CN102569432A - 一种透明电极材料及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种透明电极材料及其制备方法，该材料包括基片和附着在该基片上的导电层，该导电层含有石墨烯与金属，所述导电层的方块电阻为0.001-1000Ω/sq，所述导电层的在可见光区域的透光率为70-98％，在红外光区域的透光率为70-98％。本发明的透明电极因为含有金属和石墨烯的复合结构，使得其不仅具有高透光性、低电阻的优异性能，并且因为石墨烯的加入加强了透明电极的结构稳定性和耐弯曲性，从而进一步增加了电子传输通道，最终改善了透明电极的导电性。本发明的透明电极材料在光电器件、光电探测器以及半导体发光，尤其在柔性太阳能电池、柔性显示器等柔性器件方面用途广泛。本发明的制备方法的工艺简单，易于实现工业化生产。

Description

一种透明电极材料及其制备方法
技术领域
本发明涉及一种透明电极材料及其制备方法。
背景技术
目前，太阳能电池、半导体探测器、电致发光及平板显示器等光电器件均需要低电阻、高透光性能的透明电极。而新一代柔性光电器件在此基础上更需要耐弯曲的透明导电电极。透明导电氧化物薄膜(TCOs)，金属膜，碳纳米管以及石墨烯通常作为上述器件的透明电极。TCOs中作为氧化铟系的ITO(掺锡氧化铟)被广泛使用。但是ITO存在许多不足，例如：相对Ag、Ni等金属而言，ITO的电阻率较高不能满足上述器件更低电阻率的发展要求，而且铟储量的匮乏使得ITO的造价昂贵，ITO在柔性基底上不稳定，不耐弯曲，所以希望开发出其替代材料。碳纳米管透光率仅在红外区优于ITO。目前工艺条件下，石墨烯导电性不如Ag、Ni等金属，但是石墨烯具有很好的柔性。金属膜导电性和透光性较好，但是在柔性基片上不稳定。
发明内容
本发明的目的是为了克服现有透明电极材料透过率低，电阻率较高，缺乏柔性而不耐挠曲的缺点，提供一种透过率高、导电性能好，柔韧性优异的金属膜与石墨烯复合的透明电极材料及其制备方法。
本发明提供一种透明电极材料，所述透明电极材料包括基片和附着在该基片上的导电层，该导电层含有石墨烯与金属，所述导电层的方块电阻为0.001-1000Ω/sq，所述导电层的在可见光区域的透光率为70-98％，在红外光区域的透光率为70-98％。
本发明还提供上述透明电极材料的制备方法，该方法包括，在基片上形成导电层，该导电层含有石墨烯与金属，所述导电层的方块电阻为0.001-1000Ω/sq，所述导电层在可见光区域的透光率为70-98％，在红外光区域的透光率为70-98％。
本发明的透明电极因为含有金属和石墨烯的复合结构，使得其不仅具有高透光性、低电阻的优异性能，并且因为石墨烯的加入加强了透明电极的结构稳定性和耐弯曲性，从而进一步增加了电子传输通道，最终改善了透明电极的导电性(推测这是因为石墨烯薄膜的柔性，可以改善金属膜在基片上的性能；石墨烯的导电性，在与金属膜复合后可以起到电子桥梁的作用，进一步增加金属膜的导电性；而石墨烯在紫外、可见光、红外光区透过率都很高，不会影响金属膜的透光性。
本发明的透明电极材料在光电器件、光电探测器以及半导体发光，尤其在柔性太阳能电池、柔性显示器等柔性器件方面用途广泛。本发明的制备方法的工艺简单，易于实现工业化生产。
附图说明
图1是a型透明电极材料的示意图。
图2是b型透明电极材料的示意图。
图3是另一种b型透明电极材料的示意图。
图4-7是本发明的a型或b型透明电极材料的主视图和左(右)视图。
附图标记说明
1为基片；2为金属层；3为石墨烯层；4为由石墨烯和金属的混合物形成的导电层。
具体实施方式
本发明提供一种透明电极材料，该材料包括基片和附着在该基片上的导电层，该导电层含有石墨烯与金属，所述导电层的方块电阻为0.001-1000Ω/sq，所述导电层的在可见光区域的透光率为70-98％，在红外光区域的透光率为70-98％；优选情况下，所述导电层的方块电阻为0.001-100Ω/sq，所述导电层的在可见光区域的透光率为80-98％，在红外光区域的透光率为80-98％。
并且，本发明的透明电极材料在柔性基片上弯曲1000次且每次均弯曲成90°后电阻下降小于2％。
在本发明的透明电极材料中，所述导电层可以由石墨烯与金属的混合物层形成，此时，所述石墨烯和金属的重量比可以为1∶0.01-10000，所述石墨烯与金属的混合物层的层数可以为1-20层，每一层所述石墨烯与金属的混合物层的厚度可以为0.2-300nm；为了获得更好的透光性和挠性，优选情况下，所述石墨烯和金属的重量比优选为1∶0.1-1000，每一层所述石墨烯与金属的混合物层的厚度优选为0.2-100nm。
优选情况下，本发明的透明电极材料中的所述导电层也可以由石墨烯层和金属层交替性形成，所述石墨烯层的厚度可以为0.2-10nm，所述石墨烯层的层数可以为1-10层，所述金属层的厚度可以为0.2-300nm，所述金属层的层数可以为1-10层。为了获得更好的透光率和挠性，优选情况下，所述石墨烯层的厚度为0.2-3nm，所述石墨烯层的层数可以为1-2层；所述金属层的厚度为0.5-10nm，所述金属层的层数可以为1-2层。需要明确的是，上述厚度分别指石墨烯层和金属层的平均厚度。
优选情况下，本发明中的所述金属层为图案化的金属膜，所述金属膜优选为选自由微纳金属环组成的连续金属膜、由微纳金属环组成的不连续金属膜、由规则孔排列形成的二维金属微网格、由不规则孔排列形成的二维金属微网格、由连续金属岛组成的金属膜、由不连续金属岛组成的金属膜和由一维金属nm线组成的金属膜中的一种。为了得到更好的导电性，透光性和挠性，进一步优选为由规则孔排列形成的二维金属微网格。
在本发明的透明电极材料中，所述金属可以为选自银、铜、金、铝、镍、铂、锌、锡、铁、钴、锰、钼和钛中的一种或多种，优选为金或银。
本发明中所涉及的石墨烯可以为本领域常规使用的各种石墨烯，本发明对所述石墨烯的层数无特殊要求，可以为单层石墨烯和多层石墨烯的混合物，所述多层的石墨烯一般为2-10层的多层石墨烯，另外，所述石墨烯为全部由碳原子组成的石墨烯或掺杂有杂原子的石墨烯。其中，所述掺杂有杂原子的石墨烯中的杂原子可以选自氮、氧、硫、硼和磷中的一种或多种。
在本发明中，可以根据不同的需求选择不同的基片，在本发明的透明电极材料中，所述基片可以为在可见光区域的透光率为90-100％，优选为92-98％、在红外光区域的透光率为90-100％，优选为92-98％的透明高分子膜、玻璃和石英中的一种或多种，所述透明高分子膜可以为聚乙烯醇膜、聚酰亚胺膜、聚酯膜、聚氯乙烯膜、聚碳酸酯膜、聚氨酯膜和聚丙烯酸酯膜中的一种或多种。
本发明提供的透明电极材料上的导电层有三种类型，一种为石墨烯和金属形成的混合物层，另一种为交替的先形成石墨烯层，再形成金属层，还有一种为交替的先形成金属层，再形成石墨烯层，根据制备方法可以将后两者划分为一类。
因此，本发明针对不同类型的导电层，提供了两种相应的制备方法。
本发明提供了上述导电层由金属和石墨烯的混合物形成的透明电极材料的制备方法，该方法包括，在基片形成导电层，所述导电层由石墨烯和金属的混合物层形成，形成的所述导电层的方块电阻为0.001-1000Ω/sq，所述导电层在可见光区域的透光率为70-98％，在红外光区域的透光率为70-98％。
本发明对所述在基片上形成导电层的方法无特殊要求，例如可以按如下步骤进行：将含有石墨烯和金属的分散液附着在基片表面，在60-200℃下放置1-120分钟后，进一步优选为在80-120℃下放置20-40min，然后在140-160℃放置2-10min，然后重复进行0-19次以下步骤：将含有石墨烯和金属的分散液附着在所得到的石墨烯和金属的混合物层的表面，在60-200℃下放置1-120分钟后，得到带有导电层的透明电极材料，进一步优选为在80-120℃下放置20-40min，然后在140-160℃放置2-10min。其中，重复进行步骤可以根据需要来确定是否进行，以及进行的次数，通过上述步骤，可以在透明基底上形成1-20层的导电层。
在上述制备方法中，所述含有石墨烯与金属的分散液中的石墨烯的浓度可以为0.001-10mg/mL，金属的浓度可以为0.01-100mg/mL；为了方便操作，所述含有石墨烯与金属的分散液中石墨烯的浓度优选为0.01-1mg/mL，金属的浓度优选为0.1-10mg/mL。
优选情况下，每一次含有石墨烯与金属的分散液的用量为使获得的透明电极材料中每一层所述含有石墨烯与金属的混合物层的厚度为0.2-300nm。
在本发明中，将通过该方法制备的透明电极材料称为a型透明电极材料。如图1所示，其中，1为基片；4为由石墨烯和金属的混合物形成的导电层，图1只图示了本发明一种实施方式中的两层的透明电极材料，本领域技术人员可以确定，更多的由石墨烯和金属的混合物形成的导电层可以在由石墨烯和金属的混合物形成的导电层之上依次形成。
在上述制备方法中，将含有石墨烯和金属的分散液附着在透明基底表面或者附着在所得到的石墨烯和金属的混合物层的表面的方法没有特别的限定，例如可以为选自旋涂法、喷涂法、刮涂法和浸渍法中的一种或多种，优选为旋涂法。
根据本发明的方法，所述石墨烯和金属的分散液可以以各种形式提供，例如溶胶形式，所述含有石墨烯和金属的分散液可以参照现有技术进行制备，本发明无特殊要求，在此不再赘述。
本发明还提供上述导电层由石墨烯层和金属层交替形成的透明电极材料的制备方法，该方法包括，在基片上交替形成金属层和石墨烯层，以在基片上形成导电层，所述导电层的方块电阻为0.001-1000Ω/sq，所述导电层在可见光区域的透光率为70-98％，在红外光区域的透光率为70-98％。
在本发明中，将导电层由石墨烯层和金属层交替形成的透明电极材料称为b型透明电极材料，其中包括在基片上先形成石墨烯层后形成金属层的透明电极材料，如图2所示，其中，1为基片；2为金属层；3为石墨烯层；和在基片上先形成金属层后形成石墨烯层的透明电极材料，如图3所示，其中，1为基片；2为金属层；3为石墨烯层。图2和图3只是分别图示了本发明两种实施方式中的两层的透明电极材料，本领域技术人员可以确定，更多的石墨烯层或金属层可以在金属层和石墨烯层之上依次形成。
根据本发明的方法，优选情况下，所述金属层的厚度可以为0.2-300nm，优选为0.5-10nm，所述金属层的层数可以为1-10层，优选为1-2层；所述石墨烯层的厚度可以为0.2-10nm，优选为0.2-3nm；所述石墨烯层的层数可以为1-10层，优选为1-2层。
在上述制备方法中，对所述形成石墨烯层的方法没有特别的限定，可以参照现有技术进行，例如可以为选自旋涂法、喷涂法、刮涂法、浸渍法或提拉法，优选为旋涂法；对所述形成金属层的方法也没有特别的限定，例如可以为选自模板法、电纺织法、压印法、自组装法、刻蚀法、沉积法、电磁场引导法、溅射法、溶胶凝胶法、旋涂法、喷涂法、静电纺丝或刮涂法，优选为模板法。
由于在本发明的制备方法中所使用的金属、基片、以及构成导电层的所述石墨烯与金属的混合物层、石墨烯层的厚度和种类等均与产品中所涉及的相同，在此不再赘述。
下面结合实施例对本发明进行进一步说明。
在以下实施例中，用紫外/可见/近红外分光光度计(PerkinElmer Lambda950)测定可见光透过率和红外光透过率；用双电测四探针测试仪(广州四探针科技RTS-9)测定方块电阻；薄膜厚度用扫描探针显微镜测试(DigitalInstruments Dimension 3100)；用SEM扫描电镜(日本日立公司，HitachiS-4800)测试材料的表面形貌，尺寸(如平均粒径等)。
制备例1
氧化石墨烯溶胶的制备
向1500g的浓度为98重量％的浓硫酸中加入5.0g的天然鳞片状石墨(粒径为200μm)、5.0g的硝酸钠和25.0g的高锰酸钾，将所得混合物在0℃的冰浴条件下(即通过冰浴使混合物的温度为0℃)搅拌5h后，接着再在30℃下搅拌10h；然后向所得混合物中加入500mL水进行稀释，接着升温至70℃并搅拌2h后，加入6mL的浓度为30重量％的双氧水，搅拌1h后过滤，然后将得到的滤饼用浓度为10重量％的盐酸离心洗涤，接着再用去离子水离心洗涤，将洗涤后的胶状产物加入到40mL的去离子水中，在200W的功率下超声分散得到氧化石墨烯溶胶(氧化石墨烯的含量为20重量％，水的含量为80重量％)。
实施例1
本实施例是为说明本发明的b型透明电极材料的制备方法。
(1)制备多孔阳极氧化铝模板：采用两步阳极氧化法(根据HidekiMasuda and Kenji Fukuda，Ordered Metal Nanohole Arrays Made by a Two-StepReplication of Honeycomb structures of Anodic Alumina，SCIENCE，268(9)1995)中提供的方法)制备多孔阳极氧化铝片，通过扫描电镜测出该多孔阳极氧化铝片的孔径为50nm，孔间距为150nm；
(2)电子束蒸镀金属层：用电子束蒸发仪(Edwars，AUTO 500)向步骤(1)得到的阳极氧化铝片上蒸镀一层金属银，厚度3nm；
(3)去除氧化铝模板：在步骤(2)蒸镀有金属银的阳极氧化铝片下方放置石英片(锦州华美石英电器厂，大小为2cm×2cm，厚度为1mm)，在浓度为1％的磷酸溶液中溶解掉阳极氧化铝，带孔金属银网格自然沉降到石英片上；用去离子水洗涤石英片上多余的磷酸和金属离子，100℃下干燥4h；
(4)制备氧化石墨烯薄膜：在步骤(3)得到的有金属网格的石英片上用旋涂仪以4000rpm的转速旋涂一层6nm厚的制备例1中得到的氧化石墨烯溶胶，100℃下干燥10分钟；
(5)热还原氧化石墨烯：在Ar气保护下，将步骤(4)得到的含有厚度为0.8nm的氧化石墨烯薄膜的石英片放入石英管，然后将石英管放入管式炉中，以升温速率每小时200℃缓慢升温到800℃加热10分钟，然后在Ar气保护下在炉中缓慢冷却至室温，还原得到含有石墨烯与金属银的透明电极材料。透明电极材料的主视图和左(右)视图如图4中的A和B所示。
透明电极材料的金属层厚度为3nm，金属层层数为1层；石墨烯层厚度为0.8nm，石墨烯层层数为1层。
透明电极材料在可见光区透光率为92％、红外光区透光率为92％、方块电阻5Ω/sq。
实施例2
本实施例是为说明本发明的b型透明电极材料的制备方法。
(1)化学气相沉积的方法制备氮掺杂石墨烯：用镀膜机(KYUY中科科仪技术发展有限责任公司，型号SBC-2)，以Ni为靶材料，沉积时间20s，在石英片(锦州华美石英电器厂，大小为2cm×2cm，厚度为1mm)上热蒸镀50nm厚的Ni。将石英片放入石英管中，通氢气(20sccm)和氩气(100sccm)，当炉体中心温度升高到800℃时，通入60sccm的CH4和60sccm的NH3，将石英管放入炉体中心，10分钟后，将样品在氢气流下冷却到室温，得到氮掺杂的石墨烯薄膜，用浓度为1％的磷酸溶液溶解薄膜上的Ni，用去离子水洗涤石墨烯表面三次。
(2)制备聚苯乙烯微球：在500mL三口烧瓶中加入10mL苯乙烯和150mL水，通氮气排空气15min，恒温水浴70℃下搅拌20min，加入0.2g过硫酸钾，70℃下反应24h。离心分离得到聚苯乙烯微球单分散水溶液(苯乙烯微球浓度为10重量％，苯乙烯微球的平均粒径为1.3μm)。
(3)以聚苯乙烯微球单层膜为模板制备图案化金属薄膜：向4.95mL聚苯乙烯微球单分散水溶液(苯乙烯微球浓度为10重量％)中加入0.05mL苯乙烯和5mL无水乙醇，再向该溶液中加入0.15μL的硫酸(浓度是98％)，超声15分钟，在容器底部放入上述步骤(1)处理的表面有石墨烯薄膜的石英片，放走容器中的液体，用去离子水洗涤三次。用等离子刻蚀(RIE)***(SENTECH，ETCHCAB200)，用氧离子刻蚀10s，聚苯乙烯微球粒径减小到1μm。用磁控溅射仪(ULVAC Inc，ACS-400-C4)，在工作压强0.5Pa，功率40W条件下，与石英片垂直溅射10s，在聚苯乙烯微球空隙中沉积金属Al，得到3nm厚的Al，孔间距600nm，孔径1μm。将前述沉积有金属的石英片浸入甲苯溶液中溶解模板聚苯乙烯微球后，并用去离子水洗涤，得到含有金属铝和N掺杂的石墨烯的透明电极材料。透明电极材料的主视图和左(右)视图如图5中的A和B所示。
透明电极材料的金属层厚度为3nm，金属层层数为1层；石墨烯厚度为1.2nm，石墨烯层层数为1层。
透明电极材料的可见光透过率为98％、红外光透过率98％、方块电阻3Ω/sq。
实施例3
本实施例是为说明本发明的b型透明电极材料的制备方法。
(1)石墨烯溶胶的制备：15g水中溶解600mg硼氢化钠，将得到的硼氢化钠溶液加入50mL制备例1中得到的氧化石墨烯溶胶中，用5重量％的碳酸钠溶液调节溶液pH值至9，将这些混合物在80℃下搅拌1h，然后用去离子水在5000rpm的转速下离心洗涤5次，将洗涤后的石墨烯溶解在1∶1的水和乙醇混合溶液中，得到浓度为10mg/mL的石墨烯溶胶。
(2)石墨烯薄膜的制备：采用浸渍提拉法，将聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜PET(日本艾克AICA，型号HC2106，大小为2cm×2cm，厚度0.188mm)浸入步骤(1)得到的石墨烯溶胶中，然后以与水平面垂直的方向将PET匀速提拉出液面，用去离子水洗涤PET背面多余的石墨烯溶胶，室温下晾干，得到石墨烯层，厚度为7nm。
(3)紫外光刻的方法制备光刻胶模板：采用紫外光刻的方法，先在步骤(2)得到的石墨烯层上用旋涂仪旋涂5mL光刻胶(公司ALLRESIST，型号AR-N4340)，然后在暗室中在光刻胶上放置带垂直纳米线网格图案的模板(购买于中科院半导体研究所)紫外曝光，在显影液(ALLRESIST厂家，型号AR300-26)作用下光刻胶图案化刻蚀得到模板纳米线网格图案。在扫描电镜下检测，光刻胶纳米线的宽度为2μm，线间距20μm。
(4)在光刻胶空隙中蒸镀Cu：用热蒸镀的方法，用Cu靶在上述PET片上蒸镀10s，在光刻胶间隙中得到3nm厚的Cu。用显影液溶解洗去光刻胶，再用去离子水反复洗涤3次，得到含有金属Cu与石墨烯的透明电极材料。
(5)将步骤(4)得到的透明电极材料重复前述步骤(1)和(2)，在Cu透明薄膜上再制备一层石墨烯薄膜，得到双层石墨烯的透明电极材料。透明电极材料的主视图和左(右)视图如图6中的A和B所示。
透明电极材料的金属层厚度为3nm，金属层层数为1层；石墨烯厚度为1.2nm；石墨烯层数为2层。
透明电极材料的可见光透过率为70％、红外光透过率70％、方块电阻0.001Ω/sq。将上述透明电极材料在弯曲1000次且每次均弯曲成90°后，可见光透过率为70％、红外光透过率70％、方块电阻0.001Ω/sq。
实施例4
本实施例是为说明本发明的a型透明电极材料的制备方法。
(1)石墨烯溶胶的制备：与实施例3的步骤(1)一致，得到浓度为10mg/mL的石墨烯溶胶，用去离子水稀释，得到0.1mg/mL石墨稀溶胶。
(2)Ag纳米线与石墨烯混合溶胶的制备：将单分散Ag纳米线(根据文献Yi Cui等Scalable Coating and Properties of Transparent，Flexible，SilverNanowire Electrodes，ACS NANO，2010，4(5)：2955-2963中的方法制备，颗粒粒径40nm-100nm，2mg/mL)与步骤(1)得到的0.1mg/mL石墨稀溶胶混合，体积混合比例1∶1。超声30分钟(超声功率20kW)；
(3)Ag纳米线与石墨烯混合薄膜的制备：用刮涂的方法将1mL混合溶胶用玻璃棒刮涂到PET(日本艾克AICA，型号HC2106，大小为2cm×2cm，厚度0.188mm)上并晾干，得到透明电极材料。透明电极材料的主视图和左(右)视图如图7中的A和B所示。
透明电极材料的金属Ag与石墨烯混合层厚度为3nm，金属与石墨烯混合层层数为1层。
透明电极材料的可见光透过率为92％、红外光透过率为92％、方块电阻为100Ω/sq。将上述透明电极材料在弯曲1000次且每次均弯曲成90°后，可见光透过率为92％、红外光透过率92％、方块电阻增加量小于5％。

Claims (13)

1.一种透明电极材料，其特征在于，该材料包括基片和附着在该基片上的导电层，该导电层含有石墨烯与金属，所述导电层的方块电阻为0.001-1000Ω/sq，所述导电层在可见光区域的透光率为70-98％，在红外光区域的透光率为70-98％。
2.根据权利要求1所述的透明电极材料，其中，所述导电层由石墨烯与金属的混合物层形成，所述石墨烯和金属的重量比为1∶0.01-10000，所述石墨烯与金属的混合物层的层数为1-20层，每一层所述石墨烯与金属的混合物层的厚度为0.2-300nm。
3.根据权利要求1所述的透明电极材料，其中，所述导电层由石墨烯层和金属层交替形成，所述石墨烯层的厚度为0.2-10nm，所述石墨烯层的层数为1-10层，所述金属层的厚度为0.2-300nm，所述金属层的层数为1-10层。
4.根据权利要求3所述的透明电极材料，其中，所述金属层为图案化的金属膜。
5.根据权利要求1所述的透明电极材料，其中，所述金属为选自银、铜、金、铝、镍、铂、锌、锡、铁、钴、锰、钼和钛中的一种或多种。
6.根据权利要求1所述的透明电极材料，其中，所述基片为在可见光区域的透光率为90-100％、在红外光区域的透光率为90-100％的玻璃、石英、聚乙烯醇膜、聚酰亚胺膜、聚酯膜、聚氯乙烯膜、聚碳酸酯膜、聚氨酯膜和聚丙烯酸酯膜中的一种或多种。
7.一种透明电极材料的制备方法，其特征在于，该方法包括，在基片上形成导电层，该导电层含有石墨烯与金属，所述导电层的方块电阻为0.001-1000Ω/sq，所述导电层在可见光区域的透光率为70-98％，在红外光区域的透光率为70-98％。
8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述在基片上形成导电层的方法包括，将含有石墨烯和金属的分散液附着在基片表面，在60-200℃下放置1-120分钟后，然后重复进行0-19次以下步骤：将含有石墨烯和金属的分散液附着在所得到的石墨烯和金属的混合物层的表面，在60-200℃下放置1-120分钟。
9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述含有石墨烯与金属的分散液中的石墨烯的浓度为0.001-10mg/mL，金属的浓度为0.01-100mg/mL。
10.根据权利要求7-9中任意一项所述的方法，其中，每一次含有石墨烯与金属的分散液的用量为使获得的透明电极材料中每一层所述含有石墨烯与金属的混合物层的厚度为0.2-300nm。
11.根据权利要求7所述的方法，其中，所述在基片上形成导电层的方法包括，在基片上交替形成金属层和石墨烯层。
12.根据权利要求11所述的方法，其中，所述金属层的厚度为0.2-300nm，所述金属层的层数为1-10层，所述石墨烯层的厚度为0.2-10nm，所述石墨烯层的层数为1-10层。
13.根据权利要求7-9、11和12中任意一项所述的方法，其中，所述金属为选自银、铜、金、铝、镍、铂、锌、锡、铁、钴、锰、钼和钛中的一种或多种，所述基片为在可见光区域的透光率为90-100％、在红外光区域的透光率为90-100％的玻璃、石英、聚乙烯醇膜、聚酰亚胺膜、聚酯膜、聚氯乙烯膜、聚碳酸酯膜、聚氨酯膜和聚丙烯酸酯膜中的一种或多种。
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