CN102520537A - 一种自动光学检测方法和光学自动检测设备 - Google Patents

一种自动光学检测方法和光学自动检测设备 Download PDF

Info

Publication number
CN102520537A
CN102520537A CN2011103961577A CN201110396157A CN102520537A CN 102520537 A CN102520537 A CN 102520537A CN 2011103961577 A CN2011103961577 A CN 2011103961577A CN 201110396157 A CN201110396157 A CN 201110396157A CN 102520537 A CN102520537 A CN 102520537A
Authority
CN
China
Prior art keywords
automatic optical
optical detection
image
detection method
gray level
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2011103961577A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102520537B (zh
Inventor
寇浩
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TCL China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority to CN201110396157.7A priority Critical patent/CN102520537B/zh
Priority to PCT/CN2011/083531 priority patent/WO2013078708A1/zh
Publication of CN102520537A publication Critical patent/CN102520537A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102520537B publication Critical patent/CN102520537B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/29—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using visual detection
    • G01N21/293—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using visual detection with colour charts, graduated scales or turrets

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

本发明涉及一种自动光学检测方法和光学自动检测设备。一种自动光学检测方法，包括以下步骤：色光投射步骤，采用具有三原色光的灯光均匀的投射在待检的对象上，形成具有不同色彩的图像；获取所述图像不同区域所对应的灰阶信息，然后生成自动光学检查标准图像，将所述自动光学检查标准图像跟预存的基准图像进行对比检测。本发明由于只需要处理图像的灰阶信息，降低了图像处理单元及统计分析单元的数据量及处理难度，有利于数据采集可靠性、精度、重复性及速度的提高，本发明降低了检测设备的要求，也有利于降低检测设备的投入成本。

Description

一种自动光学检测方法和光学自动检测设备
技术领域
本发明涉及一种自动光学检测方法，尤其是一种应用于薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，TFT-LCD)的自动光学检测方法和光学自动检测设备。
背景技术
目前，TFT-LCD行业的自动光学检查(Automatic Optical Inspection，AOI)***均采用图形对比算法进行检测，即通过高清晰度的摄像技术、图像的模数转换技术、数据图像处理分析技术、计算机自动化控制技术以及检测结果统计对图像进行分析。然而该***需要使用价格昂贵的AOI设备，成本较高；同时由于采用图像对比技术，使得图像的数模转换产生的信息量更大，对图形处理产生较大负面影响。
发明内容
鉴于上述状况，有必要提供一种简单且成本较低的自动光学检测方法和光学自动检测设备。
一种自动光学检测方法，该自动光学检测方法包括以下步骤：
A：色光投射步骤，采用具有三原色光的灯光投射在待检的物件上，光线经过空间叠加形成具有不同色彩的图像；获取所述图像的不同区域所对应的灰阶信息，根据灰阶信息生成所述物件的自动光学检查标准图像；
B：将所述自动光学检查标准图像跟预存的基准图像进行对比检测。
优选的，所述每一种色光均具有256个灰阶等级。
优选的，所述步骤A中，采用反射光法获取所述图像不同区域所对应的灰阶信息。
优选的，所述步骤A中，采用透射光法获取所述图像不同区域所对应的灰阶信息。
一种液晶基板的自动光学检测方法，该自动光学检测方法包括以下步骤：
A：色光投射步骤，采用具有三原色光的灯光投射在待检的液晶基板上，光线经过空间叠加形成具有不同色彩的图像；获取所述图像的不同区域所对应的灰阶信息，根据灰阶信息生成所述液晶基板的自动光学检查标准图像；
B：将所述自动光学检查标准图像跟预存的基准图像进行对比检测。
优选的，所述每一种色光均具有256个灰阶等级。
优选的，所述步骤A中，采用反射光法获取所述图像不同区域所对应的灰阶信息。
优选的，所述步骤A中，采用透射光法获取所述图像不同区域所对应的灰阶信息。
优选的，所述液晶基板包括阵列基板和彩色滤光板。
优选的，所述彩色滤光板侧的不同区域包括黑色矩阵、间隙粒子和平坦层对应的区域。
一种光学自动检测设备，包括获取待检对象图像的灰阶信息的摄影装置，以及与所述摄影装置信号连接，用于接收所述灰阶信息生成自动光学检测标准图像的运算模块。
优选的，所述光学自动检测设备还包括三原色投射装置。
上述自动光学检测方法通过三原色光灯光均匀的投射在待检物件上，通过空间加法原理，待检对象的不同区域形成不同颜色的图像，然后获取所述图像的灰阶信息，生成自动光学检查标准图像。在相同区域内出现缺陷处，该处的灰阶信息就会产生异常，因此只需要将自动光学检查标准图像跟预先存储的基准图案比较，找出灰阶异常的图像区域就能找出缺陷以及该缺陷对应的位置。本发明由于只需要处理图像的灰阶信息，降低了图像处理单元及统计分析单元的数据量及处理难度，有利于数据采集可靠性、精度、重复性及速度的提高，本发明降低了检测设备的要求，也有利于降低检测设备的投入成本。
附图说明
图1是本发明自动光学检测方法的第一较佳实施例的反射光法形成的图像示意图；
图2是本发明自动光学检测方法的第一较佳实施例的透射光法形成的图像示意图；
图3是本发明的自动光学检测方法的三原色空间叠加成像示意图；
图4是图3所示的自动光学检测方法的三原色光坐标示意图。
具体实施方式
下面结合附图和较佳的实施例对本发明作进一步说明。
本发明的一种光学自动检测设备，包括获取待检对象图像的灰阶信息的摄影装置，以及接收所述灰阶信息生成自动光学检测标准图像的运算模块。光学自动检测设备的自动光学检测方法可应用于液晶基板、表面贴装技术(Surface Mounted Technology，SMT)等产品的检测，在本实施例中，以应用于的液晶基板中为例加以说明。
所述TFT-LCD的制作过程包括阵列制程(Array)和彩膜制程(ColorFilter，CF，彩色滤光板)，在该阵列制程和彩膜制程中的图形均有多层组成，各层图形均有所不同。以CF制程为例，CF侧的不同区域图形均有所不同，例如黑色矩阵(Black matrix，BM)、间隙粒子(PS)、平坦层(OverCoat)的图形在尺寸和高度上均有所不同。
本发明的自动光学检测方法以检测液晶面板的彩色滤光板为例，包括如下步骤：
A1：色光投射步骤。将三原色光投射在彩色滤光板上，光线利用空间加法原理，经过空间叠加使图像成为具有不同色彩的图像，且在光线相互叠加的地方形成了新的颜色。如图3所示，经过空间叠加后的图像具有红色、蓝色、绿色、黄色、白色、***及蓝绿色等多种颜色，其中黄色、白色、***及蓝绿色均为光线叠加后形成。
当然，通过改变三原色光的强度可以在光线叠加的地方获得一系列的中间颜色，例如红橙色、橙红色、橙色、橙黄色、黄橙色、黄色、黄绿色、绿黄色等等。当绿色光与蓝色光混合时，背景上可呈现一系列绿与蓝之间的各中间颜色。蓝色光与红色光混合，可得一系列介于蓝与红之间的各中间颜色。只要各原色光比例调配得当，则红色光与绿色光混合可得黄色，绿色光与蓝色光混合可得青色。
该步骤中色光投射可以采用反射法，也可以采用透射法；所述灰阶有256个等级，即每个灰阶信息对于一个字节的数据。采用反射法的图像效果参见图1，经过反射光法处理形成的图像光质较为柔和、光亮较为散射；采用透射法的图像效果参见图2，经过透射光法处理形成的图像层次过渡丰富、细腻、柔和，且带有立体变化。
A2：通过高清摄像机获取上述图像的不同区域所对应的灰阶信息，根据灰阶信息生成所述彩色滤光板的自动光学检查标准图像。
B：将所述自动光学检查标准图像跟预存的基准图像进行对比检测。
可以理解，该自动光学检测方法还可用于SMT领域，以在SMT生产过程中对锡膏印刷、贴片机贴片、回流焊接、波峰焊接等相关工艺进行品质监控和检测。例如，可以对锡膏的少锡、多锡或偏位进行检测。
综上所述，本案的自动光学检测方法通过三原色光(R/G/B)灯光均匀的投射在所形成的图像上，并利用空间加法原理获得标准的图像，降低了使用AOI设备的成本，同时降低了图像处理单元及统计分析单元的数据量及处理难度，有利于数据采集可靠性、精度、重复性及速度的提高。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (12)

1.一种自动光学检测方法，其特征在于：该自动光学检测方法包括以下步骤：
A：色光投射步骤，采用具有三原色光的灯光投射在待检的物件上，光线经过空间叠加形成具有不同色彩的图像；获取所述图像的不同区域所对应的灰阶信息，根据灰阶信息生成所述物件的自动光学检查标准图像；
B：将所述自动光学检查标准图像跟预存的基准图像进行对比检测。
2.如权利要求1所述的自动光学检测方法，其特征在于：所述每一种色光均具有256个灰阶等级。
3.如权利要求1所述的自动光学检测方法，其特征在于：所述步骤A中，采用反射光法获取所述图像不同区域所对应的灰阶信息。
4.如权利要求1所述的自动光学检测方法，其特征在于：所述步骤A中，采用透射光法获取所述图像不同区域所对应的灰阶信息。
5.一种液晶基板的自动光学检测方法，其特征在于：该自动光学检测方法包括以下步骤：
A：色光投射步骤，采用具有三原色光的灯光投射在待检的液晶基板上，光线经过空间叠加形成具有不同色彩的图像；获取所述图像的不同区域所对应的灰阶信息，根据灰阶信息生成所述液晶基板的自动光学检查标准图像；
B：将所述自动光学检查标准图像跟预存的基准图像进行对比检测。
6.如权利要求5所述的液晶基板的自动光学检测方法，其特征在于：所述每一种色光均具有256个灰阶等级。
7.如权利要求5所述的液晶基板的自动光学检测方法，其特征在于：所述步骤A中，采用反射光法获取所述图像不同区域所对应的灰阶信息。
8.如权利要求5所述的液晶基板的自动光学检测方法，其特征在于：所述步骤A中，采用透射光法获取所述图像不同区域所对应的灰阶信息。
9.如权利要求5所述的一种液晶基板的自动光学检测方法，其特征在于：所述液晶基板包括阵列基板和彩色滤光板。
10.如权利要求9所述的一种液晶基板的自动光学检测方法，其特征在于：所述彩色滤光板侧的不同区域包括黑色矩阵、间隙粒子和平坦层对应的区域。
11.一种光学自动检测设备，其特征在于，所述光学自动检测设备包括获取待检对象图像的灰阶信息的摄影装置，以及与所述摄影装置信号连接，用于接收所述灰阶信息生成自动光学检测标准图像的运算模块。
12.如权利要求11所述的一种光学自动检测设备，其特征在于，所述光学自动检测设备还包括三原色投射装置。
CN201110396157.7A 2011-12-02 2011-12-02 一种自动光学检测方法和光学自动检测设备 Expired - Fee Related CN102520537B (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201110396157.7A CN102520537B (zh) 2011-12-02 2011-12-02 一种自动光学检测方法和光学自动检测设备
PCT/CN2011/083531 WO2013078708A1 (zh) 2011-12-02 2011-12-06 一种自动光学检测方法和光学自动检测设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201110396157.7A CN102520537B (zh) 2011-12-02 2011-12-02 一种自动光学检测方法和光学自动检测设备

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102520537A true CN102520537A (zh) 2012-06-27
CN102520537B CN102520537B (zh) 2015-02-11

Family

ID=46291513

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201110396157.7A Expired - Fee Related CN102520537B (zh) 2011-12-02 2011-12-02 一种自动光学检测方法和光学自动检测设备

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN102520537B (zh)
WO (1) WO2013078708A1 (zh)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102854195A (zh) * 2012-09-21 2013-01-02 京东方科技集团股份有限公司 彩色滤光片上缺陷坐标的检测方法
CN102866520A (zh) * 2012-10-10 2013-01-09 深圳市华星光电技术有限公司 一种光配向液晶面板光学检测的方法及其检测设备
CN103698334A (zh) * 2013-10-25 2014-04-02 明基材料有限公司 隔离膜的针孔瑕疵检测***及其检测方法
WO2014101304A1 (zh) * 2012-12-27 2014-07-03 深圳市华星光电技术有限公司 显示面板的缺陷检测方法及其检测装置
CN104749801A (zh) * 2013-12-31 2015-07-01 研祥智能科技股份有限公司 高精度自动光学检测方法和***
WO2016101376A1 (zh) * 2014-12-26 2016-06-30 深圳市华星光电技术有限公司 确定彩色滤色块与黑矩阵的交叠区域的边缘的方法
CN105954900A (zh) * 2016-07-08 2016-09-21 京东方科技集团股份有限公司 基板检测方法及基板检测设备
CN108279237A (zh) * 2018-01-02 2018-07-13 京东方科技集团股份有限公司 一种光学检测***及检测方法
CN112345452A (zh) * 2020-11-06 2021-02-09 罗建华 一种灯光调整方法、存储介质及***
CN113820323A (zh) * 2020-06-19 2021-12-21 财团法人纺织产业综合研究所 织物检测***以及织物检测方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110597198B (zh) * 2019-08-30 2023-12-01 彩虹显示器件股份有限公司 一种tft基板玻璃的质量控制装置、质量控制***及方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59153108A (ja) * 1983-02-22 1984-09-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd 鏡面体の表面欠陥検査方法
CN101839868A (zh) * 2009-03-10 2010-09-22 深圳市运英软件开发有限公司 一种用于检测smt焊接质量的照明光源及检测***
CN201707304U (zh) * 2010-06-08 2011-01-12 惠州市德赛西威汽车电子有限公司 一种产品表面自动光学检查设备
CN102200519A (zh) * 2010-03-26 2011-09-28 郭上鲲 检测***

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009063301A (ja) * 2007-09-04 2009-03-26 Nec Lcd Technologies Ltd カラーフィルタ検査装置及びカラーフィルタ検査方法
CN101676712B (zh) * 2008-09-16 2011-03-23 中茂电子(深圳)有限公司 光学检测***以及方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59153108A (ja) * 1983-02-22 1984-09-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd 鏡面体の表面欠陥検査方法
CN101839868A (zh) * 2009-03-10 2010-09-22 深圳市运英软件开发有限公司 一种用于检测smt焊接质量的照明光源及检测***
CN102200519A (zh) * 2010-03-26 2011-09-28 郭上鲲 检测***
CN201707304U (zh) * 2010-06-08 2011-01-12 惠州市德赛西威汽车电子有限公司 一种产品表面自动光学检查设备

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102854195A (zh) * 2012-09-21 2013-01-02 京东方科技集团股份有限公司 彩色滤光片上缺陷坐标的检测方法
CN102854195B (zh) * 2012-09-21 2014-08-20 京东方科技集团股份有限公司 彩色滤光片上缺陷坐标的检测方法
CN102866520B (zh) * 2012-10-10 2015-12-09 深圳市华星光电技术有限公司 一种光配向液晶面板光学检测的方法及其检测设备
CN102866520A (zh) * 2012-10-10 2013-01-09 深圳市华星光电技术有限公司 一种光配向液晶面板光学检测的方法及其检测设备
WO2014056260A1 (zh) * 2012-10-10 2014-04-17 深圳市华星光电技术有限公司 一种光配向液晶面板光学检测的方法及其检测设备
WO2014101304A1 (zh) * 2012-12-27 2014-07-03 深圳市华星光电技术有限公司 显示面板的缺陷检测方法及其检测装置
CN103698334B (zh) * 2013-10-25 2016-01-27 明基材料有限公司 隔离膜的针孔瑕疵检测***及其检测方法
CN103698334A (zh) * 2013-10-25 2014-04-02 明基材料有限公司 隔离膜的针孔瑕疵检测***及其检测方法
CN104749801A (zh) * 2013-12-31 2015-07-01 研祥智能科技股份有限公司 高精度自动光学检测方法和***
CN104749801B (zh) * 2013-12-31 2019-09-20 研祥智能科技股份有限公司 高精度自动光学检测方法和***
WO2016101376A1 (zh) * 2014-12-26 2016-06-30 深圳市华星光电技术有限公司 确定彩色滤色块与黑矩阵的交叠区域的边缘的方法
US9507115B2 (en) 2014-12-26 2016-11-29 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Method for determining the edges of an overlapping region between a color filter and a black matrix
CN105954900A (zh) * 2016-07-08 2016-09-21 京东方科技集团股份有限公司 基板检测方法及基板检测设备
CN108279237A (zh) * 2018-01-02 2018-07-13 京东方科技集团股份有限公司 一种光学检测***及检测方法
CN113820323A (zh) * 2020-06-19 2021-12-21 财团法人纺织产业综合研究所 织物检测***以及织物检测方法
CN112345452A (zh) * 2020-11-06 2021-02-09 罗建华 一种灯光调整方法、存储介质及***

Also Published As

Publication number Publication date
WO2013078708A1 (zh) 2013-06-06
CN102520537B (zh) 2015-02-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102520537A (zh) 一种自动光学检测方法和光学自动检测设备
CN106323600B (zh) 一种级联分布式aoi缺陷检测***及其检测方法
WO2010029932A1 (ja) 外観検査装置
CN104819984B (zh) 印刷电路板外观的检查装置及检查方法
US20040134231A1 (en) Liquid crystal display unit-use glass substrate and method of producing mother glass and mother glass inspection device
JP2006268050A (ja) 画像検査装置、パネル検査方法及び表示パネルの製造方法
Lin et al. An image system for fast positioning and accuracy inspection of ball grid array boards
EP0231941A2 (en) Method for inspection of printed circuit board assembly by arithmetic comparison of several pictures in different colours
CN101443649A (zh) 表面检查装置
JP4804779B2 (ja) フィルム、テープ形態の印刷回路基板外観検査における過検出防止用システム及びその処理方法
CN101556250A (zh) 产品质量的检验***及其方法
KR100673392B1 (ko) 필름, 테이프 형태의 인쇄회로기판 외관 검사에서의 과검출방지를 위한 시스템 및 그 처리 방법
JP5316198B2 (ja) 外観検査装置
CN103376576A (zh) 一种4k2k v-by-one接口液晶显示屏的自动测试方法及***
KR20140067785A (ko) 표시패널의 색감차 얼룩 자동 검사 장치 및 방법
US20130141408A1 (en) Automatic Optical Detection Method and Optical Automatic Detector
KR20180085424A (ko) 인쇄회로기판 상의 컨포멀 코팅 검사 장치
CN105954900A (zh) 基板检测方法及基板检测设备
KR100555013B1 (ko) 광학 장치의 제조 방법 및 이에 이용하는 결함 판정용검사 도구
JP2009041930A (ja) カラーフィルタの外観検査方法
JPH06258047A (ja) バンプ検査用データの教示方法
JP2009264942A (ja) カラーフィルタの外観検査方法
JP2010008125A (ja) ガラス基板内の気泡選別処理法
JPH04208803A (ja) プリント基板実装検査装置
JP2007327761A (ja) カラーフィルタの外観検査方法及び外観検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right

Denomination of invention: Automatic optical inspection method and automatic optical inspection equipment

Effective date of registration: 20190426

Granted publication date: 20150211

Pledgee: Bank of Beijing Limited by Share Ltd. Shenzhen branch

Pledgor: SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY Co.,Ltd.

Registration number: 2019440020032

PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right
PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right

Date of cancellation: 20201016

Granted publication date: 20150211

Pledgee: Bank of Beijing Limited by Share Ltd. Shenzhen branch

Pledgor: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co.,Ltd.

Registration number: 2019440020032

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20150211