CN102162919A - 光扫描仪以及图像形成装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供光扫描仪以及图像形成装置，光扫描仪的特征在于，具有：光反射部，该光反射部具有光反射性；可动板，该可动板具备上述光反射部，且能够变位；4个连结部，这4个连结部连接于上述可动板；支承部，该支承部用于支承上述4个连结部；在上述可动板的俯视图中，上述4个连结部在上述可动板的外周沿着周方向以90度间隔设置，各上述连结部具有：能够转动的驱动部；轴部，该轴部连结上述可动板和上述驱动部，且通过上述驱动部的转动而在上述可动板的厚度方向弯折变形。

Description

光扫描仪以及图像形成装置

技术领域

本发明涉及光扫描仪以及图像形成装置。

背景技术

例如，作为在激光打印机等中通过光扫描进行描绘的光扫描仪，公知有使用由扭转振子构成的致动器的光扫描仪(例如参照专利文献1)。

在专利文献1中公开了具有绝缘基板和扫描仪主体的致动器，在所述绝缘基板设置有一对永磁铁，所述扫描仪主体由绝缘基板支承为位于一对永磁铁之间。并且，扫描仪主体具有框状的支承部、设置在支承部的内侧的框状的外侧可动板、以及设置在外侧可动板的内侧的内侧可动板(反射镜)。并且，外侧可动板经由在X轴方向延伸的一对第一扭转杆与支承部连结，内侧可动板经由在与X轴方向正交的Y轴方向延伸的第二扭转杆与外侧可动板连结。并且，在外侧可动板和内侧可动板分别设置有线圈。

在这种结构的致动器中，通过使借助通电从各线圈产生的磁场与在一对永磁铁之间产生的磁场发挥作用，外侧可动板与内侧可动板一起以第一扭转杆作为中心轴绕X轴转动，内侧可动板以第二扭转杆作为中心轴绕Y轴转动。

由此，在专利文献1的致动器中，使内侧可动板绕X轴转动的机构、与使该内侧可动板绕Y轴转动的机构不同。因此，无法使内侧可动板绕X轴和Y轴以同等条件转动。此外，在专利文献1的致动器中，由设于外侧可动板的线圈产生的磁场与由设于内侧可动板的线圈产生的磁场发生干涉，无法使内侧可动板绕X轴和Y轴的各个轴独立地转动。因此，在专利文献1的致动器中，存在无法使内侧可动板绕X轴和Y轴的各个轴稳定地转动的问题。

【专利文献1】日本特开2005-181395号公报

发明内容

本发明的目的在于提供能够使可动板绕彼此正交的2个轴的各轴稳定地转动的光扫描仪以及图像形成装置。

上述目的通过下述的本发明来实现。

本发明的光扫描仪的特征在于，具有：具备光反射部的可动板，其中光反射部具有光反射性；支承上述可动板的支承部；将上述可动板和上述支承部连结起来的4个连结部，在上述可动板的俯视图中，上述4个连结部在上述可动板的外周沿着周方向以90度间隔设置，各上述连结部具有：与上述可动板分离地配置且能相对于上述支承部转动的驱动部；和将上述可动板与上述驱动部连结起来的轴部，各上述连结部的上述轴部构成为：通过上述驱动部的转动，各上述连接部的上述轴部在与上述可动板离开的方向的中途在上述可动板的厚度方向弯折变形。

由此，能够独立地进行绕相互正交的2个轴中的一个轴的可动板的转动、和绕另一个轴的可动板的转动。因此，能够提供能使可动板绕相互正交的2个轴的各轴稳定地转动的光扫描仪。

本发明的光扫描仪，优选当将在上述可动板的俯视图中正交的2轴设为X轴和Y轴时，

上述4个连结部具有：隔着上述可动板在X轴方向对置的第一连结部和第二连结部；以及隔着上述可动板在Y轴方向对置的第三连结部和第四连结部，

上述第一连结部和上述第二连结部分别具有：上述驱动部，该驱动部与上述可动板在X轴方向离开配置；作为上述轴部的第一轴部，该第一轴部连结上述可动板和上述驱动部、且沿X轴方向延伸；以及第二轴部，该第二轴部连结上述驱动部和上述支承部、且沿Y轴方向延伸，

上述第三连结部和上述第四连结部分别具有：上述驱动部，该驱动部与上述可动板在Y轴方向离开配置；作为上述轴部的第一轴部，该第一轴部连结上述可动板和上述驱动部、且沿Y轴方向延伸；以及第二轴部，该第二轴部连结上述驱动部和上述支承部、且沿X轴方向延伸。

由此，各连结部的构成简单，而且能使可动板绕彼此对置的2轴的各轴顺畅地转动等。

本发明的光扫描仪，优选当将与上述X轴和上述Y轴正交的轴设为Z轴时，上述4个连结部中的上述第一轴部分别能够形成为以下两种变形：以形成朝Z轴方向的一方侧凸出的V字状的方式弯折的第一变形；以及以形成朝Z轴方向的另一方侧凸出的V字状的方式弯折的第二变形。

由此，能够通过使各第一轴部弯折而使可动板有效地变位。

本发明的光扫描仪，优选通过交替地反复形成以下两种状态，使上述可动板绕上述Y轴转动，

上述两种状态为：

使上述第一连结部的上述第一轴部进行上述第一变形，同时使上述第二连结部的上述第一轴部进行第二变形的状态；以及

使上述第一连结部的上述第一轴部进行上述第二变形，同时使上述第二连结部的上述第一轴部进行上述第一变形的状态，

通过交替地反复形成以下两种状态，使上述可动板绕上述X轴转动，

上述两种状态为：

使上述第三连结部的上述第一轴部进行上述第一变形，同时使上述第四连结部的上述第一轴部进行上述第二变形的状态；以及

使上述第三连结部的上述第一轴部进行上述第二变形，同时使上述第四连结部的上述第一轴部进行上述第一变形的状态。

由此，能够使可动板顺畅地转动。

本发明的光扫描仪，优选通过交替地反复形成以下两种状态，使上述可动板向上述Z轴方向振动，上述两种状态为：使各上述连结部所具有的上述第一轴部进行上述第一变形的状态；以及使各上述连结部所具有的上述第一轴部进行上述第二变形的状态。

由此，能够使可动板顺畅地振动。

本发明的光扫描仪，优选上述4个连结部的上述第一轴部分别具有：应力缓和部，该应力缓和部设置在上述可动板与上述驱动部之间；可动板侧轴部，该可动板侧轴部连结上述应力缓和部与上述可动板；以及驱动部侧轴部，该驱动部侧轴部连结上述应力缓和部与上述驱动部，上述4个连结部的上述第一轴部在上述应力缓和部弯折。

由此，能够利用应力缓和部缓和可动板侧轴部受到的应力，能够防止或者抑制应力朝驱动部侧轴部传递。

本发明的光扫描仪，优选上述4个连结部的上述可动板侧轴部分别绕该可动板侧轴部的中心轴扭转变形。

由此，通过另一对连结部的可动板侧轴部扭转变形，能够允许可动板以4个连结部中的对置的一对连结部为轴转动。因此，能够使可动板绕相互正交的2个轴的各轴顺畅地转动。

本发明的光扫描仪，优选上述4个连结部的上述驱动部侧轴部分别并不变形。

由此，能够高效地将通过驱动部的转动产生的应力用于可动板的转动。因此，能够使可动板以大的转动角度、且节省电力地变位。

本发明的光扫描仪，优选上述4个连结部的上述应力缓和部分别具有变形部，在上述可动板的俯视图中，该变形部沿着与可动板侧轴部和驱动部侧轴部的延伸方向正交的方向延伸，且绕中心轴扭转变形。

由此由此，通过变形部扭转变形，能够有效地缓和施加于第一轴部的应力。

本发明的光扫描仪，优选上述4个连结部的上述应力缓和部分别具有一对上述变形部，上述一对变形部中的一方的上述变形部与上述可动板侧轴部连结，另一方的上述变形部与上述驱动部侧轴部连结。

由此，通过变形部扭转变形，能够有效地缓和施加于第一轴部的应力。

本发明的光扫描仪，优选上述4个连结部的上述应力缓和部分别具有非变形部，该非变形部设置在上述一对变形部之间，沿着与上述变形部的延伸方向平行的方向延伸，且并不绕中心轴扭转变形。

由此，在各连结部中，能够使第一轴部以非变形部为轴弯折。因此，能够简单且可靠地使各连结部的第一轴部弯折，能够使可动板稳定地变位。

本发明的光扫描仪，优选上述4个连结部的上述应力缓和部分别具有沿着上述X轴方向和上述Y轴方向交替地延伸而曲折的部位。

由此，能够利用应力缓和部缓和可动板侧轴部受到的应力，能够防止或者抑制应力朝驱动部侧轴部传递。

本发明的光扫描仪，优选上述4个连结部的上述应力缓和部分别具有沿着上述X轴方向延伸的多个延伸部和沿着Y轴方向延伸的多个延伸部，上述多个延伸部分别能够绕中心轴扭转变形且能够弯曲变形。

由此，通过各延伸部进行扭转变形和弯曲变形中的至少一方的变形，能够有效地缓和施加于第一轴部的应力。

本发明的光扫描仪，优选上述4个连结部分别由SOI基板形成，上述S0I基板通过按照顺序层叠第一Si层、SiO₂层以及第二Si层而形成。

由此，能够简单地形成各连结部。

本发明的光扫描仪，优选上述4个连结部的上述非变形部、上述驱动部侧轴部以及上述驱动部分别由上述第一Si层、上述SiO₂层以及上述第二Si层构成，上述可动板侧轴部、上述变形部以及上述第二轴部分别由上述第二Si层构成。

由此，能够简单地形成各连结部。

本发明的光扫描仪，优选上述光扫描仪具有用于使上述驱动部转动的变位构件，上述变位构件与上述4个连结部对应地设置有4个。

由此，能够独立地控制各连结部的动作。

本发明的光扫描仪，优选上述4个变位构件分别具有：永磁铁，该永磁铁设置于上述驱动部；以及线圈，该线圈产生作用于上述永磁铁的磁场。

由此，变位构件的结构变得简单。并且，由于是电磁驱动，因此能够产生大的力。

本发明的光扫描仪，优选在上述4个变位构件中，上述永磁铁以两极在上述可动板的厚度方向对置的方式设置，上述线圈以产生与上述可动板的厚度方向正交的方向的磁场的方式设置。

由此，能够使可动板稳定地变位。

本发明的光扫描仪，优选上述4个变位赋予部的上述永磁铁分别贯通上述驱动部而设置。

由此，能够使可动板稳定地变位。

本发明的图像形成装置的特征在于具备光扫描仪，该光扫描仪具有：具备光反射部的可动板，其中光反射部具有光反射性；支承上述可动板的支承部；将上述可动板和上述支承部连结起来的4个连结部，在上述可动板的俯视图中，上述4个连结部在上述可动板的外周沿着周方向以90度间隔设置，各上述连结部具有：与上述可动板分离地配置且能相对于上述支承部转动的驱动部；和将上述可动板与上述驱动部连结起来的轴部，各上述连结部的上述轴部构成为：通过上述驱动部的转动，各上述连接部的上述轴部在与上述可动板离开的方向的中途在上述可动板的厚度方向弯折变形。

由此，能够独立地进行绕相互正交的2个轴中的一个轴的可动板的转动、和绕另一个轴的可动板的转动。因此，能够提供能使可动板绕相互正交的2个轴的各轴稳定地转动的图像形成装置。

附图说明

图1是表示本发明的光扫描仪第一实施方式的俯视图。

图2是图1所示的光扫描仪的剖视图(沿图1中的A-A线的剖视图)。

图3是图1所示的光扫描仪所具有的连结部的立体图。

图4是对图1所示的光扫描仪所具有的振动***统的制造方法进行说明的剖视图。

图5是对图1所示的光扫描仪所具有的振动***的制造方法进行说明的剖视图。

图6是对图1所示的光扫描仪所具有的变位构件进行说明的图。

图7是对图1所示的光扫描仪的驱动进行说明的图。

图8是对图1所示的光扫描仪的驱动进行说明的图。

图9是对图1所示的光扫描仪的驱动进行说明的图。

图10是对图1所示的光扫描仪的驱动进行说明的图。

图11是表示本发明的光扫描仪第二实施方式的俯视图。

图12是表示本发明的光扫描仪第三实施方式的俯视图。

图13是表示本发明的光扫描仪第四实施方式的立体图。

图14是表示本发明的光扫描仪第五实施方式的剖视图。

图15是表示本发明的光扫描仪第六实施方式的俯视图。

图16是图15所示的光扫描仪所具有的连结部的放大立体图。

图17是表示本发明的图像形成装置的概略的图。

图18是表示使用图17所示的图像形成装置进行描绘的一例的图。

符号说明

1…光扫描仪；11…振动***；12…基座；121…基部；122…框部；2、2D…可动板；21…上表面；22…光反射部；23D……基部；24D…柱部；25D…光反射板；3…支承部；4、4C、5、6、7…连结部；41、51、61、71…驱动部；42、42C、52、62、72…第一轴部；421、421C、421E、521、521E、621、621E、721、721E…应力缓和部；4211、4212、5211、5212、6211、6212、7211、7212…变形部；4213、4213C、5213、6213、7213…非变形部；4214、4215、5214、5215、6214、6215、7214、7215…连接部；4211E…第一延伸部；4212E…第二延伸部；4213E…第三延伸部；4214E…第四延伸部；4215E…第五延伸部；4216E…第六延伸部；4217E…第七延伸部；422、522、622、722…可动板侧轴部；423、523、623、723…驱动部侧轴部；43、53、63、73…第二轴部；8…变位构件；81、81B…第一变位构件；82…第二变位构件；83…第三变位构件；84…第四变位构件；811、811B、821、831、841…永磁铁；812、812B、822、832、842…线圈；813、813B、823、833、843…电源；85、85A…线圈固定部；851…突出部；852A…主体部；100…SOI基板；110…第一Si层；120…SiO₂层；130…第二Si层；200…投影仪；210…光源装置；211…红色光源装置；212…蓝色光源装置；213…绿色光源装置；220…分色镜；250…固定反射镜；M1、M2…SiO₂膜；X1～X3、Y1～Y3…转动中心轴；X4、X5、Y4、Y5…中心轴。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的光扫描仪和图像形成装置的优选的实施方式进行说明。

<第一实施方式>

首先，对本发明的光扫描仪的第一实施方式进行说明。

图1是表示本发明的光扫描仪第一实施方式的俯视图，图2是图1所示的光扫描仪的剖视图(图1中A-A线剖视图)，图3是图1所示的光扫描仪所具有的连结部的立体图，图4和图5分别是对图1所示的光扫描仪所具有的振动***的制造方法进行说明的剖视图，图6是对图1所示的光扫描仪所具有的变位构件进行说明的图，图7、图8、图9和图10分别是对图1所示的光扫描仪的驱动进行说明的图。

另外，以下，为了说明的方便，将图1中的左侧称为“左”、将右侧称为“右”，将图2～图10中的上侧称为“上”、将下侧称为“下”。并且，如图1所示，将相互正交的3轴设为X轴、Y轴以及Z轴，非驱动状态的可动板的面与由X轴和Y轴形成的面一致(平行)，可动板的厚度方向与Z轴一致。并且，以下，将与X轴平行的方向称为“X轴方向”、将与Y轴平行的方向称为“Y轴方向”、将与Z轴平行的方向称为“Z轴方向”。

图1和图2所示的光扫描仪1具有：振动***11，该振动***11由可动板2、支承部3、以及4个连结部4、5、6、7构成，所述支承部3用于支承可动板2，所述4个连结部4、5、6、7用于连结可动板2和支承部3；基座12，该基座12用于支承振动***11；以及变位构件8，该变位构件8用于使可动板2变位。以下，依次对光扫描仪1的各结构进行详细说明。

1-1.振动***11

在本实施方式中，振动***11(即可动板2、支承部3以及4个连结部4、5、6、7)通过利用干蚀刻(dry etching)和湿蚀刻(wet etching)等各种蚀刻方法将SOI基板的不需要部位除去而一体地形成。另外，对于振动***11的制造方法在后面详细叙述。

支承部3具有支承可动板2的功能。这种支承部3形成为框状，且以包围可动板2的周围的方式设置。另外，作为支承部3的形状，只要能够支承可动板2即可，并无特殊限定，例如，也可以隔着可动板2以在X轴方向或者Y轴方向对置的方式设置有一对。

在支承部3的内侧设置有可动板2。可动板2形成为平板状，且在一方的面(与基座12相反侧的面)21形成有具有光反射性的光反射部22。光反射部22例如能够通过利用蒸镀等在面21上形成金、银、铝等的金属膜等而得到。

另外，在本实施方式中，可动板2的俯视形状形成为圆形，但是，作为可动板2的俯视形状，并无特殊限定，例如也可以是长方形、正方向等多边形、椭圆形等。

这种可动板2借助4个连结部4、5、6、7与支承部3连结。4个连结部4、5、6、7在可动板2的俯视图中沿着可动板2的周方向等间隔地、即以90度间隔配置。

进而，4个连结部4、5、6、7中的连结部4、6隔着可动板2在X轴方向对置、且相对于可动板2对称地形成，连结部5、7隔着可动板2在Y轴方向对置、且相对于可动板2对称地形成。通过利用这种连结部4、5、6、7支承可动板2，能够以稳定的状态支承可动板2。

4个连结部4、5、6、7相互形成为同样的结构。

具体地说，连结部(第一连结部)4具有：驱动部(驱动部)41；第一轴部42，该第一轴部42连结驱动部41和可动板2；以及一对第二轴部43，这一对第二轴部43连结驱动部41和支承部3。并且，连结部(第三连结部)5具有：驱动部51；第一轴部52，该第一轴部52连结驱动部51和可动板2；以及一对第二轴部53，这一对第二轴部53连结驱动部51和支承部3。并且，连结部(第二连结部)6具有：驱动部61；第一轴部62，该第一轴部62连结驱动部61和可动板2；以及一对第二轴部63，这一对第二轴部63连结驱动部61和支承部3。并且，连结部(第四连结部)7具有：驱动部71；第一轴部72，该第一轴部72连结驱动部71和可动板2；以及一对第二轴部73，这一对第二轴部73连结驱动部71和支承部3。另外，上述“同样的结构”是指构成连结部的要素相同。因此，外形形状不需要一致。

通过将各连结部4、5、6、7形成为这种结构，连结部的结构变得简单，并且，如后所述，能够使可动板2顺畅地进行绕转动中心轴X1、Y1的转动等。

以下，对连结部4、5、6、7进行具体说明，但是，由于连结部4、5、6、7的结构相互同样，因此以连结部4作为代表进行说明，省略对其他的连结部5、6、7的说明。另外，连结部5、7在可动板2的俯视图中配置成相对于连结部4旋转90度后的状态。因此，对于连结部5、7，能够通过将下述的连结部4的说明中的“Y轴方向”改成“X轴方向”、将“X轴方向”改成“Y轴方向”进行说明。

如图3所示，一对第二轴部43隔着驱动部41在Y轴方向对置配置，对驱动部41进行双支承。并且，一对第二轴部43分别形成为在Y轴方向延伸的棒状。并且，一对第二轴部43能够绕中心轴扭转变形。这种一对第二轴部43同轴地设置，在一对第二轴部43以该轴(以下也称为“转动中心轴Y2”)为中心扭转变形的同时，驱动部41转动。

驱动部41在X轴方向相对于可动板2离开设置。并且，如前面所述，驱动部41由一对第二轴部43双支承。在这种驱动部41形成有贯通孔411，永磁铁811插通并固定在该贯通孔中。永磁铁811例如通过嵌合(压入)或者借助粘接剂固定于驱动部41。永磁铁811是变位构件8的结构的一部分，因此在后面进行说明。

并且，在本实施方式中，驱动部41的俯视形状形成为以Y轴方向作为长边的长方形。通过将驱动部41形成为这种形状，能够确保固定永磁铁811的空间，并且能够抑制驱动部41的宽度(X轴方向的长度)。通过抑制驱动部41的宽度，能够抑制当驱动部41绕转动中心轴Y2转动时产生的惯性矩，驱动部41的响应性提高，能够更高速地转动。并且，当驱动部41的响应性提高时，能够抑制由于驱动部41的转动(特别是转动方向转换的反转时)而产生非本意的振动。因此，能够稳定地驱动光扫描仪1。

另外，作为驱动部41的俯视形状，并无特殊限定，例如可以是正方形或五边形以上的多边形，也可以是圆形。

这种驱动部41借助第一轴部42与可动板2连结。第一轴部42以整体在X轴方向延伸的方式设置。这种第一轴部42具有：应力缓和部421，该应力缓和部421设置在驱动部41与可动板2之间；可动板侧轴部422，该可动板侧轴部422用于连结应力缓和部421和可动板2；以及驱动部侧轴部(驱动部侧轴部)423，该驱动部侧轴部423用于连结应力缓和部421和驱动部41。

可动板侧轴部422和驱动部侧轴部423分别呈在X轴方向延伸的棒状。并且，可动板侧轴部422和驱动部侧轴部423同轴地设置。

这两个轴部中的驱动部侧轴部423优选设定成当光扫描仪1的驱动时不会产生大的变形的硬度，更加优选设定成实质上不会变形的硬度。与此相对，可动板侧轴部422能够绕其中心轴扭转变形。这样，第一轴部42具有实质上不变形的硬部分以及位于该硬部分的前端侧的可扭转变形的部位，由此，如后所述，能够使可动板2绕X轴和Y轴的各轴稳定地转动。另外，上述“不变形”是指实质上不会产生朝向Z轴方向的弯折或者弯曲以及绕中心轴的扭转变形。

这种可动板侧轴部422和驱动部侧轴部423经由应力缓和部421连结。应力缓和部421具有以下功能：作为第一轴部42弯折变形时的节部的功能；以及缓和(吸收)通过可动板侧轴部422的扭转变形产生的扭矩，防止或者抑制上述扭矩传递到驱动部侧轴部423。

如图3所示，应力缓和部421具有：一对变形部4211、4212；非变形部4213，该非变形部4213设置在一对变形部4211、4212之间；用于将变形部4211连接于非变形部4213的一对连接部4214；以及用于将变形部4212连接于非变形部4213的一对连接部4215。

非变形部4213呈在Y轴方向延伸的棒状。这种非变形部4213设定成当光扫描仪1的驱动时实质上不会变形的硬度。由此，如后所述，能够使第一轴部42以非变形部4213的中心轴Y4为中心弯折，能够使应力缓和部421可靠地发挥作为节部的功能，能够稳定地驱动光扫描仪1。

一对变形部4211、4212相对于这种非变形部4213对称地配置。变形部4211、4212分别呈在Y轴方向延伸的棒状。并且，变形部4211、4212相互在X轴方向离开而并列设置。这种变形部4211、4212分别能够绕其中心轴扭转变形。

位于可动板2侧的变形部4211在其长度方向的大致中央与可动板侧轴部422的一端连结，并且，在其两端部借助一对连接部4214与非变形部4213连结。同样，位于驱动部41侧的变形部4212在其长度方向的大致中央与驱动部侧轴部423的一端连结，并且，在其两端部借助一对连接部4215与非变形部4213连结。

一对连接部4214中的一个连接部将变形部4211和非变形部4213的一端部彼此连结在一起，另一个连接部将变形部4211和非变形部4213的另一端部彼此连结在一起。并且，一对连接部4215中的一个连接部将变形部4212和非变形部4213的一端部彼此连结在一起，另一个连接部将变形部4212和非变形部4213的另一端彼此连结在一起。

这种各连接部4214、4215呈在X轴方向延伸的棒状。并且，各连接部4214、4215能够在Z轴方向弯曲、且能够绕其中心轴扭转变形。

以上对振动***11的结构进行了具体说明。

如前面所述，这种结构的振动***11由SOI基板一体地形成。由此，振动***11的形成变得容易。具体地说，如前面所述，在振动***11共存有积极地变形的部位和不变形(难以变形)的部位。另一方面，SOI基板是通过按照顺序层叠第一Si层、SiO₂层、以及第二Si层而成的基板。此处，通过利用上述3个层的所有层构成不变形的部位、且仅利用第二Si层构成积极地变形的部位，即、使SOI基板的厚度不同，由此，能够简单地形成共存有变形部位和不变形部位的振动***11。另外，积极地变形的部位也可以由第二Si层和SiO₂层这2层构成。

在上述“变形的部位”中包括第二轴部43、53、63、73、可动板侧轴部422、522、622、722、变形部4211、4212、5211、5212、6211、6212、7211、7212、以及连接部4214、4215、5214、5215、6214、6215、7214、7215。

在上述“不变形的部位”中包括可动板2、支承部3、驱动部41、51、61、71、驱动部侧轴部423、523、623、723、以及非变形部4213、5213、6213、7213。

以下，根据图4和图5对振动***11的制造方法的一例进行简单说明。另外，图4和图5分别是与沿着图1的A-A线的剖视图对应的剖视图。并且，振动***11的制造方法并不限定于此。

首先，如图4(a)所示，准备按照第一Si层110、SiO₂层120、第二Si层130的顺序从上侧层叠而成的SOI基板(硅基板)100。

接着，如图4(b)所示，在SOI基板100的两面形成SiO₂膜M1、M2。接着，如图4(c)所示，通过对SiO₂膜M2进行蚀刻而形成可动板2、支承部3、以及连结部4、5、6、7的俯视形状的图案，同时，通过对SiO₂膜M1进行蚀刻而形成与可动板2、支承部3、驱动部41、51、61、71、驱动部侧轴部423、523、623、723、以及非变形部4213、5213、6213、7213对应的形状的图案。

接着，如图5(a)所示，经由SiO₂膜M1对SOI基板100进行蚀刻。此时，作为SOI基板100的中间层的SiO₂层120作为上述蚀刻的停止层发挥功能。在该蚀刻结束之后，此次经由SiO₂膜M2对SOI基板100进行蚀刻。此时，作为SOI基板100的中间层的SiO₂层120作为上述蚀刻的停止层发挥功能。

另外，作为蚀刻方法，并无特殊限定，例如能够使用等离子蚀刻、反应离子蚀刻、电子束蚀刻、光辅助蚀刻等物理蚀刻方法、湿蚀刻等化学蚀刻方法中的1种方法，或者组合使用2种以上的方法。另外，在以下的各工序中的蚀刻中也能够使用同样的方法。

接着，如图5(b)所示，通过利用BFH(Buffered Hydrogen Fluoride：缓冲氢氟酸)等将SiO₂膜M1、M2以及SiO₂层120的露出的部分蚀刻除去而加工出可动板2、支承部3、以及连结部4、5、6、7的外形形状。

而且，如图5(c)所示，在可动板2的上表面21形成金属膜，从而形成光反射部22。作为金属膜(光反射部22)的形成方法，能够举出真空蒸镀、溅射(低温溅射)、离子镀等干镀法、电解电镀、非电解电镀等湿镀法、喷镀法、金属箔的接合等。

由此能够获得振动***11。

1-2.基座12

如图2所示，基座12具有平板状的基部121和沿基部121的边缘部设置的框部122，且形成为箱状(斗状)。这种基座12利用框部122与振动***11的支承部3的下表面接合。由此，利用基座12支承振动***11。这种基座12例如以玻璃或硅作为主材料构成。另外，作为基座12与支承部3的接合方法，并无特殊限定，例如可以使用粘接剂进行接合，也可以使用阳极接合等各种接合方法。

1-3.变位构件8

如图1所示，变位构件8具有：第一变位构件81，该第一变位构件81具有永磁铁811、线圈812、以及电源813；第二变位构件82，该第二变位构件82具有永磁铁821、线圈822、以及电源823；第三变位构件83，该第三变位构件83具有永磁铁831、线圈832、以及电源833；以及第四变位构件84，该第四变位构件84具有永磁铁841、线圈842、以及电源843。

进而，第一变位构件81与连结部4对应地设置，第二变位构件82与连结部5对应地设置，第三变位构件83与连结部6对应的设置，第四变位构件84与连结部7对应地设置。

根据这种结构，变位构件8的结构变得简单。并且，通过将变位构件8形成为电磁驱动，能够产生比较大的力，能够使可动板2更可靠地转动。并且，由于在各连结部4、5、6、7均设置有1个变位构件，因此能够使各连结部4、5、6、7独立地变形。因此，如后所述，能够使可动板2以各种各样的图案变位。

以下，对第一变位构件81、第二变位构件82、第三变位构件83、以及第四变位构件84进行说明，但是，由于上述变位构件分别为同样的结构，因此，以下，以第一变位构件81作为代表进行说明，省略对第二变位构件82、第三变位构件83、以及第四变位构件84的说明。另外，第二变位构件82和第四变位构件84在可动板2的俯视图中配置成相对于第一变位构件81旋转90度的状态。因此，对于第二变位构件82和第四变位构件84，能够将下述的第一变位构件81的说明中的“Y轴方向”改成“X轴方向”、将“X轴方向”改成“Y轴方向”进行说明。

如图6所示，永磁铁811形成为棒状，且沿长度方向被磁化。即，永磁铁811的长度方向的一端侧为S极、另一端侧为N极。这种永磁铁811插通在形成于驱动部41的贯通孔411，且在长度方向的大致中央被固定于驱动部41。进而，永磁铁811在驱动部41的上方和下方突出相同的长度，且S极和N极隔着驱动部41(转动中心轴Y2)对置。由此，如后所述，能够使可动板2稳定地变位。

并且，永磁铁811以长度方向与驱动部41的面方向正交的方式设置。并且，永磁铁811以中心轴与转动中心轴Y2交叉的方式设置。

作为这种永磁铁811，并无特殊限定，例如能够适当地使用钕磁铁、铁氧体磁铁、钐钴磁铁、铝铁镍钴磁铁、粘结磁铁(bond magnet)等对硬磁体进行磁化而成的磁铁。

另外，在本实施方式中，永磁铁811形成为棒状，但是，作为永磁铁的形状，并无特殊限定，例如也可以形成为板状。在该情况下，只要使永磁铁811在面方向磁化，并以面方向与X轴方向正交的方式固定于驱动部41即可。由此，能够缩短永磁铁811的X轴方向长度，因此能够抑制伴随着驱动部41的转动产生的惯性矩。

线圈812产生作用于永磁铁811的磁场。这种线圈812在振动***11的外侧附近以在X轴方向与永磁铁811对置的方式配置。并且，线圈812以能够产生X轴方向的磁场的方式设置，即以能够产生线圈812的永磁铁811侧为N极且相反侧为S极的状态和线圈812的永磁铁811侧为S极且相反侧为N极的状态的方式设置。

本实施方式的光扫描仪1在振动***11的外侧具有与基座12固定设置的线圈固定部85。线圈812卷绕于该线圈固定部85所具有的沿X轴方向延伸的突出部851。通过形成为这种结构，能够使线圈812相对于振动***11固定，并且，能够简单地产生如前面所述的磁场。并且，通过利用铁等软磁体构成突出部851，能够将突出部851用作线圈812的磁芯，能够更高效地产生如前面所述的磁场。

电源813与线圈812电连接。进而，通过从电源813对线圈812施加期望的电压，能够从线圈812产生如前面所述的磁场。在本实施方式中，电源813能够选择施加交变电压和直流电压。并且，当施加交变电压时，能够变更交变电压的强度、频率，进一步，能够重叠偏置电压(直流电压)。

2.光扫描仪1的动作

接着，对光扫描仪的动作进行说明。

在如上述那样构成的光扫描仪1中，能够选择使可动板2转动的图案(pattern)、使可动板2振动的图案和使可动板2静止在预定位置的图案。由此，光扫描仪1能够以多种图案进行驱动，是通过如后所那样使各连结部4、5、6、7的第一轴部42、52、62、72弯折变形而获得的效果。

以下，对上述三个图案依次进行说明。另外，以下，为了便于说明而以永磁铁811、821、831、841全部将N极配置在上侧的构成为代表进行说明。

2-1.转动

<绕Y轴的转动>

结合图7对可动板2绕Y轴的转动进行说明。另外，图7是与图1中A-A线剖视图对应的剖视图。

首先，以第一状态和第二状态交替地周期性地转换的方式从电源813、833对线圈812、832施加交变电压，在第一状态下，线圈812的永磁铁811侧为N极、线圈832的永磁铁831侧为S极，在第二状态下，线圈812的永磁铁811侧为S极、线圈832的永磁铁831侧为N极。优选从电源813、833对线圈812、832施加的交变电压相互为相同的波形(强度和频率相同)。

在图7(a)所示的第一状态下，永磁铁811的S极被向线圈812吸引、同时N极远离线圈812，因此，一对第二轴部43扭转变形，并且，驱动部41以上表面朝向可动板2侧的方式绕转动中心轴Y2倾斜。与此同时，永磁铁831的N极被向线圈832吸引、同时S极远离线圈832，因此，一对第二轴部63扭转变形，并且，驱动部61以下表面朝向可动板2侧的方式绕转动中心轴Y3倾斜。即、驱动部41、61都朝图7(a)中的顺时针方向倾斜。

在该驱动部41、61倾斜的同时，驱动部侧轴部423以位于可动板2侧的端部朝向下侧的方式倾斜，驱动部侧轴部623以位于可动板2侧的端部朝向上侧的方式倾斜。由此，成为驱动部侧轴部423、623的位于可动板2侧的端部彼此在Z轴方向偏移的状态。

进而，通过驱动部侧轴部423、623的位于可动板2侧的端部彼此在Z轴方向偏移，一边使扭转变形部4211、4212、6211、6212绕其中心轴扭转变形并使各连接部4214、4215、6214、6215弯曲变形，一边使可动板侧轴部422、622以及可动板2一体地朝图7(a)中的逆时针方向倾斜。

这样，在第一状态下，连结部4的第一轴部42在位于其中途的应力缓和部421以呈朝下侧凸出的V字状的方式弯折变形(第一变形)，同时，连结部6的第一轴部62在位于其中途的节部621以呈朝上侧凸出的V字状的方式弯折变形(第二变形)，由此，可动板2以转动中心轴Y1为中心朝图7(a)中的逆时针方向倾斜。

另一方面，在图7(b)所示的第二状态下，会产生与前面所述的第一状态相反的变形。即，在第二状态下，连结部4的第一轴部42在应力缓和部421以呈朝上侧凸出的V字状的方式弯折变形(第二变形)，同时，连结部6的第一轴部62在应力缓和部621以呈朝下侧凸出的V字状的方式弯折变形(第一变形)，由此，可动板2以转动中心轴Y1为中心朝图7(b)中的逆时针方向倾斜。

通过交替地周期性地切换上述的第一状态和第二状态，能够使可动板2绕转动中心轴Y1转动。另外，通过连结部5、7所具有的可动板侧轴部522、722的绕其中心轴的扭转变形，允许可动板2的绕转动中心轴Y1的转动。

另外，作为对线圈812、832施加的交变电压的频率，并无特殊限定，可以与由可动板2和连结部4、5、6、7构成的振动***的共振频率相等也可以不同，优选与上述共振频率不同。即，优选以非共振方式驱动光扫描仪1。由此，能够实现光扫描仪1的更稳定的驱动。

<绕X轴的转动>

接着，根据图8对可动板2的绕X轴的转动进行说明。另外，图8是与沿着图1中的B-B线的剖视图对应的剖视图。

首先，以第一状态和第二状态交替地周期性地转换的方式从电源823、843对线圈822、842施加交变电压，在第一状态下，线圈822的永磁铁821侧为N极、线圈842的永磁铁841侧为S极，在第二状态下，线圈822的永磁铁821侧为S极、线圈842的永磁铁841侧为N极。优选从电源823、843对线圈822、842施加的交变电压相互为相同的波形(强度和频率相同)。

与上述的可动板2的绕转动中心轴Y1的转动同样，在图8(a)所示的状态下，连结部5的第一轴部52在位于其中途的应力缓和部521以呈朝下侧凸出的V字状的方式弯折变形(第一变形)，同时，连结部7的第一轴部72在位于其中途的应力缓和部721以呈朝上侧凸出的V字状的方式弯折变形(第二变形)，由此，可动板2以转动中心轴X1为中心朝图8(a)中的逆时针方向倾斜。

另一方面，图8(b)所示的第二状态下，产生与上述的第一状态相反的变形。即，在第二状态下，连结部5的第一轴部52在应力缓和部521以呈朝上侧凸出的V字状的方式弯折变形(第二变形)，同时，连结部7的第一轴部72在应力缓和部721以呈朝下侧凸出的V字状的方式弯折变形(第一变形)，由此，可动板2以转动中心轴X1为中心朝图8(b)中的逆时针方向倾斜。

通过交替地周期性地切换上述的第一状态和第二状态，能够使可动板2绕转动中心轴X1转动。另外，通过连结部4、6所具有的可动板侧轴部422、622的绕其中心轴的扭转变形，允许可动板2的绕转动中心轴X1的转动。

另外，作为对线圈822、842施加的交变电压的频率，并无特殊限定，可以与由可动板2和连结部4、5、6、7构成的振动***的共振频率相等也可以不同，优选与上述共振频率不同。即，优选以非共振方式驱动光扫描仪1。由此，能够实现光扫描仪1的更稳定的驱动。

<绕X轴和Y轴的各轴的转动>

通过同时地进行如前面所述的绕X轴的转动和绕Y轴的转动，能够使可动板2绕转动中心轴Y1和转动中心轴X1的各轴二维地转动。如前面所述，通过可动板侧轴部522、722绕其中心轴扭转变形，允许可动板2的绕转动中心轴Y1的转动，通过可动板侧轴部422、622绕其中心轴扭转变形，允许可动板2的绕转动中心轴X1的转动。

在上述的绕X轴的转动、绕Y轴的转动和绕上述2轴的转动中，对施加于线圈812、822、832、842的交流电压的频率没有特别限定，可以与由可动板2和连结部4、5、6、7构成的振动***的共振频率相等或不同，但是优选与上述共振频率不同。即、优选以非共振的方式驱动光扫描仪1。由此，能够更加稳定地驱动光扫描仪1。

并且，为了使可动板2绕转动中心轴Y1转动而对线圈812、832施加的交变电压的频率与为了使可动板2绕转动中心轴X1转动而对线圈822、842施加的交变电压的频率可以相等也可以不同。例如，在想要使可动板2绕转动中心轴X1比绕转动中心轴Y1更快地转动的情况下，可以将对线圈812、832施加的交变电压的频率设定的比对线圈822、842施加的交变电压的频率高。

并且，对线圈812、832施加的交变电压的强度和对线圈822、842施加的交变电压的强度可以相等也可以不同。例如，在想要使可动板2绕转动中心轴X1比绕转动中心轴Y1更大幅度地转动的情况下，可以使对线圈812、832施加的交变电压的强度比对线圈822、842施加的交变电压的强度强。

上面说明了对线圈812、822、832、842施加交变电压的驱动方法，但是，也可以利用下面的驱动方法使可动板2转动。即，可以对从电源813、823、833、843对线圈812、822、832、842施加的交变电压重叠(+)或者(-)的偏置电压(直流电压)。换言之，可以使永磁铁811、821、831、841的N极被向线圈812、822、832、842吸引的强度(以下仅称为“N极吸引强度”)和永磁铁811、821、831、841的S极被向线圈812、822、832、842吸引的强度(以下仅称为“S极吸引强度”)不同。

以下进行具体说明，将前面所述的N极吸引强度和S极吸引强度相等的状态称为“通常状态”。

在线圈812、822、832、842的S极吸引强度比N极吸引强度大的情况下，与通常状态相比较，驱动部41、51、61、71的转动的上死点和下死点(转动方向转换的点)分别朝上侧移动。结果，如图9所示，可动板2的转动中心轴X1、Y1比通常状态朝上侧移动。相反，在线圈812、822、832、842的S极吸引强度比N极吸引强度弱的情况下，与通常状态相比较，驱动部41、51、61、71的转动的上死点和下死点分别朝下侧移动。结果，可动板2的转动中心轴X1、Y1比通常状态朝下侧移动。

由此，通过对从电源813、823、833、843施加于线圈812、822、832、842的交流电压重叠偏移电压，能够使可动板2的转动中心轴X1、Y1在Z轴方向上偏移。由此，例如在光扫描仪1组入投影仪等图像形成装置的情况下，即使在组入图像形成装置之后，也能调整从光源射出的光到可动板2的光路长度。即、在组装图像形成装置时精确地进行了光源与可动板2的定位但光源与可动板2的位置相对于设定值发生偏移的情况下，也能够在组装之后修正光源与可动板2的位置。

2-2.振动

首先，以第一状态和第二状态交替地周期性地转换的方式从电源813、823、833、843对线圈812、822、832、842施加交变电压，在第一状态下，线圈812、822、832、842的永磁铁811、821、831、841侧分别为N极，在第二状态下，线圈812、822、832、842的永磁铁811、821、831、841侧分别为S极。优选从电源813、823、833、843对线圈812、822、832、842施加的交变电压相互为相同的波形。

在图10(a)所示的第一状态下，与前面所述的转动的情况同样，驱动部41、51、61、71分别以上表面朝向可动板2侧的方式绕转动中心轴Y2、X2、Y3、X3倾斜。伴随着驱动部41、51、61、71的这种倾斜，驱动部侧轴部423、523、623、723分别以可动板2侧的端部朝向下侧的位置的方式倾斜。由此，第一轴部42、52、62、72在应力缓和部421、521、621、721弯折，可动板侧轴部422、522、622、722和可动板2一体地且在将可动板2的姿态(即面方向)保持为一定的姿态的状态下朝下侧移动。

另一方面，在图10(b)所示的第二状态下，驱动部41、51、61、71分别以下表面朝向可动板2侧的方式绕转动中心轴Y2、X2、Y3、X3倾斜。伴随着驱动部41、51、61、71的这种倾斜，驱动部侧轴部423、523、623、723分别以可动板2侧的端部朝向上侧的方式倾斜。由此，第一轴部42、52、62、72在应力缓和部421、521、621、721弯折，可动板侧轴部422、522、622、722和可动板2一体地且在将可动板2的姿态保持为一定的姿态的状态下朝上侧移动。

通过交替地转换这种第一状态和第二状态，能够使可动板2在保持其姿态的同时、即保持光反射部22的表面与X-Y平面平行的同时在Z轴方向振动。

另外，作为对线圈812、822、832、842施加的交变电压的频率并无特殊限定，可以与由可动板2和连结部4、5、6、7构成的振动***的共振频率相等也可以不同，优选与上述共振频率相等。即，优选以共振方式驱动光扫描仪1。由此，能够实现光扫描仪1的更稳定的驱动。

即便是这种振动图案，与前面所述的转动图案同样，也能够通过对施加于线圈812、822、832、842的交变电压重叠偏置电压而使其从自然状态在Z轴方向移动而使可动板2振动。

2-3.静止图案

例如，以形成线圈812、822、832、842的永磁铁811、821、831、841侧分别为N极的状态的方式从电源813、823、833、843对线圈812、822、832、842施加直流电压。优选从813、823、833、843对线圈812、822、832、842施加的直流电压相互为相同的强度。当对线圈812、822、832、842施加这种电压时，可动板2在如图10(a)所示的状态静止。

相反，当以形成线圈812、822、832、842的永磁铁811、821、831、841侧分别为S极的状态的方式从电源813、823、833、843对线圈812、822、832、842施加直流电压时，可动板2在如图10(b)所示的状态静止。

这样，能够将可动板2维持在与自然状态不同的位置。根据上述的驱动，例如能够使由光反射部22反射的光的光路相对于自然状态时发生偏移，例如将光扫描仪1作为光开关使用时尤为有效。

此外，例如在将光扫描仪1组入投影仪等图像形成装置的情况下，当由于从光源射出异常的激光等原因而必须停止向装置外部射出激光时，通过使可动板2退避到与自然状态不同的位置(不与激光的光路交叉的位置)，来避免激光被光反射部22反射。由此，能够避免向装置外部射出激光。此外，可以使可动板2变位来改变由光反射部22反射的激光的光路，从而避免向装置外部射出激光。由此，可以不用另外组入用于解决上述问题的安全机构，图像形成装置的制造工序得到简化，并且能够消减制造成本。

通过应用上述的可动板2的静止驱动，使施加于线圈812、822、832、842的直流电压的强度彼此不同，从而能够将可动板2维持在相对于自然状态倾斜的状态。此外，通过使施加于线圈812、822、832、842的直流电压的强度分别独立且随时间推移而变化，能够使可动板2连续地或者阶段性地不规则地变位。这样的驱动方法例如在对由光反射部22反射的光进行矢量扫描时尤为有效。

以上，详细地说明了光扫描仪1的驱动。

在这种光扫描仪1中，能够以相同的机构进行可动板2的绕转动中心轴Y1的转动和绕转动中心轴X1的转动。并且，在光扫描仪1中，能够独立地进行可动板2的绕转动中心轴Y1的转动和绕转动中心轴X1的转动。即、在光扫描仪1中，绕转动中心轴Y1的转动不会受绕转动中心轴X1的转动的影响，相反，绕转动中心轴X1的转动也不会受绕转动中心轴Y1的转动的影响。因此，根据光扫描仪1，能够使可动板2绕转动中心轴Y1和转动中心轴X1的各轴稳定地转动。

并且，如前面所述，在光扫描仪1中，通过可动板侧轴部522、722绕其中心轴扭转变形，允许可动板2的绕转动中心轴Y1的转动，通过可动板侧轴部422、622绕其中心轴扭转变形，允许可动板2的绕转动中心轴X1的转动。这样，由于各连结部4、5、6、7具有能够绕中心轴扭转变形的可动板侧轴部422、522、622、722，因此能够使可动板2绕转动中心轴Y1、X1的各轴顺畅地转动。

进一步，在光扫描仪1中，由于可动板侧轴部422、522、622、722直接与可动板2连结，因此能够更顺畅地使可动板2绕转动中心轴Y1、X1的各轴转动、或者朝Z轴方向振动。

并且，在光扫描仪1中，在连结部4中，如前面所述，在扭转变形的可动板侧轴部422和不想使其变形的驱动部侧轴部423之间设置有应力缓和部421。因此，由上述的扭转变形而产生的应力通过应力缓和部421的变形部4211、4212或连接部4214、4215变形而被吸收/缓和，不会传递到驱动部侧轴部423。即，通过设置应力缓和部421，能够可靠地防止在可动板2的转动中驱动部侧轴部423绕其中心轴扭转变形。该情况对于连结部4以外的其他的连接部5、6、7也同样。因此，能够使可动板2绕转动中心轴Y1、X1的各轴顺畅地转动。

进一步，能够有效地防止各驱动部侧轴部423、523、623、723的破坏。即，从技术上可以清楚，在棒状的部件中，从产生绕中心轴的扭转变形的状态施加Z轴方向的应力时的破坏强度比从自然状态施加Z轴方向的应力时的破坏强度低。因此，如上所述，通过设置应力缓和部421、521、621、721而使驱动部侧轴部423、523、623、723不产生扭转变形，能够有效地防止驱动部侧轴部423、523、623、723的破坏。

并且，在连结部4中，由于驱动部侧轴部423实质上并不变形，因此能够高效地将通过驱动部41的转动产生的应力用于可动板2的转动。该情况对于连结部5、6、7也同样。因此，能够使可动板2以大的转动角度且节省电力地转动、或者使可动板2以大的振幅在Z轴方向振动。

并且，在连结部4中，由于应力缓和部421具有非变形部4213，因此，能够使第一轴部42以该非变形部4213为轴弯折。该情况对于连结部5、6、7也同样。因此，能够使各连结部4、5、6、7的第一轴部42、52、62、72简单且可靠地弯折，能够使可动板2稳定地转动、振动。

并且，在连结部4中，应力缓和部421具有与可动板侧轴部422连结的变形部4211和与驱动部侧轴部423连结的变形部4212，当第一轴部42弯折时，变形部4211、4212绕其中心轴扭转变形，由此，能够有效地缓和由于弯折而产生的应力。该情况对于连结部5、6、7也同样。因此，能够可靠地使各连结部4、5、6、7的第一轴部42、52、62、72弯折，并且，能够防止第一轴部42、52、62、72的破坏。即，能够稳定地驱动光扫描仪1。

此外，在连结部4中，由于应力缓和部421具有一对变形部4211、4212，因此能够发挥如下的效果。即，例如，通过变形部4211、4212变形，能够允许由通过通电从线圈812产生的热或照射在光反射部22的光产生的热等引起的可动板侧轴部422和驱动部侧轴部423的热膨胀。该情况对于连结部5、6、7也同样。因此，光扫描仪1能够防止或者抑制应力残留于振动***11，能够不受温度影响地发挥期望的振动特性。

此处，返回对光扫描仪1的结构的说明，对于连结部4、6，当将转动中心轴Y1与非变形部4213的中心轴Y4之间的间隔距离以及转动中心轴Y1与非变形部6213的中心轴Y5之间的间隔距离分别设为L1、将中心轴Y4与转动中心轴Y2之间的间隔距离以及中心轴Y5与转动中心轴Y3之间的间隔距离设为L2时，L1与L2的大小关系并无特殊限定，可以满足L1＞L2的关系，也可以满足L1＝L2的关系，也可以满足L1＜L2的关系。

在L1＝L2的情况下，当使可动板2绕转动中心轴Y1转动时、即第一轴部42弯折时的可动板侧轴部422相对于X轴的倾斜和驱动部侧轴部423相对于X轴的倾斜相等。因此，在该情况下，在应力缓和部421的一对变形部4211、4212施加有大致相等的扭矩。并且，驱动部41的转动角和可动板2的转动角大致相等。该情况对于连结部6的第一轴部62也同样。因此，能够更高效地使第一轴部42、62弯折。并且，由于容易进行可动板2的转动角的控制，因此能够使可动板2绕转动中心轴Y1稳定地转动等。

并且，如前面所述，在L1＝L2的情况下，在变形部4211、4212施加有大致相等的扭矩，因此，优选构成为变形部4211、4212相互显示相同的形状、且显示相同的物理特性(扭转变形的容易度)。由此，能够防止在变形部4211、4212中的某一方产生过度的扭转、或者与此相反某一方的扭转不足，能够使第一轴部42顺畅地弯折。该情况对于连结部6也同样。

在L1＞L2的情况下，与L1＝L2的情况相比较，可动板2的转动角变小，但是能够更高精度地对可动板2的姿态进行控制。即，在该情况下，第一轴部42弯折时的可动板侧轴部422相对于X轴的倾斜比驱动部侧轴部423相对于X轴的倾斜小。该情况对于连结部6也同样。因此，可动板2的转动角比驱动部41、61的转动角小。由此，能够高精度地对可动板2的转动角或静止时的倾斜进行控制。

并且，如前面所述，在L1＞L2的情况下，第一轴部42弯折时的驱动部侧轴部423相对于X轴的倾斜比可动板侧轴部422相对于X轴的倾斜大，因此施加于变形部4212的扭矩比施加于变形部4211的扭矩大。因此，在该情况下，优选构成为变形部4212比变形部4211容易扭转变形。具体地说，例如优选使变形部4212的宽度比扭转变形部4211的宽度细。这是因为，如前面所述，连结部4通过在SOI基板100的厚度方向对SOI基板100进行蚀刻而形成，因此能够简单且无需增加工序地对与SOI基板100的面方向一致的宽度的控制。该情况对于连结部6也同样。

在L1＜L2的情况下，与L1＝L2的情况相比较，能够增大可动板2的转动角。即、在该情况下，第一轴部42弯折时的可动板侧轴部422相对于X轴的倾斜比驱动部侧轴部423相对于X轴的倾斜大。该情况对于连结部6也同样。因此，能够使可动板2的转动角比驱动部41、61的转动角大。由此，能够增大可动板2的转动角或静止时的倾斜。

并且，在L1＜L2的情况下，与L1＞L2的情况相反，优选构成为变形部4211比变形部4212容易扭转变形。该情况对于连结部6也同样。

以上对连结部4、6进行了说明，但是，对于连结部5、7也可以说是同样的情况。即，当设转动中心轴X1与非变形部5213的中心轴X4之间的间隔距离以及转动中心轴X1与非变形部7213的中心轴X5之间的间隔距离分别为L3、设中心轴X4与转动中心轴X2之间的间隔距离和中心轴X5与转动中心轴X3之间的间隔距离分别为L4时，L3和L4的大小关系并无特殊限定，可以满足L3＞L4的关系，也可以满足L3＝L4的关系，也可以满足L3＜L4的关系。另外，L3＞L4、L3＝L4、以及L3＜L4的情况下的效果分别与上述的L1＞L2、L1＝L2、以及L1＜L2的情况下的效果同样，因此省略说明。

L1、L2的关系和L3、L4的关系可以一致，也可以不一致。即，可以是L1＝L2且L3＝L4、L1＞L2且L3＞L4、L1＜L2且L3＜L4，也可以是L1＝L2且L3＞L4、L1＞L2且L3＝L4、L1＞L2且L3＜L4等。并且，L1和L3以及L2和L4也可以分别相等或者不同。

这样，在光扫描仪1中，通过使L1、L2、L3、L4的长度或关系变化，能够发挥不同的效果。因此，光扫描仪1具有优异的便利性。另外，L1、L2、L3、L4的长度或关系可以根据光扫描仪1的使用用途(所谋求的特性)适当设定。

<第二实施方式>

接着，对本发明的光扫描仪第二实施方式进行说明。

图11是表示本发明的光扫描仪第二实施方式的俯视图。

以下，以与前述的实施方式的光扫描仪的不同点为中心，对第二实施方式光扫描仪进行说明，针对同样的事项则省略说明。

第二实施方式的光扫描仪除了线圈固定部的构成不同以外，其他与第一实施方式的光扫描仪1大致相同。另外，对与前述的第一实施方式同样的构成标记相同符号。

在本实施方式的光扫描仪1中，线圈固定部85A具有以包围线圈812和永磁铁811的方式(使与第一轴部42相应的部分缺损)形成的主体部852A。这种主体部852A使从线圈812产生的磁力作用于永磁铁811，并防止或者抑制从线圈812产生的磁力漏出至线圈固定部85A的外侧。即，主体部852A具有防磁性。由此，例如能够防止从线圈812产生的磁场作用于相反侧的永磁铁821、831、841，能够稳定地驱动光扫描仪1。

主体部852A的结构只要能够发挥前面所述的效果即可，并无特殊限定，例如，可以由防磁性的材料构成，也可以在表面涂敷防磁性的涂料。

另外，用于固定线圈822、832、842的未图示的线圈固定部也是与线圈固定部85A同样的结构。

根据这种第二实施方式，能够发挥与第一实施方式同样的效果。

<第三实施方式>

接着，对本发明的光扫描仪的第三实施方式进行说明。

图12是表示本发明的光扫描仪的第三实施方式的俯视图。

以下，以与前述的实施方式的光扫描仪的不同点为中心，对第三实施方式的光扫描仪进行说明，针对同样的事项则省略说明。

第三实施方式的光扫描仪除了变位构件的构成不同以外，其他与前述的光扫描仪大致同样。另外，在本实施方式中，变位构件所具有的第一变位构件、第二变位构件、第三变位构件和第四变位构件的构成彼此相同，因而以第一变位构件为代表进行说明，针对第二变位构件、第三变位构件和第四变位构件则省略说明。此外，对与前述的第一实施方式同样的构成标记相同符号。

如图12所示，第一变位构件81B具有永磁铁811B、线圈812B和电源813B。永磁铁811B呈平板状，固定于驱动部41的下表面(基座12侧的面)。此外，永磁铁811B在固定于驱动部41的状态下，设置成S极和N极相对于转动中心轴Y2对置。

线圈812B设置在永磁铁811B的下侧。该线圈812B能够通过从电源813B施加电压而产生X轴方向的磁场。进而，利用从线圈812B产生的磁场的作用吸引永磁铁811B的S极和N极中的一方，并使另一方远离线圈812B，由此能够使驱动部41绕转动中心轴Y2倾斜。

根据这种第三实施方式，能够发挥与第一实施方式同样的效果。

<第四实施方式>

接着，对本发明的光扫描仪的第四实施方式进行说明。

图13是表示本发明的光扫描仪的第四实施方式的立体图。

以下，以与前述的实施方式的光扫描仪的不同点为中心，对第四实施方式的光扫描仪进行说明，针对同样的事项则省略说明。

第四实施方式的光扫描仪除了各连结部的应力缓和部所具有的非变形部的构成不同以外，其他与前述的光扫描仪大致同样。另外，在本实施方式中，各连结部4、5、6、7中的非变形部的构成彼此相同，因而以连结部4为代表进行说明，针对连结部5、6、7则省略说明。此外，对与前述的第一实施方式同样的构成标记相同符号。

如图13所示，在连结部4C的应力缓和部421C设置有一对非变形部4213C。一对非变形部4213C相互在Y轴方向离开，且位于与Y轴平行的1条轴线上。在这种结构的连结部4C中，也能够使第一轴部42C以连结一对非变形部4213C的线段为轴局部地弯折。

根据上述的第四实施方式，能够发挥与第一实施方式同样的效果。

<第五实施方式>

接着，对本发明的光扫描仪的第五实施方式进行说明。

图14是表示本发明的光扫描仪的第五实施方式的剖视图。

以下，以与前述的实施方式的光扫描仪的不同点为中心，对第五实施方式的光扫描仪进行说明，针对同样的事项则省略说明。

第五实施方式的光扫描仪除了振动***的朝向和可动板的构成不同以外，其他与前述的光扫描仪大致同样。另外，对与前述的第一实施方式同样的构成标记相同符号。

如图14所示，在本实施方式中，振动***11的朝向与前面所述的实施方式相反。即，以在前面所述的实施方式中位于基座12侧的面在本实施方式中位于基座12的相反侧、在前面的实施方式中位于基座12的相反侧的面在本实施方式中位于基座12侧的方式设置。

此外，在本实施方式中，可动板2D具有与各连结部4、5、6、7连结的基部23D和经由柱部24D固定于基部23D的光反射板25D。在这种可动板2D中，光反射部22设置在光反射板25D的上表面。通过将可动板2形成为这种结构，能够防止光扫描仪1的大型化，并且能够增大光反射部22的面积。由此，能够利用光反射部22反射光束更粗的光。并且，能够使通过光反射部22处的光反射产生的热难以传递到各连结部4、5、6、7，能够抑制连结部4、5、6、7的热膨胀。从防止朝向各连结部4、5、6、7的热传递的观点出发，可以利用具有优异的绝热性的材料构成柱部24D。

另外，作为光反射板25D的形状和大小，只要不阻碍光扫描仪1的驱动即可，可以是任意的形状和大小，例如，优选为在X轴方向收纳在一对非变形部4213、6213之间、在Y轴方向收纳在一对非变形部5213、7213之间的形状和大小。由此，当各连结部4、5、6、7的第一轴部42、52、62、72弯折时，能够可靠地防止驱动部侧轴部423、523、623、723中的某一个与光反射板25D接触。

具体地说，作为光反射板25D的俯视形状，例如优选为直径比一对变形部4213、6213之间的间隔距离小的圆形。并且，优选为X轴方向的长度比一对非变形部4213、6213之间的间隔距离短、且Y轴方向的长度比一对非变形部5213、7213之间的间隔距离短的矩形。根据上述的第五实施方式，也能够发挥与第一实施方式同样的效果。

<第六实施方式>

接着，对本发明的光扫描仪的第六实施方式进行说明。

图15是表示本发明的光扫描仪的第六实施方式的俯视图，图16是图15所示的光扫描仪所具有的连结部的放大立体图。

以下，以与前述的实施方式的光扫描仪的不同点为中心，对第六实施方式的光扫描仪进行说明，针对同样的事项则省略说明。

第六实施方式的光扫描仪除了应力缓和部的构成不同以外，与前述的光扫描仪大致同样。另外，对与前述的第一实施方式同样的构成标记相同符号。

如图15所示，各连结部4、5、6、7所具有的应力缓和部421E、521E、621E、721E分别呈以在X轴方向和Y轴方向交替延伸的方式曲折的蜿蜒(meander)构造。这些应力缓和部421E、521E、621E、721E相互为同样的结构，因此，以下以应力缓和部421E为代表进行说明，省略对其他的应力缓和部521E、621E、721E的说明。

如图16所示，应力缓和部421E具有：第一延伸部4211E，该第一延伸部4211E与可动板侧轴部422连接，且在X轴方向延伸；第二延伸部4212E，该第二延伸部4212E从第一延伸部4211E的端部朝Y轴方向延伸；第三延伸部4213E，该第三延伸部4213E从第二延伸部4212E的端部朝X轴方向延伸；第四延伸部4214E，该第四延伸部4214E从第三延伸部4213E的端部朝Y轴方向延伸；第五延伸部4215E，该第五延伸部4215E从第四延伸部4214E的端部朝X轴方向延伸；第六延伸部4216E，该第六延伸部4216E从第五延伸部4215E的端部朝Y轴方向延伸；以及第七延伸部4217E，该第七延伸部4217E从第六延伸部4216E的端部朝X轴方向延伸，并与驱动部侧轴部423连接。

在X轴方向延伸的4个延伸部4211E、4213E、4215E、以及4217E中的第一延伸部4211E和第七延伸部4217E分别在XY俯视图中设置在转动中心轴X1上，第三延伸部4213E和第五延伸部4215E在XY俯视图(图15的俯视图)中相对于转动中心轴X1相互设置在相反侧。另外，优选第三延伸部4213E和第五延伸部4215E距离转动中心轴X1的间隔距离相互相等。

另一方面，在Y轴方向延伸的3个延伸部4212E、4214E、4216E中的第四延伸部4214E在XY俯视图中跨越转动中心轴X1设置，第二延伸部4212E和第六延伸部4216E在XY俯视图中相对于转动中心轴X1相互设置在相反侧。另外，优选这3个延伸部4212E、4214E、4216E在X轴方向以相等的间距排列。即，优选第二延伸部4212E与第四延伸部4214E之间的间隔距离和第四延伸部4214E与第六延伸部4216E之间的间隔距离相等。

以上说明了的7个延伸部4211E～4217E分别能够绕其中心轴扭转变形，并且能够弯曲变形。例如，这7个延伸部4211E～4217E分别由前面所述的第一实施方式的图4和图5中示出的第二SiO₂基板130构成。

在这种应力缓和部421E中，通过使各延伸部4211E～4217E进行扭转变形和弯曲变形中的至少一方的变形，能够使第一轴部42以第四延伸部4214E为轴弯折，并且，能够缓和由可动板侧轴部422的扭转变形产生的应力。

以上对应力缓和部421E进行了说明。

在本实施方式中，应力缓和部721E、521E、621E成为分别使应力缓和部421E在图15中顺时针地旋转了90°、180°、270°的构成。即、隔着可动板2对置的应力缓和部421E、621E相对于可动板2旋转对称，隔着可动板2对置的应力缓和部521E、721E相对于可动板2旋转对称。

另外，应力缓和部421E是7个延伸部沿X轴方向和Y轴方向交替地延伸的构成，但延伸部个数不局限于此，例如可以是11个或15个。但是，优选沿X轴方向延伸的多个延伸部之中，相对于转动中心轴X1位于一方侧的延伸部的个数、与位于另一方侧的延伸部的个数相等。

根据上述的第六实施方式也能发挥与第一实施方式同样的效果。

以上所说明的光扫描仪例如能够适当地应用于投影仪、激光打印机、成像用显示器、条形码阅读器、扫描型共聚焦显微镜等图像形成装置。结果，能够提供具有优异的描绘特性的图像形成装置。

具体地说，对如图17所示的投影仪200进行说明。另外，为了说明的方便，将投影屏S的长度方向称为“横方向”，将与长度方向成直角的方向称为“纵方向”。

投影仪200具有射出激光等光的光源装置210、多个分色镜220、220、220和光扫描仪1。

光源装置210具备射出红色光的红色光源装置211、射出蓝色光的蓝色光源装置212和射出绿色光的绿色光源装置213。各分色镜220是将分别从红色光源装置211、蓝色光源装置212、绿色光源装置213射出的光进行合成的光学元件。

上述的投影仪200构成为：基于来自未图示的主计算机的图像信息，通过分色镜220合成从光源装置210(红色光源装置211、蓝色光源装置212、绿色光源装置213)射出的光，该合成后的光被光扫描仪1进行二维扫描，在投影屏S上形成彩色图像。

当进行二维扫描时，由于光扫描仪1的可动板2的、绕转动中心轴Y1的转动，由光反射部22反射后的光沿投影屏S的横方向进行扫描(主扫描)。另一方面，由于光扫描仪1的可动板2的、绕转动中心轴X1的转动，由光反射部22反射后的光沿投影屏S的纵方向进行扫描(副扫描)。

光扫描仪1进行的光的扫描，可以通过前述的光栅扫描来进行，也可以通过矢量扫描来进行。尤其是光扫描仪1在其构成上适合进行矢量扫描，因而优选通过矢量扫描来扫描光。

所谓矢量扫描是指以下述方式进行扫描的技术：使从光源装置210射出的光相对于投影屏S以依次形成连结该投影屏S上的不同的2点的线段的方式进行扫描。即，是通过使微少的直线集合而在投影屏S形成期望的图像的技术。此处，在本发明的光扫描仪1中，如前面所述，能够使可动板2不规则地连续地变位，因此能够应用这种矢量扫描。

具体地说，在通过矢量扫描描绘图18所示的文字的集合的情况下，以使从光源装置210射出的光描绘各个文字的方式扫描光。这时，通过对光扫描仪1所具有的可动板2绕转动中心轴X1的姿势(转动)和绕转动中心轴Y1的姿势(转动)分别进行控制，能够不规则地扫描光，能够以一笔写出的方式描绘图18所示的文字。根据上述矢量扫描，无需像光栅扫描那样在整个投影屏S上扫描光，因而能够有效地描绘图像。

另外，在图17中，在利用光扫描仪1对由分色镜220合成后的光进行二维扫描之后，该光被固定反射镜250反射，然后在投影屏S上形成图像，但是可以省略固定反射镜250，直接向投影屏S照射由光扫描仪1二维扫描后的光。

以上，基于未图示的实施方式对本发明的光扫描仪和图像形成装置进行了说明，但本发明不局限于此。例如在本发明的光扫描仪和图像形成装置中，各部的构成可以置换成发挥同样作用的任意的构成，此外，也可以附加任意的构成。此外，例如在本发明的光扫描仪中，可以适当组合前述的实施方式。

此外，在前述的实施方式中，对作为变位构件的构成，而采用了使用永磁铁和电磁线圈的电磁驱动的构成进行了说明，但只要能够使可动板如前述那样变位即可，不局限于此，例如作为变位构件，可以采用静电驱动、压电驱动。

此外，在前述的实施方式中，对各连结部的第一轴部具有应力缓和部的构成进行了说明，但是不局限于此，可以省略应力缓和部。即各连结部的第一轴部，可以将可动板侧轴部与驱动部侧轴部直接连接。

此外，在前述的实施方式中，对光扫描仪驱动时各连结部的驱动部侧轴部实质上不变形的构成进行了说明，但是不局限于此，例如可以构成为向Z轴方向弯折变形(弯曲变形)。

此外，在前述的实施方式中，通过使SOI基板的厚度不同，而分开制作各连结部的变形的部位(第二轴部、可动板侧轴部、变形部和连接部)和不变形的部位(驱动部、驱动部侧轴部和非变形部)，但是不局限于此，例如、可以通过使宽度不同，而分开制作变形的部位和不变形的部位。

Claims (20)

1.一种光扫描仪，其特征在于，

所述光扫描仪具有：

光反射部，该光反射部具有光反射性；

可动板，该可动板具备所述光反射部，且能够变位；

4个连结部，这4个连结部连接于所述可动板；

支承部，该支承部用于支承所述4个连结部；

在所述可动板的俯视图中，所述4个连结部在所述可动板的外周沿着周方向以90度间隔设置，

各所述连结部具有：

能够转动的驱动部；

轴部，该轴部连结所述可动板和所述驱动部，且通过所述驱动部的转动而在所述可动板的厚度方向弯折变形。

2.根据权利要求1所述的光扫描仪，其特征在于，

当将在所述可动板的俯视图中正交的2轴设为X轴和Y轴时，

所述4个连结部具有：隔着所述可动板在X轴方向对置的第一连结部和第二连结部；以及隔着所述可动板在Y轴方向对置的第三连结部和第四连结部，

所述第一连结部和所述第二连结部分别具有：所述驱动部，该驱动部与所述可动板在X轴方向离开配置；作为所述轴部的第一轴部，该第一轴部连结所述可动板和所述驱动部、且沿X轴方向延伸；以及第二轴部，该第二轴部连结所述驱动部和所述支承部、且沿Y轴方向延伸，

所述第三连结部和所述第四连结部分别具有：所述驱动部，该驱动部与所述可动板在Y轴方向离开配置；作为所述轴部的第一轴部，该第一轴部连结所述可动板和所述驱动部、且沿Y轴方向延伸；以及第二轴部，该第二轴部连结所述驱动部和所述支承部、且沿X轴方向延伸。

3.根据权利要求2所述的光扫描仪，其特征在于，

当将与所述X轴和所述Y轴正交的轴设为Z轴时，

所述4个连结部中的所述第一轴部分别能够形成为以下两种变形：

以形成朝Z轴方向的一方侧凸出的V字状的方式弯折的第一变形；以及

以形成朝Z轴方向的另一方侧凸出的V字状的方式弯折的第二变形。

4.根据权利要求3所述的光扫描仪，其特征在于，

通过交替地反复形成以下两种状态，使所述可动板绕所述Y轴转动，

所述两种状态为：

使所述第一连结部的所述第一轴部进行所述第一变形，同时使所述第二连结部的所述第一轴部进行第二变形的状态；以及

使所述第一连结部的所述第一轴部进行所述第二变形，同时使所述第二连结部的所述第一轴部进行所述第一变形的状态，

通过交替地反复形成以下两种状态，使所述可动板绕所述X轴转动，

所述两种状态为：

使所述第三连结部的所述第一轴部进行所述第一变形，同时使所述第四连结部的所述第一轴部进行所述第二变形的状态；以及

使所述第三连结部的所述第一轴部进行所述第二变形，同时使所述第四连结部的所述第一轴部进行所述第一变形的状态。

5.根据权利要求3所述的光扫描仪，其特征在于，

通过交替地反复形成以下两种状态，使所述可动板向所述Z轴方向振动，

所述两种状态为：

使各所述连结部所具有的所述第一轴部进行所述第一变形的状态；以及

使各所述连结部所具有的所述第一轴部进行所述第二变形的状态。

6.根据权利要求2所述的光扫描仪，其特征在于，

所述4个连结部的所述第一轴部分别具有：应力缓和部，该应力缓和部设置在所述可动板与所述驱动部之间；可动板侧轴部，该可动板侧轴部连结所述应力缓和部与所述可动板；以及驱动部侧轴部，该驱动部侧轴部连结所述应力缓和部与所述驱动部，

所述4个连结部的所述第一轴部在所述应力缓和部弯折。

7.根据权利要求6所述的光扫描仪，其特征在于，

所述4个连结部的所述可动板侧轴部分别绕该可动板侧轴部的中心轴扭转变形。

8.根据权利要求6所述的光扫描仪，其特征在于，

所述4个连结部的所述驱动部侧轴部分别并不变形。

9.根据权利要求6所述的光扫描仪，其特征在于，

所述4个连结部的所述应力缓和部分别具有变形部，在所述可动板的俯视图中，该变形部沿着与可动板侧轴部和驱动部侧轴部的延伸方向正交的方向延伸，且绕中心轴扭转变形。

10.根据权利要求9所述的光扫描仪，其特征在于，

所述4个连结部的所述应力缓和部分别具有一对所述变形部，

所述一对变形部中的一方的所述变形部与所述可动板侧轴部连结，另一方的所述变形部与所述驱动部侧轴部连结。

11.根据权利要求10所述的光扫描仪，其特征在于，

所述4个连结部的所述应力缓和部分别具有非变形部，该非变形部设置在所述一对变形部之间，沿着与所述变形部的延伸方向平行的方向延伸，且并不绕中心轴扭转变形。

12.根据权利要求6所述的光扫描仪，其特征在于，

所述4个连结部的所述应力缓和部分别具有沿着所述X轴方向和所述Y轴方向交替地延伸而曲折的部位。

13.根据权利要求12所述的光扫描仪，其特征在于，

所述4个连结部的所述应力缓和部分别具有沿着所述X轴方向延伸的多个延伸部和沿着Y轴方向延伸的多个延伸部，所述多个延伸部分别能够绕中心轴扭转变形且能够弯曲变形。

14.根据权利要求11所述的光扫描仪，其特征在于，

所述4个连结部分别由SOI基板形成，所述SOI基板通过按照顺序层叠第一Si层、SiO₂层以及第二Si层而形成。

15.根据权利要求14所述的光扫描仪，其特征在于，

所述4个连结部的所述非变形部、所述驱动部侧轴部以及所述驱动部分别由所述第一Si层、所述SiO₂层以及所述第二Si层构成，所述可动板侧轴部、所述变形部以及所述第二轴部分别由所述第二Si层构成。

16.根据权利要求1所述的光扫描仪，其特征在于，

所述光扫描仪具有用于使所述驱动部转动的变位赋予部，

所述变位赋予部与所述4个连结部对应地设置有4个。

17.根据权利要求16所述的光扫描仪，其特征在于，

所述4个变位赋予部分别具有：永磁铁，该永磁铁设置于所述驱动部；以及线圈，该线圈产生作用于所述永磁铁的磁场。

18.根据权利要求17所述的光扫描仪，其特征在于，

在所述4个变位赋予部中，所述永磁铁以两极在所述可动板的厚度方向对置的方式设置，所述线圈以产生与所述可动板的厚度方向正交的方向的磁场的方式设置。

19.根据权利要求17所述的光扫描仪，其特征在于，

所述4个变位赋予部的所述永磁铁分别贯通所述驱动部而设置。

20.一种图像形成装置，其特征在于，

所述图像形成装置具备：

光源；以及

光扫描仪，该光扫描仪用于扫描来自所述光源的光，

所述光扫描仪具有：

光反射部，该光反射部具有光反射性；

可动板，该可动板具备所述光反射部，且能够变位；

4个连结部，这4个连结部连接于所述可动板；

支承部，该支承部用于支承所述4个连结部；

在所述可动板的俯视图中，所述4个连结部在所述可动板的外周沿着周方向以90度间隔设置，

各所述连结部具有：

能够转动的驱动部；

轴部，该轴部连结所述可动板和所述驱动部，且通过所述驱动部的转动而在所述可动板的厚度方向弯折变形。

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