CN102794091B - 等离子废气循环*** - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种等离子废气循环***，尤其涉及一种在等离子产生装置中，经加工后而产生的一部分排出气体进行再利用的等离子废气循环***。所述等离子废气循环***包括：内部配置有等离子产生装置的空间室；末端与所述等离子产生装置连接，向所述等离子装置供气的供气管；一端与所述等离子产生装置连接的吸气管；与所述吸气管的另一端连接的气泵；一端与所述气泵连接，另一端连在所述供气管的首端与尾端之间的辅助供气管；与所述空间室连接，将所述空间室内的气体排出的排气口。所述空间室内的一部分气体，因所述气泵而被吸入所述吸气管，经过所述辅助供气管和所述供气管，再次供向所述等离子产生装置。
Description
技术领域
本发明涉及一种等离子废气循环***，尤其涉及一种在等离子产生装置中，经加工后而产生的一部分排出气体进行再利用的等离子废气循环***。
背景技术
半导体元件经酸化、蚀刻、蒸着及光刻等多种工程而制成，在此工程中使用多种有毒性化学药品及化学气体。最近随着中微半导体元件的制造不断增加，这种制造工程中的有毒气体的用量也随之增大，如四氟乙烯、四氟化碳、八氟丙烷、全氟丁烷、三氟化氮、六氟化硫等全氟烷混合物（PerFluoro Compound，以下简称 PFC），上述化学气体的毒性强，被排入大气中时，会对人体产生致命影响，并导致严重的环境污染。
全氟烷混合物分解为稳定的化合物的时间一般需要1000至10000年，因此可长久性的残存在地球上，导致环境污染的同时，造成全球变暖。
因此，必须使其有害成分的含量降至环境许可的程度，并通过无毒化处理工程使其毒性消除，方可排入大气中。也就是说，通过类似于现有的等离子产生装置中所使用的涤气机等气体净化装置，使有毒气体得以净化后，排向大气。
现有技术中的等离子产生装置的排气***不能对已使用的气体进行再次使用，气体全部被排向外部。
要将工程中排出的所有气体都进行处理的话，就需要有一定规模的等离子产生装置，相对而言，气体处理工程的费用就会随之增大。所使用的气体也不能得到充分利用，导致资源浪费。
发明内容
本发明的目的是解决上述现有技术中所存在的问题，尤其是提供一种等离子废气循环***，通过本***来再次使用等离子产生装置中已使用的部分气体，从而减少资源浪费，降低工程成本，最大程度地降低大气污染。
本发明解决上述技术问题的技术方案如下：一种等离子废气循环***包括：内部配置有等离子产生装置的空间室；末端与等离子产生装置连接，并向所述等离子装置供气的供气管；一端与所述等离子产生装置连接的吸气管；与所述吸气管的另一端连接的气泵；一端与所述气泵连接，另一端连在所述供气管的首端与尾端之间的辅助供气管；与所述空间室连接，将所述空间室内的气体排出的排气口；所述空间室内的一部分气体，因所述气泵而被吸入所述吸气管，经过所述辅助供气管和所述供气管，再次供向所述等离子产生装置。
在所述气泵的前方，所述气泵和空间室之间安装有过滤器。
在所述供气管中，经首端流入的新气体与经所述辅助供气管供给的再使用气体混合，并供向所述等离子产生装置。
还包括控制部，所述控制部由设置在所述供气管首端的开闭阀及设置在所述供气管和辅助供气管的连接部位与所述供气管的尾端之间的气体浓度测定感应器构成；所述控制部控制所述开闭阀的开闭及所述气泵的旋转数，使所述感应器测定的气体浓度与事先设定的值相符。在所述感应器测定的气体浓度较低时，所述控制部加大所述开闭阀的开放程度，并降低所述气泵的旋转数；在所述气体浓度较高时，所述控制部减小所述开闭阀的开放程度，并增加所述气泵的旋转数。
本发明的有益效果是：本发明所提供的等离子废气循环***，可再次使用等离子产生装置中已使用的部分气体，从而减少资源浪费，降低工程成本，最大程度地降低大气污染。
附图说明
图 1 是本发明实施方式的等离子废气循环***的结构图。
具体实施方式
图 1 是本发明实施方式的等离子废气循环***的结构图。如图 1 所示，本发明的等离子废气循环***，包括：空间室 110、等离子产生装置 120、供气管 130、吸气管 140、过滤器 145、气泵 150、辅助供气管 160、排气口 170、控制部 180、开闭阀 190、感应器 195 等。
空间室 110 的内部配有等离子产生装置 120。等离子产生装置 120 因流入的气体，而产生等离子，并加工基板。
供气管 130 的末端与等离子产生装置 120 连接，并向等离子产生装置 120 供气。吸气管 140 的一端与等离子产生装置 120 连接，另一端与气泵 150 连接。
气泵 150 与吸气管 140 的另一端连接，空间室 110 内部的气体通过吸气管 140，并流经辅助供气管 160 后被排出。
辅助供气管 160 的一端与气泵 150 连接，另一端连接在供气管 130 的首端和尾端之间。空间室 110 内部的一部分气体因气泵 150 而被吸入吸气管 140，并流经辅助供气管 160 和供气管 130，然后被再次供向等离子产生装置 120。也就是说，在供气管 130 中，通过首端流入的新气体和通过辅助供气管 160 供给的再使用气体混合，并供向等离子产生装置 120。此外，在气泵 150 的前方安装有过滤器 145，过滤器 145 可过滤与从空间室 110 内流经吸气管 140 并流入气泵 150 的气体一起流入的细微灰尘或其他异物。从而使辅助供气管 160 内的气体通过过滤器 145 而被过滤，并干净地排放出来。
排气口 170 与空间室 110 连接，将空间室 110 内的气体排放出来。排气口 170 与气体净化设备连接，净化排放气体。
供气管 130 的首端上设有开闭阀 190，在供气管 130 和辅助供气管 160 的连接部与供气管 130 尾端之间，设有感应器 195。
开闭阀 190 可调节通过供气管 130 流入的新气体的量。感应器 195 可测定通过供气管 130 流入的气体的浓度。
控制部 180 控制开闭阀 190 的开闭及气泵 150 的旋转数，使因感应器 195 而测定的气体浓度与事前设定的值相符。也就是说，当感应器 195 所测定的气体浓度较低时，控制部 180 加大开闭阀 190 的开放程度，并降低气泵 150 的旋转数，从而增加新气体的量，提高气体的浓度。当感应器 195 所测定的气体浓度较高时，控制部 180 减小开闭阀 190 的开放程度，并增加气泵 150 的旋转数，从而减少新气体的量，降低气体的浓度。
开闭阀 190 根据需要，可另外附加安装在吸气管 140 或/及辅助供气管 160 上。
接下来，详细说明上述构造的本发明等离子废气循环***的运作方法。
通过通过供气管 130 向配置在空间室 110 内部的等离子产生装置 120 供气，并产生等离子，进行作业。
当空间室 110 内的气体被充至一定程度后，所使用的部分气体通过排气口 170 而被净化，所使用的部分气体流向吸气管 140。通过气泵 150，使所使用的部分气体流入吸气管 140。
因气泵 150 的启动，空间室 110 内的所使用的部分气体通过吸气管 140，流经辅助供气管 160 后排出。
此时，在气泵 150 的前方安装有过滤器 145，过滤器 145 可过滤在空间室 110 内作业时而产生的细微灰尘及其他异物。从而使从辅助供气管 160 派出的再使用气体可干净地流入供气管 130。因此，在上述供气管 130 中，新气体和再使用的气体混合后，被供向等离子产生装置 120。
另外，通过辅助供气管 160 而被供给的再使用气体因已经被使用过，气体成分的浓度较低，在供气管 130 首端供入的新气体的气体成分浓度则较高。
感应器 195 因设置在供气管 130 和辅助供气管 160 的连接部与供气管 130 尾端之间，可测定新气体和再使用气体混合后的气体的浓度。
此时，感应器 195 所测定的气体浓度与事先设定的值不符时，控制部 180 控制开闭阀 190 的开闭及/或气泵 150 的旋转数。
举例说明，当感应器 195 所测定的气体浓度较低时，控制部 180 加大开闭阀 190 的开放程度，并降低气泵 150 的旋转数，从而增加新气体的量，提高气体的浓度。当感应器 195 所测定的气体浓度较高时，控制部 180 减小开闭阀 190 的开放程度，并增加气泵 150 的旋转数，从而减少新气体的量，降低气体的浓度。
通过上述本发明所提供的等离子废气循环***，可再次使用等离子产生装置中已使用的部分气体，从而减少资源浪费，降低工程成本，最大程度地降低大气污染。
以上所述仅为本发明的较佳实施方式，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (2)
1. 一种等离子废气循环***，其特征在于：所述等离子废气循环***包括：内部配置有等离子产生装置的空间室；末端与等离子产生装置连接，并向所述等离子装置供气的供气管；一端与所述等离子产生装置连接的吸气管；与所述吸气管的另一端连接的气泵；一端与所述气泵连接，另一端连在所述供气管的首端与尾端之间的辅助供气管；与所述空间室连接，将所述空间室内的气体排出的排气口；所述空间室内的一部分气体，因所述气泵而被吸入所述吸气管，经过所述辅助供气管和所述供气管，再次供向所述等离子产生装置；在所述供气管中，经首端流入的新气体与经所述辅助供气管供给的再使用气体混合，并供向所述等离子产生装置；
还包括控制部，所述控制部由设置在所述供气管首端的开闭阀及设置在所述供气管和辅助供气管的连接部位与所述供气管的尾端之间的气体浓度测定感应器构成；所述控制部控制所述开闭阀的开闭及所述气泵的旋转数，使所述感应器测定的气体浓度与事先设定的值相符；在所述感应器测定的气体浓度较低时，所述控制部加大所述开闭阀的开放程度，并降低所述气泵的旋转数；在所述气体浓度较高时，所述控制部减小所述开闭阀的开放程度，并增加所述气泵的旋转数。
2. 根据权利要求 1 所述的等离子废气循环***，其特征在于：在所述气泵的前方，所述气泵和空间室之间安装有过滤器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201110138699.4A CN102794091B (zh) | 2011-05-26 | 2011-05-26 | 等离子废气循环*** |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201110138699.4A CN102794091B (zh) | 2011-05-26 | 2011-05-26 | 等离子废气循环*** |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102794091A CN102794091A (zh) | 2012-11-28 |
| CN102794091B true CN102794091B (zh) | 2015-09-23 |
Family
ID=47193550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201110138699.4A Expired - Fee Related CN102794091B (zh) | 2011-05-26 | 2011-05-26 | 等离子废气循环*** |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102794091B (zh) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110000466A (zh) * | 2019-04-03 | 2019-07-12 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种自循环吹气吸附装置及激光加工方法 |
| CN111952881B (zh) * | 2020-08-24 | 2022-05-03 | 海南电网有限责任公司琼中供电局 | 一种安全预警装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN201823456U (zh) * | 2010-09-14 | 2011-05-11 | 山东派力迪环保工程有限公司 | 等离子体处理工业废气装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4769350B2 (ja) * | 2000-09-22 | 2011-09-07 | 大陽日酸株式会社 | 希ガスの回収方法及び装置 |
-
2011
- 2011-05-26 CN CN201110138699.4A patent/CN102794091B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN201823456U (zh) * | 2010-09-14 | 2011-05-11 | 山东派力迪环保工程有限公司 | 等离子体处理工业废气装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102794091A (zh) | 2012-11-28 |
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| PB01 | Publication | ||
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