CN102211457A - 液体喷射头、液体喷射头单元及液体喷射装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供能够抑制液体的侵入、抑制致动器破坏的液体喷射头、液体喷射头单元及液体喷射装置。液体喷射头具备:流路单元,其设置有与喷嘴开口和与该喷嘴开口连通的流路;壳体,其固定于该流路单元;致动器单元,其固定于该壳体,且排列设置有使与在流路内产生压力变化的致动器。壳体由树脂成形材料形成,并且在该壳体在上遍及致动器的排列方向埋设有增强板,在固定壳体的与固定于流路单元的面相反一侧面设置有露出增强板的第1露出部,增强板的致动器的排列方向两侧面,在喷嘴开口的开口所开设的喷出面侧设置有凹部,在壳体的致动器的排列方向的两侧面设置有露出角部的第2露出部,该角部包括通过增强板的凹部形成的凸部的喷出面侧及侧面。
Description
技术领域
本发明涉及从喷嘴开口喷射液体的液体喷射头、液体喷射头单元及液体喷射装置,特别是喷出作为液体的墨水的喷墨式记录头、喷墨式记录头单元及喷墨式记录装置。
背景技术
作为液体喷射头的代表性例子,例如,公知有利用压电元件的位移导致的压力从喷嘴开口喷出墨滴的喷墨式记录头。喷墨式记录头是以振动板构成与喷嘴开口连通的压力发生室的一部分,通过压电元件使该振动板变形,赋予供给压力发生室的墨水压力,由此,从喷嘴开口喷出墨滴。
另外,提出如下方案:该喷墨式记录头中,压电元件的一端部固定于振动板的同时,另一端部固定于固定板,将固定板固定于壳体,由此,保持压电元件,使压电元件在轴向伸长·收缩,由此使振动板变形,使压力发生室产生压力变化从而喷出墨滴。
该喷墨式记录头中,由于壳体是由树脂材料成形形成的,故刚性低、存在不能抑制驱动压电元件时的反弹力的问题。特别是压电元件固定于贯穿壳体的收纳部的情况下,由于壳体在压电元件的排列方向的两端因收纳部而壁面刚性高、在排列方向的中央部分刚性偏低,故不能均匀地抑制压电元件的驱动产生的反弹力、不能以均匀的驱动墨水喷出特性进行驱动。
因此,提出通过在遍及压电元件的排列方向将金属制的增强板埋设于由树脂材料形成的壳体,来由增强板增强壳体的喷墨式记录头的方案(例如参照专利文献1和2)。
专利文献1:日本特开2001-293862号公报
专利文献2:日本特开2001-71486号公报
这样在壳体埋设增强板的情况,必须将增强板定位在成形壳体的模具的规定位置。因此,增强板的一部分被保持用于定位、成形壳体使得增强板的一部分以从壳体露出的状态被设置。该从壳体露出的增强板的露出部设置于矩形的板状部件周围的4边,但由于露出部最好不露出到壳体的接合流路单元的接合面侧,故设置于侧面的喷出面侧的2个角部和喷出面的相反一侧的1边。
然而,由于喷出面侧的2个角部接近喷出面,故从喷嘴开口喷出的墨水的一部分附着于喷出面,附着于喷出面的墨水爬上角部。该爬上角部的墨水通过壳体的成形树脂和增强板的界面到达喷出面的相反一侧的露出部,从喷出面的相反一侧的露出部侵入壳体内的收纳致动器单元的收纳部内,通过侵入的墨水破坏致动器。
此外,该问题不仅存在于喷墨式记录头,在喷射墨水以外的液体的液体喷射头也同样存在。
发明内容
鉴于上述事情,本发明其目的在于提供一种能够防止液体的侵入,防止致动器的破坏的液体喷射头,液体喷射头单元及液体喷射装置。
解决上述课题的本发明的方式,有一种液体喷射头,其特征在于,具备:流路单元,其设置有喷嘴开口和与该喷嘴开口连通的流路;壳体,其固定于该流路单元;以及致动器单元,其固定于该壳体,且排列设置有使所述流路内产生压力变化的致动器,所述壳体由树脂成形材料形成,并且在该壳体上遍及所述致动器的排列方向埋设有增强板,在所述壳体的与固定于所述流路单元的面相反一侧的面设置有露出所述增强板的第1露出部;所述增强板的所述致动器的排列方向两侧面,在所述喷嘴开口所开设的喷出面侧设置有凹部,在所述壳体的所述致动器的排列方向的两侧面,设置有第2露出部,该第2露出部中露出包括通过所述增强板的所述凹部形成的凸部的所述喷出面侧及所述侧面的角部。
在该方式中,由于在增强板设置凹部,由此通过第2露出部露出的角部配置于喷出面的相反一侧,因此能够防止附着于喷出面的液体等到达通过第2露出部露出的增强板。由此,能够防止爬上利用第2露出部露出的增强板与壳体之间的界面的液体从第1露出部分附着于在壳体上保持的致动器单元,抑制致动器遭受液体的破坏。
此处,在所述增强板的所述致动器的排列方向的两侧面,在与所述凹部相反一侧设置有开设于与所述喷出面相反一侧的面的缺口部,也可以在所述凹部和所述缺口部之间设置所述凸部。
另外,在所述流路单元的喷出面侧,设置有覆盖该喷出面的罩头,优选通过所述罩头覆盖所述角部。据此,能够通过罩头保护喷出面侧。并且,即便液体侵入罩头与流路单元以及壳体之间,由于通过第2露出部露出的增强板位于与喷出面分离的位置,能够抑制侵入的液体与增强板接触。
另外,所述罩头被设置为从所述喷出面向所述壳体侧与该壳体间的间隙逐渐变大。据此,能够抑制侵入壳体和罩头之间的液体爬上流路单元的相反一侧,抑制侵入的液体与增强板接触。
进一步,本发明的其他方式提供一种液体喷射头单元,其特征在于,具备多个上述方式的液体喷射头。
该方式中,能够实现一种抑制致动器遭受破坏、提高信赖性的液体喷射头单元。
另外,本发明的其他的方式提供一种液体喷射装置,其特征在于,具备上述方式的液体喷射头或液体喷射头单元。
该方式中,能够实现抑制致动器遭受破坏、提高信赖性的液体喷射装置。
附图说明
图1是本发明的实施方式1所涉及的记录头的分解立体图。
图2是本发明的实施方式1所涉及的记录头的俯视图。
图3是本发明的实施方式1所涉及的记录头的剖面图。
图4是本发明的实施方式1所涉及的记录头的剖面图。
图5是本发明的实施方式1所涉及的记录头的剖面图。
图6是表示本发明的实施方式1所涉及的壳体的制造方法的剖面图。
图7是表示本发明的实施方式1所涉及的记录头剖面图。
图8是表示本发明的实施方式1所涉及的记录头的比较示例的剖面图。
图9是表示本发明的其他实施方式所涉及的增强板的变形例的剖面图。
图10是表示本发明的一个实施方式所涉及的记录装置的大体结构的图。
标号说明如下:
1:喷墨式记录头(液体喷射头);2:致动器单元;3:收纳部;4:壳体;5:流路单元;11:压电元件(致动器);13:压电元件形成部件;14:固定板;16:个别内部电极;17:共通内部电极;18:狭缝;19:定位部;30:电路基板;40:流路形成基板;42:压力发生室;46:振动板;47:喷嘴开口;48:喷嘴板;49:岛部;60:增强板;62:凹部;63、63A:凸部;64:第1露出部;65:第2露出部;66:角部;100:模具;110、111:保持夹具;200:喷墨式记录装置(液体喷射装置);202:喷墨式记录头单元(液体喷射头单元)。
具体实施方式
以下,基于本发明的实施方式进行详细说明。
(实施方式1)
图1是本发明的实施方式1所涉及的记录头的一例的喷墨式记录头的分解立体图,图2是喷墨式记录头的俯视图,图3是图2的A-A′线剖面图,图4是图2的B-B′线剖面图,图5是图2的C-C′线剖面图。
如图1所示,本实施方式的喷墨式记录头1(以下,也称记录头1)具备:一对致动器单元2;设置有内部能够收纳致动器单元2的收纳部3的、由树脂材料形成的壳体4;接合于壳体4的前端面的流路单元5;覆盖流路单元5侧的罩头6。
如图3及图4所示,本实施方式的致动器单元2具有:压电元件形成部件13,其将作为本实施方式的致动器的多个压电元件11沿其宽度方向排列设置;固定板14,其以压电元件形成部件13的前端部(一端部)侧成为自由端的方式将其基端部(另一端部)侧作为固定端进行接合。
压电元件形成部件13是通过将压电材料层15;和构成压电元件11的2个极的内部电极,即构成与邻接的压电元件11电气独立的个别电极的个别内部电极16以及构成与邻接的压电元件11电气共通的电极的共通内部电极17交替夹隔层叠而形成的。
在该压电元件形成部件13上,例如通过铁丝锯等形成多个狭缝18,其前端部侧被切割分成梳齿状,从而形成压电元件11的列。此外,在压电元件11的列的两外侧设置有比各压电元件11更宽的定位部19。该定位部19和压电元件11一样,利用压电元件形成部件13形成,但实际上是不被驱动的非驱动振子,在将致动器单元2装入记录头1时,使定位部19抵接于在壳体4设置的收纳部3的侧面,用于高精度地定位致动器单元2。
此处,压电元件11的接合于固定板14的区域成为不赋予振动的非活性区域,如果在构成压电元件11的个别内部电极16和共通内部电极17之间外加电压的话,只有不接合于固定板14的前端部侧的区域振动。而且,压电元件11的前端面通过粘合剂固定于后述的振动板46的岛部49。
另外,搭载了用于驱动该压电元件11的驱动IC等驱动电路29的COF等电路基板30与致动器单元2的各压电元件11连接。
流路单元5具备流路形成基板40、振动板46及喷嘴板48。
流路形成基板40由单结晶硅基板组成,且在其一面侧的表层部分设置有由多个隔壁41划分形成的压力发生室42,该多个压力发生室42在其宽度方向(短边方向)排列设置。
另外,如图3所示,各压力发生室42的长边方向一端部侧通过作为液体供给路的一例墨水供给路45连通有用于向各压力发生室42供给作为液体的一例的墨水的岐管44。并且,流路形成基板40的压力发生室42的开口面侧被振动板46密封,在另一面侧,通过粘合剂、热熔着薄膜粘结有作为贯穿设置喷嘴开口47的喷嘴形成部件的一例的喷嘴板48。喷嘴板48的喷嘴开口47和压力发生室42,通过贯通流路形成基板40设置的喷嘴开口连通孔43连通。
振动板46由例如由树脂薄膜等弹性部件组成的作为第1部件的弹性膜46a和支承该弹性膜46a的、例如由金属材料等组成的作为第2部件的支承板46b的复合板形成,弹性膜46a侧接合于流路形成基板40。例如,本实施方式中,作为第1部件的弹性膜46a由厚度数μm左右的PPS(聚苯硫醚)薄膜形成,作为第2部件的支承板46b由厚度数十μm左右的不锈钢钢板(SUS)形成。
另外,在振动板46的与各压力发生室42对置的区域内设置有与压电元件11的前端部抵接的岛部49。即在振动板46的与各压力发生室42的周缘部对置的区域,形成厚度比其他区域形成更薄的薄壁部50,在该薄壁部50的内侧分别设置有岛部49。上述的致动器单元2的压电元件11的前端部借助例如粘合剂等固定该岛部49。
另外,在振动板46的与岐管44对置的区域,和薄壁部50一样通过蚀刻法除去支承板46b,从而设置实质只有弹性膜46a构成的可塑性部54。此外,该可塑性部54在岐管44内产生压力变化时,通过该可塑性部54的弹性膜46a的变形吸收压力变化,起到持续稳定地保持岐管44内的压力的作用。
此外,本实施方式中,振动板46由弹性膜46a和支承板46b构成,岛部49的周围部及可塑性部54只由弹性膜46a构成,对此没有特别的限定,例如还可以,作为振动板,使用1枚板状部件,设置有除去了板状部件的厚度方向的一部分的、凹形状的薄壁部50、52等,由此形成岛部49及可塑性部54。
壳体4固定于流路形成基板40的振动板46,与未图示的墨盒等的液体贮存部连接,设置有向岐管44供给墨水的墨水供给路45。
另外,壳体4设置有贯通厚度方向的2个收纳部3,致动器单元2被定位并固定于各收纳部3。
如图1所示,该壳体4的收纳部3具有:固定板保持部3a,其宽度比固定板14更宽地设置于固定固定板14的一侧;以及压电元件保持部3b,其宽度比固定板保持部3a窄且比压电元件形成部件13稍宽地形成在压电元件形成部件13侧。其中,此处所说的宽度是指压电元件11(压力发生室42)的排列方向。并且,如图3所示,收纳部3的固定板保持部3a以在贯通方向上振动板46侧宽度变窄的方式设置有阶梯部3c,固定板14被固定为压电元件11所突出的端面与阶梯部3c抵接。
另外,壳体4设置有凹形状的可塑性空间55,该可塑性空间55具有开设于与可塑性部54对置的区域。通过该可塑性空间55保持可塑性部54能够变形。
该壳体4通过树脂材料形成。并且,通过成形壳体4,能够低成本制造的同时,能够容易地实现批量生产。
进一步,在壳体4埋设增强板60。本实施方式中,增强板60设置于壳体4的2个收纳部3之间,埋设于划分收纳部3的划分壁61内。
如图5所示,增强板60具有切除矩形板状部件的一对角部的T字形状。具体地说,增强板60在埋设于壳体4时设置有切除流路单元5侧的角部的凹部62,通过该凹部62在增强板60的两侧面、且在流路单元5的相反一侧设置有朝侧面方向突出的凸部63。
该增强板60以一部分在壳体4的压电元件11的排列方向的两侧面和壳体4的与流路单元5相反一侧的面露出的状态下,埋设于壳体4的划分壁61内。具体地说,在壳体4的与流路单元5接合的接合面相反一侧的面的划分壁61设置有具有2个凹形状的第1露出部64,通过第1露出部64露出增强板60的与流路单元5相反一侧的边的一部分。
另外,在壳体4的压电元件11的排列方向两侧面分别设置有第2露出部65,第2露出部65开设于侧面和流路单元5侧的面且具有凹形状。第2露出部65设置在壳体4的侧面且深度比到增强板60的凸部63的更深且比凹部62更浅。通过该第2露出部65,露出增强板60的凸部63的凹部62侧的角部66。即增强板60通过第1露出部64露出流路单元5的相反一侧的面,通过第2露出部65露出流路单元5侧的面和两侧面(压电元件11的排列方向两侧)。
该增强板60使用具有比壳体4更高强度的材料,例如,可以使用不锈钢等金属材料、具有比壳体更高强度的树脂材料、玻璃陶瓷等。
另外,增强板60预先设置于用树脂材料成形壳体4模具内,通过注射成形将树脂材料充填到模具内,通过所谓的嵌入成形实现一体化。而且,所述第1露出部64及第2露出部65是通过在成形壳体4时的定位于模具内的保持夹具的支承而形成的。
此外,增强板60设置有沿厚度方向贯通的多个流动孔67。通过该流动孔67,能够提高充填于模具内的树脂材料的流动性,保证将树脂材料确切地填充于模具内。
此处,关于壳体的制造方法参照图6进行详细的说明。此外,图6是表示壳体的制造方法的剖面图。
如图6(a)所示、在模具100内定位保持增强板60。增强板60的模具100内的保持是通过保持夹具110、111按压控制增强板60的外周的4处而进行的。保持夹具110抵接于增强板60的与流路单元5相反一侧的面。并且,保持夹具111抵接于增强板60的凸部63的凹部62侧的角部66。此外,保持夹具111抵接于角部66是指,保持夹具111与增强板60的流路单元5侧的面和增强板60的压电元件11的排列方向的两侧面抵接。这样,保持夹具111通过相互推压设置在压电元件11的排列方向的两侧面的凸部63的角部66中的、压电元件11的排列方向两侧的侧面,以X方向的移动被限制的状态将强板60定位于模具100内。通过2个保持夹具111,挟持增强板60的压电元件11的排列方向两侧面,由此,在增强板60的模具100内的X方向被定位。另外,保持夹具111通过相互推压凸部63的角部66的流路单元5侧的面和增强板60的与流路单元5相反一侧的面,由此,以Y方向的移动被限制的状态将增强板60定位在模具100内。由此增强板60被保持为相对于模具X方向及Y方向的移动被定位。
在该状态下,如图6(b)所示,在模具100和增强板60之间填充溶融的树脂材料,由此能够形成在内部埋设了增强板60的壳体。此时,通过保持定位增强板60的保持夹具110、111,在壳体4上形成露出增强板60的2个第1露出部64和2个第2露出部65。
进一步,如图1、图3~图5所示、记录头1在喷嘴开口47开口面侧,以露出喷嘴开口47的状态,设置有覆盖喷出面侧的罩头6。
罩头6具备:露出喷嘴开口47的开口部70和划分开口部70的框架部71。
本实施方式中,框架部71设置在喷出面的周围,框架部71设置有沿喷出面的外周缘部弯曲延伸设置的侧壁部72。
另外,在侧壁部72设置有沿喷嘴开口47的排列方向两侧设置有延伸设置的固定部73。该固定部73被设置为从侧壁部72弯曲,通过固定螺钉75固定于从壳体4的侧面突出的凸缘部74。因此,罩头6与记录头1形成一体。
从该侧壁弯曲的固定部73与壳体4的间隔设置为向流路单元5相反一侧逐渐变大。具体地说,侧壁部72设置为与流路单元5垂直,相对于侧壁部72,固定部73的起点位于比通过壳体4的第2露出部65露出的增强板60的角部66更靠向流路单元5侧的位置。而且,固定部73与壳体4之间的间隙设置为从该起点向壳体4的凸缘部74逐渐变大。
这样,通过使固定部73和壳体4的间隙向流路单元5(喷出面)的相反一侧逐渐变大,即便在罩头6与流路单元5、壳体4之间侵入墨水,仍能抑制侵入的墨水因毛细管现象爬上壳体4的与流路单元5相反的一侧。
此外,作为罩头6,例如,可以使用不锈钢等金属材料。另外、罩头6既可以通过对金属板进行冲压加工来形成,也可以通过成形来形成。
该记录头1中,在喷出墨滴时,通过压电元件11及振动板46的变形,使各压力发生室42的容积发生变化,从规定的喷嘴开口47喷出墨滴。具体地说,当通过设置于壳体4的墨水导入孔56从未图示的墨盒向岐管44供给墨水时,通过墨水供给路45向各压力发生室42分配墨水。实际上,通过向压电元件11外加电压使压电元件11收缩。因此,振动板46和压电元件11一同变形,压力发生室42的容积扩大,向压力发生室42内吸入墨水。而且,在直到喷嘴开口47为止内部装满墨水后,按照通过电路基板30供给的记录信号,解除外加在压电元件11的电极16、17的电压。因此,压电元件11伸张、回到原来的状态,同时振动板46也发生位移回到原来的状态。作为结果,压力发生室42的容积收缩,压力发生室42内的压力升高,从喷嘴开口47喷出墨滴。
而且,本实施方式中,在壳体4设置有增强板60,由此,即便因壳体4的树脂部分通过温度变化和湿度变化使得壳体4膨胀,也能够抑制壳体4整体变形,可以降低固定于壳体4的致动器单元2朝振动板46的相反一侧的升高。并且,在驱动排列设置的压电元件11时,由于能够抑制排列方向两端侧的压电元件11和中央部分侧的压电元件11由于壳体4的刚性不同的浮起,故能够实现墨水喷出特性的提高及均匀化。
另外,本实施方式中,在增强板60的喷出面侧设置凹部62,通过第2露出部65露出通过凹部62形成的凸部63的流路单元5侧的角部66。因此,如图7所示,由于通过增强板60的第2露出部65露出的区域(角部66)和喷出面分离,故侵入罩头6和流路单元5及壳体4之间的墨水L没有到达通过第2露出部65露出的增强板60,能够防止墨水从第2露出部65爬上增强板60和树脂材料间的界面。另外,如图8所示,在没有设置凹部的增强板160的情况下,喷出面侧的角部166如果通过第2露出部65露出,则喷出面和第2露出部65露出的增强板160的角部166会靠近。当喷出面和通过第2露出部65露出的增强板160靠近时,侵入罩头6和流路单元5及壳体4之间的墨水L到达在第2露出部65露出的增强板160,墨水因毛细管现象爬上增强板160和树脂材料间的界面,墨水从与喷出面相反一侧的第1露出部64侧侵入收纳部3内,破坏压电元件11。
进一步,本实施方式中,如图7所示,由于使罩头6的固定部73和壳体4的间隔向喷出面的相反一侧逐渐变大,故墨水很难侵入罩头6和壳体4的间隙,能够抑制侵入的墨水L爬上喷出面的相反一侧,因此能够防止墨水到达在第2露出部65露出的增强板60。由此也抑制了墨水向收纳部3的侵入,能够防止压电元件11遭受墨水的破坏。对此,如图8所示,当罩头106的固定部173被垂直设置时,由于侵入壳体4和罩头106之间的墨水通过毛细管现象爬升,由此墨水到达在第2露出部65露出的增强板160。
(其他的实施方式)
以上,说明了关于本发明的一个实施方式,但本发明的基本的结构不局限于上述说明。
例如,所述实施方式1中,在增强板60的流路单元5侧设置有凹部62,由此形成凸部63,进一步,也可以在增强板的流路单元5相反一侧设置和凹部62一样的凹形状的缺口部。图9中示出该例。此外,图9是表示增强板的变形例的记录头的剖面图。
如图9所示,在增强板60A上,在流路单元5侧设置有凹部62、在流路单元5的相反一侧设置有缺口部68,在该凹部62和缺口部68之间设置有凸部63A。该增强板60A也能够起到与所述实施方式1同样的效果。
另外,例如上述实施方式1中,在壳体4的划分壁61埋设增强板60,增强板60的埋设位置没有特别的限定,例如,将增强板60埋设于固定壳体4的固定板14的周壁侧也可以。
另外,所述实施方式1中,作为使流路(压力发生室42)产生压力变化的压力发生单元,示例压电材料层15与个别内部电极16及共通内部电极17相互层叠而在轴向伸缩的纵振动型的压电元件11,但对压力发生单元没有特别的限定,也可以使用压电材料层15与个别内部电极16及共通内部电极17相互层叠而使层叠方向的一端抵接于岛部的横振动型的压电元件。
另外,作为压力发生单元,例如,也可以使用通过成膜及光刻法形成下电极、由压电材料形成的压电体层和上电极及的薄膜型的压电元件,并且,也可以使用通过粘贴绿色薄板等方法形成的厚膜型的压电元件。并且,作为压力发生单元,也可以使用在压力发生室内配置发热元件,通过因发热元件的发热产生的泡沫,从喷嘴开口喷出液滴,在振动板和电极之间发生静电、通过静电力使振动板发生变形,从喷嘴开口喷出液滴等。
另外,这些各实施方式的喷墨式记录头1构成具备与墨盒等连通的墨水流路的喷墨式记录头单元的一部分,搭载在喷墨式记录装置。图10是表示喷墨式记录装置的一例的概略图。
在图10所示的喷墨式记录装置200中,具有多个喷墨式记录头1的喷墨式记录头单元202(以下、也简称为头单元202),设置有能够装拆的构成墨水供给单元的墨盒202A及202B,搭载该头单元202的滑架203,沿轴向上自由移动地设置于安装于装置主体204的滑架轴205。设定该头单元202,例如,是喷出黑色墨水形成物及彩色墨水形成物的单元。
而且,驱动电动机206的驱动力通过未图示的多个齿轮及定时带207传送到滑架203,搭载头单元202的滑架203沿着滑架轴205移动。另一方面,装置主体204沿着滑架轴205设置有压板208,通过未图示的进纸辊等被送入的纸等作为记录媒体的记录薄片S在压板208上被输送。
另外,所述喷墨式记录装置200中,示例具有多个记录头1的头单元202搭载在滑架203,在主扫描方向移动,但对此没有特别的限定,例如,本发明亦可应用在固定记录头1、只在副扫描方向上移动对纸等记录薄片S进行打印的所谓行式记录装置中。
另外,在上述的例中,搭载具有多个记录头1的头单元202的喷墨式记录装置200,但亦可在头单元202分别搭载一个记录头1,并且,还可直接在喷墨式记录装置200搭载单个或多个记录头1。
另外,在所述实施方式中,举出作为液体喷射头的一例的喷墨式记录头说明,本发明广泛的以全部液体喷射头为对象,当然也可适用于墨水以外的喷射液体的液体喷射头。以其他的液体喷射头而言可以举出:例如、用于打印机等的画像记录装置的各种的记录头,用于液晶显示器等的彩色画面的制造的色材喷射头,用于有机EL显示器、FED(电界放出显示器)等的电极形成的电极材料喷射头,用于生物芯片制造的生物有机物喷射头等。
Claims (7)
1.一种液体喷射头,其特征在于,
所述液体喷射头具备:
流路单元,其设置有喷嘴开口和与该喷嘴开口连通的流路;
壳体,其固定于该流路单元;以及
致动器单元,其固定于该壳体,且排列设置有使所述流路内产生压力变化的致动器,
所述壳体由树脂成形材料形成,并且在该壳体遍及所述致动器的排列方向埋设有增强板,
在所述壳体的与固定于所述流路单元的面相反一侧的面,设置有露出所述增强板的第1露出部,
在所述增强板的所述致动器的排列方向两侧面,在所述喷嘴开口所开设的喷出面侧设置有凹部,
在所述壳体的所述致动器的排列方向的两侧面设置有第2露出部,该第2露出部中露出角部,所述角部包括通过所述增强板的所述凹部形成的凸部的所述喷出面侧及所述侧面。
2.根据权利要求1所述的液体喷射头,其特征在于,
在所述增强板的所述致动器的排列方向的两侧面,在与所述凹部相反一侧设置有开设于与所述喷出面相反一侧的面的缺口部,在所述凹部和所述缺口部之间设置有所述凸部。
3.根据权利要求1或2所述液体喷射头,其特征在于,
在所述流路单元的喷出面侧,设置有覆盖该喷出面的罩头,通过所述罩头覆盖所述角部。
4.根据权利要求3所述液体喷射头,其特征在于,
所述罩头被设置为从所述喷出面向所述壳体侧与该壳体间的间隙逐渐变大。
5.一种液体喷射头单元,其特征在于,
所述液体喷射头单元具备:
权利要求1~4中任意一项所述的多个液体喷射头。
6.一种液体喷射装置,其特征在于,
所述液体喷射装置具备:
权利要求5所述的液体喷射头单元。
7.一种液体喷射装置,其特征在于,
所述液体喷射装置具备:
权利要求1~4中任意一项所述的液体喷射头。
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