CN102103150A - 支架针及装有支架针的探针 - Google Patents

支架针及装有支架针的探针 Download PDF

Info

Publication number
CN102103150A
CN102103150A CN2009102543707A CN200910254370A CN102103150A CN 102103150 A CN102103150 A CN 102103150A CN 2009102543707 A CN2009102543707 A CN 2009102543707A CN 200910254370 A CN200910254370 A CN 200910254370A CN 102103150 A CN102103150 A CN 102103150A
Authority
CN
China
Prior art keywords
support pin
needle body
module
needle
fpc
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2009102543707A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102103150B (zh
Inventor
金暎昊
朴钟君
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
UBPRECISION CO Ltd
Original Assignee
UBPRECISION CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by UBPRECISION CO Ltd filed Critical UBPRECISION CO Ltd
Priority to CN200910254370.7A priority Critical patent/CN102103150B/zh
Publication of CN102103150A publication Critical patent/CN102103150A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102103150B publication Critical patent/CN102103150B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

本发明关于支架针及装有支架针的探针,探针包括:支架针,其尖端通过针体两侧形成的U形凹槽在针体中间部分向上下方向设置,且具有弹性,针体中间部分上端设置有轴结合台,轴结合台中间部分形成有轴孔;针模块,其沿长度方向在底面形成有多个狭缝,能够***支架针,其上表面一侧凹陷形成有固定槽,固定槽与狭缝一侧贯通连接;轴,其***到轴孔中;主模块,其固定在针模块上部;FPC板,其固定在针模块底面;引导模块,其固定在主模块上表面;FPC,其固定在FPC板上,在两端具有连接点,一端的连接点与支架针的朝向上方的尖端接触。本发明将支架针和针模块制成一体,容易进行组装及维护,在更换针模块时可以通过FPC模块确认整列状态。

Description

支架针及装有支架针的探针
技术领域
本发明关于支架针及装有支架针的探针,具体说明为,关于一种支架针及装有支架针的探针,其能够完美地维持支架针的接地状态,保证信号传递的可靠性,将支架针和针模块制作成一体,使组装及维护保修变得容易,同时通过FPC(柔性印刷电路)模块使支架针和FPC接触,从而在更换针模块时可以通过FPC模块确认整列状态。
背景技术
在一般的半导体制作工程中,用于完成晶片水准制作工程的晶片上的各芯片在包装之前要在芯片电特性拣选(EDS(Electrical Die Sorting))工程中通过检测设备进行电气特性检测。
与上述半导体晶片制作工程相同,在LCD(液晶显示器)制作工程中,制作完成LCD板之后,也要进行电气特性检测,确认各种信号传递是否存在问题。
这是为了判断上述晶片的各芯片或包装以及LCD是否按照特定标准制作完成。
最近,随着半导体器件或LCD的信号传递端子的高度集成化,弹性探针(Pogo pin)或弹簧探针(Spring pin)等探针被广泛使用。而且,使用上述弹性探针的模块将与检测器、被测元件(DUT(Device Under Testing))及电路板(或测试电路板)连接。
如图1a所示,与上述技术相关的弹性探针30在大韩民国实用新型专利注册公报No.20-28446上公布,其结构为,在中空的主体2内部,弹性顶针5被连接于其下端的卡台5a支撑,且上述弹性顶针5通过弹性球4及弹簧3弹性连接。
另外,上述弹性探针如图1b所示,在具有多个槽的半透明模块10上***多个弹性探针30,并移动半透明模块10使弹性探针30的一端在检测体40上接地。
这样,就可以通过与弹性探针30另一端连接的电线50,在检测器60上确认其是否合格。此时,弹性探针30使弹性顶针5通过弹性球4及弹簧3在主体2内部移动,从而避免其破损。
但是,如果在LCD上与将多个电信号传递到板上的接地头相连接的部分,弹性顶针与接地头垂直连接,主体2的直径将大于弹性顶针5的直径,从而使弹性顶针不可见,无法正确掌握接地状态,容易发生不良连接,从而降低信号传递的可靠性,而且上述弹性顶针5将通过主体2的开放部位上下移动,从而会由于产品产生的粉尘而发生接触阻碍(摩擦)。
另外,粉尘将会积累在上述机架的上端,缩短弹性顶针的寿命,因此必须在安装弹性顶针5的模块上设置防止弹性顶针5移动的限位装置,采用弹性顶针5***固定在模块10上的结构,因此,当一个弹性顶针5发生问题时,不能进行更换。
发明内容
本发明为解决上述问题而提出,其目的是提供一种能够完美地保持支架针的接地状态,从而提高信号传递可靠性的支架针及装有支架针的探针。
另外,本发明的目的还在于提供一种支架针及装有支架针的探针,其将支架针和针模块制作成一体,使组装及维护保修变得容易,同时通过FPC模块使支架针和FPC接触,从而在更换针模块时可以通过FPC模块确认整列状态。
为达到上述目的,本发明提供了一种支架针,其中,尖端通过针体两侧形成的U形凹槽在针体中间部分向上下方向设置,且具有弹性,针体中间部分的上端凸出设置有挂钩。
这里,所述挂钩在其与所述针体的连接部位上分别形成有边孔。
另外,所述尖端在所述针体两侧凸出形成,且比所述针体延伸得更长。
本发明还提供了一种支架针,其中,尖端通过针体两侧形成的U形凹槽在所述针体中间部分向上下方向设置,且具有弹性,所述针体中间部分的上端凸出设置有轴结合台。
这里,所述轴结合台在其与所述针体的连接部分分别形成有边孔,中间部分形成有轴孔,使所述支架针通过一个轴与相邻的支架针结合。
另外,所述尖端在所述针体两侧凸出形成,且比所述针体延伸得更长。
本发明还提供了一种装有支架针的探针,其包括:支架针,该支架针的尖端通过针体两侧形成的U形凹槽在所述针体中间部分向上下方向设置,且具有弹性,所述针体中间部分的上端凸出设置有挂钩;针模块,该针模块沿长度方向在底面形成有多个狭缝,能够在该多个狭缝中***支架针,且所述针模块上表面的一侧凹陷形成有具有针固定台的固定槽,该固定槽与所述狭缝的一侧贯通连接;主模块,该主模块通过固定螺钉固定在所述针模块上部;引导模块,该引导模块通过螺钉固定在所述主模块的上表面;以及FPC,该FPC通过粘结剂固定在所述主模块上,并在两端具有与所述支架针1∶1对应个数的连接点,一端的连接点与所述支架针的朝向上方的尖端接触。
这里,所述FPC的另一端通过粘结剂固定在丙烯酰模块上。
本发明还提供了一种装有支架针的探针,其包括:支架针,该支架针的尖端通过针体两侧形成的U形凹槽在所述针体中间部分向上下方向设置,且具有弹性,所述针体中间部分的上端凸出设置有轴结合台,该轴结合台的中间部分形成有轴孔;针模块,该针模块沿长度方向在底面形成有多个狭缝,能够在所述多个狭缝中***所述支架针,并且在所述针模块上表面的一侧凹陷形成有固定槽,该固定槽与所述狭缝的一侧贯通连接;轴,该轴在所述针模块的固定槽内***到所述支架针的轴结合台上形成的轴孔中;主模块,该主模块通过固定螺钉固定在所述针模块上部;FPC板,该FPC板通过螺钉固定在所述针模块底面;引导模块,该引导模块通过螺钉固定在所述主模块的上表面;以及FPC,该FPC通过粘结剂固定在所述FPC板上,并在两端具有与所述支架针1∶1对应个数的连接点,一端的连接点与所述支架针的朝向上方的尖端接触。
这里,所述针模块的底面后端形成有***所述FPC板前部的段差,使所述FPC板与所述针模块具有的支架针以杠杆原理相接触。
另外,所述FPC的另一端通过粘结剂固定在丙烯酰模块上。
本发明提供的支架针及装有支架针的探针,能够完美地保持支架针的接地状态,从而提高信号传递的可靠性。
另外,本发明将支架针和针模块制作成一体,使组装及维护保修变得容易,同时通过FPC模块使支架针和FPC接触,在更换针模块时可以通过FPC模块确认整列状态。
附图说明
图1a及图1b分别为现有支架针及支架针安装状态的剖面图。
图2是本发明第1实施方式涉及的支架针的结构斜视图。
图3是本发明第2实施方式涉及的支架针的结构斜视图。
图4是本发明第1实施方式涉及的装有支架针的探针的结构斜视图。
图5是图4的分解斜视图。
图6是图4的侧视图。
图7是本发明第2实施方式涉及的装有支架针的探针的结构斜视图。
图8是图7的分解斜视图。
图9及图10是图7的侧视图。
附图标记
100、200:支架针,300、400:探针,310、410:针模块,320、430:主模块,330、450:引导模块,340、460:FPC,420:轴,440:FPC板。
具体实施方式
下面参照附图对本发明涉及的支架针及装有支架针的探针的结构及作用进行详细说明。
在以下说明中,对于众所周知的相关功能或结构,如果认为对其进行具体说明可能会对理解本发明主要思想造成混乱,将省去详细说明。此外,下面用到的用语是在本发明的功能基础上定义的,有可能因为使用者的意图或习惯而有所不同。因此,其定义应以本说明书整体内容为基础进行理解。
第1实施方式
图2是本发明第1实施方式涉及的支架针的结构斜视图。
如图2所示,本发明第1实施方式涉及的支架针100从针体110的中间向两侧对应形成有U形凹槽120,并通过凹槽120在上下侧凸出形成有多个横条130。
通过凹槽120形成的具有一定弹性的两侧横条130上分别一体形成有朝向上方的尖端140及朝向下方的尖端150。这里,尖端140、150从针体110两侧凸出形成,且比针体110延伸得更长。
另外,针体110的中间上端凸出形成有挂钩160,挂钩160在其与针体110的连接部位分别形成有边孔161。
上述本发明第1实施方式涉及的支架针100,通过从针体110中间向两侧对应形成的凹槽120,在其两侧面上下侧凸出形成有多个横条130,且各横条130具有一定的弹性。
由于在通过凹槽120形成的各横条130上分别形成有尖端140、150,所以在支架针100与LCD板(未图示)接触时,能够使其维持一定的弹性接地。
不仅如此,由于针体110的上部中间凸出形成有多个挂钩160,所以针体110能够与探针的针模块(未图示)弹性结合,又由于挂钩160和针体110的连接部位上分别形成有边孔161,所以针体110在***到针模块时会发生变形,使其容易安装,安装完成后会恢复原状,紧密维持原有的结合力。
第2实施方式
图3是本发明第2实施方式涉及的支架针的结构斜视图。
如图3所示,本发明第2实施方式涉及的支架针200从针体210的中间向两侧对应形成有U形凹槽220,并通过凹槽220在上下侧凸出形成有多个横条230。
通过凹槽220形成的具有一定弹性的两侧横条230上分别一体形成有朝向上方的尖端240及朝向下方的尖端250。这里,尖端240、250从针体210两侧凸出形成,且比针体210延伸得更长。
另外,针体210的中间上端凸出形成有轴结合台260,轴结合台260在其与针体210的连接部位分别形成有边孔261,中间形成有轴孔263,使其通过一个轴(未图示)与相邻的支架针结合。
上述本发明第2实施方式涉及的支架针200,通过从针体210中间向两侧对应形成的凹槽220,在其两侧面上下侧凸出形成有多个横条230,且各横条230具有一定的弹性。
由于在通过凹槽220形成的各横条230上分别形成有尖端240、250,所以在支架针100与LCD板(未图示)接触时,能够使其维持一定的弹性接地。
不仅如此,由于针体210的中间上端凸出形成有轴结合台260,且在轴结合台260与针体210的连接部位分别形成有边孔261,所以针体210在***到针模块(未图示)时会发生变形,使其容易安装,安装完成后会恢复原状,紧密维持原有的结合力。
另外,在将各针体210***到探针的针模块后,将轴(未图示)***到轴孔263中,同时结合多个针体210,能够紧密维持其结合力,使针体210的整列变得容易。
第1实施方式
图4是本发明第1实施方式涉及的装有支架针的探针的结构斜视图,图5是图4的分解斜视图,图6是图4的侧视图。
如图4至图6所示,本发明第1实施方式涉及的装有支架针的探针300包括:支架针100;针模块310;主模块320;引导模块330;和FPC340。
首先,支架针100与在图2中说明的支架针100具有相同的结构,在此省略重复说明。
针模块310在底面沿长度方向形成有多个向两侧面开口的狭缝311,能够在狭缝311中***支架针100,针模块310中间上表面凹陷形成有具有针固定台313的固定槽315,所述固定槽315和狭缝311的一侧贯通连接。针固定台313在固定槽315的两侧相对设置。
主模块320通过固定螺钉321结合在针模块310的上面。
引导模块330为与探针单元(未图示)结合,通过螺钉固定在主模块320的上表面。
另一方面,FPC340通过粘结剂固定在主模块320上,两端形成有与支架针1001∶1对应个数的连接点341,且一端的连接点341与支架针100的朝向上方形成的尖端140接触。FPC340的另一端通过粘结剂固定在丙烯酰模块343上。
上述本发明第1实施方式涉及的装有支架针的探针300的组装过程如下:
将支架针100***到在针模块310的底面形成的狭缝311中,同时将向支架针100上部凸出的挂钩160***到固定槽315中。
此时,所述挂钩160通过其底面形成的边孔161向内侧变形并进入到固定槽315中,当挂钩160进入完毕时,各挂钩160将恢复原状,得到形成在固定槽315上的针固定台313的支撑。
通过上述操作,多个支架针100分别***到针模块310上形成的多个狭缝311内,反向进行上述操作,即,使挂钩160向内侧变形,即可将支架针100从针模块310中取出。
此时,支架针100的针体110将位于针模块310内部,只有支架针100的向下凸出的尖端150向针模块310的外部露出,从而在支架针100与LCD板接触时,能够确认支架针100与LCD板的连接状态。
接着,将结合有所有支架针100的针模块310与主模块320相结合。
然后,利用粘结剂将FPC340固定到主模块320底面,在固定前将向针模块310的后端露出的支架针100的向上凸出的尖端140和FPC340一端形成的连接点341对齐。
接着,利用主模块320的高度调节螺钉321调节针模块310的高度,使向支架针100上部凸出的尖端140和FPC340一端形成的连接点341相互接触。
最后,通过螺钉在主模块320的上面结合引导模块330。
第2实施方式
图7是本发明第2实施方式涉及的装有支架针的探针的结构斜视图,图8是图7的分解斜视图,图9及图10是图7的侧视图。
如图7至图10所示,本发明第2实施方式涉及的装有支架针的探针400包括:支架针200;针模块410;轴420;主模块430;FPC板440;引导模块450;和FPC460。
首先,支架针200与在图3中说明的支架针200具有相同的结构,在此省略重复说明。
针模块410的底面沿长度方向形成有多个向两侧面开口的狭缝411,其中间上表面凹陷形成有固定槽413,固定槽413与狭缝411的一侧贯通连接。这里,针模块410在底面后端形成有***FPC板440前部的段差415,使下面将要说明的FPC板440与支架针200以杠杆原理相接触。
轴420由硅钢材料制成,呈圆柱形,在针模块410的固定槽413内***到支架针200的轴结合台260上形成的轴孔263中。
主模块430通过螺钉431固定于针模块410的上表面。
FPC板440与针模块410通过螺钉结合。
引导模块450为与探针单元(未图示)结合,通过螺钉结合在主模块430的上表面。
FPC460的上表面通过粘结剂固定在FPC板440上,两端形成有与支架针2001∶1对应个数的连接点461,一端的连接点461与支架针200的朝向上方形成的尖端240接触。FPC460的另一端通过粘结剂固定在丙烯酰模块463上。
上述本发明第2实施方式涉及的装有支架针的探针400的组装过程如下:
将各支架针200***到针模块410底面形成的狭缝411中,同时将支架针200的向上部凸出的轴结合台260***到固定槽413中。
此时,轴结合台260通过其底面的边孔261向内侧变形,从而进入到固定槽413中,轴结合台260进入完毕后将恢复原状。
通过上述操作,多个支架针200分别***到针模块410形成的多个狭缝411中,反向进行上述操作,即,使轴结合台260向内侧变形,即可将支架针200从针模块410中取出。
在支架针200***完毕后,将轴420从针模块410的固定槽413的侧面推进至支架针200的轴孔263中,利用轴420将支架针200固定于固定槽413。此时,轴420外周面的一部分将与固定槽413的底面结合,使支架针200维持相同的高度。
这样,支架针200的针体(图3中210)将位于针模块410内部,只有向支架针200的下部凸出的尖端230向针模块410的外部露出,从而在支架针200与LCD板接触时,能够确认支架针200与LCD板的连接状态。
在上述状态下,通过螺钉将底面附着有FPC460的FPC板440结合于针模块410的底面。此时,将FPC板440的前部按如图9所示倾斜的状态***到针模块410的段差415内,然后利用螺钉把FPC板440结合到针模块410上,从而如图10所示,通过段差415使FPC板440的前部维持水平。这样,支架针200的尖端240和FPC460的连接点461将在外力作用下紧密接触。
接着,将结合有所有支架针200的针模块410和主模块430相结合。
最后,通过螺钉在主模块430的上表面结合引导模块450。
本发明可以进行多种变形,也可采用多种形态,上面只对其中特定实施方式进行了说明。但本发明并不局限于上述实施方式,所有不脱离本发明技术思想范畴的变形实施方式和均等实施方式及置换实施方式均应属于本发明权利要求范围。

Claims (11)

1.一种支架针,其特征在于,尖端通过针体两侧形成的U形凹槽在所述针体的中间部分向上下方向设置,且具有弹性,所述针体中间部分的上侧凸出设置有挂钩。
2.根据权利要求1所述的支架针,其中,所述挂钩在其与所述针体的连接部位分别形成有边孔。
3.根据权利要求1所述的支架针,其中,所述尖端在所述针体两侧凸出形成,且比所述针体延伸得更长。
4.一种支架针,其特征在于,尖端通过针体两侧形成的U形凹槽在所述针体的中间部分向上下方向设置,且具有弹性,所述针体的中间部分的上侧凸出设置有轴结合台。
5.根据权利要求4所述的支架针,其中,所述轴结合台在其与所述针体的连接部位分别形成有边孔,中间部分形成有轴孔,从而使所述支架针通过一个轴与相邻的支架针结合。
6.根据权利要求4所述的支架针,其中,所述尖端在所述针体两侧凸出形成,且比所述针体延伸得更长。
7.一种装有支架针的探针,其特征在于,该探针包括:支架针,该支架针的尖端通过针体两侧形成的U形凹槽在所述针体的中间部分向上下方向设置,且具有弹性,所述针体中间部分的上端凸出设置有挂钩;针模块,该针模块沿长度方向在底面形成有多个狭缝,能够在该多个狭缝中***所述支架针,在所述针模块上表面的一侧凹陷形成有具有针固定台的固定槽,所述固定槽与所述狭缝的一侧贯通连接;主模块,该主模块通过固定螺钉固定在所述针模块上部;引导模块,该引导模块通过螺钉固定在所述主模块的上表面;以及FPC,该FPC通过粘结剂固定在所述主模块上,并在两端具有与所述支架针1∶1对应个数的连接点,一端的连接点与所述支架针的朝向上方的尖端接触。
8.根据权利要求7所述的装有支架针的探针,其中,所述FPC的另一端通过粘结剂固定在丙烯酰模块上。
9.一种装有支架针的探针,其特征在于,该探针包括:支架针,该支架针的尖端通过针体两侧形成的U形凹槽在所述针体的中间部分向上下方向设置,且具有弹性,所述针体的中间部分的上端凸出设置有轴结合台,该轴结合台的中间部分形成有轴孔;针模块,该针模块沿长度方向在底面形成有多个狭缝,能够在该多个狭缝中***所述支架针,并且所述针模块上表面的一侧凹陷形成有固定槽,该固定槽与所述狭缝的一侧贯通连接;轴,该轴在所述针模块的固定槽内***到所述支架针的轴结合台上形成的轴孔中;主模块,该主模块通过固定螺钉固定在所述针模块上部;FPC板,该FPC板通过螺钉固定在所述针模块底面;引导模块,该引导模块通过螺钉固定在所述主模块的上表面;以及FPC,该FPC通过粘结剂固定在所述FPC板上,并在两端具有与所述支架针1∶1对应个数的连接点,一端的连接点与所述支架针的朝向上方的尖端接触。
10.根据权利要求9所述的装有支架针的探针,其中,所述针模块的底面后端形成有***所述FPC板前部的段差,从而使所述FPC板与所述针模块具有的支架针以杠杆原理相接触。
11.根据权利要求9所述的装有支架针的探针,其中,所述FPC的另一端通过粘结剂固定在聚丙酰模块上。
CN200910254370.7A 2009-12-22 2009-12-22 支架针及装有支架针的探针 Expired - Fee Related CN102103150B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN200910254370.7A CN102103150B (zh) 2009-12-22 2009-12-22 支架针及装有支架针的探针

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN200910254370.7A CN102103150B (zh) 2009-12-22 2009-12-22 支架针及装有支架针的探针

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102103150A true CN102103150A (zh) 2011-06-22
CN102103150B CN102103150B (zh) 2015-03-25

Family

ID=44156078

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN200910254370.7A Expired - Fee Related CN102103150B (zh) 2009-12-22 2009-12-22 支架针及装有支架针的探针

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102103150B (zh)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102879617A (zh) * 2011-07-12 2013-01-16 旺矽科技股份有限公司 应用于点测装置的平板探针结构及其制作方法
TWI647454B (zh) * 2018-02-26 2019-01-11 中華精測科技股份有限公司 探針組件及其探針結構
TWI647455B (zh) * 2018-02-26 2019-01-11 中華精測科技股份有限公司 探針組件及其探針結構
CN109254179A (zh) * 2017-07-12 2019-01-22 万润科技股份有限公司 探针、探针模块、探针装置及使用该探针装置的电子元件检测方法及设备
CN110196343A (zh) * 2018-02-26 2019-09-03 中华精测科技股份有限公司 探针组件及其探针结构
TWI684010B (zh) * 2018-02-26 2020-02-01 中華精測科技股份有限公司 探針結構
TWI685662B (zh) * 2018-02-26 2020-02-21 中華精測科技股份有限公司 探針結構

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100545189B1 (ko) * 2001-11-01 2006-01-24 주식회사 유림하이테크산업 엘시디 검사용 프로브 카드
CN101261286B (zh) * 2007-03-09 2011-05-11 海鸿科技股份有限公司 探针装置
JP4909803B2 (ja) * 2007-05-16 2012-04-04 株式会社日本マイクロニクス プローブ組立体及び検査装置
CN201156865Y (zh) * 2007-12-14 2008-11-26 天津太精电子有限公司 柔性印刷电路板fpc检测用夹具

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102879617A (zh) * 2011-07-12 2013-01-16 旺矽科技股份有限公司 应用于点测装置的平板探针结构及其制作方法
CN109254179A (zh) * 2017-07-12 2019-01-22 万润科技股份有限公司 探针、探针模块、探针装置及使用该探针装置的电子元件检测方法及设备
TWI647454B (zh) * 2018-02-26 2019-01-11 中華精測科技股份有限公司 探針組件及其探針結構
TWI647455B (zh) * 2018-02-26 2019-01-11 中華精測科技股份有限公司 探針組件及其探針結構
CN110196343A (zh) * 2018-02-26 2019-09-03 中华精测科技股份有限公司 探针组件及其探针结构
TWI684010B (zh) * 2018-02-26 2020-02-01 中華精測科技股份有限公司 探針結構
TWI685662B (zh) * 2018-02-26 2020-02-21 中華精測科技股份有限公司 探針結構
CN110196343B (zh) * 2018-02-26 2021-10-22 中华精测科技股份有限公司 探针组件及其探针结构

Also Published As

Publication number Publication date
CN102103150B (zh) 2015-03-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102103150A (zh) 支架针及装有支架针的探针
KR200461758Y1 (ko) 프로브블록
CN101803116B (zh) 半导体电机械接触器
KR100791944B1 (ko) 프로브 블록
US20160018440A1 (en) Contact Device for Test and Test Socket
CN101523229B (zh) 电连接装置
KR101245837B1 (ko) 반도체 패키지 테스트용 소켓장치
KR20080056978A (ko) 반도체 테스트 장치용 포고핀
CN101419244B (zh) 触头及使用该触头的电气连接装置
JP4021457B2 (ja) ソケット、及び試験装置
CN102104214A (zh) 具有锚固件的插座和触点
US7815442B2 (en) Burn-in socket with improved contacts
JP5222874B2 (ja) 電子部品用コンタクタ、電子部品の検査装置、及び、電子部品の検査方法
US6642729B2 (en) Probe card for tester head
US6914445B2 (en) Modular socket for testing an integrated circuit
KR200456967Y1 (ko) Bga패키지 테스트 소켓용 유니버셜 어댑터
JPH10293158A (ja) Ic試験装置
JP2008003049A (ja) プローブ組立体
KR20180010935A (ko) 평판 접이식 연결 핀
KR100997635B1 (ko) 웨이퍼 검사용 프로브 카드
CN210401473U (zh) 一种微针测试设备
KR100915654B1 (ko) 켈빈 테스트용 프로브
KR101391794B1 (ko) 프로브 유닛 및 프로브 카드
WO2008126962A1 (en) Probe card, needles of probe card, and method of manufacturing the needles of probe card
US20080012589A1 (en) Wafer test card applicable for wafer test

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C53 Correction of patent for invention or patent application
CB02 Change of applicant information

Address after: Gyeonggi Do, South Korea

Applicant after: KLT

Address before: Gyeonggi Do, South Korea

Applicant before: Ubprec Co., Ltd.

COR Change of bibliographic data

Free format text: CORRECT: APPLICANT; FROM: UBPREC CO., LTD. TO: KLT

C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20150325

Termination date: 20151222

EXPY Termination of patent right or utility model