至少两个转变装置,所述至少两个转变装置的光束移动相对于通过所述构件的主惯性轴线的平面或者相对于所述构件的主惯性轴线是对称的。
13.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,通过局部熔化、接着为熔化区的移位、接着为固化冷却,或者通过在热处理期间或在外力的作用下形成或释放内部应力,或者通过使可变形区或凸耳或销弯曲,或者通过材料的拉伸,来进行所述构件或所述组件的至少一个构件内的材料移位。
14.根据前一项权利要求所述的方法,其特征在于,通过局部熔化、接着为熔化区的移位、接着为固化冷却来进行材料移位,其中通过重力、或在操作调节期间在离心力的作用下、或在磁力和/或静电吸引力的作用下进行熔化材料的移位。
15.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,执行形成所述构件或所述组件的至少一个构件的材料的局部物理状态改变,以通过其几何形状和/或其密度的局部修改来修改其惯性。
16.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,在所述构件或所述组件的所述至少一个构件被装配在时计机芯中的情况下进行所述构件或所述组件的所述至少一个构件上的所述材料去除和/或材料增加和/或材料移位。
17.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,在所述构件被装配在时计机芯的游丝摆轮中的情况下进行所述构件上的所述材料去除和/或材料增加和/或材料移位。
18.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,选择至少一个激光器或皮秒激光器作为所述转变装置以通过在所述激光器或皮秒激光器的至少一个脉冲的作用下进行微雕刻来执行所述材料去除,从而通过升华来将所述构件或所述组件的所述至少一个构件的固态材料直接转变成气态流,并且,通过所述至少一个激光器或皮秒激光器在所述构件的处理期间在所述构件的任一侧上建立压差,以便排放与所述升华相关的气体和/或废料。
19.根据前述权利要求中任一项所述的方法,该方法用于调节时计游丝摆轮组件的振荡频率,所述摆轮包括外缘和在内桩处与内桩附接的至少一个螺旋游丝,其中所述游丝摆轮组件能够绕摆轮轴线枢转,其特征在于,进行材料的去除和/或增加和/或移位,以进行所述游丝摆轮组件的振荡频率的调节,并且,所述方法包括第一过程,在该第一过程中:
-针对期望振荡频率来评估所述游丝摆轮组件的提前或推后;
-所述控制装置被编程以便限定至少一个特定区,在所述区处,在适用时,必须去除和/或增加材料和/或使材料移位,在需要形成提前的情况下的第一替代方案中,所述区被限定在所述摆轮的所述边缘处或由所述摆轮承载的构件或惯性块或外桩或螺钉处,或者在需要形成推后的情况下的第二替代方案中,所述区被限定在所述螺旋游丝的至少一个螺圈处;
所述控制装置被编程以便在适用时通过借助于在所述摆轮上移除材料而减小惯性来产生提前,或者通过借助于向所述螺旋游丝增加材料而修改所述螺旋游丝的刚度来产生提前,或者通过在所述摆轮或所述螺旋游丝处使材料移位来产生提前,或者通过借助于向所述摆轮增加材料而增加惯性来形成推后,或者通过借助于在所述螺旋游丝上去除材料而修改所述螺旋游丝的刚度来产生推后,或者通过在所述摆轮或所述螺旋游丝处使材料移位来产生推后。
20.根据前一项权利要求所述的方法,其特征在于,所述控制装置被编程以便通过对所述区重复微雕刻操作而在所述摆轮上形成提前,从而达到期望频率值,所述期望频率值能由所述测量或比较装置控制,并且在所述区上进行所述微雕刻操作以便针对期望值使所述游丝摆轮相对于其主惯性轴线平衡,所述期望值能由所述测量或比较装置控制,并且所述控制装置被编程以便通过借助于在所述转变装置中的至少一个转变装置的至少一个脉冲序列的作用下进行微雕刻以使所述螺旋游丝的至少一个螺圈变薄和/或在所述螺旋游丝具有终端的扭曲部分的情况下使该终端的扭曲部分变薄而在不修改所述螺旋游丝的晶体结构或热系数的情况下修改所述螺旋游丝的刚度来形成推后。
21.根据权利要求19或20所述的方法,其特征在于,所述第一过程是直至在一定公差内达到期望振荡频率的第一迭代过程。
22.根据权利要求20或21所述的方法,其特征在于,所述至少一个区被限定为在所述摆轮或所述摆轮所承载的构件或惯性块或外桩或调节螺钉的水平或者在所述螺旋游丝的螺旋部分或端部弯曲的水平仅从由金属表面形成的表面形成,并且,在缺少允许按需修正提前或推后的这种金属表面的情况下,执行第二过程,通过所述第二过程对不平衡调节进行调节,以在适用时在所述摆轮和/或所述螺旋游丝上重新形成修正能力,并且通过所述第二过程恢复所述第一过程直至在其公差内获得期望振荡频率。
23.根据权利要求19至22中任一项所述的方法,其特征在于,对所述游丝摆轮组件进行初始静态和动态平衡,以使其主惯性轴线与所述摆轮轴线一致并在给定公差内达到期望惯性值。
24.一种不带指针组件的时计游丝摆轮组件,所述时计游丝摆轮组件被布置成执行根据前述权利要求中任一项所述的方法以便调节所述时计游丝摆轮组件的振荡频率,其特征在于,所述时计游丝摆轮组件包括多个惯性块,所述多个惯性块以允许在售后服务中使用标准工具的形式制成并且构造成相同的并定位在相同直径或不同直径上,或构造成不同的并定位在相同直径或不同直径上;或者包括特别用于熔化材料的移位或重新定位的一个或多个封闭的内部腔室;或者包括表面层或牺牲部分;或者包括能在外力作用下释放的预应力区;或者包括能够在热处理的作用下处于不同物理状态的区;或者包括带电和/或磁化区;或者包括具有可变应力分布的多金属区。
25.一种用于执行根据权利要求1至23中任一项所述的方法的设备,其特征在于,所述设备包括:至少一个激光器或皮秒激光器源,其形成所述转变装置;用于所述源的控制装置,其被布置成产生、排序、中断所述激光器或皮秒激光器的至少一个脉冲序列,其中所述控制装置还被布置成控制从所述激光器或皮秒激光器发出的至少一个光束的移动或所述源自身的移动;与所述控制装置接口的测量和比较装置;用于待进行微加工的构件或组件的夹持和支承装置;用于使所述构件或所述组件枢转的驱动装置,其与所述控制装置接口;用于维持所述构件或所述组件以恒定振幅的振荡进行枢转移动的振幅稳定装置,并且,所述设备包括用于通过压差排放与材料的升华相关的气体和/或废料的装置。
26.根据前一项权利要求所述的设备(1),其特征在于,所述设备包括同步装置(9),所述同步装置用于使从所述激光器或皮秒激光器(2)发出的至少一个光束(20)的移动在由所述至少一个激光器或皮秒激光器源发出的每一个脉冲序列的过程中与所述振幅稳定装置(8)的枢转移动同步,以维持所述构件或所述组件的所述至少一个构件的枢转移动。
27.根据权利要求25或26所述的设备,其特征在于,所述设备包括用于分割从所述激光器或皮秒激光器发出的光束的装置,其中所述控制装置被布置成控制从分割获得的每一个光束,和/或所述设备包括若干个激光器或皮秒激光器源,其中所述控制装置于是被布置成控制所述若干个激光器或皮秒激光器源的每一个光束。
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