CN102285225A - 喷墨涂敷装置以及方法 - Google Patents
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Abstract
提供一种做到了能够以高精度向宽度、高度方向进行均匀的涂敷的喷墨涂敷装置以及方法。各涂敷头(15)排列在X轴方向，每4个构成1个组。在相同的组中，使涂敷头(15)在Y轴方向的位置不同，在组之间，在Y轴方向各有1个相同位置的涂敷头。不同的组的Y轴方向位置相同的各一个涂敷头(15)搭载在相同的Z轴保持片(20bc)上。各涂敷头(15)具备微动Z轴驱动单元(20a)，能够独立地向Z轴方向移动。另外，针对每个Z轴保持片(20bc)设有独立Z轴驱动单元(20b1)，由此Z轴保持片(20bc)能够独立地向Z轴方向移动。另外，设有共用Z轴驱动单元(30)，由此全部的Z轴保持片(20bc)、从而全部的涂敷头(15)能够同时向Z轴方向移动。
Description
技术领域
本发明涉及一种对平滑部件的以喷墨方式进行的涂敷材料的涂敷，特别涉及一种能够稳定地进行均匀的涂敷的喷墨涂敷装置以及方法。
背景技术
喷墨方式是指如下方式：从作为涂敷头的、利用了气泡或者压电元件的喷墨涂敷头，每次少量地高精度地吐出作为涂敷材料的油墨液滴。喷墨涂敷装置对如下处理实现装置化：通过该油墨液滴的高精度的吐出，对作为涂敷对象的部件涂敷油墨液滴。近年来，作为能够实现油墨的高精细涂敷的装置，喷墨涂敷装置为人所关注，不限于对纸的印刷，正在所有的工业领域中探索其应用可能性，也有已经实用化的装置。
在涂敷头的下表面前端，以规定的间距设有多个喷嘴，通过该喷嘴的间距来决定作为涂敷材料的滴液的吐出间隔。所幸，在希望的滴液的涂敷间隔大于喷嘴间距的情况下，能够通过选择进行吐出的喷嘴来达成目的。然而，相反地在希望的滴液的涂敷间隔小于喷嘴间距的情况下，为了减小时间的花费需要对涂敷头的动作进行一番研究，作为该研究，以往提出有几个方案。
作为该方案的一个例子，例如提出了如下技术(例如，参照专利文献1)：使用平行地配置各自等间隔地设有相同的多个喷嘴孔的多个喷嘴模块的涂敷头，使该多个喷嘴模块相对涂敷基板的移动方向(y方向)倾斜、并且使这些喷嘴模块向其喷嘴孔的排列方向偏移，从而能够变更这些喷嘴模块的全部喷嘴孔在垂直于涂敷基板的移动方向的方向(y)方向上的间隔，并且，设为使基板能够旋转，即使对基板的涂敷图像由多个不同方向的图像构成，也能都在相同的y方向上进行涂敷。
在该专利文献1所述的技术中，将涂敷图像划分为表现其边缘的边缘图像和表现其内部的内部图像，首先进行边缘图像的涂敷(边缘涂敷)，在使涂敷后的边缘图像干燥之后，进行内部图像的涂敷(内部涂敷)，但是对于边缘图像来说，使用全部的喷嘴模块的喷嘴孔中的在Y轴方向相邻的两个喷嘴孔沿着邻接的扫描线进行边缘涂敷，内部涂敷使用所需的全部喷嘴孔来进行。
这样，在边缘涂敷中，使用在Y方向上相邻的两个喷嘴孔，所以与使用一个喷嘴孔进行边缘涂敷相比，能够减少来自一个喷嘴孔的滴液的吐出量，能够使涂敷线宽变窄，能够加快所涂敷的边缘图像的干燥以抑制湿润扩散，内部涂敷的滴液被干燥而与边缘图像连结，不会向该边缘图像的外侧扩散。
另外，介绍了如下技术(例如，参照专利文献2)：为了保持液晶显示面板的滤色基板和TFT基板之间的间隔，在滤色基板上设有间隔物，但其是将在溶液中溶解了该间隔物的油墨从喷墨头涂敷到滤色基板上。
根据该专利文献2所述的技术，在喷墨头中以规定的间距设有多个喷嘴，另外在滤色基板上的黑色矩阵上设定滤色基板上的上述油墨的涂敷位置，喷嘴的间距比油墨的涂敷位置的间距小，为了能够使喷嘴的间距与油墨的涂敷位置的间距吻合，能够使喷墨头旋转而改变喷嘴的排列方向、且使滤色基板向与喷墨头的旋转方向相反的方向旋转。
并且，为了在液晶单元的滤色基板上的规定位置形成用于在与阵列基板之间设置规定的空间的间隔物粒子，提出有使用喷墨方式的技术(例如，参照专利文献3)。
根据该专利文献3所述的技术，通过喷墨方式将把间隔物粒子分散到分散剂中的间隔物粒子分散液吐出到滤色基板上的规定位置(黑色矩阵的位置)，但是作为间隔物粒子分散液，使用水以及低沸点酒精系溶液，在吐出后以常温进行减压干燥，进而，对滤色基板进行加热使溶液挥发，将间隔物粒子固定到规定位置(滤色基板的黑色矩阵上的位置)。这是在进行涂敷之后暂时减压，进而作为后续工序进行加热干燥的涂敷方法。
专利文献1：日本特开2005-246248号公报
专利文献2：日本特开2010-20144号公报
专利文献3：日本特开2007-47524号公报
发明内容
如上述专利文献1～3所述的技术，目前为止，为了实现喷墨涂敷中的高的涂敷位置精度、膜厚的均匀性，特别关注着作为目标的涂敷间隔与涂敷头的喷嘴间距之间的相对的位置关系。这是在XY平面内的位置关系，是2维的。
然而，为了在各种领域中活用喷墨方式的涂敷，已知由于涂敷材料的粘度、表面张力等涂敷材料的性质、进行涂敷的对象物的表面状态的影响、还有基板、薄膜等涂敷对象物的大型化等，涂敷对象物和涂敷头的喷嘴之间的间隔的管理也是重要的。如果仅仅只进行XY平面内的涂敷位置管理的话，高精度地进行均匀的涂敷变得越来越困难。
即，当涂敷对象物和涂敷头的喷嘴之间的间隔过大时，来自喷嘴的涂敷材料的液滴的吐出方向性的精度产生误差，由此产生喷涂位置偏移。相反地，当涂敷对象物和涂敷头的喷嘴之间的间隔过小时，在大型化的涂敷对象物中产生由波纹导致的起伏，因此在面积大的涂敷对象物的一部分中产生突出的部位，有可能在该部位上涂敷头与涂敷对象物发生冲突。
另外，在喷墨涂敷中，具有能够不浪费地高效利用涂敷材料的优点，但另一方面因为每1次的吐出量是微量的，或者为了进一步缩小涂敷位置的间隔实现更精细的涂敷，所以需要进行多次的涂敷动作。此时，在多次的涂敷中如何抑制先附着的涂敷材料在涂敷对象物上的蔓延成为问题。
如果例举具体的数值例，则在液晶面板的玻璃基板的多倒角中，从对显示性能的担忧考虑，不能与其它面的涂敷干涉，要求外周图案的直线性大约为±0.1mm以下～±0.5mm以下的蔓延。另外，在高度方向上，如果涂敷后凹凸不是大约±0.1mm以下～±0.3mm以下，则液晶面板的显示性能成为问题。
这样，抑制涂敷后的涂敷材料的宽度方向、高度方向的蔓延偏差是极为重要的。
本发明的目的在于解决有关问题，提供一种做到能够在宽度、高度方向上高精度地进行均匀涂敷的喷墨涂敷装置以及方法。
为了达成上述目的，本发明具备通过设置能够独立地旋转多个涂敷头的单元，而能够相对搬运方向进行旋转以使得基板、薄膜等涂敷对象物相对于搬运方向倾斜的单元。并且，设有能够调整多个涂敷头的高度方向位置的Z轴移动单元。并且，还设有与涂敷动作同步地对涂敷对象物进行加热的单元。
根据本发明，不仅在XY平面内还设置成为高度方向的Z轴移动单元，从而能够进行3维的位置管理，另外，通过一边加热涂敷对象物一边涂敷，能够高精度地进行均匀的涂敷。
附图说明
图1是表示本发明的喷墨涂敷装置以及方法的一个实施方式中的概要结构的立体图。
图2是表示图1中的涂敷头及其设置状态的一个具体例的立体图。
图3是表示设在图2中的涂敷头上的多个喷嘴的排列的一个具体例的图。
图4是从上方看图1所示的实施方式的整体结构的俯视图。
图5是表示图2中的涂敷头的Z轴方向驱动的具体例的图。
图6是表示当以图4所示的涂敷头的排列状态来旋转涂敷头时的状态的一个具体例的俯视图。
图7是表示在使薄膜的涂敷区域中的涂敷轨迹比涂敷头中的吐出喷嘴的排列方向的间隔P窄时的涂敷头的状态的图。
图8是表示图1所示的实施方式中的喷墨涂敷的控制部的一个具体例的框图。
图9是表示在使图1所示的实施方式中的涂敷头的吐出喷嘴的X轴方向的间隔与涂敷轨迹的间隔Q相等而涂敷到薄膜上时的动作的流程的一个具体例的流程图。
附图标记说明
1：太阳电池用层叠薄膜；2：卷出侧薄膜辊；3：卷绕侧薄膜辊；4、5：导辊；6、7：升降导辊；8、9：吸附棒；10：吸附平台；11：卷出侧轴电机；12：卷绕侧轴电机；13、14：薄膜按压棒；15：涂敷头；15a：涂敷头的下端面；15b：吐出喷嘴；16：卷出部；17：涂敷部；18：卷绕部；19：摄像照相机；20a：微动Z轴驱动单元；20a1：微动Z轴驱动部；20a2：Z轴保持板；20b：独立Z轴驱动单元；20b1：独立Z轴驱动部；20c：共用Z轴驱动单元；20c1：共用Z轴驱动部；20c2：导向件；20bc：Z轴保持片；21：θ轴驱动单元；22：橡胶(rubber)加热器；23：辊用加热器；24：X轴驱动单元；25：激光测距仪；26：涂敷材料；27：头部；28：台架(gantry)；29a、29b：线性导轨；30：Y轴驱动单元；31：涂敷区域；32：边缘部；33：涂敷轨迹。
具体实施方式
下面，使用附图来说明本发明的实施方式。
此外，下面说明的实施方式具有如下的多种多样的用途：作为涂敷对象而对在平板显示器中使用的玻璃基板进行了用于控制液晶分子的排列方式的研摩(rubbing)的聚酰亚胺薄膜、应用了电泳方式等被称作柔性显示器的柔软弯曲的电子纸(Electronic paper)等。在该实施方式中，将薄膜状的柔性部件设为涂敷对象物的一个例子，例如在施以非硅系的半导体材料(例如，CIGS薄膜)的太阳电池薄膜上，通过利用喷墨方式的涂敷头来涂敷电极材料、绝缘材料，从而进行电极、绝缘膜等的膜形成。根据喷墨方式，具有能够削减制版经费、能够有效使用涂敷材料这样的优点，基于喷墨方式的涂敷的采用正在日益扩大。此外，CIGS薄膜是由Cu(铜)、In(铟)、Ga(镓)以及Se(硒)构成的半导体材料的薄膜，“CIGS”是排列了这些素材的开头字母的缩写。
图1是表示本发明的喷墨涂敷装置以及方法的一个实施方式中的概要结构的立体图，1是太阳电池用层叠薄膜(下面，简单称作薄膜)，2是卷出侧薄膜辊，3是卷绕侧薄膜辊，4、5是导辊，6、7是升降导辊，8、9是吸附棒，10是吸附平台，11是卷出侧轴电机，12是卷绕侧轴电机，13、14是薄膜按压棒，15是涂敷头，16是卷出部，17是涂敷部，18是卷绕部，19是摄像照相机，20a是微动Z轴驱动单元，21是θ轴驱动单元，22是橡胶加热器，23是辊用加热器。
在该图中，将薄膜1的长度方向(移动方向)设为X轴方向，沿着该X轴方向的空间被划分为卷出部16、涂敷部17以及卷绕部18。在卷出部16中，在X轴方向上依次排列设有由卷出侧轴电机11进行旋转驱动的卷出侧薄膜辊2、上游侧的导辊4、升降导辊6、以及吸附棒8，在卷绕部18中，在X轴方向上依次排列设有下游侧的吸附棒9、升降导辊7、导辊5、以及卷绕侧薄膜辊3。
此外，这里紧接在涂敷部17的后方设有卷绕部18，但是也可以在涂敷部17和卷绕部18之间设有减压部、干燥部，通过这些单元设置在对薄膜1涂敷后紧接着使附着在薄膜1的涂敷材料(未图示)的溶液蒸发的区间。
在卷出部16中，在卷出侧薄膜辊2中将在涂敷部17中成为电极材料、绝缘材料的涂敷对象的带状的薄膜1卷成辊状。另外，该薄膜1从该卷出侧薄膜辊2卷出而通过涂敷部17，由卷绕部18卷绕在卷绕侧薄膜辊3上。在卷出侧薄膜辊2中，内置辊用加热器23作为加热单元，由此能够以20～80℃的温度范围事先加热向涂敷部17卷出的薄膜1。
在涂敷部17中设有吸附平台10、涂敷头15、薄膜按压棒13、14，薄膜1通过真空吸附而位置固定在吸附平台10上。在涂敷头15中设有摄像照相机19、微动Z轴驱动单元20a、θ轴驱动单元21等而构成头部。当吸附平台10处于被吸附在薄膜1的下表面的状态时，有时薄膜1的两侧边侧由于卷曲而从吸附平台10的表面缩起，但是薄膜按压棒13、14从上侧将该缩起的两侧边侧部分压向吸附平台10。由此，矫正了薄膜1的卷曲。吸附平台10、薄膜按压棒13、14的吸附动作是以真空泵作为真空源并通过真空阀来进行的，进行薄膜1的吸附固定、固定解除。
在吸附平台10的下表面粘贴有橡胶加热器22，由此也包括对薄膜1的涂敷的动作过程，吸附平台10整体始终被以50～100℃的温度范围加热，与此相伴，吸附在该吸附平台10上的薄膜1也被加热。这样，通过该涂敷过程中的加热，在短时间内，从涂敷头15的吐出喷嘴(未图示)吐出而附着在薄膜1上的涂敷材料的溶液蒸发，能够抑制薄膜1上的涂敷材料的湿润扩散。
不过，如上述那样，通过内置在卷出侧薄膜辊2的辊用加热器23，在薄膜1卷绕在卷出侧薄膜辊2的状态下事先被以20～80℃的温度范围加热，但是由此变为在被加热了的状态下将薄膜1从卷出侧薄膜辊2搬运到吸附平台10，因此能够从其涂敷开始时起使该薄膜1处于加热状态，即使在将薄膜1吸附到吸附平台1时立即开始涂敷动作，也能够抑制涂敷到该薄膜1上的涂敷材料的湿润扩散。另外，当薄膜1被搬运到吸附平台10上时，已经由辊用加热器23进行加热而变得柔软到某一程度，因此能够顺利地通过薄膜按压棒13、14将薄膜1压向吸附平台10的表面。
此外，将卷出侧薄膜辊2中的辊用加热器23的设定温度设为比橡胶加热器22中的设定温度低、或相同程度，这在薄膜1的变形、定位精度方面是有效的，但是不限于此。
图2是表示图1中的涂敷头15及其设置状态的一个具体例的立体图，20a1是微动驱动部，20a2是Z轴保持板，20bc是Z轴保持片，24是X轴驱动单元，25是激光测距仪，26是涂敷材料，27是头部，28是台架，对于与图1相对应的部分附加相同标记并省略重复的说明。
在该图中，在薄膜1移动的X轴方向上，在细长的保持片20bc上固定有未图示的头部保持板，在该头部保持基板上载置有头部27。此外，保持片20bc构成后述的独立Z轴驱动单元和共用Z轴驱动单元。
另外，微动Z轴驱动单元20a由微动驱动部20a1、Z轴保持板20a2构成。
该头部27由涂敷头15、微动Z轴驱动单元20a、θ轴驱动单元21、X轴驱动单元24、以及激光测距仪25等构成，激光测距仪25安装在涂敷头15上，涂敷头15安装在Z轴保持板20a2上，该Z轴保持板20a2通过微动Z轴驱动单元20a的微动Z轴驱动单元20a1而被向Z轴方向(垂直于吸附平台10的表面的方向)微动驱动。因而，通过微动Z轴驱动部20a1的驱动，涂敷头15和激光测距仪25向Z轴方向微动、即相对吸附在吸附平台10上的薄膜1的面而向上下方向微动。
另外，θ轴驱动单元21设在涂敷头15、激光测距仪25或微动Z轴驱动单元20a的上侧等处，通过使它们向θ轴方向进行旋转，改变相对于X轴方向的头15的朝向。
另外，X轴驱动单元24通过安装有头部27的未图示的头部保持板使涂敷头15、激光测距仪25、微动Z轴驱动单元20a、摄像照相机19向X轴方向移动，由此调整涂敷头15的X轴方向的位置。
如后述那样，台架28构成后述的Y轴驱动单元，台架28向Y轴方向移动、并且保持片20bc也向Y轴方向移动，由此涂敷头15相对吸附在吸附平台10上的薄膜1向Y轴方向移动。
此外，如后述那样，保持片20bc构成与微动Z轴驱动单元20a不同的Z轴驱动单元(独立Z轴驱动单元和共用Z轴驱动单元)，能够向Z轴方向移动，通过该保持片20bc的Z轴方向的移动，头部27向Z轴方向移动而涂敷头15上下移动。
摄像照相机19拍摄表示基准位置的标识(未图示)，所述基准位置设在吸附于吸附平台10的薄膜1上，根据该拍摄结果进行薄膜1的位置调整。
此外，在涂敷头15的下端面(与吸附在吸附平台10上的薄膜1的面相对置的面)设有吐出喷嘴(未图示)，当对吸附在吸附平台10上的薄膜1进行涂敷时，从该吐出喷嘴吐出涂敷材料26而涂敷到该薄膜1上。
图3是表示设在该涂敷头15上的多个喷嘴的排列的一个具体例的图，图15a是涂敷头15的下端面，15b是吐出喷嘴。
在该图中，涂敷头15的下端面15a呈细长的形状，在该下端面15a中沿着其长度方向设有多个吐出喷嘴15b并排列成一列。该涂敷头15的下端面15a的长度方向，是当涂敷头15处于不通过θ轴驱动单元21旋转驱动的状态(初始旋转状态)时沿着X轴方向的方向。当利用过θ轴驱动单元21涂敷头15旋转时，吐出喷嘴15b的排列方向相对于X轴方向倾斜与该旋转量相应的角度。
图4是从上方看图1所示的实施方式的整体结构的俯视图，20b是独立Z轴驱动单元，20b1是独立Z轴驱动部，20c是共用Z轴驱动单元，20c1是共用Z轴驱动部，20c2是导向件，29a、29b是线性导轨，30是Y轴驱动部，对于与图1、图2相对应的部分附加相同标记并省略重复的说明。
在该图中，在涂敷部17中设有多个喷墨式的涂敷头15，这里设有8个，如上述那样，各个涂敷头15能够通过微动Z轴驱动单元20a而分别上下移动。这些涂敷头15以4个为一个组，这里设有两个组。但是，也可以是3组以上。
另外，跨过与横穿吸附平台10的方向(Y轴方向)平行的两个线性导轨29a、29b架设有台架28，另外在这些线性导轨29a、29b之间4个Z轴保持片20bc在X轴方向相互平行、且相互隔开规定的间隔地设置。
在该4个Z轴保持片20bc中，从最靠近台架28侧开始依次设为第一个、第2个、第3个、第4个Z轴保持片20bc，且将线性导轨29a侧的组设为第一组，线性导轨29b侧的组设为第2组，在第一个Z轴保持片20bc上隔开第一规定间隔地配置第一、第2组各一个的涂敷头15，在第2个Z轴保持片20bc上以相同的第一规定间隔配置第一、第2组各一个的其它涂敷头15，该其它涂敷头15与配置在第一个Z轴保持片20bc上的涂敷头15在X方向上隔开第2规定间隔，在第3个Z轴保持片20bc上，以相同的第一规定间隔配置第一、第2组各一个的另一其它涂敷头15，该另一其它涂敷头15与配置在第2个Z轴保持片20bc上的涂敷头15在相同的X方向上隔开第2规定间隔，并且，在第4个Z轴保持片20bc上，以相同的第一规定间隔配置第一、第2组各一个的剩余涂敷头15、且该剩余涂敷头15与配置在第3个Z轴保持片20bc上的涂敷头15在相同的X方向上隔开第2规定间隔。
由此，在X轴方向看到的这8个涂敷头15的排列中，各个涂敷头15相互向X轴方向错开位置地配置，但是设定上述第一、第2规定间隔，以使得这些涂敷头15的X轴方向的间隔变得相等。并且具体地说，如图3所示，各涂敷头15具备排列为直线状的多个吐出喷嘴15b，但是设定上述的第一、第2规定间隔，以使得8个全部的涂敷头15的吐出喷嘴15b的X轴方向的位置全部成为等间隔。
此外，在Z轴保持片20bc之间设有规定间隔，如图2所示，各涂敷头15通过保持在微动Z轴驱动单元20a的Z轴保持板20a上，涂敷头15的下端面15a的吐出喷嘴15b的排列整体直接与薄膜1的面相对置。
在台架28的线性导轨29a侧安装有形成共用Z轴驱动单元20c的共用Z轴驱动部20c1，在该共用Z轴驱动部20c1中安装有形成4个独立Z轴驱动单元20b的4个独立Z轴驱动部20b1。而且，这4个独立Z轴驱动部20b1的各个上安装着Z轴保持片20bc。这些Z轴保持片20bc的线性导轨29b侧的端部，由导向件20c2支撑。
因此，Z轴保持片20bc与共用Z轴驱动部20c1等一起构成共用Z轴驱动单元20c，另外，与独立Z轴驱动部20b1等一起构成独立Z轴驱动单元20b。而且，通过共用Z轴驱动部20c1的驱动，全部的Z轴保持片20bc将同时向Z轴方向上下移动相同的距离，由此，全部的涂敷头15同时向Z轴方向上下移动相同的距离。另外，通过4个独立Z轴驱动部20b1的某一个的驱动，安装在该独立Z轴驱动部20b1上的Z轴保持片20bc将向Z轴方向上下移动，由此，安装在该Z轴保持片20bc上的第一、第2组的各一个的涂敷头15同时向Z轴方向上下移动相同的距离。
此外，在图2中，当设在涂敷头15上的微动Z轴驱动部20a1进行驱动时，只有该涂敷头15向Z轴方向上下移动。
这样，在该实施方式中，作为Z轴驱动单元设有微动Z轴驱动单元20a、独立Z轴驱动单元20b 以及共用Z轴驱动单元20c，由此，能够仅使所指定的一个涂敷头15上下移动，并能够使设在所指定的Z轴保持片20bc上的两个涂敷头15同时上下移动相同的距离，能够使全部的涂敷头15同时上下移动相同的距离，能够根据薄膜1中的涂敷时的状态来选择进行某一个的Z轴方向的驱动。
这里，当在吸附在吸附平台10上的薄膜1上进行涂敷动作时，激光测距仪25(图2)通过光学非接触地测量该薄膜1的表面和涂敷头15的吐出喷嘴15b(图3)之间的距离，微动Z轴驱动单元20a进行驱动动作使涂敷头15向Z轴方向移动来调整该薄膜1、吐出喷嘴15b之间的距离，以使得该薄膜1、吐出喷嘴15b之间的距离成为规定的距离，但在薄膜1、吐出喷嘴15b之间的距离超过能够通过微动Z轴驱动单元20a的驱动动作进行调整的范围而无法调整好的情况下，接下来，独立Z轴驱动单元20b开始驱动动作，调整薄膜1、吐出喷嘴15之间的距离。在这种情况下，在成为驱动对象的Z轴保持片20bc上的一个涂敷头15上能够调整薄膜1、吐出喷嘴15b之间的距离，在另一个涂敷头15上薄膜1、吐出喷嘴15b之间的距离也从规定的距离偏移的情况下，微动Z轴驱动单元20a进行驱动动作，调整该涂敷头15的薄膜1、吐出喷嘴15b之间的距离。
在存在通过独立Z轴驱动单元20b的驱动动作也无法调整薄膜1、吐出喷嘴15b之间的距离的涂敷头15的情况下，共用Z轴驱动单元20c进行驱动动作，但是该共用Z轴驱动单元20c还在将薄膜1吸附在吸附平台10上开始涂敷动作时用于对涂敷头15的薄膜1、吐出喷嘴15b之间的距离进行初始设定。
图5是表示图2中的涂敷头15的Z轴方向驱动的具体例的图，对于与上述附图相对应的部分附加相同标记并省略重复的说明。
在该图中，从其宽度方向(Y轴方向)看，在薄膜1中产生薄膜1的弯曲等导致的段差d1、事先形成电路等导致的段差d2的凸部、段差d3的凹部。这里，设为d1＞d2、d3，将薄膜1和涂敷头15的吐出喷嘴15b之间的规定的距离设为D。
如上述那样，微动Z轴驱动单元20a吸收各个涂敷头15的机械安装误差，消除看到的涂敷头15的安装误差，但是，另外由于事先形成在薄膜1上的电路等的存在，也有时在薄膜1上存在段差d2的凸部、段差d3的凹部，使得在该凹、凸部中薄膜1和涂敷头15的吐出喷嘴之间的距离也成为规定的距离D的是微动Z轴驱动单元20a。
另外，在薄膜1中有时在宽度方向产生弯曲。通过由上述的薄膜按压棒13、14按压住薄膜1的两侧边部，矫正了薄膜1的该弯曲，但是如图示那样，有时由于段差d1而薄膜1的两侧边部向上侧膨胀产生波纹。该波纹容易在薄膜1的宽度方向上产生，但是难以在薄膜1的长度方向上产生，且在微动Z轴驱动单元20a中无法应对的情况多，因此通过独立Z轴驱动单元20b进行调整，以使得薄膜1和涂敷头15的吐出喷嘴15b之间的距离不会由于该薄膜1的主要宽度方向的波纹而产生偏差，调整沿着该波纹排列在X轴方向的两个涂敷头15、即安装在相同的Z轴保持片20bc上的两个涂敷头15的吐出喷嘴15b和薄膜1之间的距离，使得规定的距离成为D。
此外，在能够利用微动Z轴驱动单元20a的驱动来应对该波纹的情况下，在这种波纹中，在相同的Z轴保持片20bc上激光测距仪25的测量结果变得几乎相同，在这种情况下，也能够由独立Z轴驱动单元20b同时向Z轴方向移动这些涂敷头15。
在由于段切换而薄膜1的厚度改变了的情况下、或者在为了防止喷嘴堵塞而进行所谓舍弃动作时等维护动作中，在使全部的涂敷头15一并地上下移动的情况下，进行共用Z轴驱动单元20c的Z轴方向的驱动。
此外，以上的各Z轴驱动单元20a～20c的作用是主要的，不限于此，还能够稍微改变目的而活用这3种Z轴驱动单元。
返回图4，在线性导轨29a、29b上设有用于使台架28向Y轴方向移动的Y轴驱动单元30。通过该Y轴驱动单元30的驱动，台架28向Y轴方向移动，与此相伴，独立Z轴驱动单元20b和共用Z轴驱动单元20c向Y轴方向移动，全部的Z轴保持片20b保持相互的间隔地向Y轴方向移动。因而，全部的涂敷头15由此而同时以相同的速度向Y轴方向移动。
当不进行薄膜1中的涂敷时，涂敷头15被设定为其吐出喷嘴15b(图3)的排列方向成为平行于X轴方向的状态，但是根据薄膜1上的涂敷材料26(图2)的涂敷状况，有时需要改变吐出喷嘴15b的排列方向。在这种情况下，通过图2所示的θ轴驱动单元21来旋转涂敷头15。
图6是表示该状态的俯视图，对于与上述附图相对应的部分附加相同标记并省略重复的说明。
在该图中，通过θ轴驱动单元21的驱动使涂敷头15旋转角度α，这些涂敷头15的吐出喷嘴15b的排列方向成为相对X轴方向偏移了角度α的状态。这样，当使涂敷头15旋转角度α时，该吐出喷嘴15b的沿着X轴方向的间隔缩小成为cosα倍。因而，当利用该涂敷头15的多个吐出喷嘴15b在Y轴方向同时进行涂敷时，与旋转涂敷头15之前的状态时相比，这些吐出喷嘴15b的涂敷轨迹的间隔变窄为cosα倍，在以更窄的轨迹间隔进行涂敷的情况下能够使用这种方式。
另外，如图4所示，当各涂敷头15处于平行于X轴方向的状态(即α＝0度，图3所示的涂敷头15中的吐出喷嘴15b的配设方向为平行于X轴的方向)时，这些涂敷头15的端部处于在X轴方向上一部分重叠的状态，由此，第一、第2组的全部涂敷头中的全部吐出喷嘴15b在该X轴方向的间隔全都成为相等的间隔。例如图3所示，当设吐出喷嘴15b的排列方向的间隔(下面称作排列间隔)为P时，在图4所示的状态中，某个涂敷头15的右端(或者左端)的吐出喷嘴15b和配置在该涂敷头15的右侧(或者左侧)的其它涂敷头15的左端(或者右端)的吐出喷嘴15b之间的X轴方向的间隔也与涂敷头15内的吐出喷嘴15b的间隔相等，设为间隔P。
另外，如图6所示，在使各个涂敷头15旋转角度α的情况下也相同，涂敷头15内的吐出喷嘴15b的间隔成为P·cosα，但在这种情况下，某个涂敷头15的右端(或者左端)的吐出喷嘴15b和配置在该涂敷头15的右侧(或者左侧)的其它涂敷头15的左端(或者右端)的吐出喷嘴15b之间的X轴方向的间隔也成为P·cosα。这是通过如下方式来实现的：与涂敷头15的旋转一起，通过X轴驱动单元24(图2)的驱动使涂敷头15向X轴方向移动，以使得在X轴方向上相互接近。
在通过涂敷头15在吸附于吸附平台10的薄膜1的区域内涂敷涂敷材料26(图2)的情况下，有时使用多个涂敷头15同时进行涂敷。在这种情况下，通过使该区域中的各个吐出喷嘴15b的涂敷轨迹的间隔变窄，作为整体能够进行均匀的涂敷，但也有时必须使该涂敷轨迹的间隔比涂敷头15中吐出喷嘴15b的该排列方向的间隔P还窄，在这种情况下，如图6所示，通过旋转各涂敷头15使吐出喷嘴15b的X轴方向的间隔与所希望的涂敷轨迹的间隔吻合。
此外，设定基于θ轴驱动单元21(图2)的涂敷头15的能够旋转范围，即使涂敷头15在该能够旋转范围内旋转，涂敷头15的下端面15a处的吐出喷嘴15b的排列，作为整体也位于Z轴保持片20bc之间，直接与薄膜1的面相对置。
图7是表示像这样地涂敷轨迹比涂敷头15中的吐出喷嘴15b的排列方向的间隔P还窄时的涂敷头15的状态的图，该图(a)是表示吸附平台10上的薄膜1的一部分的俯视图，该图(b)是放大表示该图(a)中的A的部分与各涂敷头15中的吐出喷嘴15b之间的关系的俯视图，31是涂敷区域，32是边缘部，33是涂敷轨迹。此外，对于与上述附图相对应的部分附加相同标记并省略重复的说明。
在该图(a)中，在薄膜1中，当通过涂敷部17(图1)将其定位在吸附平台10上时，设定规定个数的矩形状的涂敷区域31，针对每一个涂敷区域，首先使用规定的涂敷头15对该矩形框状的边缘部32涂敷涂敷材料26(该边缘部32的涂敷材料26由橡胶加热器22(图1)加热而固定)，接着，在各个涂敷区域31中对边缘部31的内部涂敷涂敷材料26。这样，在形成矩形框状的边缘部32的情况下，在该边缘部32的沿着Y轴方向的部分，通过Y轴驱动单元30向Y轴方向移动涂敷头15，通过特定的涂敷头15的特定的吐出喷嘴15b来涂敷涂敷材料26。
另外，在边缘部32的沿着X轴方向的部分中，如下那样进行涂敷。即，各涂敷头15配置在不同的Z轴保持片20bc上，所以其位置依次在Y轴方向偏移。因此，当向Y轴方向移动各涂敷头15时，各涂敷头15以不同的定时顺序地到达边缘部32的沿着X轴方向的部分。因此，通过从到达该边缘部32的沿着X轴方向的部分的涂敷头15的吐出喷嘴15b吐出涂敷材料26，由各涂敷头15顺序地涂敷边缘部32的沿着X轴方向的部分，形成涂敷了涂敷材料26的X轴方向的边缘部32。
另外，如图7(b)中所说明的那样，在涂敷区域31内，为了使各涂敷头15的吐出喷嘴15b的沿着X轴方向的间隔与由各个涂敷头15进行Y轴方向涂敷的图中的沿着该Y轴方向的涂敷轨迹33的间隔一致，设为使各涂敷头15旋转了规定角度α的状态。在这种情况下，即使是相同的涂敷头15，其吐出喷嘴15b的排列方向相对X轴方向倾斜角度α，因此在向Y轴方向移动涂敷头15的情况下，相同的涂敷头15的各吐出喷嘴15b与边缘部32的沿着X轴方向的部分一致的定时不同。因此，当像这样地涂敷头15处于倾斜了角度α的状态时，该涂敷头15中的与边缘部32的沿着X轴方向的部分一致的吐出喷嘴15b吐出涂敷材料26。由此，在各涂敷头15中排列在其中的多个吐出头15b顺序地在边缘部32的沿着X轴方向的部分上吐出涂敷材料26。
由此，即使处于涂敷头15的吐出喷嘴15b的排列相对X轴方向倾斜的状态下，也沿着边缘部32的沿X轴方向的部分涂敷涂敷材料26。
接着，根据图7(b)来说明该边缘部32内的涂敷材料26的涂敷。
在该边缘部32内，沿着平行于Y轴方向的涂敷轨迹33均匀地进行涂敷。在这种情况下，当设这些涂敷轨迹33的间隔为Q、并使用多个涂敷头15同时在边缘部32内进行涂敷时，在设各个涂敷头15的吐出喷嘴15b的排列间隔P比涂敷轨迹33的间隔Q还大的情况下，通过该θ轴驱动单元21使各涂敷头15旋转满足Q＝P·cosα的角度α，且如上述那样地，通过X轴驱动单元24调整各个涂敷头15的X轴方向的位置，以使得在这些涂敷头15的整体中吐出喷嘴15b的间隔均匀地与涂敷轨迹33的间隔Q相等。
通过在各涂敷头15中设定该状态，向Y轴方向移动多个涂敷头15，且通过这些涂敷头15的吐出喷嘴15b中的包含在涂敷区域31的X轴方向的宽度中的吐出喷嘴15b，能够沿着涂敷区域31内的全部涂敷轨迹33同时地涂敷涂敷材料26。因此，能够通过涂敷头15的Y方向的一次移动进行涂敷区域31的涂敷。在这种情况下，当然不用说，各涂敷头15相对Y轴方向倾斜，因此根据该倾斜使各涂敷头15的各吐出喷嘴15b的涂敷开始定时、涂敷结束定时不同。在通过一次移动无法进行涂敷区域31整体的涂敷的情况下，只要使薄膜1向Y轴方向变位，使涂敷头15在Y轴的与第一次相反的方向移动即可。
另外，在即使使涂敷头15旋转到其能够旋转范围的最大限度，吐出喷嘴15b的X轴方向的间隔也不会成为涂敷轨迹33的间隔Q的情况下，进一步调整涂敷头15的X轴方向的位置使相邻的涂敷头15的一部分在Y轴方向上重叠、且互相重叠的两个涂敷头15的一个涂敷头15的吐出喷嘴15b的X轴方向的间隔内有另一个涂敷头15的吐出喷嘴15b的X轴方向的位置，从而能够减小这些涂敷头15整体的吐出喷嘴15b的X轴方向的间隔，由此，能够使涂敷头15的各个吐出喷嘴15b与间隔狭窄的涂敷轨迹33吻合。但是，在这种情况下，通过涂敷头15的1次Y轴方向的移动同时涂敷的区域的宽度变小，需要重复2次以上涂敷头15的Y轴方向移动。
以往已提出有如下技术：如图7所示，在根据涂敷对象物的种类需要减小涂敷头15的吐出喷嘴15b的涂敷轨迹的间隔进行涂敷的情况下，如果通过Y轴方向的移动进行涂敷，则接着向X轴方向移动涂敷头15来设置接下来的涂敷开始位置，从该位置再次向Y轴方向移动涂敷头15而进行涂敷区域中的涂敷。但该技术中的处理时间将增加数倍而效率低。
与此相对，在该实施方式中，根据通过θ轴驱动单元21使涂敷头15旋转而相对X轴方向倾斜，从而能够改变涂敷头15的吐出喷嘴15b的X轴方向的间隔，由此能够使该间隔与涂敷区域31中的涂敷轨迹33的间隔相等，能够使多个吐出喷嘴15b、进一步使多个涂敷头15的多个吐出喷嘴15b同时应用于涂敷动作，能够大幅度地提高涂敷作业效率。
这里，关于上述的微动Z轴驱动单元20a、独立Z轴驱动单元20b、共用Z轴驱动单元20c、X轴驱动单元24、Y轴驱动单元30、θ轴驱动单元21，在该实施方式中，全部将驱动源设定为伺服电机，经由滚珠丝杠等动力传递单元而通过线性导轨来进行直线动作，但是在需要防止滚珠丝杠的润滑剂飞散导致的空气清洁度下降的情况下，也可以将这些的驱动源设为直线电机。
另外，在该实施方式中，作为薄膜1在吸附平台10上的定位单元，具备薄膜1的X轴驱动单元，该X轴驱动单元在进行薄膜1的X轴方向的定位的卷出部16、卷绕部18中具备薄膜辊2、3、升降导辊6、7等的各单元，另外，作为涂敷头15的对薄膜1的定位单元，具备X轴驱动单元24、Y轴驱动单元30、θ轴驱动单元21以及Z轴驱动单元20a～20c，相对薄膜1使涂敷头15向X、Y、Z轴的3轴方向进行调整。而且，作为Z轴驱动单元，设有Z轴驱动单元20a～20c这3种单元，根据涂敷头15相对薄膜1的Z轴方向的位置，该Z轴驱动单元20a～20c中的某一个进行动作。
图8是表示图1所示的实施方式中的喷墨涂敷的控制部的一个具体例的框图，34是控制单元，34a是微计算机，34b是外部接口，34c是涂敷头控制器，34d是图像处理控制器，34e是电机控制器，34f是数据通信总线，35是USB(Universal Serial Bus：通用串行总线)存储器，36是硬盘，37是监视器，38是键盘，39是真空泵，40是真空阀部，41是气缸，42是阀门单元，43是调节器，44X是X轴驱动器，44Y是Y轴驱动器，44θ是θ轴驱动器，44Za～44Zc是Z轴驱动器。
在该图中，控制单元34由微计算机34a、以及经由数据通信总线34f与微计算机34a连接的外部接口34b、涂敷头控制器34c、图像处理控制器34d和电机控制器34e构成，在微计算机34a的管理下控制与数据通信总线34f连接的各部分。
另外，作为微计算机34a的外部存储器的USB存储器35、硬盘36、作为数据显示输出部的监视器37、作为操作部的键盘38经由外部接口34b与控制单元34连接。
在外部接口34b中还连接了调节器43、阀门单元42、气缸41等空气驱动设备、卷出侧轴电机11、卷绕侧轴电机12以及其它辊用电机，在微计算机34a的控制下驱动控制这些单元。另外，成为用于在吸附棒8、9、吸附平台10上真空吸附薄膜1的真空源的真空泵39、进行来自真空泵39的切换的真空阀部40与外部接口34b连接，并且另外进行薄膜1的加热的橡胶加热器22、辊用加热器23也与外部接口34b连接，在微计算机34a的控制下进行驱动、或者进行ON/OFF控制。
涂敷头控制器34c在微计算机34a的控制下，控制每个涂敷头15的每个吐出喷嘴15b的涂敷材料26(图2)的吐出的有无、定时。
图像处理控制器34d在微计算机34a的控制下，通过对摄像照相机19的输出进行图像处理来计算对薄膜1实施的定位标识等拍摄的该摄像照相机19的视野内位置。
电机控制器34e在微计算机34a的控制下，对X轴驱动器44X、Y轴驱动器44Y以及θ轴驱动器44θ进行驱动控制，其中X轴驱动器44X对安装在涂敷头15上的X轴驱动单元24(图2)的X轴驱动电机进行驱动、Y轴驱动器44Y对Y轴驱动单元25的直线电机或者驱动电机进行驱动、θ轴驱动器44θ对θ轴驱动单元24的θ轴驱动电机进行驱动。并且，微动Z轴驱动单元20c的Z轴驱动器44Za、独立Z轴驱动单元20b的Z轴驱动器44Zb、共用Z轴驱动单元20c的Z轴驱动器44Zc，同样地通过电机控制器34e进行驱动控制。
与激光测距仪25、摄像照相机19一体地移动的涂敷头15的XYθ轴方向以及Z轴方向的移动控制，是微计算机34a经由电机控制器34e来进行的，因此把握着涂敷头15的当前位置和下一个移动目标位置。并且，微计算机34a还根据动作序列的管理，掌握管理基于激光测距仪25的测量动作的定时、每个涂敷头15的各吐出喷嘴15b的涂敷材料26的吐出定时。
图9是表示如图7所示那样地使涂敷头15的吐出喷嘴15b的X轴方向的间隔与涂敷轨迹31的间隔Q相等而在薄膜1上进行涂敷时的动作流程的一个具体例的流程图。下面，参照上述附图进行说明。
首先，使与卷出薄膜辊2内的辊用加热器23以及吸附平台成为一体的橡胶加热器22进行动作，开始加热(步骤101)。接着，薄膜1停止在吸附平台10的位置，进行其临时定位(步骤102)。由所选择指定的涂敷头15的摄像照相机19来拍摄薄膜1上的标识位置，通过图像处理而计算出临时定位状态的薄膜1与安装有涂敷头15的台架28之间的相对位置偏移量(步骤103)。根据计算出的该相对位置偏移量，计算出X轴驱动单元24的移动和涂敷头15的每个吐出喷嘴15b的涂敷开始点位置和涂敷结束点位置(步骤104)。
接着，通过Y轴驱动单元25向Y轴方向移动全部的涂敷头15，涂敷最终应该涂敷的涂敷图案中的成为边缘部32的外周图案(步骤105)。该外周图案是涂敷区域31的外周部，在图7中成为口字状。这里，薄膜1被卷出薄膜侧辊2内的辊用加热器23事先加热，并且通过与吸附平台成为一体的橡胶加热器22更可靠地、或者比该事先加热更高的温度进行加热，因此在涂敷于薄膜1的口字状的外周部的涂敷材料26中，在短时间内溶液蒸发而干燥，将高精度地形成边缘部32。
接着，以更纤细的吐出喷嘴15b的间距Q进行涂敷区域31的内部图案的涂敷。
即，由θ轴驱动单元21来旋转移动各涂敷头15，以使得向X轴的投影间距成为目标值Q的方式设置其旋转角度α(步骤106)。在该状态下，通过Y轴驱动单元25向Y轴方向移动全部的涂敷头15，沿着各涂敷轨迹33同时进行涂敷(步骤107)。
这里，如图6所示，由θ轴驱动单元21旋转移动各涂敷头15，从而能够减小X轴方向的涂敷间隔、即各涂敷头15的吐出喷嘴15b的X轴方向的间隔，但在想要进一步减小X轴方向的涂敷间隔的情况下，在进行了是否需要间距偏移并涂敷的判断的基础上(步骤108)，如果需要进一步减小了涂敷间隔的涂敷(步骤108的“Y”)，则由X轴驱动单元24使间距向X轴方向偏移，由Y轴驱动单元25向Y轴方向移动全部的涂敷头15，由各个吐出喷嘴15b沿着各个涂敷轨迹33进行涂敷，从而描绘内部图案(步骤109)。
另外，在想要减小Y轴方向的涂敷间隔地进行涂敷的情况下(步骤108的“N”)，在进行是否需要间距偏移而涂敷的判断的基础上(步骤110)，如果需要进一步减小了间隔的涂敷(步骤110的“Y”)，则使间距向Y方向偏移，在变更了Y轴方向的涂敷开始点之后，通过Y轴驱动单元25向Y轴方向移动全部的涂敷头15，从而涂敷内部图案(步骤111)。
判断间距偏移涂敷是否全部完成，如果已完成(步骤112的“Y”)，则通过θ轴驱动单元21使全部的各涂敷头15向与上述相反方向旋转而返回到原来的状态(即图4所示的状态)(步骤113)，停止辊用加热器23以及橡胶加热器22的动作(步骤114)，结束动作。
如果间距偏移涂敷还没有全部完成(步骤112的“N”)，则从再次判定开始(步骤108)重复动作。
这里，如果进行半间距偏移，则伴随Y轴驱动单元25的驱动的基于Y轴方向的移动的涂敷次数变为最初的涂敷和1次重复涂敷共2次涂敷，如果进行1/4间距偏移的涂敷，则成为最初的涂敷和3次重复涂敷共4次涂敷。能够在X轴方向和Y轴方向上分别决定该偏移量。
如以上那样，在该实施方式中，不限于XY平面内，通过设置进行高度方向的移动的Z轴驱动单元，能够进行三维的位置管理，并且另外能够与涂敷动作同时地加热涂敷对象物，由此能够以高精度进行均匀的涂敷。
Claims (10)
1.一种喷墨涂敷装置，具备：吸附平台，吸附保持涂敷对象物；多个涂敷头，从喷墨式喷嘴向吸附保持在该吸附平台上的该涂敷对象物的表面边吐出涂敷材料边进行涂敷；台架构造体，使该涂敷头在该涂敷对象物的上方位置在与作为该涂敷对象物的搬运方向的X轴方向在水平面内正交的Y轴方向移动；X轴驱动单元，在该X轴方向独立地移动该涂敷头；第一Z轴驱动单元，独立地在垂直于该水平面的Z轴方向移动该涂敷头；以及θ轴驱动单元，平行于该水平面地在θ轴方向独立地移动该涂敷头，其中，该涂敷头在空间内能够在XYZθ轴方向移动，所述喷墨涂敷装置的特征在于，
基于该X轴驱动单元，针对该多个涂敷头的每一个独立地使该涂敷头和该第一Z轴驱动单元都在X轴方向移动，
并且，基于θ轴驱动单元，该X轴驱动单元与该涂敷头和该第一Z轴驱动单元成为一体而旋转。
2.根据权利要求1所述的喷墨涂敷装置，其特征在于，
所述涂敷对象物是带状的薄膜，
对所述吸附平台的所述涂敷对象物的搬运单元包括：卷出所述涂敷对象物并进行搬运的上游侧的薄膜辊、以及在与该上游侧的薄膜辊隔着所述吸附平台的位置卷绕该涂敷对象物并进行搬运的下游侧的薄膜辊。
3.根据权利要求2所述的喷墨涂敷装置，其特征在于，
在所述多个涂敷头中，在X轴方向依次排列的每规定个数的所述涂敷头分别构成组，在各组中，各个所述涂敷头配置于在Y轴方向上不同的位置，并且各组中的各一个所述涂敷头的Y轴方向的位置是相同的位置，
针对每个由各组中的Y轴方向的位置相同的各一个所述涂敷头构成的涂敷头组，具备使之在Z轴方向移动的第二Z轴驱动单元，
并且设为通过台架构造体同时在Y轴方向移动全部的该涂敷头的结构。
4.根据权利要求2所述的喷墨涂敷装置，其特征在于，
在所述多个涂敷头中，在X轴方向依次排列的每规定个数的所述涂敷头分别构成组，在各组中，各个所述涂敷头配置于在Y轴方向上不同的位置，并且各组中的各一个所述涂敷头的Y轴方向的位置是相同的位置，
针对每个由各组中的Y轴方向的位置相同的各一个所述涂敷头构成的涂敷头组，具备使之在Z轴方向移动的第二Z轴驱动单元，
进而，具备使全部的该第二Z轴驱动单元在Z轴方向移动的第三Z轴驱动单元，
并且设为通过台架构造体同时在Y轴方向移动全部的该涂敷头的结构。
5.根据权利要求2所述的喷墨涂敷装置，其特征在于，
在吸附保持所述涂敷对象物的所述吸附平台上，设有对吸附在所述吸附平台上的所述涂敷对象物进行加热的加热单元。
6.根据权利要求5所述的喷墨涂敷装置，其特征在于，
在所述薄膜辊中，设有对卷附在所述薄膜辊上的所述涂敷对象物进行预热的加热单元。
7.一种喷墨涂敷装置的喷墨涂敷方法，该喷墨涂敷装置具备：上游侧的薄膜辊，卷出作为卷附成辊状的带状薄膜的涂敷对象物并进行搬运；吸附平台，吸附保持所卷出的该涂敷对象物；下游侧的薄膜辊，在隔着该吸附平台的位置卷绕该涂敷对象物并进行搬运；多个涂敷头，从喷墨式喷嘴向吸附保持在该吸附平台上的该涂敷对象物的表面一边吐出涂敷材料一边进行涂敷；台架构造体，使该涂敷头在该涂敷对象物的上方位置在与作为该涂敷对象物的搬运方向的X轴方向在水平面内正交的Y轴方向上移动；X轴驱动单元，在该X轴方向独立地移动该涂敷头；第一Z轴驱动单元，在垂直于该水平面的Z轴方向独立地移动该涂敷头；以及θ轴驱动单元，与该水平面平行地在θ轴方向独立地移动该涂敷头，其中，该涂敷头在空间内能够在XYZθ轴方向移动，所述喷墨涂敷方法的特征在于，
基于该X轴驱动单元，针对该多个涂敷头的每一个独立地使该涂敷头与该第一Z轴驱动单元都在X轴方向移动，
并且，基于θ轴驱动单元，该X轴驱动单元进一步与该涂敷头和该第一Z轴驱动单元成为一体地旋转，减小向X轴方向或者Y轴方向投影时的该涂敷头的吐出喷嘴的间隔而涂敷涂敷材料。
8.根据权利要求7所述的喷墨涂敷方法，其特征在于，
所述涂敷头的第一次涂敷对所述涂敷对象物的涂敷材料的涂敷图案中的外周部进行涂敷，
第2次～第2次以后的涂敷对该涂敷图案中的由外周部包围的内部进行涂敷，将涂敷区域分割为多个而进行涂敷。
9.根据权利要求7所述的喷墨涂敷方法，其特征在于，
对吸附在所述吸附平台上的所述涂敷对象物进行加热，并一边加热一边对所述涂敷对象物进行涂敷。
10.根据权利要求7所述的喷墨涂敷方法，其特征在于，
由加热单元来预热卷附在所述薄膜辊上的所述涂敷对象物。
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