CN102956421A - 一种离子源灯丝及其夹持装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于离子注入机的离子源灯丝及其夹持装置。一种离子注入机用离子源，可以产生宽带束或扁状带束，为使其正常工作发明一种灯丝及灯丝夹持装置，以产生稳定的强电子。主要包括：灯丝(1)、灯丝联接杆(2)、石墨支撑板(3)、绝缘陶瓷座(4)、丝夹(5)和电源输入带(6)等。该装置特征在于，采用特别的灯丝(1)安装于灯丝联接杆(2)上，并采用特别的丝夹(5)联接灯丝联接杆(2)和电源输入带(6)；灯丝(1)的设计可以发射高强度电子，丝夹(5)可以牢固的固定灯丝联接杆(2)，并起到输送高压的作用。说明书对装置工作原理进行了详细的说明，并给出了具体的实施方案。

Description

一种离子源灯丝及其夹持装置

技术领域

本发明涉及一种离子源灯丝及其夹持装置，特别适合于半导体工艺设备中的离子注入机。

背景技术

离子注入机是半导体工艺中离子掺杂的典型设备，离子源产生需要掺杂的离子束，离子束再经过质量分析、校正、加速，传输到处于靶室终端工艺腔体的硅片表面。

随着半导体器件集成度越来越高，半导体工艺设备越来越复杂，对离子源的的束流要求也越来越高，因此对于离子源灯丝的要求也越来越高。对于注入工艺，低能量大束流的离子注入机是发展的方向，而适用于该类离子注入机的离子源需要产生宽带束或扁状带束。本发明正是基于应用该类离子源而设计。

发明内容

针对现有半导体工艺中离子注入机设备发展的要求，本发明设计一种用于离子注入机离子源的灯丝及其夹持装置。该装置涉及到一种用于离子源的特别灯丝，用于发射强电子，以激发电极产出大量电子。

该装置亦涉及到一种夹持灯丝的的夹持装置，该装置包括灯丝联接杆和丝夹，其中丝夹设计采用特别的刀形状，用于夹持灯丝联接杆；灯丝两端嵌入灯丝联接杆中。

该装置亦设计到一种电源输入带与丝夹的联接，其采用双螺栓联接。

本发明有以下几个显著特点：

1.功能效果明显；

2.结构简单，便于加工制造；

附图说明

图1是一种用于离子源灯丝及其夹持装置组件的等轴测视图。

图2是离子源灯丝的正视图。

图3是丝夹的正视图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明专利的限定。

本发明公开了一种用于离子注入机的离子源的灯丝及其夹持装置，如图1所示，和离子注入机用离子源一起使用。该离子源可以产生宽带束或扁状带束。该装置为使其正常工作强电子流。该装置主要包括：灯丝(1)、灯丝联接杆(2)、石墨支撑板(3)、绝缘陶瓷座(4)、丝夹(5)和电源输入带(6)等。

如图1所示灯丝(1)嵌于灯丝联接杆(2)上；其中灯丝(1)采用迷宫式旋转对称结构，如图2所示，通过此种结构增加电流通过的长度，以使灯丝产生大量的电子。

采用特别的丝夹(5)联接灯丝联接杆(2)和电源输入带(6)，其中丝夹(5)采用刀形结构，如图2所示，这样的结构既可以牢固的夹持灯丝联接杆(2)，又有很好的导电性。

石墨支撑板(3)安装在绝缘陶瓷座(4)上，用来支撑附属结构。

绝缘陶瓷座(4)与丝夹(5)采用双螺栓联接，增加联接的紧固。其中，，绝缘陶瓷座(4)用于整个灯丝结构与其他装置的联接，并起到隔离高电压的作用。

电源输入带(6)与丝夹(5)通过双螺栓联接，其中电源输入带(6)采用可变形金属材料，易于和电源相接。

本发明的特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。

Claims (6)

1.一种离子源灯丝极其夹持装置，特别适用于离子注入机用离子源。一种离子注入机用离子源，可以产生宽带束或扁状带束，为使其正常工作发明一种灯丝及灯丝夹持装置，以产生稳定的强电子。主要包括：灯丝(1)、灯丝联接杆(2)、石墨支撑板(3)、绝缘陶瓷座(4)、丝夹(5)和电源输入带(6)等。

2.如权力要求1所述的一种离子源灯丝极其夹持装置，该装置特征在于，采用特别的灯丝(1)安装于灯丝联接杆(2)上。

3.如权力要求1所述的一种离子源灯丝极其夹持装置，该装置特征在于，采用特别的丝夹(5)联接灯丝联接杆(2)和电源输入带(6)。

4.如权力要求1所述的一种离子源灯丝极其夹持装置，该装置特征在于，丝夹(5)与电源输入带(6)通过双螺栓联接。

5.如权力要求2所述的一种离子源灯丝极其夹持装置，该装置特征在于，离子源的灯丝(1)采用迷宫式旋转对称结构。

6.如权力要求3所述的一种离子源灯丝极其夹持装置，该装置特征在于，丝夹(5)采用刀形结构，既可以牢固的夹持灯丝联接杆(2)，又有很好的导电性。

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