CN1022712C - 等离子体显示板及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明揭示了一种前面玻璃板(1)、背面板(5)及隔壁(4)密封成一体、所述隔壁由具有放电单元用的多个孔的金属薄板组成、所述多个孔设置在第1和第2平行电极群(6、7)在等离子体显示板的垂直面上相隔预定距离互相交叉的位置上、所述隔壁的上面及下面至少一方被绝缘层(2)覆盖、所述孔配置的最小间距是0.04至0.6mm、孔的显示领域的平均开孔率是35%以上、充填离子化气体的等离子体显示板及其制造方法。

Description

本发明涉及用有孔金属板作隔壁和间隔物（スプ一サ）的等离子体显示板及其制造方法。

在最近的等离子体显示板（以下称为PDP）中，为了把面板做成扁平型，设置二块基板，以适当的间隔重叠，构成用密封玻璃密封周围的***容 器，封入气体，这种类型是主要的。二块基板内的前面，需要玻璃板，另一块背面板也因为价廉起见，故使用同种的玻璃板。因此，下面，对这种类型的PDP作说明。

在PDP的制造中，在封入气体之前，先进行排气，但此时，***容器内外的压力差达到最大。由于该压力差，二块玻璃基体变形。因为加热使***容器内吸附的气体排出，该变形变得更大，为了把这种变形抑制到能够忽视的程度，必须把玻璃板的厚度做大或把面板做小。由于如果在二块玻璃板间设置间隔物，这样的制约就不存在，因而在大型的显示板中，间隔物是不可缺少的。

又，一般地，在配置多个放电单元（セル）的PDP中，尽管为AC型或CD型的放电形式，为了确保适当的放电间隙或防止向邻近放电单元的串混（クロスト一ク），需要有隔壁或间隔物。

可是，PDP的放电单元的配置，由其使用目的决定，例如，有7段的8字显示，5×7点的字符显示，640×480点的满点（フルドット）显示等。

这样的PDP放电单元配置的例子示于图1-图5，又，在图1-图5中，1表示前面玻璃板，3表示隔壁，5表示背面玻璃板，6表示阳极，7表示阴极。如这些图所示，使用具有各种形状、排列的单元孔的隔壁或间隔物（以下，根据场合，总称为隔壁）。对于哪种单元配置，都能用同一种方法制作隔壁，到目前为止，已试用了多种方法，例如有如下所示的方法。

A法：厚膜法（网板印刷的多层印刷）

B法：感光性玻璃板的腐蚀加工

C法：板玻璃的机械加工

其中，A法显然是廉价、适于大量生产的方法，但若不重叠多次印刷，则存在不能取得充分放电间隙的缺点。又，特别对于满点显示PDP时，点间隔的高精密度（例如点间距0.2mm）化是重要课题，而用网板印刷难以对应，虽然有以图2所示那样同条状形状实现的例子（Y.Amano：SID    Int    Symp.Dig.Tech.P160（1982）），如图1、图4所示，在从周围完全地包围放电单元的隔壁中，特别难以对应，需要非常高的技术，是不实用的。

如上所述，在从周围完全包围放电单元的隔壁（以下称为完全闭锁隔壁）与条状的、即使在一个方向与邻近放电单元间具有不存在隔壁部分的场合（以下，称为不完全闭锁隔壁）中，由于以下的意义，存在大的差别。

例如，如利用氖气体放电的发橙色光的PDP那样，利用稀有气体自身的发光色的场合，由于把该发光仅限制在选择放电单元的电极近旁，故在不完全闭锁隔壁上也被实用化。但是，如果发光单元间隔变小，则邻近单元容易发生误放电。又，在考虑多色或全色PDP的场合中，由于采取通过放电的紫外线激励荧光体发光的方法，有时会因不完全闭锁隔壁使紫外线泄漏，从而使邻接单元的荧光体激励发光。即，串混或色渗透不可避免，色再现性及清晰度受到阻碍，结果，作为显示的价值降低。由于这一点，A法制造高精细的完全闭锁隔壁是不合适的，为了使之时对应于有色PDP，是不实用的。

B法被认为向高精细化的对应比较容易，但由于用极特殊的感光性玻璃材料，价格昂贵，经济性差。又，装配厚度为0.1-0.5mm的薄的玻璃板，玻璃脆因而实用是困难的。

对于C法，一般玻璃虽能够使用，作高精细单元间距的机械加工是困难的，组装也同样是困难的。

因此，至今，能对应于PDP的高精细化且能确保适当的放电空间，加之价格比较低廉适于大量生产的隔壁或间隔物尚未发现。

本发明就是鉴于这样的现有技术的课题而进行的，旨在提供一种能对应于高精细度化的、且经济性、大量生产性均卓越的PDP及其制造方法。

本发明的上述目的，通过把有孔金属板用作为隔壁或间隔物，且在该有孔金属板与电极间设置绝缘层而达到。

即，本发明的PDP，其特征在于，把厚度0.01-1.0mm的有孔金属板用作隔壁或间隔物，再者具有使前面板和/或背面板上的放电电极与该有孔金属板电气绝缘的绝缘层。

图1是使用X-Y矩阵配列的格子形状隔壁的PDP的一个例子。

图2是使用X-Y矩阵配列的条状隔壁的PDP的一个例子。

图3是使用X-Y矩阵配列的圆形隔壁的PDP的一个例子。

图4是使用三角形配列的隔壁的PDP的一个例子。

图5是使用7段形式的隔壁的PDP的一个例子。

图6是本发明的一个例子的DC型PDP的构成部件及其装配过程图。

图7是本发明的其它例子的DC型PDP的构成部件及其装配过程图。

图8是PDP组装后的平面图。

图9是图8A-A′断面剖切放电（发光）单元空间时的垂直断面图。

图10是图8的A-A′断面剖切隔壁时的垂直断面图。

图11是本发明的另一个例子的DC型PDP的构成部件及组装图。

图12是图11的PDP的1放电单元的构造断面图。

图13是本发明的再一个例子的DC型PDP的构成构件和组装图。

图14是图13的PDP的阳极方向上外加的放电单元断面图。

下面结合附图叙述本发明的实施例。

作为本发明的一个实施例的DC型PDP的构成部件和装配过程图示于图6。

在图中，阳极6和阴极7分别设置在前面玻璃板1和背面玻璃板5上。又，在前面玻璃板1与背面玻璃板5间，配置由有孔金属板组成的格子状隔壁4，再者，应使阳极6和阴极7与格子状隔壁4电气绝缘，绝缘层2位于前面玻璃板1或背面玻璃板5与格子隔壁4之间。

又，作为本发明其它实施例的DC型PDP的构成部件及装配过程图示于图7，装配后的平面图示于图8，图8的A-A′断面剖切单元空间时的垂直断面图示于图9，图8的A-A′断面剖切隔壁时的垂直断面图示于图10。图7-图10参照号与图6相同。但，在由有孔金属组成的格子状隔壁4上覆盖电介质层，形成绝缘层。又，8是间隔物9是密封玻璃。

本发明中，作为成为隔壁或间隔物的有孔金属板的金属材料组成，是含有由Fe、Co、Ni、Cr中选择的至少一种元素的合金，最好线热膨胀系数40-100×10^-7/℃（25-500℃）。这些金属板的厚度是0.01-1.0mm，最好能使用0.05-0.1mm的厚度。

可是，隔壁或间隔物由于是被二块玻璃板夹住，内部封入气体，故用密封玻璃密封周围。因此，隔壁（间隔物），二块玻璃板，密封玻璃各自的线热膨胀系数必须大致相同或近似。这是由于不然的话，密封以后的冷却过程中，玻璃上受到过大应力会直至破损。

一般地，二块玻璃板是软质玻璃的场合，金属板的线热膨胀系数与此相配最好是80-100×10^-7/℃（25-500℃）。适于它的金属材料组成，可例举42%重量Ni-6%重量Cr-Fe合金、50%重量Ni-Fe合金等。玻璃板是硬质玻璃的场合，金属板的线热膨胀系数与此相配最好是40-60×10^-7/℃（25-500℃）。作为适合于此的金属材料组成，可例举20%重量Ni-17%Co-Fe合金。不言而喻，当使用的玻璃构件的线热膨胀系数与上述不同时，最好与此相应地选定隔壁的材料。

为了选定金属材料组成，除上述线热膨胀系数外，还需考虑价格、可加工性和机械特性，但上述密封工序中的耐热性是必要的。通常密封工序是在400℃-500℃中进行，而上述举例的合金，相对该温度能充分使用。密封工序在空气中进行是简便的。这种场合，金属材料的耐氧化虽然成为问题，但上述举例的合金能充分使用。即使对耐氧化有问题的金属材料，通过使密封空气非氧化性，或通过熟知的金属表面处理而形成耐氧化膜，也能使用。

作为在上述金属板上加工所定的有孔图形的方法，能使用通过压力机冲孔法、激光加工法、电镀法、焊接法、腐蚀法等。最好考虑到加工不正，加工精度，加工费用等，采用最有利的加工法，一般的，最好采用腐蚀法。

有孔金属板的冲压孔（拔き穴）形状、配列是任意的，例如示于图1-图5的格子形状、条状、圆形、三角形配列、7段形式等，在本发明中，最好是示于图1、图4中的成为高精细的完全闭锁隔壁那样的形状，特别是示于图1的格子形状。

可是，在点间距为小于0.6mm的高精细板中，因为由于隔壁而显示无效部增加，故单元的开口率是问题。在高精细板中，通常隔壁高采用100-200μm。如前述，这是现实的隔壁作成法也就是适用于厚膜印刷法的范围。若比100μm低， DC型的场合，阴极溅射的影响变大，又，一般要使放电特性对许多单元均达到均匀方面是不利的。比200μm高的，印刷次数增加，成本变高。对开口率影响的隔壁幅度是隔壁越高，越难做狭。考虑隔壁高度100μm程度时，用厚膜印刷能形成的最小的隔壁幅度（隔壁巾），对条状是约80μm，对格子形状是约150μm。在使用本发明的有孔金属板的完全闭锁隔壁中，最小隔壁幅度，用上述腐蚀工序分别达到在厚度50μm程度中约为20μm，而在厚度100μm程度中约为30μm。因此，在高度100μm的完全闭锁隔壁中以0.6mm间距的正方格子形状作比较的开口率，在厚膜印刷法中约为56%，在一块有孔金属板中约为90%，具有约前者1.6倍的开口率。点间距越小，它变得越大。又，如把有孔金属板做薄而加以组合，则能形成更大的开口率。

在本发明中，如上述，把加工成目的形状的有孔金属板作隔壁加以使用，这时，在前面板和/或背面板上，设置放电电极，像AC型PDP那样，电极由电介质覆盖的场合是良好的，而像DC型PDP那样，电极在放电空间中露出的场合，把有孔金属板（隔壁）直接夹在前面板与背面板之间，加以密封，则各电极与有孔金属板（隔壁）电气上成为短路。

即，PDP的阳极相互间、阴极相互间及阳极-阴极间电气短路，成为不能引起放电发光的状态。因此，在本发明中，通过在有孔金属板（隔壁）与放电电极间设置绝缘层，能解决上述问题。

该绝缘层可以在前面板和背面板的电极上形成，也可以在与有孔金属板（隔壁）的电极相接的表面上形成，或也可以在该两方面形成。再者，也可在有孔金属板本身上设置绝缘层。

覆盖绝缘层的方法，喷射法、印刷法、静电喷涂法、浸渍法、阳极氧化法、热氧化法、溅射法、喷镀法、电沉积法等各种技术均能适用，最好考虑费用及性能等进行选择，下面二种方法较好。

即，第一种方法是电沉积法，通过它，用电介质覆盖金属板的几乎全表面，能形成绝缘层。电沉积法，把有孔金属板作为一个电极，通过把玻璃及含有玻璃的电介质粉状体分散到含有电解质的溶液中，然后施加电场而达到。粉状体直径根据所要求的绝缘层而不同，最好使用0.1-0.5μm。作为分散液，举出异丙醇，作为电解质，举出Al₂（NO₃）₃、Ba（NO₃）₂等，能从公知的多种物质中加以选择。粉状体电沉积后加热，熔融玻璃，有孔金属板几乎全面地被细密的绝缘层所结合（固着）。因为如果绝缘层的厚度大，则放电单元空间变小，这是不好的。通常，绝缘层的厚度为1至10μm的最好使用。若绝缘层施加在有孔金属板的全部表面，则能取得与放电电极的绝缘，具有下述优点。通常若隔壁仅用电介质构成，则通过放电，导电物质被溅射，即使覆盖在电介质上，由于量少，电极间的短路将不成问题。但，如本发明用有孔金属板作隔壁，且若电极与有孔金属板的绝缘距离短，则短路的危险相应增加。若通过上述电沉积法，能与用电介质形成隔壁的现有的同样的构成，就没有短路的危险。

又，第二种方法是利用压力或利用热与压力，把绝缘层复制到有孔金属板表面的方法。该方法本身是公知技术，虽能使用各种材料，可举出下面的物体。作为可剥离性基体使用形成硅膜的聚酯薄膜，作为压敏或热压敏墨水（ィンク）能够使用把丙烯树脂溶解在丁基卡必醇乙酸酯等溶剂中的赋形剂（ビヒクル）与玻璃或含有玻璃的电介质粉状体共同混匀的物质。粉状体的直径最好使用0.1-0.5μm。在剥离性基体上例如网板印刷这样的墨水形成绝缘层膜，加以干燥。向该膜上装置有孔金属板，使两者为常温或加热，再加压，使绝缘层作为有孔金属板的表面图形而附着，剥离基体，就完成复制。这样的复制能施加在有孔金属板的单面或两面上。通过在复制状态加热，使玻璃溶融，绝缘层结合在有孔金属板上。如果这种结合是接触到显示板的玻璃基体上而施加的，则向玻璃基体的隔壁结合也同时能达到，因而是方便的。

上述复制法的优点在高精细面板特别是隔壁幅度小的板中更明显。若在如第一种方法的隔壁的侧面也设置绝缘层，即便该绝缘层薄，也会减少放电单元的面积。只在有孔金属板的表面上设置绝缘层时，若使用复制方法以外的方法，例如用网板印刷等，则存在高精细图形印刷困难，尺寸偏移容易发生的问题，又即使能印刷，由于墨水塌边，则存在隔壁侧面上墨水扩散等问题。若设想隔壁幅度100μm以下，单元间距200μm以下的高精细板，那些困难是能理解的。

再者，如第二种方法，在放电空间作为隔壁的金属露出的场合，存在放电电极上发生问题的可能性。但是，如众所周知，在DC型PDP中，电压降落大仅是阴性的极近旁。因此，若仅在放电电极附近绝缘，则中间即使存在导电部分，放电板也能充分动作，这点本发明人等已从实验中认识了。根据实验已判明，电极与隔壁金属的绝缘距离为数μm，即使考虑安全，若是10μm程度，就没有问题。因此，适用能实现这样距离的绝缘层厚度是有效的。

这样，在有孔金属板上形成的绝缘层（电介质层）的厚度是1-100μm。

一方面，如果考虑用二块玻璃板夹住具有构成完全闭锁壁的平行表面的有孔金属板的显示板，则放电气体的封入和先于它的排气方面有问题需要考虑。特别是，各放电单元的上下四周如玻璃的融着那样，气密地被结合在板玻璃基体上的场合，是存在问题。此时，在充满封入气体的装置内，有必要进行结合，需要在装置上想办法。但是，如果各单元在排气孔上有连通的间隙，则通常的装置能适用。本发明人等从实验中，认识到的是，已判明在上述间隙也就是有孔金属板与板玻璃间，只要具有数μm，即使考虑安全，为10μm程度的气体扩散用的沟，则气体封入时将没有障碍。

这样的间隙，多数是通过起因于在板玻璃上形成的电极膜和在面板上或有孔金属板上形成的绝缘层膜的凹凸或起因于图形的凹凸，而必然形成。且，为了确实形成气体扩散用的沟，可以从下面的方法中选择，也可以将它们加以组合。第一是例如采用厚膜技术做成电极膜厚的方法。第二是对于电极与有孔金属板间的绝缘层，采用条状的电介质，使之具有所定的厚度。第三是在有孔金属板表面上预先形成沟。为了形成沟，最好采用在有孔图形加工中说明的腐蚀法，若用此法，则可与有孔图形加工的同时一起处理。

如上述第二种方法，采用条状电介质的DC型PDP构成部件和组装图、其PDP的一单元的构造断面图分别示于图11和图12。图11-图12的参照号与图6相同。但，由有孔金属组成的格子状隔壁4上，与图7同样，被电介质层覆盖，形成绝缘层，又，10表示条状电介质，11表示荧光体。

这种绝缘层中使用的电介质材料，可以使用从有机物、结晶性无机物、玻璃中选择的至少一种以上的材料。更详细地，一般泛用玻璃或含玻璃的结晶性无机物。

举具体的玻璃组成为例，宜用PbO-B₂O₃-SiO₂，PbO-B₂O₃，ZnO-B₂O₃-SiO₂等。这些玻璃的软化点最好是350-1000℃，玻璃颗粒大小最好是1-5μm程度。这里使用的玻璃，在PDP的密封工序中，密封玻璃的玻料升温至软化熔融温度（封着温度），在该温度下不能再溶融。通常，玻璃玻料的封着温度比软化点高50℃左右。又，对于PDP的封着温度，400-450℃左右是适当的，因此，包含在电介质材料中的玻璃的软化点最好在350℃以上。

又，如果考虑在有孔金属板表面上形成，软化点的上限，则决定于金属不变形，金属与电介质不会大量起化学反应为条件，其温度希望在1000℃以下。

又，作为结晶性无机物，使用氧化铝（Al₂O₃），镁橄榄石（2MgO-SiO₂）等的陶瓷。再者，也能使用无机颜料（FeO-Cr₂O₃，CoO-Al₂O₃等），这样的结晶性无机物的粒度最好是约1-5μm。

又，即使对有机物，只要最终能无机化，都能使用。

一般的面板密封方法（通过密封玻璃密封）中，必须能耐该密封温度，线热膨胀系数，并需与二块玻璃板、密封玻璃、隔壁大致相同，由这样的观点，适宜选择上述材料。

又，有孔金属板由于是导电的，故可作为电极使用。这个电极由于是在多数单元间电气连结，作为显示单元的选择电极使用是不利的。但，在DC型PDP中，提出有采用辅助放电的方案（特开昭54-115060号公报，特开昭58-30038号公报及电视学会杂志，Vol40，No.10，P.953，1986年）。这些辅助放电，由于对全部单元同时产生也是有效的，所以作为该辅助放电电极能使用上述有孔金属板。

把这样地将有孔金属板作为辅助放电电极的PDP的构成部件及组装图示于图13，而在那个阳极方向外加的单元断面图示于图14。图13-图14的参照号与图6相同。但，由有孔金属组成的格子 状隔壁4上，与图7同样，被电介质层覆盖，形成绝缘层。又，12表示第三电极群（阴极）、13表示第二电极群（阳极）及14表示第一电极（触发电极）。

这时，作为辅助放电空间，需要的话，如图13-图14所示也可能使用多个有孔金属板。例如，二块具有大致相同的有孔图形的有孔金属板在相同位置重叠，若将一块作辅助放电电极，使另一块作为形成放电空间的隔壁，则辅助放电电极可在不影响显示的情况下形成。如是这些多个有孔金属板间的绝缘是必要的，能使用与上述绝缘层形成时同样的方法。辅助放电电极如众所周知可以是金属露出状态，也可以是用电介质层覆盖的状态。又，其位置等也与显示板的电极构造和形状构造相配合，进行适当设计。使用多个上述有孔金属板，由于在对向型电板中，可使电极间距离的设计自由度大，又，在相同隔壁高度的设计中，能使用薄的金属板，因而具有可能形成比一块时更细微的单元间距，如果是相同的间距则可形成的隔壁幅度更小，从而有开口率大的优点。

这是因为，有孔金属板是金属的，故即便是薄的，操作也容易，所以第一次有了可能性。这个优点在下面的场合中也是有效的。

即，在彩色PDP中，一般通过放电产生紫外线，借助于该紫外线使荧光体激励发光。通常该荧光体由前面玻璃板或背面玻璃板覆盖。被覆盖的荧光体面积越多，发光辉度越大。因此，隔壁侧面即有孔金属板的内孔面也希望覆盖荧光体。用现有的电介质形成的隔壁中，也提出有同样设计的提案（坂井：放电显示元件的二、三的实验及其应用，电视学会图象显示研究会资料13-1（1975年3月）及特开昭51-38996号公报）。然而，在使用玻璃的有孔板中，对单元间距小于0.6mm，显示面积大的处理较困难，又，为了向在板基体上例如用厚膜印刷等形成的隔壁侧面区分涂覆（り分ける）多色的荧光体，必需要高技术。本发明的有孔金属板由于其单独处理容易，能形成高精度的有孔图形，下面的方法能实施。

一般地，由于荧光体是粉状体，厚膜墨水能调整。使用该墨水，向有孔部印刷荧光体，直接这样做的话，墨水达不到孔的内部，即使达到，也要堵塞孔。因此，若自孔的印刷面的相对侧吸墨水，则在孔内面上会涂覆与墨水粘性相应厚度的荧光体，剩余的墨水向孔外排出。通过这种手法，向具有0.3mm以下的单元间距的有孔金属板的孔内面也可以区分涂复多色的荧光体。由于本发明的隔壁能做成完全闭锁型，故其荧光体覆盖面积比不完全闭锁隔壁时还大。

本发明，当形成PDP中使用的单元隔壁时，采用由与现有采用的电介质（玻璃或者含玻璃的无机材料等），隔壁不同的有孔金属板组成的隔壁。因此，单元形状、大小、配列间距的形状，较大地依据金属薄板的加工精度，而在形成进行点阵显示的通常的AC型及DC型PDP中所要求的点大小及点间距方面，具有能充分满足的精度。又，通过设置绝缘层，能使前面板和背面板上的电极与有孔金属板电气绝缘。

如上所说明，采用有孔金属板作隔壁且设置绝缘层的本发明的PDP，能对应于高精细单元间距，且有卓越的串混特性。又，阳极-阴极间等也不发生电气短路。

下面通过实施例详细说明本发明。

实施例1

作为成为隔壁的有孔金属板的金属材料组成，使用线热膨胀系数为92×10^-7/℃的42%重量Ni-6%重量Cr-Fe合金。金属板厚度0.1mm，冲压孔的配列作成以纵横等间距排列许多正方形的格子形状，该间距是0.2mm，冲压孔大小作成0.15×0.15mm，通过腐蚀加工，形成许多冲压孔，作成有孔金属板。

如图6所示，PDP是在前面玻璃板上设置作为阳极的透明导电膜（ITO），又在背面玻璃板上设置Ni作为阴极。再者，在前面玻璃板及背面玻璃板的电极上，避开显示单元领域，用网板印刷形成条状电介质层作为绝缘层。

然后，把有孔金属板（隔壁）夹在前面板及背面板间，用密封玻璃密封周围，形成X-Y矩阵的DC型PDP。

比较例1

用厚膜印刷形成在实施例1中所示的DC型PDP的隔壁。

首先，作成点间距1.0mm，冲压孔大小0.8×0.8mm的隔壁。用8次重叠印刷形成0.15mm隔壁高度。

然后作成与实施例1中所示的相同精度的点间距0.2mm、冲压孔大小为0.15×0.15mm的隔壁。在1.0mm间距中，几乎可忽视的微妙的准直偏差或印刷膏的塌边等在此不能忽视，从而使制造在技术上碰到困难，原材料利用率与实施例1相比差得多。又，即使对能较好制成的产品，由于上述理由，不能得到充分的单元开口率。如果举一例子，对0.2mm间距，冲压孔是0.1×0.1mm，开口率是25%。在上述实施例1中，冲压孔尺寸是0.15×0.15mm，开口率成为56%，显然，实施例1有利。

比较例2

通过感光性玻璃板的腐蚀加工做成示于实施例1的DC型PDP的隔壁。但，该材料如上所述，价格极高，且由于是薄的玻璃板，非常脆，在组装加工性上也比实施例1差。

比较例3

在一般钠钙玻璃等上加工孔，作成比较例2那样的DC型PDP的隔壁，但，在用该方法作0.2mm程度的高精细的间距的许多孔加工中，与比较例2相比，尺寸精度降低较多。又，从薄板玻璃的脆性考虑，加工性、组装加工性方面，比比较例2差，因而比实施例1差得多。

比较例4

前面玻璃板及背面玻璃板上不设置绝缘层，使有孔金属板单独作为隔壁直接使用。其结果，产生了或在阳极-阴极间，引起电气短路，不点亮，或者有时仅阳极或仅阴极相互间短路，使非选择的单元发光等不合适的情况发生，没有起到作为PDP的隔壁的作用。

实施例2

使用在实施例1中采用的格子状的有孔金属板，使电介质覆盖它，作为绝缘层。

作为电介质材料，使用软化点600℃、平均颗粒直径2-3μm的ZnO-B₂O₃-SiO₂系列玻璃粉末及Al₂O₃、FeO·Cr₂O₃等无机填充剂。电介质的覆盖是在电沉积液中，把格子状的有孔金属板作成阴极，把与它相同材料，相同程度面积的金属板作为阳极使电沉积。使用电压为直流200伏恒定电压。

结果，电沉积状态和电沉积强度均极为良好。

在大气中，用比玻璃粉末的软化点600℃高的温度烧成该样品，把电介质层做成细密的膜，得到表面用电介质覆盖的所希望的格子状的有孔金属板。

然后，按下述所示的那样作成把表面用电介质覆盖的格子状的有孔金属板用作隔壁的DC型PDP。

即，如图7-图10所示，隔壁4采用表面用电介质覆盖的格子状的有孔金属板，间隔物8采用比隔壁4厚约30μm的玻璃，在预先形成有电极的二块前面玻璃板1和背面玻璃板5间夹持该隔壁4和间隔物8，用密封玻璃9密封周围，形成X-Y矩阵的DC型PDP。

这种DC型PDP的密封状况良好，没有发生由于应力不匀而引起的破损等问题。这时，间隔物位于PDP显示领域外，在存在隔壁的显示领域中一直存在约30μm的气体导入空间，管内排气及气体封入工作能在全部显示领域中可靠地进行。

实施例3

把在实施例2中所用的表面由电介质覆盖的格子状的有孔金属板和条状电介质用作隔壁的DC型PDP如下述制成。

即，条状的电介质采用光绝缘体（フォトィンシュレ一タ一）（东京応化工业株式会社制），在背面玻璃板上形成膜厚30μm、间距0.2mm，形成行幅50μm的电介质层。

然后，如图11-图12所示，把覆盖电介质的格子状的有孔金属板4和条状电介质10夹在前面玻璃板1和背面玻璃板5间，把它作为隔壁，用低融点的玻璃玻料密封，通过芯片（チップ）管真空排气及玻璃密封后，封闭切断芯片管，作成DC型PDP。如图11-图12所示，该DC型PDP，在前面玻璃板1上设置阳极6，又在前面玻璃板1内面，涂复荧光体11。另一方面，在背面玻璃板5上设置阴极7。然后，阳极6与阴极7正交，以便形成矩阵。这样做，得到形成点数100×100的DC型PDP，又，封入气体用He-Xe（2%）300乇。

这样得到的DC型PDP，对高精细度化的适应性、加工性、放电电压特性的均一性都是优越的。

实施例4

把实施例2中使用的、表面如下述所示那样作 成由电介质覆盖的格子状的有孔金属板用作隔壁的DC型PDP如下制成。

即，如图13-图14所示，把薄膜A1形成0.2mm间距、行幅0.1mm的条状作为第1电极14，在其上，作为电介质层2把少量Al₂O₃混合在ZnO-B₂O₃-SiO₂系列玻璃粉末中的粉末与赋形剂混匀，使之成为糊剂，用网板印刷法全面（ベタ）印刷，在580℃下烧成。然后，在电介质层上与第一电极直交的方向上，用Ni糊剂作为第二电极13，通过网板印刷法，形成0.2mm间距，行幅0.1mm的条状，在580℃下烧成。又，在第一电极14与第二电极12的交点的第二电极13上，涂覆荧光体。

作为第三电极12的有孔金属板电极，使用与由有孔金属板组成的隔壁4的基体金属相同的材料、相同形状的金属板。又，该隔壁4由二块有孔金属板形成。

然后，在背面玻璃板5上，设置由上述那样得到的有孔金属板构成的隔壁4，再者，用配置有第三电极12的前面玻璃板1夹持，用低融点玻璃玻料密封，通过芯片管进行真空排气和气体封入后，封闭切断芯片管，作成DC型PDP，且，封入气体采用Ne-Ar（0.5%）350乇。

这样得到的DC型PDP，阴极的耐溅射性、阴极电流密度、放电维持电压、可加工性（大量生产性）均是优良的。

实施例5

使用线膨胀系数是92×10^-7/℃的42%重量Ni-6%重量Cr-Fe合金，作为将用作隔壁的有孔金属板。金属板厚度是75μm，冲压孔的配列，做成以纵横等间距排列的许多正方形的格子形状，其间距是0.2mm，冲压孔大小作成0.17×0.17mm，通过腐蚀加工形成许多冲压孔，作为有孔金属板（A型）。又，作成同样的有孔金属板，板厚75μm，单元间距0.15mm，冲压孔尺寸0.12×0.12mm（B型）共准备了二种。

作为电介质材料，使用软化点800℃，平均颗粒直径2-3μm的ZnO-B₂O₃O₂系列玻璃粉末及Al₂O₃，Fe₂O₃·Cr₂O₃等的无机充填物。把具有热压接性的丙烯树脂溶于BCA（丁基卡必醇乙酸酯）或松油等的有机溶剂中，作为复制印刷用赋形剂。该赋形剂由50-80份重量树脂与20-50份重量溶剂组成。然后对于该赋形剂5-20份重量混匀玻璃粉末及80-95份重量的无机填物，作为复制印刷用糊剂。通过网板印刷法把该糊剂全面印刷在剥离基体的聚酯薄膜上，在90℃使之充分干燥。通过热滚筒或热扁形压力机把干燥了的复制片压成有孔金属板。压后，剥离复制片，在大气中，用600-680℃烧成型成有电介质层的有孔金属板，把电介质层制成完全无机质且细密的膜，在有孔金属板表面得到绝缘层。

然后，如下述所示的那样做成把该有孔金属板用作隔壁的DC型PDP。即，如图6所示，用有孔金属板作隔壁4，把该隔壁4夹在预先形成电极的前面玻璃板1与背面玻璃板5，这两块板之间，用密封玻璃密封周围，形成X-Y矩阵的DC型PDP。

该DC型PDP的密封状况良好，没有发生由于应力不匀而引起的破损等问题。

这样的DC型PDP，对单元间距不同的A型、B型均在不降低开口率的情况下取得良好结果。

Claims (11)

1、一种等离子体显示板，其特征在于：

前面玻璃板(1)、背面板(5)及厚度为0.01至1.0mm的隔壁密封成一体；

所述隔壁(4)由具有放电单元用的多个孔的金属薄板组成；

所述放电单元用的多个孔设置在第1平行电极群(6)和第2平行电极群(7)在等离子体显示板的垂直面上隔开规定间隔相互交叉的位置上；

所述隔壁(4)的上面及下面的至少一方被从玻璃或含玻璃的无机电介质材料中选择的至少一种材料组成的绝缘层(2)所覆盖；

所述放电单元用的多个孔配置的最小间距是0.04至0.6mm，孔的显示领域的平均开孔率除框架部分外为35%以上；

在所述放电单元用的多个孔中充填离子化气体。

2、如权利要求1所述的等离子体显示板，其特征在于，所述隔壁（4）由含有从铁、镍、铬及钴组成的组中选择的至少一种金属的合金薄板构成。

3、如权利要求1所述的等离子体显示板，其特征在于，用于所述绝缘层（2）的玻璃具有350℃至1000℃的软化点温度。

4、如权利要求1所述的等离子体显示板，其特征在于，所述隔壁（4）的显示领域的全部表面被厚度为2至40μm的绝缘层（2）覆盖。

5、如权利要求1所述的等离子体显示板，其特征在于，所述隔壁（4）用作与所述二个平行电极群独立的放电电极。

6、如权利要求1所述的等离子体显示板，其特征在于，上述具有所述放电单元用的多个孔的多块金属薄板，在所述孔的相同位置相互层叠。

7、如权利要求1所述的等离子体显示板，其特征在于，在所述放电单元用的多个孔的内面上覆盖荧光体。

8、一种隔壁，其特征在于包括：

厚度为0.01至1mm、在厚度方向上形成用作放电空间的矩阵配列的多个孔、这些孔配列的最小间距为0.04至0.6mm、孔配列部分的平均开口率除框架部分外为35%以上的金属薄板;

除至少框架部分外的金属薄板的上面、下面或孔内面的全部面中至少一个面被从玻璃或含玻璃的无机电介质材料中选出的至少一种电介质所覆盖。

9、如权利要求8所述的隔壁，其特征在于，所述隔壁（4）的孔内表面上，覆盖通过用气体放电产生的紫外线而发出可见光的荧光体。

10、一种等离子体显示板的制造方法，其特征在于：

在厚度为0.01至1mm的隔壁（4）的厚度方向上形成用作放电空间的矩阵配列的多个孔，使所述孔的配列的最小间距为0.04至0.6mm，形成该多个孔部分的开口率为35%以上;

把所述隔壁（4）作为电操作的一个电极加以使用，在从玻璃或含玻璃的无机电介质中选择的至少一种电介质粉状体的悬浊液中，把该粉状体电沉积在隔壁（4）除至少端子连接部分外的全部面上，然后加热使玻璃熔融紧固;

在前面玻璃板（1）和背面板（5）的至少一方上，形成平行的线状的第1电极群（6）和第2电极群（7）;

前面玻璃板（1）和背面板（5）设置得使所述隔壁（4）的孔相应于所述电极群（6，7）相互交叉的位置;

用所述前面玻璃板（1）和背面板（5）夹住所述隔壁（4），用密封玻璃使周围气密后，充填离子化的气体，再加以密封。

11、如权利要求10所述的等离子体显示板的制造方法，其特征在于：

把所述电介质粉状体与含有机树脂的液体赋形剂共同混匀;

把该混匀的混合物成膜在可剥离的基体上;把用于所述隔壁（4）的金属薄板重叠在该膜上;

室温或加热加压使之贴紧粘合后，通过去除可剥离基体，把该电介质膜复制到金属薄板表面上;

然后，加热使液体赋形剂飞散，同时，把电介质层结合固定在金属薄板的一面或两面上。

Images