JP2008003049A - プローブ組立体 - Google Patents

Abstract

【課題】一対の直線上に同数の電極が配列されていない非対称配列パターンを有する半導体ウエハのような被検査体の電気的検査において、該被検査体に横方向への大きな変位を生じさせることなく、しかもデバイス領域に損傷を与えることのないプローブ組立体を提供する。
【解決手段】プローブ基板のアンカー部に固定されかつ支点を経てアンカー部から離れる方向へ伸長し、その先端に針先を有し、該前記針先が対応する電極パッドへ押圧されたときに先端側部分が弾性変形可能な複数のプローブを有するプローブ組立体。プローブ基板の仮想直線の一側で針先が直線上に配置された第１のプローブ群および仮想直線の他側で針先が直線上に配列された第２のプローブ群が構成される。両プローブ群のプローブ数は異なり、プローブ数が多い一方のプローブ群を構成する前記プローブの一部は、当該プローブ群の他のプローブのそれと逆方向に配列されている。
【選択図】図４

Description

本発明は、ＩＣ（集積回路）が作り込まれた半導体ウエハのような平板状の被検査体の電気検査に用いられるプローブ組立体に関する。

ＩＣチップの製造では、一般的に、半導体ウエハ上に行列をなす多数のチップ領域が区画され、各チップ領域のそれぞれにＩＣのための電子回路が一括的に形成される。この多数のＩＣ回路が作り込まれた半導体ウエハは、最終的に、各チップ領域がスクライブ線に沿って分割されることにより、多数のＩＣチップに分離される。このようなＩＣ回路が組み込まれた半導体ウエハは、各チップに分割するに先立って、例えば特許文献１に開示されたようなプローブ組立体を用いて、電気的検査を受ける。

このプローブ組立体は、その支持台に支持されたプローブユニットを備え、該プローブユニットの各プローブは、傾斜アーム部を有する。各傾斜アーム部は、前記支持台から、真空チャックにより保持された半導体ウエハに向けて斜め下方へ伸長する。各傾斜アーム部の伸長端すなわち先端には、前記半導体ウエハの各チップ領域に形成された対応する電極に接触可能の針先が設けられている。前記プローブ組立体の各プローブの針先が対応する電極に向けて押圧されると、各傾斜アームの撓み変形を利用して、各プローブの針先が確実に対応する電極に押圧される。この電極の押圧により、各電極が対応するプローブを経て電気検査のためのテスタ本体に接続される。

また、前記特許文献１のプローブ組立体によれば、各傾斜アームの傾斜方向が対応する電極の配列に応じて、一方向およびこれと逆の他方向に向けて配列されている。そのため、各傾斜アームの撓み変形に伴って前記半導体ウエハに偏倚力が作用する。しかし、例えば、各チップ領域に形成されるＩＣ回路がチップ領域の両側部に同数の電極が対称的に配列されたメモリのようなＩＣ回路である限り、各電極列に対応して、プローブは、互いに逆方向に配置されるアーム部が対称的に配置される。そのため、これらアーム部の撓み変形による偏倚力がバランスし、相殺されることから、その偏倚力が真空チャックで保持された前記半導体ウエハを真空チャック上で変位させることはない。

したがって、プローブ配列にこのような対称パターンを有する従来のプローブ組立体によれば、同数の電極が一対の直線上に対称的に配列されている半導体ウエハに、試験毎に真空チャック面に平行な横方向の変位を生じさせることなく、この変位に伴う微調整の必要なく、半導体ウエハに形成された各ＩＣ回路の適正な電気検査が可能となる。

特開平１０−２８２１４７号公報

ところで、一対の直線上に同数の電極が設けられていない非対称パターンの半導体ウエハへの適用のために、各電極列の数に対応させた非対称のプローブ配置を採用することが考えられる。しかし、この場合、各チップ領域毎でチップの電極列に応じて、相互に逆方向に配列されるプローブ数が一致せず、その数は互いに異なる。そのため、このプローブの非対称配置によるアンバランな偏倚力は、一枚の半導体ウエハ全体では、各チップ領域の両側部の電極数の差とウエハ内のチップ領域数との乗算値に比例した大きな値となってしまう。そのため、この大きな偏倚力が半導体ウエハを真空チャック上で大きく横方向へ変位させる虞が生じる。

このような変位が生じると、変位を与えた多数側のプローブの針先が接触する電極は、該電極に当接する針先と一体的に変位する。そのため、この針先は対応する電極の表面を擦ることはなく、当該電極上の酸化膜や塵埃等が針先の擦り作用によって確実に除去されない。そのために、多数側のプローブと電極との確実な電気的接触が困難になる。これとは逆に、多数側と逆方向に配列された少数側のプローブの針先が当接する電極は、該電極に当接する針先の変位方向と逆方向へ変位する。そのため、針先の対応する電極との相対変位距離は変位を生じない場合の２倍となることから、その針先は、対応する電極上を通り過ぎて半導体ウエハのチップ領域すなわちデバイス領域を擦る虞がある。

また、前記したアンバランスによる半導体ウエハの変位を防止するために、プローブ配列に前記したような対称パターンを有する従来のプローブ組立体を用いて、一対の直線上に同数の電極が配列されていない非対称配列パターンの半導体ウエハに適用することが考えられる。しかし、この場合においても、半導体ウエハ上の電極に対応しないダミープローブとして作用するプローブの針先は、チップ領域の電極が設けられていないデバイス領域で前記半導体ウエハに接触することになり、ＩＣチップ領域の保護の点から望ましくはない。

そこで、本発明の目的は、一対の直線上に同数の電極が配列されていない非対称配列パターンを有する半導体ウエハのような被検査体の電気的検査において、該被検査体に横方向への大きな変位を生じさせることなく、しかもデバイス領域に損傷を与えることのないプローブ組立体を提供することにある。

本発明は、複数の電極パッドを有する半導体装置の電気検査のために用いられるプローブ組立体であって、複数のアンカー部が設けられたプローブ基板と、対応する前記アンカー部に固定されかつ支点を経て前記アンカー部から離れる方向へ伸長し、その先端に針先を有し、該針先が対応する前記電極パッドへ押圧されたときに前記支点から先端側部分が弾性変形可能な複数のプローブであって前記プローブ基板の仮想直線の一側に針先が配置された第１のプローブ群および前記仮想直線の他側に針先が配置された第２のプローブ群を構成するプローブとを備え、両プローブ群を構成するプローブ数は異なり、前記各プローブはそれぞれの前記支点からその前記針先へ向けての方向が前記仮想直線にほぼ直角に配列され、少なくともプローブ数の多い一方のプローブ群を構成する前記プローブの一部は、その前記支点からその前記針先へ向けての方向が当該プローブ群の他のプローブのそれと逆方向に配列されていることを特徴とする。

本発明に係るプローブ組立体の前記第１および第２のプローブ群を構成するプローブ数は異なるが、少なくともプローブ数の多い一方のプローブ群を構成する前記プローブの一部は、その前記支点からその前記針先へ向けての方向が当該プローブ群の他のプローブのそれと逆方向に配列されている。前記一方のプローブ群内で他のプローブと逆方向に配列されるプローブの数は、前記各プローブの前記支点からその前記針先へ向けての方向に応じて前記半導体装置に作用する各プローブの前記弾性変形に伴う偏倚力が低減するように適宜選択することができる。これにより、この逆方向に配列されたプローブによって前記両プローブ群のプローブ数の差に応じた大きな偏倚力の発生を防止することができる。

また、第１および第２のプローブ群を構成するプローブは、前記半導体装置の前記電極パッドに当接可能である。そのため、これらプローブが、検査時に前記半導体装置の前記電極パッド以外の部分に当接することはなく、いわゆるダミーとして作用することがないので、前記半導体装置のデバイス領域にダミーのプローブにおけるような損傷が与えられることはない。

これにより、本発明に係る前記プローブ組立体では、一対の直線上に同数の電極が配列されていない非対称配列パターンに対応して、プローブの針先位置に非対称配置のプローブ配置を採用しても、プローブにダミーのプローブを組み込むことなく、したがって、前記半導体装置のデバイス領域に損傷を与えることなく、しかも前記プローブの弾性変形に伴って前記半導体装置にその横方向への作用する偏倚力の低減を図ることが可能となる。したがって、電極に非対称配列パターンを有する半導体ウエハのような被検査体に横方向への大きな変位を生じさせることはなく、この大きな変位に伴う位置の再調整の必要が無く、しかもデバイス領域に損傷を与えることなく、半導体装置の電気的検査が可能となる。

前記両プローブ群を構成する前記全プローブのうち、該各プローブの前記支点からその前記針先へ向けての方向が一方向およびそれと逆方向に配列されたプローブ数がほぼ等しくなるように、前記プローブを配列することができる。

また、他方の前記プローブ群のすべての前記プローブは、それぞれの前記支点からその前記針先へ向けての方向が同一方向となるように配列することができる。

これら配列により、前記半導体装置に作用する前記横方向への偏倚力をより低減することができる。

また、本発明に係るプローブ組立体は、そのプローブを偶数（２ｎ）個（ｎは２以上の自然数）のプローブで構成することができる。この場合、前記プローブのうち、ｍ個（ｍ≠ｎ）の前記プローブは、前記プローブ基板上の仮想直線の一側でそれぞれの針先が一直線上に配列されて第１のプローブ群を構成し、残りの（２ｎ−ｍ）個の前記プローブは、前記仮想直線の他側でそれぞれの針先が一直線上に配列されて第２のプローブ群を構成する。両プローブ群のうちのプローブ数の少ない一方のプローブ群を構成する前記各プローブは、それぞれの前記支点からその針先に至る方向が同一方向へ向けて配列され、他方のプローブ群を構成する前記プローブのうちのｎ個の前記プローブは前記一方のプローブ群の前記プローブの配列方向と逆方向に配列されまた残りの（ｎ−ｍまたはｍ−ｎ）個の前記プローブは前記一方のプローブ群の前記プローブの配列方向と同一方向に配列される。

この配列により、両プローブ群を構成する前記一方向へ配列された前記プローブの数およびその逆方向へ配列された前記プローブの個数をそれぞれｎ個の相等しい数とすることができるので、前記半導体装置に横方向へ作用する偏倚力を確実に相殺することができる。

前記各プローブには、前記一端が対応する前記アンカー部に固着され、該アンカー部から立ち上がる台座部と該台座部の先端から該台座部の伸長方向と角度的に横方向へ伸長し、その先端部に前記針先が設けられるアーム部とを備えるプローブを用いることができる。このプローブでは、前記アーム部と前記台座部との連結部分が前記支点として作用する。

前記アーム部には、該アーム部の撓み変形を容易とすべく該アーム部を貫通する長穴を形成することができる。該各長穴は前記アーム部に沿って該アーム部の長手方向に伸長させることができる。この長穴を不要とすることができる。しかしながら、長穴の形成により、各プローブを構成する金属材料の硬度の如何に拘わらず、各プローブの前記アーム部に所望の適正な弾性を付与することができる。

前記一方向およびこれと逆方向へ配列された前記プローブがそれぞれｎ個の相等しい数で構成されているプローブ組立体の場合、前記電極パッドが前記半導体装置の平面上の互いに平行な仮想平行線上にそれぞれ配列されており、ｍ個の前記電極パッドが前記平行線の一方の線上に配列され、（２ｎ−ｍ）個の前記電極パッドが前記平行線の他方の線上に配列された半導体装置に、前記プローブ組立体を用いることができる。この場合、前記各プローブ群の前記各プローブが前記平行線上の対応する前記一方および他方の各線上の前記各電極パッドにそれぞれ対応して適用される。

前記半導体装置が多数のＩＣチップ領域が区画された半導体ウエハである場合、前記プローブは、前記チップ領域に対応した前記プローブ基板上の領域で前記チップ領域に設けられた各電極に対応して配列されており、その配列パターンが前記プローブ基板上で前記チップ領域に対応して繰り返されている。

本発明によれば、前記したように、一対の直線上に同数の電極が配列されていない非対称配列パターンを有する半導体ウエハのような被検査体の電気的検査において、該被検査体に横方向への大きな変位を生じさせることなく、しかもデバイス領域に損傷を与えることのないプローブ組立体が提供される。

本発明に係るプローブ組立体１０は、図１及び図２に示されているように、全体に円形の配線基板１２と、該配線基板の下面１２ａの中央部に取り付けられた矩形平面形状を有するプローブ基板１４と、該プローブ基板の一方の面１４ａに取り付けられた多数のプローブ１６とを備える。各プローブ１６は、後述するように、プローブ基板１４の一方の面１４ａ上に形成された対応する導電路のそれぞれのアンカー部に固着されている。プローブ基板１４は、プローブ１６が設けられた一方の面１４ａと反対側の面を配線基板１２の下面１２ａに対向させて、該配線基板に固定されている。

配線基板１２は、従来よく知られているように、内部に図示しない導電路が組み込まれた電気絶縁板からなる。図１に示すように、配線基板１２の上面の周縁部には、図示しないテスタ本体への接続端となる多数のテスタランド１８が設けられている。配線基板１２に取り付けられたプローブ基板１４の各プローブ１６は、従来におけると同様に、配線基板１２内の対応する前記導電路を経て、対応する各テスタランド１８に電気的に接続される。これにより、各プローブ１６は、対応するテスタランド１８を経て前記テスタ本体に電気的に接続される。

プローブ組立体１０は、例えば、図３に示されているように、被検査体である半導体ウエハ２０に形成された多数のＩＣチップ領域２２の電気的検査に用いられる。各ＩＣチップ領域２２は、従来よく知られているように、半導体ウエハ２０の表面に縦及び横に直線に沿って伸びる多数のスクライブ線２４、２６により区画されており、これにより、縦横方向に整列してマトリクス状に配置されている。図示の例では、各ＩＣチップ領域２２は、横方向のスクライブ線２４に平行な長辺と縦方向スクライブ線２６に平行な短辺とを有する矩形の平面形状を有する。

また、各ＩＣチップ領域２２には、その前記長辺に沿う両側部の一対の仮想線Lａ１、Lｂ１に沿って、複数の電極パッド２８（２８ａ、２８ｂ）がそれぞれ設けられている。各仮想線Lａ１、Lｂ１は、各ＩＣチップ領域２２が整列して配置されていることから、各列で共通する。一方の電極パッド２８ａは、各仮想線Lａ１上に配列されており、図示の例では、各ＩＣチップ領域２２に、１２個の電極パッド２８ａがそのＩＣチップ領域２２の長手方向に等間隔で配置されている。他方の電極パッド２８ｂは、各仮想線Lｂ１上に配列されており、各ＩＣチップ領域２２に、６個の電極パッド２８ｂが、一方の電極パッド２８ａの配列ピッチに対応して配置されている。一方の電極パッド２８ａは、第１の電極パッド群を構成し、他方の電極パッド２８ｂは、第２の電極パッド群を構成する。

再び図１を参照するに、プローブ組立体１０のプローブ基板１４の一方の面１４ａには、前記したプローブ１６が設けられたプローブ領域３０が、半導体ウエハ２０のＩＣチップ領域２２に対応して、縦横方向に相互に隣接するように整列して設けられている。図示の例では、一部のＩＣチップ領域２２に対応して縦横に８×８個のプローブ領域３０が形成されている。また、各パッド群（２８ａ、２８ｂ）の配列ラインである仮想線Lａ１、Lｂ１に対応する仮想線Lａ２、Ｌｂ２に沿って、プローブ領域３０毎で各ＩＣチップ領域２２のそれぞれの電極パッド２８（２８ａ、２８ｂ）に対応するように、多数の前記プローブ１６が仮想線Lａ２、Ｌｂ２と直角に配列されている。

図４には、プローブ基板１４上の一方の面１４ａに設けられる多数のプローブ１６の配列が、１つのＩＣチップ領域２２に対応する１つのプローブ領域３０で、代表的に表されている。図４に示す例では、複数のプローブ１６は、第１の電極パッド群（２８ａ）の配列ライン（仮想線Ｌａ１）に対応すべく、仮想線Lａ２上にそれぞれの針先３２ａを整列させて配置される第１のプローブ群と、第２の電極パッド群（２８ｂ）の配列ライン（仮想線Ｌｂ１）に対応すべく、仮想線Lｂ２上にそれぞれの針先３２ｂを整列させて配置される第２のプローブ群とを構成する。図４には、第１のプローブ群のプローブ（１６）が符号１６A１、１６A２、１６ａ１および１６ａ２でそれぞれ示されており、第２のプローブ群のプローブ（１６）が符号１６ｂ１および１６ｂ２でそれぞれ示されている。

すべてのプローブ１６（１６A１、１６A２、１６ａ１、１６ａ２、１６ｂ１および１６ｂ２）は、基本的に、プローブ基板１４の一方の面１４ａ上に形成された導電路３４のアンカー部３４ａに固定される台座部３６と、該台座部から横方向に伸びるアーム部３８と、該アームの先端に連なり前記針先３２（３２ａ、３２ｂ）が設けられる針先部４０とを備える。

各プローブ１６の台座部３６は、図４で見て、各プローブ１６に対応するアンカー部３４ａに基端が固着され該基端からアンカー部３４ａに直角に立ち上がる直立部分３６ａと、該直立部分の頂部から斜め上方へ立ち上がる傾斜部分３６ｂとを備える。各プローブ１６のアーム部３８は、対応する各傾斜部分の頂部から前記台座部３６と同一面内でその直立部分３６ａとほぼ直角に一方向へ伸長する。アーム部３８の伸長端には、傾斜部分３６ｂおよびアーム部３８と同一面内で前記針先部４０が一体的に形成されている。針先部４０は、図４で見て、アーム部３８の伸長方向に関してわずかな鈍角で斜め上方に立ち上がる。各針先部４０の先端面に各針先３２（３２ａ、３２ｂ）が設けられている。

アーム部３８は台座部３６から直立部分３６ａと直角に横方向へ伸長するが、このアーム部３８を直立部分３６ａとの角度が９０度を超えるように傾斜して形成することができる。また、アーム部３８の先端に設けられた針先部４０を不要とすることができる。この場合、針先３２（３２ａ、３２ｂ）は、アーム部３８の先端部における針先部４０の前記先端面と平行な面に直接的に取り付けられ、あるいはアーム部３８と一体的に形成される。

各プローブ１６は、それらの針先３２（３２ａ、３２ｂ）に押圧力を受けると、アーム部３８が、その弾性によって、撓み変形を生じる。このとき、各台座部３６は剛体として作用する。したがって、アーム部３８の前記した撓み変形は、該アーム部と台座部３６との連結部分が支点Ｓとなり、該支点を中心として僅かに弓なりに弾性変形する。このアーム部３８の弾性変形を促進するために、各プローブ１６のアーム部３８には、これを貫通してその両側に開放する長穴４２がそれぞれ形成されている。長穴４２は、アーム部３８の長手方向へ伸長する。

すべてのプローブ１６のうち、プローブ１６A１、プローブ１６ａ１およびプローブ１６ｂ１は、それぞれの傾斜部分３６ｂとアーム部３８との角度が鈍角θ１を示し、それぞれ同一の平面形状を有する。また、プローブ１６A２、プローブ１６ａ２およびプローブ１６ｂ２は、それぞれの傾斜部分３６ｂとアーム部３８との角度が鋭角θ２を示し、それぞれほぼ同一の平面形状を有する。針先３２（３２ａ、３２ｂ）に作用する押圧力に対する各台座部３６の機械的強度の同一性を保持する点で、前記押圧力前記鈍角θ１及び鋭角θ２の和が１８０度になるように、これらの角度θ１及びθ２を設定することが望ましい。これらのすべてのプローブ１６は、傾斜部分３６ｂとアーム部３８との角度が鈍角θ１であるか鋭角θ２であるかの相違点を除いて、前記した各支点から針先３２（３２ａ、３２ｂ）までの長さを含む各部の寸法は同一であり、前記押圧力に対してほぼ同一の機械的強度を示す。

傾斜部分３６ｂとアーム部３８との角度が鈍角θ１に設定されたプローブ１６A１、１６ａ１および１６ｂ１のうち、姿勢を表裏で反転させることなく仮想線Ｌａ２上に針先３２ａを整列させて配列されたプローブが符号１６A１で示されている。また、プローブ１６Ａ１の姿勢を反転させた状態で仮想線Ｌａ２上に針先３２ａを整列させて配列されたプローブが符号１６ａ１で示されている。さらに、プローブ１６Ａ１の姿勢を反転させた状態で仮想線Ｌｂ２上に針先３２ｂを整列させて配列されたプローブが符号１６ａ１で示されている。

同様に、傾斜部分３６ｂとアーム部３８との角度が鋭角θ２に設定されたプローブ１６A２、１６ａ２およびプローブ１６ｂ２のうち、姿勢を表裏で反転させることなく仮想線Ｌａ２上に針先３２ａを整列させて配列されたプローブが符号１６A２で示されている。また、プローブ１６A２の姿勢を反転させた状態で仮想線Ｌａ２上に針先３２ａを整列させて配列されたプローブが符号１６ａ２で示されている。さらに、プローブ１６A２の姿勢を反転させた状態で仮想線Ｌｂ２上に針先３２ｂを整列させて配列されたプローブが符号１６ｂ２で示されている。

すなわち、仮想線Ｌａ２上に針先３２ａを整列させて、プローブ１６A１およびプローブ１６A２が交互に配置された小プローブ群が形成されている。また、この小プローブ群間には、同様に仮想線Ｌａ２上に針先３２ａを整列させてプローブ１６ａ１およびプローブ１６ａ２が交互に配置されている。他方、仮想線Ｌｂ２上に針先３２ｂを整列させてプローブ１６ｂ１およびプローブ１６ｂ２が交互に配置されている。これらのプローブ１６は、前記したように、それぞれの台座部３６の直立部分３６ａの基端で対応する導電路３４のアンカー部３４ａに固着されている。

このように、仮想線Ｌａ２には、傾斜部分３６ｂおよびアーム部３８間の角度が鈍角θ１のプローブ（１６A１、１６ａ１）と、その角度が鋭角θ２のプローブ（１６A２、１６ａ２）とが、仮想線Ｌａ２に沿ってそれぞれ交互配列されている。また、仮想線Ｌｂ２には、傾斜部分３６ｂおよびアーム部３８間の角度が鈍角θ１のプローブ（１６ｂ１１）と、その角度が鋭角θ２のプローブ（１６A２、１６ａ２）とが、仮想線Ｌａ２に沿ってそれぞれ交互配列されている。これらの交互配列により、各仮想線Ｌａ２、Ｌｂ２上に針先３２（３２ａ、３２ｂ）を整列して配置される各プローブ１６が、ＩＣチップ領域２２の電極パッド２８（２６ａ、２６ｂ）の配列ピッチに対応して、例え各仮想線Ｌａ２、Ｌｂ２の伸長方向へ相互に近接して配置されても、各プローブ１６に対応する導電路３４の３４ａが各仮想線Ｌａ２、Ｌｂ２と直角な横方向へ交互にずれを以て配置することができるので、各プローブ１６の台座部３６のアンカー部３４ａへの固着作業が比較的容易に行える。

したがって、各仮想線Ｌａ２、Ｌｂ２の伸長方向で隣接するプローブ１６間に前記固着作業のための比較的広いスパンが確保できる場合には、プローブ１６を前記傾斜角が鈍角θ１または鋭角θ２のいずれか一方の形状のプローブで構成し、他方の形状のプローブを不要とすることができる。

仮想線Ｌａ２上に針先３２ａが整列するプローブ１６Ａ１および１６Ａ２は、それぞれの前記支点Ｓが仮想線Ｌａ２と平行な仮想線ＳA上に整列する。この仮想線ＳＡは、仮想線Ｌａ２と両仮想線Ｌａ２、Ｌｂ２間の中央仮想線Ｌｃとの間にある。したがって、これらのプローブ１６Ａ１および１６Ａ２は、それらの支点Ｓからそれらの針先３２ａを見た方向は、両仮想線Ｌａ２、Ｌｂ２間の中央仮想線Ｌｃからこれと直角に離れるY方向となる。

これに対し、仮想線Ｌａ２上に針先３２ａが整列するプローブ１６ａ１および１６ａ２は、それぞれの前記支点Ｓが仮想線Ｌａ２と平行な仮想線Ｓａ上に整列する。この仮想線Ｓａは、仮想線Ｌａ２に関して中央仮想線Ｌｃと反対側にある。したがって、これらのプローブ１６ａ１および１６ａ２は、それらの支点Ｓからそれらの針先３２ａを見た方向は、前記Y方向と逆の−Ｙ方向となる。

また、仮想線Ｌｂ２上に針先３２ｂが整列するプローブ１６ｂ１および１６ｂ２は、それぞれの前記支点Ｓが仮想線Ｌａ２と平行な仮想線Ｓｂ上に整列する。この仮想線Ｓｂは、仮想線Ｌｂ２と中央仮想線Ｌｃとの間にある。したがって、これらのプローブ１６ｂ１および１６ｂ２は、それらの支点Ｓからそれらの針先３２ａを見た方向は、プローブ１６ａ１および１６ａ２におけると同様、プローブ１６Ａ１および１６Ａ２における前記Y方向と逆の−Ｙ方向となる。

いずれにしても、仮想線Ｌａ２上にそれぞれの針先３２ａを整列させて配置されたプローブ１６A１、１６A２、１６ａ１、１６ａ２は、前記した第１のプローブ群を構成し、他方、仮想線Ｌｂ２上にそれぞれの針先３２ｂを整列させて配置されたプローブ１６ｂ１、１６ｂ２は、前記した第２のプローブ群を構成する。

本発明に係るプローブ組立体１０は、図５に示すように、真空チャック４４の吸着溝４４ａに作用する吸引圧力により、該真空チャック上に保持された半導体ウエハ２０の各ＩＣチップ領域２２の電気的検査に適用される。この電気的検査にために、第１のプローブ群の各プローブ１６A１、１６A２、１６ａ１、１６ａ２の針先３２ａが各ＩＣチップ領域２２の一方の電極パッド２８ａに当接し、第２のプローブ群の各プローブ１６ｂ１、１６ｂ２の針先３２ｂが各ＩＣチップ領域２２の他方の電極パッド２８ｂに当接するように、仮想線Ｌａ２、Ｌｂ２を半導体ウエハ２０の仮想線Ｌａ１、Ｌｂ１に一致させて、該半導体ウエハ上にプローブ組立体１０が適用される。

プローブ１６（１６A１、１６A２、１６ａ１、１６ａ２、１６ｂ１、１６ｂ２）の各針先３２（３２ａ、３２ｂ）が対応する電極パッド２８（２６ａ、２６ｂ）に押圧されると、各プローブ１６のアーム部３８には、台座部３６との連結部Ｓを支点として、僅かに撓みを伴う弾性変形が生じる。この弾性変形を与えるオーバドライブにより、各プローブ１６の針先３２（３２ａ、３２ｂ）には、それぞれのアーム部３８の伸長方向、すなわち支点Ｓからそれぞれの針先３２（３２ａ、３２ｂ）へ向けての方向の偏倚力が生じる。

図５から明らかなように、第１のプローブ群のうちのプローブ１６A１、１６A２については、この偏倚力はＹ方向となる。これに対して、第１のプローブ群のうちの他のプローブ１６ａ１、１６ａ２および第２のプローブ群のプローブ１６ｂ１、１６ｂ２については、この偏倚力は、Ｙ方向とは逆方向の−Ｙ方向となる。

ここで図３および４を参照すると、各ＩＣチップ領域２２に対応するプローブ領域３０毎では、全１８個のプローブ１６が設けられている。このうち、オーバドライブ時にＹ方向の偏倚力を生じるプローブ１６A１、１６A２の個数は９個であり、他方、オーバドライブ時に−Ｙ方向の偏倚力を生じるプローブの個数は、第１群の他のプローブ１６ａ１、１６ａ２の３個と第２のプローブ群１６ｂ１、１６ｂ２の６個との和である９個となる。その結果、各プローブ領域３０、ひいてはプローブ組立体１０の全体で、プローブ１６のオーバドライブによって半導体ウエハ２０に相互に逆（±Ｙ）方向に作用する偏倚力は相殺されることとなる。

もし、第１のプローブ群のすべてのプローブがプローブ１６A１、１６A２で構成されていると、各プローブ領域３０では、Ｙ方向の偏倚力を生じるプローブ１６A１、１６A２の個数は１２個となり、−Ｙ方向の偏倚力を生じるプローブ１６ｂ１、１６ｂ２の個数は６個であることから、６個の差が生じ、両方向の偏倚力に大きなアンバランスが生じる。そのため、プローブ組立体１０の全体で見た場合、プローブ領域３０の数に比例した極めて大きな一方向（Y方向）の偏倚力が半導体ウエハ２０に作用することとなり、例えば図６に破線で示すように、半導体ウエハ２０が真空チャック４４で変位することがある。１回の検査でこのような変位が生じると、１枚の半導体ウエハ２０を複数の領域に分けて複数回の検査を反復する必要がある場合には、その都度、プローブ組立体１０と半導体ウエハ２０との位置合わせの微調整が必要となる。

これに対して、本発明に係るプローブ組立体１０では、前記したように、各プローブ１６のアーム部３８の撓み変形による偏倚力がバランスし、相殺されることから、その偏倚力が真空チャック４４で保持された半導体ウエハ２０を真空チャック４４上で変位させることはない。

したがって、両側に同数の電極パッド２８（２８ａ、２８ｂ）が配列されていない非対称配列パターンを有するＩＣチップ領域２２が設けられた半導体ウエハ２０のような被検査体の電気的検査において、該被検査体に横方向への大きな変位が生じることはない。これにより、被検査体の変位によるプローブでの電極パッドを外れたデバイス領域の擦りを招くことなく、両方向に配置されたプローブのそれぞれで対応する電極パッドの接触面を適正に擦することができるので、プローブと電極パッドとの確実な電気的接続が得られ、その結果、正確な測定が可能となる。また、検査毎に再度の位置合わせを必要とするほどの変位が生じないので、１枚の半導体ウエハ２０を複数の領域に分けて複数回の検査を反復する場合、作業効率が著しく向上する。

さらに、ＩＣチップ領域２２内に接触するダミープローブを設けることなく前記した両方向の偏倚力のバランスを取ることができるので、このダミープローブによる損傷を半導体ウエハ２０に生じることはない。

前記した実施例の各プローブ群のプローブ数を一般化して示すと、次のようになる。プローブ組立体１０のすべてのプローブ数を２ｎ個（ｎは２以上の自然数）とすると、例えば一方のプローブ群はｍ（ｍ≠ｎ）個のプローブで構成され、他方のプローブ群は（２ｎ−ｍ）個のプローブで構成される。

ここで、ｎ＞ｍであるとすると、多数のプローブからなる前記他方のプローブ群のプローブのうち、ｎ個のプローブが一方向（Ｙ方向）に配列され、当該他方のプローブ群の残りの（ｎ−ｍ）個のプローブが逆方向（−Ｙ方向）に配列される。他方、前記一方のプローブ群のすべて（ｍ個）のプローブは、前記逆方向（−Ｙ方向）に配列される。

反対に、ｎ＜ｍであるとすると、前記一方のプローブ群のうち、ｎ個のプローブが一方向（Ｙ方向）に配列され、当該一方のプローブ群の残りの（ｍ−ｎ）個のプローブが逆方向（−Ｙ方向）に配列される。他方、前記他方のプローブ群のすべて（ｎ個）のプローブは、前記逆方向（−Ｙ方向）に配列される。

いずれの場合であっても、一方向（Ｙ方向）および逆方向（−Ｙ方向）のプローブ数はｎ個となり、それらの偏倚力が相殺される。

各プローブ１６は、その針先３２（３２ａ、３２ｂ）を含み、例えばニッケルあるいはその合金のような適正な高靱性を示す板状の金属材料で形成することができる。しかしながら、針先３２（３２ａ、３２ｂ）は、コバルトあるいはロジウムのような高硬度金属材料で形成することが望ましい。

また、プローブ１６は、従来よく知られたエレクトロフォーミングにより形成することができる。この場合、作業台上でフォトレジストを選択的に露光および現像して形成されるプローブの平面形状を有するフォトレジストパターンに導電材料を電気メッキ法により堆積させた後、前記フォトレジストパターンを除去することによりプローブ１６が形成される。

前記したところでは、プローブ基板１４の中央仮想線Ｌｃの一側にプローブ数の多い一方のプローブ群が構成され、該プローブの一部にその支点Ｓから針先３２へ向けての方向（−Ｙ方向）が当該プローブ群の他のプローブのそれと逆方向（Ｙ方向）に配列し、両プローブ群を構成する全プローブのうち、一方向およびそれと逆方向に配列されたプローブ数が等しい例を示した。しかしながら、半導体ウエハ２０に実質的な変位を与える偏倚力を生じない限り、プローブ組立体１０の全体で見て両プローブ群のプローブ数に僅かな差を設定することができる。

また、プローブ数の少ない他方のプローブ群のすべてのプローブがそれぞれの支点からその針先へ向けての方向が同一方向となるように配列した例を示した。しかしながら、必要に応じて、この他方のプローブ群にも前記方向が相互に逆方向となるプローブを混在させることができる。

本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。

本発明に係るプローブ組立体を概略的に示す底面図である。 図１に示したプローブ組立体の正面図である。 図１に示したプローブ組立体で検査を受ける半導体ウエハのＩＣチップ領域に設けられた電極と、前記プローブ組立体の各プローブとの配置関係を示すプローブ組立体を上面から見た説明図である。 本発明に係るプローブ組立体のプローブの配列例を示す、プローブ組立体の底面側から見た斜視図である。 図４に示したプローブ組立体のプローブと、半導体ウエハのＩＣチップ領域の電極との配置関係を部分的に示す縦断面図である。 吸着チャック上の被検査体である半導体ウエハを示す斜視図である。

符号の説明

１０ プローブ組立体
１４ プローブ基板
１６（１６A1、１６A2、１６a1、１６a2、１６b1、１６b2） プローブ
２０ 半導体ウエハ（被検査体）
２２ ＩＣチップ領域
２８（２８ａ、２８ｂ） 電極パッド
３２（３２ａ、３２ｂ） 針先
３６ 台座部
３８ アーム部
４２ 長穴

Claims (8)

1. 複数の電極パッドを有する半導体装置の電気検査のために用いられるプローブ組立体であって、
   複数のアンカー部が設けられたプローブ基板と、対応する前記アンカー部に固定されかつ支点を経て前記アンカー部から離れる方向へ伸長し、その先端に針先を有し、該針先が対応する前記電極パッドへ押圧されたときに前記支点から先端側部分が弾性変形可能な複数のプローブであって前記プローブ基板の仮想直線の一側に針先が配置された第１のプローブ群および前記仮想直線の他側に針先が配置された第２のプローブ群を構成するプローブとを備え、両プローブ群を構成するプローブ数は異なり、前記各プローブはそれぞれの前記支点からその前記針先へ向けての方向が前記仮想直線にほぼ直角に配列され、少なくともプローブ数の多い一方のプローブ群を構成する前記プローブの一部は、その前記支点からその前記針先へ向けての方向が当該プローブ群の他のプローブのそれと逆方向に配列されている、プローブ組立体。
2. 前記両プローブ群を構成する前記全プローブのうち、該各プローブの前記支点からその前記針先へ向けての方向が一方向およびそれと逆方向に配列されたプローブ数がほぼ等しくなるように、配列されている、請求項１に記載のプローブ組立体。
3. 他方の前記プローブ群のすべての前記プローブは、それぞれの前記支点からその前記針先へ向けての方向が同一方向となるように配列されている、請求項２に記載のプローブ組立体。
4. 前記プローブは、偶数（２ｎ）個（ｎは２以上の自然数）のプローブであり、該プローブのうち、ｍ個（ｍ≠ｎ）の前記プローブは、前記プローブ基板上の仮想直線の一側で前記第１のプローブ群を構成し、残りの（２ｎ−ｍ）個の前記プローブは、前記仮想直線の他側で前記第２のプローブ群を構成し、両プローブ群のうちのプローブ数の少ない一方のプローブ群を構成する前記各プローブは、それぞれの前記支点からその針先に至る方向が同一方向へ向けて配列され、他方のプローブ群を構成する前記プローブのうちのｎ個の前記プローブは前記一方のプローブ群の前記プローブの配列方向と逆方向に配列されまた残りの（ｎ−ｍまたはｍ−ｎ）個の前記プローブは前記一方のプローブ群の前記プローブの配列方向と同一方向に配列されている、請求項１に記載のプローブ組立体。
5. 前記各プローブは、前記一端が対応する前記アンカー部に固着され、該アンカー部から立ち上がる台座部と該台座部の先端から該台座部の伸長方向と角度的に横方向へ伸長し、その先端部に前記針先が設けられるアーム部とを備え、前記アーム部と前記台座部との連結部分が前記支点として作用する、請求項４に記載のプローブ組立体。
6. 前記アーム部には、該アーム部の撓み変形を容易とすべく該アーム部を貫通する長穴が形成され、該長穴は前記アーム部に沿って該アーム部の長手方向に伸長する、請求項５に記載のプローブ組立体。
7. 前記半導体装置の前記電極パッドは、前記半導体装置の平面上の互いに平行な仮想平行線上にそれぞれ配列されており、ｍ個の前記電極パッドが前記平行線の一方の線上に配列され、（２ｎ−ｍ）個の前記電極パッドが前記平行線の他方の線上に配列されており、前記各プローブ群の前記各プローブが前記平行線上の対応する前記一方および他方の各線上の前記各電極パッドにそれぞれ対応して適用される、請求項４に記載のプローブ組立体。
8. 前記半導体装置は、多数のＩＣチップ領域が区画された半導体ウエハであり、前記プローブは、前記チップ領域に対応した前記プローブ基板上の領域で前記チップ領域に設けられた各電極に対応して配列されており、その配列パターンが前記プローブ基板上で前記チップ領域に対応して繰り返されている、請求項４に記載のプローブ組立体。

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