CN102211317A - 多功能喷砂造型机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种多功能喷砂造型机，包括机座，其特殊之处是：在机座上设有挡砂箱和位于挡砂箱内可旋转的主轴，在主轴上端插装有芯片夹盘，在机座内设有驱动主轴旋转的动力装置，在机座上方设有一个横向和纵向位置可调的支撑梁，支撑梁一端***挡砂箱内且在该端固定有角度可调的喷砂嘴；在机座上还设有喷砂装置，喷砂装置的喷砂孔出口通过进砂管与喷砂嘴连通。优点是：实现了机械自动化操作，工作效率高，角度控制精确，成品率高，加工质量好，避免了手工磨角对产品质量的影响，对工人能力要求较低，同时降低了生产成本；由于喷砂嘴角度可调，因此可完成各种角度的磨角。

Description

多功能喷砂造型机

技术领域

本发明特别涉及一种用于半导体生产工艺中完成磨角环节的多功能喷砂造型机。

背景技术

在半导体生产工艺中，传统的半导体芯片手工磨角工艺，是在磨盘电动旋转的基础上，人工将芯片按压在磨盘上滑动磨角，同时手动填砂，时间、力度、角度、填砂量都需要工人凭经验决定，因此对工人的能力有很高要求；同时手工磨角工作效率低，成品率低，对成品芯片的质量也有一定影响。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种工作效率高，成品率高，加工质量好，对工人能力要求较低的多功能喷砂造型机。

本发明涉及的多功能喷砂造型机包括一个机座，其特殊之处是：在机座上设有挡砂箱和位于挡砂箱内可旋转的主轴，在主轴上端插装有芯片夹盘，在机座内设有驱动主轴旋转的动力装置，在机座上方设有一个横向和纵向位置可调的支撑梁，支撑梁一端***挡砂箱内且在该端固定有角度可调的喷砂嘴；在机座上还设有喷砂装置，喷砂装置的喷砂孔出口通过进砂管与喷砂嘴连通。

上述的多功能喷砂造型机，所述的喷砂装置是由一个设有进气孔的砂筒底座，固定在砂筒底座上的砂筒和砂筒上盖，以及连接砂筒底座的进气孔的气体调制器组件构成。

上述的多功能喷砂造型机，所述的气体调制器组件是由连接砂筒底座进气孔的导气管，连接在导气管外端的铜套，连接在铜套外端的进气管，以及缠绕在铜套外面的电磁线圈和设在铜套内的铁芯构成。

上述的多功能喷砂造型机，在砂筒上盖的中心设有加砂口，在砂筒上盖下表面设有弹性封口板。

上述的多功能喷砂造型机，所述的动力装置是由固定在机座内的轴座，安装在轴座内的可旋转的转轴和固定在转轴下端的电机座板，固定在电机座板上的电机，以及设在电机座板自由端与机座之间的传动拉簧构成，所述的电机轴与主轴通过摩擦轮传动。

上述的多功能喷砂造型机，在机座上位于喷砂装置的另一侧固定有立板，在立板上安装有可旋转的槽型调整座，在槽型调整座的一侧与立板下部之间设有下拉簧，在立板上设有压在槽型调整座另一侧的纵向调节螺栓，在槽型调整座的槽内设有导柱且在导柱上套有横向滑动座，在横向滑动座一侧的导柱上套有压力弹簧，在槽型调整座上位于横向滑动座的另一侧设有横向调节螺栓，所述的支撑梁贯穿并固定在横向滑动座上。

上述的多功能喷砂造型机，在所述的支撑梁一端固接有轴套，在轴套内通过顶丝固定有短轴，所述的喷砂嘴沿径向贯穿并固定在短轴上。

本发明的优点是：实现了机械自动化操作，工作效率高，角度控制精确，成品率高，加工质量好，避免了手工磨角对产品质量的影响，对工人能力要求较低，同时降低了生产成本；由于喷砂嘴角度可调，因此可完成各种角度的磨角。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是图1的A-A剖视图；

图3是图1中气体调制器组件的局部放大图。

图中：机座1，砂筒支脚2，气体调制器组件3，砂筒底座4，进气孔401，喷砂孔402，砂筒5，砂筒上盖6，加砂口601，进砂管7，挡砂箱8，芯片夹盘9，喷砂嘴10，轴套11，短轴12，支撑梁13，导柱14，压力弹簧15，下拉簧16，纵向调节螺栓17，槽型调整座18，横向调节螺栓19，横向滑动座20，立板21，轴座22，转轴23，电机座板24，电机25，主轴26，摩擦轮27，轴承座28，传动拉簧29，导气管30，铜套31，电磁线圈32，进气管33，密封圈34，铁芯35，排气通道3501，弹性封口板36，砂筒导气管37。

具体实施方式

如图所示，该多功能喷砂造型机有一个机座1，在机座1上通过螺栓固定有挡砂箱8，在挡砂箱8后面设有排烟口，在机座1上位于挡砂箱8内中部贯穿有主轴26，主轴26通过轴承座28和轴承安装在机座1上，在主轴26上端插装有芯片夹盘9，芯片夹盘9内孔与主轴26锥面配合。在机座1内设有驱动主轴26旋转的动力装置，动力装置是由固定在机座1内的轴座22，通过轴承安装在轴座22内的转轴23和固定在转轴23下端的电机座板24，通过螺栓固定在电机座板24上的电机25，以及设在电机座板24自由端与机座1之间的传动拉簧29构成，所述的电机轴与主轴26通过一对摩擦轮27传动。

在机座1上位于挡砂箱8的一侧固定有立板21，在立板21上通过轴承安装有可旋转的槽型调整座18，在槽型调整座18的一侧与立板21下部之间设有下拉簧16，在立板21上设有压在槽型调整座18另一侧的纵向调节螺栓17，在槽型调整座18的槽内沿横向设有导柱14且在导柱14上套有横向滑动座20，在横向滑动座20一侧的导柱14上套有压力弹簧15，在槽型调整座18上位于横向滑动座20的另一侧设有横向调节螺栓19，在横向滑动座20上贯穿并通过顶丝固定有支撑梁13，支撑梁13一端***挡砂箱8内且在该端固定有轴套11，在轴套11内通过顶丝固定有短轴12，在短轴12上沿径向贯穿并通过顶丝固定有喷砂嘴10。

在机座1上位于挡砂箱8的另一侧固定有喷砂装置，喷砂装置是由一个设有进气孔401和喷砂孔402并通过砂筒支脚2固定在机座1上的砂筒底座4，固定在砂筒底座4上的砂筒5和砂筒上盖6，以及连接砂筒底座4的进气孔401的气体调制器组件3构成。所述砂筒底座4的进气孔401和位于中心的喷砂孔402垂直相通，位于砂筒底座4底面的喷砂孔402出口通过进砂管7与喷砂嘴10连通。所述的气体调制器组件3是由通过螺纹依次连接砂筒底座进气孔401的导气管30，连接在导气管30外端的铜套31，连接在铜套31外端的进气管33，以及缠绕在铜套31外面的电磁线圈32和设在铜套31内的铁芯35构成。在铁芯35对应进气管33一端固设有密封圈34，在铁芯35的另一端设有排气通道3501。在砂筒上盖6的中心设有加砂口601，在砂筒上盖6下表面设有弹性封口板36，在砂筒5内固定有垂直布置且与进气孔401相通的砂筒导气管37。

工作时，通过加砂口601向砂筒5内添加金刚砂，将进气管33外端通过气管连接气泵，电磁线圈32通电后产生磁力使铁芯35一端的密封圈34与进气管33端面接触，启动气泵向进气管33通气，当气压超过电磁线圈32产生的磁力后铁芯35被气压推动，气体经由铁芯35与铜套31的间隙和排气通道3501进入进气孔401，气体进入后气压又小于磁力，铁芯35又复位将进气孔401封死，如此反复循环使铁芯35以较快的频率往复振动，使进气孔401快速往复通、断气，从而将由喷砂孔402漏下的金刚砂由喷砂孔402出口喷出，经进砂管最终由喷砂嘴10喷出到待加工芯片上。待加工芯片放置在芯片夹盘9上，通过电机25带动主轴26和芯片夹盘9旋转，使芯片在旋转的同时被喷出的金刚砂完成磨角。

Claims (7)

1.一种多功能喷砂造型机，包括机座，其特征是：在机座上设有挡砂箱和位于挡砂箱内可旋转的主轴，在主轴上端插装有芯片夹盘，在机座内设有驱动主轴旋转的动力装置，在机座上方设有一个横向和纵向位置可调的支撑梁，支撑梁一端***挡砂箱内且在该端固定有角度可调的喷砂嘴；在机座上还设有喷砂装置，喷砂装置的喷砂孔出口通过进砂管与喷砂嘴连通。

2.根据权利要求1所述的多功能喷砂造型机，其特征是：所述的喷砂装置是由一个设有进气孔的砂筒底座，固定在砂筒底座上的砂筒和砂筒上盖，以及连接砂筒底座的进气孔的气体调制器组件构成。

3.根据权利要求2所述的多功能喷砂造型机，其特征是：所述的气体调制器组件是由连接砂筒底座进气孔的导气管，连接在导气管外端的铜套，连接在铜套外端的进气管，以及缠绕在铜套外面的电磁线圈和设在铜套内的铁芯构成。

4.根据权利要求2所述的多功能喷砂造型机，其特征是：在砂筒上盖的中心设有加砂口，在砂筒上盖下表面设有弹性封口板。

5.根据权利要求1所述的多功能喷砂造型机，其特征是：所述的动力装置是由固定在机座内的轴座，安装在轴座内的可旋转的转轴和固定在转轴下端的电机座板，固定在电机座板上的电机，以及设在电机座板自由端与机座之间的传动拉簧构成，所述的电机轴与主轴通过摩擦轮传动。

6.根据权利要求1所述的多功能喷砂造型机，其特征是：在机座上位于喷砂装置的另一侧固定有立板，在立板上安装有可旋转的槽型调整座，在槽型调整座的一侧与立板下部之间设有下拉簧，在立板上设有压在槽型调整座另一侧的纵向调节螺栓，在槽型调整座的槽内设有导柱且在导柱上套有横向滑动座，在横向滑动座一侧的导柱上套有压力弹簧，在槽型调整座上位于横向滑动座的另一侧设有横向调节螺栓，所述的支撑梁贯穿并固定在横向滑动座上。

7.根据权利要求1所述的多功能喷砂造型机，其特征是：在所述的支撑梁一端固接有轴套，在轴套内通过顶丝固定有短轴，所述的喷砂嘴沿径向贯穿并固定在短轴上。

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