CN102212334B - 蓝宝石衬底片粗磨研磨液及其配制方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种蓝宝石衬底片粗磨研磨液，由碳化硼、水和悬浮液组成，碳化硼、水和悬浮液的重量比＝2∶4∶1，所述悬浮液由分散剂、悬浮剂和防锈剂组成，分散剂、悬浮剂和防锈剂的重量比＝2∶5∶1，所述分散剂为高分子有机醇，所述悬浮剂为高分子化合物，所述防锈剂为碱。本发明由于采用了上述技术方案，所得研磨液成本低，稳定性好，大大提高加工效率，使得晶片平整度大为提高。

Description

蓝宝石衬底片粗磨研磨液及其配制方法
技术领域
本发明涉及一种蓝宝石衬底片粗磨研磨液及其配制方法。
背景技术
双面减薄是蓝宝石衬底片加工工序的第一步，也是至关重要的一步，双面减薄的厚度、TTV、背面粗糙度直接影响后序的加工质量。通常双面研磨采用氧化铝或金刚石粉进行研磨，这两种材质不利于蓝宝石平整度要求，而且成本高昂。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种蓝宝石衬底片粗磨研磨液及其配制方法，所得研磨液成本低，稳定性好。
为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：蓝宝石衬底片粗磨研磨液，由碳化硼、水和悬浮液组成，碳化硼、水和悬浮液的重量比＝2∶4∶1，所述悬浮液由分散剂、悬浮剂和防锈剂组成，分散剂、悬浮剂和防锈剂的重量比＝2∶5∶1，所述分散剂为高分子有机醇，所述悬浮剂为高分子化合物，所述防锈剂为碱。
作为优选，所述高分子有机醇为乙二醇。
作为优选，所述高分子化合物为硬脂酸。
作为优选，所述碱为氢氧化钠。
蓝宝石衬底片粗磨研磨液的配制方法，包括以下步骤：a、按照权利要求1所述配比称取原料混合；b、将步骤a所得液体用100目过滤网过滤；c、将步骤b所得液体用超声波振荡仪振荡15分钟。
作为优选，所述超声波振荡仪的频率为28khz，功率为300w。
本发明由于采用了上述技术方案，所得研磨液成本低，稳定性好，大大提高加工效率，使得晶片平整度大为提高。
具体实施方式
蓝宝石衬底片粗磨研磨液，由碳化硼、水和悬浮液组成，碳化硼、水和悬浮液的重量比＝2∶4∶1，所述悬浮液由乙二醇、硬脂酸和氢氧化钠组成，乙二醇、硬脂酸和氢氧化钠的重量比＝2∶5∶1。其中，碳化硼采用型号F240的碳化硼。
蓝宝石衬底片粗磨研磨液的配制方法，包括以下步骤：a、按照权利要求1所述配比称取原料混合；b、将步骤a所得液体用100目过滤网过滤；c、将步骤b所得液体用超声波振荡仪振荡15分钟。所述超声波振荡仪的频率为28khz，功率为300w。
采用本发明碳化硼研磨液加工出的产品，整盘厚度精确到目标厚度±1um，表面平整度TTV≤2um，背面无划伤，背面粗糙度0.8～1.2um。

Claims (4)

1.蓝宝石衬底片粗磨研磨液，其特征在于：由碳化硼、水和悬浮液组成，碳化硼、水和悬浮液的重量比=2：4：1，所述悬浮液由分散剂、悬浮剂和防锈剂组成，分散剂、悬浮剂和防锈剂的重量比=2：5：1，所述分散剂为乙二醇，所述悬浮剂为硬脂酸，所述防锈剂为碱。
2.根据权利要求1所述蓝宝石衬底片粗磨研磨液，其特征在于：所述碱为氢氧化钠。
3.根据权利要求1所述蓝宝石衬底片粗磨研磨液的配制方法，其特征在于：包括以下步骤：a、按照权利要求1所述配比称取原料混合；b、将步骤a所得液体用100目过滤网过滤；c、将步骤b所得液体用超声波振荡仪振荡15分钟。
4.根据权利要求3所述蓝宝石衬底片粗磨研磨液的配制方法，其特征在于：所述超声波振荡仪的频率为28kHz，功率为300W。 
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104669105B (zh) * 2013-11-26 2017-12-29 浙江汇锋塑胶科技有限公司 一种蓝宝石触摸面板的两面研磨方法
CN104051584A (zh) * 2014-06-25 2014-09-17 中国科学院半导体研究所 蓝宝石图形衬底晶片及制备方法
CN105482715A (zh) * 2015-12-02 2016-04-13 珠海东精大电子科技有限公司 蓝宝石研磨液、蓝宝石研磨液制备工艺及蓝宝石研磨液的使用方法
CN105538131A (zh) * 2015-12-02 2016-05-04 珠海东精大电子科技有限公司 蓝宝石窗口片加工工艺
CN105505231A (zh) * 2016-02-24 2016-04-20 湖南皓志科技股份有限公司 一种高效碳化硼研磨液及其配制方法
CN106497515B (zh) * 2016-10-25 2018-10-12 河南醒狮供应链管理有限公司 用于研磨蓝宝石晶片的碳化物超硬材料的制造方法
CN107057641A (zh) * 2016-12-31 2017-08-18 东莞市淦宏信息科技有限公司 一种人造蓝宝石摄像头镜片的专用研磨液
CN110484207B (zh) * 2019-09-20 2020-05-29 江苏京晶光电科技有限公司 一种蓝宝石晶片细磨研磨液的制备方法
CN111995983A (zh) * 2020-09-02 2020-11-27 中科孚迪科技发展有限公司 一种用于半导体晶片加工的研磨液的制备方法
CN112029416B (zh) * 2020-09-02 2022-06-03 中科孚迪科技发展有限公司 一种用于半导体晶片加工的研磨液

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050211950A1 (en) * 2004-03-24 2005-09-29 Cabot Microelectronics Corporation Chemical-mechanical polishing composition and method for using the same
CN100478412C (zh) * 2007-02-06 2009-04-15 中国科学院上海微***与信息技术研究所 一种蓝宝石衬底化学机械抛光浆液

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