CN102101872A - 多官能团丙烯酸化合物和包含所述化合物的光敏组合物 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种包含硅氧烷基团的多官能团丙烯酸化合物,和包含所述多官能团丙烯酸化合物并且用于制作LCD用滤色器的彩色或透明光敏树脂组合物。本发明使用的多官能团丙烯酸化合物包含硅氧烷基团。包含所述多官能团丙烯酸化合物的光敏树脂组合物的优势在于其为图案提供出色的粘合力,并防止显影过程中精细图案的损失。
Description
要求2009年12月22日提交的韩国专利申请2009-0128704和2010年11月26日提交的韩国专利申请2010-0119176的优先权,所述专利申请每篇的全部公开内容通过引证的方式纳入本文。
技术领域
本发明涉及一种多官能团丙烯酸化合物和一种包含所述化合物的光敏组合物;更具体而言,涉及一种包含硅氧烷基团的多官能团丙烯酸化合物,和一种通过包含所述多官能团丙烯酸化合物而能够形成具有出色的粘合力的图案并用于LCD用滤色器的光敏组合物。
背景技术
LCD中使用的液晶元件主要包括一个驱动用薄膜晶体管基板、一个实现颜色用滤色器基板和两个基板间的液晶。所述滤色器基板如下形成:使用其中分散有颜料的光敏有机材料通过光刻蚀法形成图案,然后使用具有三种或更多种透射和吸收波长的彩色油墨形成像素(pixels)以实现彩色图像。除了像素外,滤色器基板中还可使用一层罩面层以减小像素间的距离,或可将柱形间隔物以图案方式装入滤色器基板中以规则地维持液晶元件间的间隙。
负型组合物(negative type composition)——来自可通过光刻蚀法加工的光敏树脂组合物中——主要用作形成滤色器基板的有机材料。所述组合物由包含以下物质的混合物形成:用以提供碱溶性的包含羧酸的粘合剂、多官能团丙烯酸化合物、响应光线而产生自由基的光敏引发剂、表面活性剂、溶剂以及提供图案和玻璃基板间的粘合力的偶联剂。
近来,液晶显示器设备的分辨率逐渐升高,因此滤色器基板中所用图案的尺寸缩小。于是,当使用光敏材料使像素形成图案或使比像素小得多的柱形间隔物形成图案时,由于显影过程中的水压而使缩小的图案消失,从而提高了瑕疵的出现率。
发明内容
因此,做出本发明是为了解决以下问题:当使用光敏材料形成图案时,由于显影过程中的水压而使精细图案消失。
本发明的一个目的是提供一种能够改善图案粘合力的多官能团丙烯酸化合物。
本发明的另一个目的是提供这样一种光敏组合物,其通过包含所述多官能团丙烯酸化合物而能够防止由于图案消失所造成的瑕疵出现。
本发明一个方面的多官能团丙烯酸化合物可由以下化学式1或化学式2表示。
[化学式1]
[化学式2]
在化学式1和2中,R1至R10彼此相同或不同。R1至R10中的每一个均独立地为任何一种选自以下的基团:氢原子(-H)、丙烯酰基(-C(O)-CH=CH2)、琥珀酰基(-C(O)C2H4C(O)OH)、和具有以下化学式3结构且包含两个或更多个丙烯酰基和一个或更多个具有化学式3结构的取代基的取代基。
[化学式3]
在化学式3中,R11至R13彼此相同或不同。R11至R13中的每一个均为具有1-2碳数的烷基。
此外,本发明提供了一种包含所述多官能团丙烯酸化合物作多官能团单体的光敏组合物。
此外,所述光敏组合物还可包含碱溶性粘合剂树脂、光敏引发剂、溶剂和添加剂。
此外,所述光敏组合物可包含1至35重量%权利要求1至6中任一项的多官能团丙烯酸化合物、1至45重量%碱溶性粘合剂树脂、0.05至10重量%光敏引发剂和10至97.95重量%溶剂。
此外,所述多官能团单体还可包含一种不包含硅氧烷基团的丙烯酸化合物。
所述不包含硅氧烷基团的丙烯酸化合物为一种或多种选自以下的化合物:引入二季戊四醇中的KAYARAD DPCA-20、KAYARAD DPCA-30、KAYARAD DPCA-60、KAYARAD DPCA-120和Aronix M-520;引入丙烯酸四氢糠酯中的KAYARAD TC-110S、引入羟基新戊酸新戊二醇酯中的KAYARAD HX-220和KAYARAD HK-620;U-324A、U15HA和U-4HA作为环氧丙烯酸酯、酚醛-环氧丙烯酸酯或双酚A衍生物的基于氨基甲酸酯的多官能团丙烯酸酯;以及可获自Hanse Chemie AG的Nanocryl XP系列(0596、1045、21/1364)和Nanopox XP系列(0516、0525)。
此外,所述不包含硅氧烷基的丙烯酸化合物以总组合物的1-15重量%包含。
此外,所述光敏组合物还可包含一种或多种选自以下的物质:硬化剂、着色剂、促进剂、热聚合抑制剂(a heat and polymerization inhibitor)、增塑剂、粘合促进剂、填充剂和表面活性剂。
此外,本发明一个实施方案的光敏组合物由于包含由化学式1或2表示的多官能团丙烯酸化合物,而基本不包含另外的偶联剂。
附图说明
本发明的以上和其他目的和特征通过以下给出的优选实施方案的描述以及附图将变得更明显,在附图中:
图1是一幅示出根据实施方案和比较例制作的图案的形状的照片。
具体实施方式
下文中将结合附图详细描述本发明的实施方案,以使其可易于被本领域技术人员实施。
用于实现本发明目的的包含硅氧烷基团的多官能团丙烯酸化合物由以下化学式1或化学式2表示。此处,多官能团丙烯酸化合物是指包含两个或更多个丙烯酰基的化合物。
[化学式1]
[化学式2]
R1至R10中的每一个均独立地为任何一种选自以下的基团:氢原子(-H)、丙烯酰基(-C(O)-CH=CH2)、琥珀酰基(-C(O)C2H4C(O)OH)、和具有以下化学式3结构且包含两个或更多个丙烯酰基和一个或更多个具有化学式3结构的取代基的取代基。
[化学式3]
在化学式3中,R11至R13彼此相同或不同。R11至R13中的每一个均为具有1-2碳数的烷基。如果碳数超过3,则不可预期获得因本发明而得到的改善的粘合力效果。
由化学式1或2表示的多官能团丙烯酸化合物可如下形成:在有机溶剂中稀释一种选自二季戊四醇五丙烯酸酯和季戊四醇三丙烯酸酯的丙烯酸化合物,向经稀释的溶液中添加琥珀酸酐以使它们相互反应一段预定的时间,向反应形成物中添加3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷或3-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷,然后除去溶剂。由于加入琥珀酸酐,二季戊四醇五丙烯酸酯或季戊四醇三丙烯酸酯和3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷或3-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷可不用催化剂而相互反应。
用于实现本发明目的的光敏树脂组合物包含1至35重量%化学式1或2表示的多官能团丙烯酸化合物、1至45重量%碱溶性粘合剂树脂、0.05至10重量%光敏引发剂和10至97.95重量%溶剂。所述光敏树脂组合物还可包含一种或多种添加剂,如着色剂、硬化促进剂、热聚合抑制剂、增塑剂、粘合促进剂、填充剂和表面活性剂。
由于其包含硅氧烷基团,由化学式1或2表示的多官能团丙烯酸化合物起到改善光敏组合物粘合力的作用。因此,本发明可仅通过所述丙烯酸化合物提供就粘合力而言优选的光敏组合物,尽管其不含另外的偶联剂。可包含1至35重量%、优选1至15重量%的所述丙烯酸化合物。如果包含少于1重量%的所述丙烯酸化合物,可能得不到改善的粘合力效果。如果包含超过35重量%的所述丙烯酸化合物,粘合力增加过大,因此在显影过程后充分洗涤所述光敏组合物,导致所述光敏组合物仍保留在基板上的残留现象。
所述碱溶性粘合剂树脂是包含酸官能团的聚合物树脂,其不限于特定结构只要其通常用于本发明所属技术领域即可。所述碱溶性粘合剂树脂可单独使用或者以两种或更多种的结合物使用。但优选所述碱溶性粘合剂树脂的酸值为30至300mgKOH/g,且其重均分子量为1,000至200,000。如果所述碱溶性粘合剂树脂的酸值小于30mgKOH/g,碱性显影剂的溶解度可能会降低。如果所述碱溶性粘合剂树脂的酸值大于300mgKOH/g,图案中可能会出现蚀刻不足现象(undercut phenomenon)。如果所述碱溶性粘合剂树脂的分子量小于1,000,则由于在曝光显影中没有差异,使用光刻蚀法可能不会形成图案。此外,如果所述碱溶性粘合剂树脂的分子量大于200,000,则由于溶液粘度增加,可能不能平滑地进行涂覆。
此外,除了由化学式1或2表示的化合物外,本发明的组合物还可包含1至15重量%不含硅氧烷基团的多官能团丙烯酸化合物。
所述不含硅氧烷基团的多官能团丙烯酸化合物不限于特定结构,只要其为在一个分子内包含两个或更多个丙烯酰基的化合物即可。本发明所属领域的技术人员已知的化合物可用作本发明的多官能团丙烯酸化合物,并且所述多官能团丙烯酸化合物可单独使用或者以两种或多种的结合物使用。所述化合物的详细实例可包含已引入二季戊四醇中的KAYARAD DPCA-20、KAYARAD DPCA-30、KAYARAD DPCA-60、KAYARAD DPCA-120和Aronix M-520,引入丙烯酸四氢糠酯中的KAYARAD TC-110S,引入羟基新戊酸新戊二醇酯中的KAYARAD HX-220、KAYARAD HK-620等。
此外,环氧丙烯酸酯、酚醛-环氧丙烯酸酯和双酚A衍生物的基于氨基甲酸酯的多官能团丙烯酸酯可包括U-324A、U15HA、U-4HA等。
此外,必要时可使用这样一种胶体溶液,其中粉状二氧化硅分散体以极小尺寸分散于所述多官能团丙烯酸化合物中。在使用所述胶体溶液的情况下,基本功能与所述多官能团丙烯酸化合物相同,但使用二氧化硅(即,分散颗粒)可提高增加薄膜强度和硬度的效果。例如,可使用可获自Hanse Chemie AG的Nanocryl XP系列(0596、1045和21/1364)和Nanopox XP系列(0516、0525)作为所述胶体溶液。
在本发明的光敏树脂组合物中,所述光敏引发剂可单独使用或者以两种或更多种的结合物使用。所述光敏引发剂的实例可包含基于三嗪的化合物,如2,4-三氯甲基-(4’-甲氧基苯基)-6-三嗪;非咪唑(non-imidazole)化合物,如2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’-5,5’-四苯基非咪唑;基于苯乙酮的化合物,如2-羟基-2-甲基-1-苯基丙-1-酮;基于二苯甲酮的化合物,如4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮;基于噻吨酮的化合物,如2,4-二乙基噻吨酮;基于氧化膦的化合物,如2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦;基于香豆素的化合物,如3,3’-碳乙烯基-7-(二乙基氨基)(3,3’-carbovinyl-7(diethylamino));和基于O-酰基肟的化合物,如可获自Ciba Geigy Con的Irgacure OXE-01和OXE-02,但并不特别限于此。本领域技术人员熟知的光敏引发剂可用作本发明的光敏引发剂。
在本发明的光敏树脂组合物中,所述溶剂可单独使用或者以两种或更多种的结合物使用。所述溶剂的实例可为一种选自以下的溶剂:甲基乙基酮、甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、丙基溶纤剂、乙二醇二甲醚、乙二醇二***、乙二醇甲基乙基醚、丙二醇二甲醚、丙二醇二***、丙二醇甲基乙基醚、2-乙氧基丙醇、2-甲氧基丙醇、3-甲氧基丁醇、环戊酮、环己酮(cyclohezanone)、丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、乙酸3-甲氧基丁酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基溶纤剂乙酸酯、甲基溶纤剂乙酸酯、乙酸丁酯和双丙甘醇单甲醚,但不限于此。本领域技术人员熟知的溶剂可用作所述光敏引发剂。
本发明的光敏树脂组合物还可包含一种或多种添加剂,如着色剂、硬化促进剂、热聚合抑制剂、增塑剂、粘合促进剂、填充剂和表面活性剂。
所述着色剂的实例可包含一种或多种颜料、染料或其混合物。更具体而言,黑色颜料的实例可包含金属氧化物,如炭黑、石墨或钛黑。THE炭黑的实例可包含SEAST 5HIISAF-HS、SEAST KH、SEAST3HHAF-HS、SEAST NH、SEAST 3M、SEAST 300HAF-LS、SEAST116HMMAF-HS、SEAST 116MAF、SEAST FMFEF-HS、SEAST SOFEF、SEAST VGPF、SEAST SVHSRF-HS和SEAST SSRF,其均可获自Tokai Carbon Co.,Ltd.;DIAGRAM BLACK II、DIAGRAM BLACK N339、DIAGRAM BLACK SH、DIAGRAM BLACK H、DIAGRAM LH、DIAGRAM HA、DIAGRAM SF、DIAGRAM N550M、DIAGRAM M、DIAGRAM E、DIAGRAM G、DIAGRAM R、DIAGRAM N760M、DIAGRAM LR、#2700、#2600、#2400、#2350、#2300、#2200、#1000、#980、#900、MCF88、#52、#50、#47、#45、#45L、#25、#CF9、#95、#3030、#3050、MA7、MA77、MA8、MA11、MA100、MA40、OIL7B、OIL9B、OIL11B、OIL30B和OIL31B,其均可获自Mitsubishi Chemical Co.;PRINTEX-U、PRINTEX-V、PRINTEX-140U、PRINTEX-140V、PRINTEX-95、PRINTEX-85、PRINTEX-75、PRINTEX-55、PRINTEX-45、PRINTEX-300、PRINTEX-35、PRINTEX-25、PRINTEX-200、PRINTEX-40、PRINTEX-30、PRINTEX-3、PRINTEX-A、SPECIAL BLACK-550、SPECIAL BLACK-350、SPECIAL BLACK-250、SPECIALBLACK-100和LAMP BLACK-101,其均可获自Degussa Japan Co.,Ltd.;RAVEN-1100ULTRA、RAVEN-1080ULTRA、RAVEN-1060ULTRA、RAVEN-1040、RAVEN-1035、RAVEN-1020、RAVEN-1000、RAVEN-890H、RAVEN-890、RAVEN-880ULTRA、RAVEN-860ULTRA、RAVEN-850、RAVEN-820、RAVEN-790ULTRA、RAVEN-780ULTRA、RAVEN-760ULTRA、RAVEN-520、RAVEN-500、RAVEN-460、RAVEN-450、RAVEN-430ULTRA、RAVEN-420、RAVEN-410、RAVEN-2500ULTRA、RAVEN-2000、RAVEN-1500、RAVEN-1255、RAVEN-1250、RAVEN-1200、RAVEN-1190ULTRA和RAVEN-1170,其均可获自Columbia Carbon Co.,Ltd.;或其混合物。
此外,具有一种颜色的着色剂的实例可包含洋红6B(C.I.12490)、酞菁绿(C.I.74260)、酞菁蓝(C.I.74160)、苝黑(BASF K0084.K0086)、花青黑、LINOL YELLOW(C.I.21090)、LINOL YELLOWGRO(C.I.21090)、联苯胺黄4T-564D、维多利亚纯蓝(C.I.42595),C.I.颜料红3、23、97、108、122、139、140、141、142、143、144、149、166、168、175、177、180、185、189、190、192、202、214、215、220、221、224、230、235、242、254、255、260、262、264、272;C.I.颜料绿7、36;C.I.颜料蓝15:1、15:3、15:4、15:6、16、22、28、36、60、64;C.I.颜料黄13、14、35、53、83、93、95、110、120、138、139、150、151、154、175、180、181、185、194、213;和C.I.颜料紫15、19、23、29、32、37。另外,可使用白色颜料、荧光颜料等。除了铜(Cu)以外,还可使用其中用锌(Zn)作碱性金属的材料作为颜料中所用的基于酞菁的络合物。但本发明并不限于此,并且本发明所属领域的技术人员已知的材料可用作本发明颜料中所用的基于酞菁的络合物。
任何一种选自以下的物质可用作硬化促进剂,但不限于此:例如2-巯基苯并咪唑、2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑、2,5-二巯基-1,3,4-噻二唑和2-巯基-4,6-二甲基氨基吡啶。本发明所属领域的技术人员已知的材料可用作本发明的硬化促进剂。
所述热聚合抑制剂可包含例如对苯甲醚和氢醌,但不限于此。本发明所属领域的技术人员已知的热聚合抑制剂可用作本发明的热聚合抑制剂。
常规光敏树脂组合物中可包含的所有化合物可用作本发明的增塑剂、粘合促进剂、填充剂和表面活性剂。
可使用以下方法将本发明的光敏树脂组合物涂覆于基于金属、纸、玻璃或塑料的载体上,所述方法如辊涂、幕涂、旋涂、狭缝模具涂覆(slot die coating)、各种印刷或沉积。
此外,在被涂覆至载体上后,可将所述光敏树脂组合物转印至其他载体,或涂覆至第一载体、转印至橡皮滚筒(blanket)、然后转印至第二载体。但本发明并不限于特定方法。
用于硬化本发明光敏树脂组合物的光源可包括,例如发出波长为250至450μm的光的蒸汽弧、碳弧、氙弧或卤素弧,但不特别限于此。本发明所属领域的技术人员已知的光源可用作本发明的光源。
本发明的光敏树脂组合物可用于制备可光致固化的颜料、可光致固化的油墨、用于LCD滤色器的透明光敏组合物、颜料分散体类型的光敏树脂组合物和用于形成LCD或OLED的光屏蔽膜的光敏树脂组合物,但不特别限于此。
此外,本发明提供了一种用于使用本发明光敏树脂组合物所制备的LCD的透明薄膜。所述用于LCD的透明薄膜可使用除了制备本发明光敏树脂组合物的方法以外的、本发明所属领域的技术人员已知的普通方法制备。
此外,本发明提供了一种LCD,其包含LCD用透明薄膜。液晶显示装置可使用除了制备用于使用本发明光敏树脂组合物所制备的LCD的透明薄膜的方法以外的、本发明所属领域的技术人员已知的普通方法制备。
下文更详细描述了本发明的实施方案。描述以下实施方案仅为示例说明本发明,本发明的范围并不限于此。
组合物实施例1
在丙二醇甲基醚乙酸酯中稀释50重量%的二季戊四醇五丙烯酸酯。向经稀释的溶液中加入琥珀酸酐使其摩尔比为1∶1,并在80℃下搅拌12小时。接下来,添加3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷以使3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷和加入的琥珀酸酐的摩尔比为1∶1,搅拌12小时,然后冷却。接下来,将通过使用真空除去溶剂得到的化合物溶于d6-DMSO中。使用500MHz1H-NMR对溶液的分析结果如下,其符合以下化学式4。
5.8~6.5(9H,d,-CH=CH2),2.5~2.7(4H,t,-OC(O)-CH2-CH2-C(O)O-),4.1~4.5(5H,m,-O-CH2-CH(OH)-CH2-O-)。
[化学式4]
组合物实施例2
组合物实施例2与组合物实施例1相同,除了使用二季戊四醇五丙烯酸酯代替组合物实施例1中使用的季戊四醇三丙烯酸酯。将由组合物实施例2得到的化合物溶于d6-DMSO中。使用500MHz1H-NMR对溶液的分析结果如下,其符合以下化学式5。
5.8~6.5(15H,d,-CH=CH2),2.5~2.7(4H,t,-OC(O)-CH2-CH2-C(O)O-),4.1~4.5(5H,m,-O-CH2-CH(OH)-CH2-O-)。
[化学式5]
组合物实施例3
组合物实施例3与组合物实施例1相同,除了使用环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷代替组合物实施例1中使用的3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷。将由组合物实施例3得到的化合物溶于d6-DMSO中。使用500MHz1H-NMR对溶液的分析结果如下,其符合以下化学式6。
5.8~6.5(15H,d,-CH=CH2),2.5~2.7(4H,t,-OC(O)-CH2-CH2-C(O)O-),4.1~4.5(5H,m,-O-CH2-CH(OH)-CH2-O-)。
[化学式6]
组合物实施例4
组合物实施例4与组合物实施例2相同,除了使用环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷代替组合物实施例2中使用的3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷。将由组合物实施例2得到的化合物溶于d6-DMSO中。使用500MHz1H-NMR对溶液的分析结果如下,其符合以下化学式7。
5.8~6.5(15H,d,-CH=CH2),2.5~2.7(4H,t,-OC(O)-CH2-CH2-C(O)O-),4.1~4.5(5H,m,-O-CH2-CH(OH)-CH2-O-)。
[化学式7]
实施方案1
将粘合剂树脂(甲基丙烯酸苯甲酯和甲基丙烯酸酯以70∶30的摩尔比共聚,并且分子量为约20,000)(8重量份)、通过组合物实施例1得到的化学式4化合物(8重量份)、作为光敏引发剂的可获自Ciba Geigy的Irgacure 907(1重量份)和作为溶剂的丙二醇甲基醚乙酸酯(83重量份)搅拌混合3小时。将得到的溶液通过5微米的过滤器过滤,从而制备光敏组合物溶液。将所述光敏组合物溶液旋涂在玻璃上,然后在约100℃下进行电加热2分钟,从而形成厚度为约2.5μm的均匀薄膜。
通过使用独立图案的光掩模将所述薄膜暴露于高压汞灯下,所述图案的直径为5微米至20微米,间隔为1微米。接下来,使用pH 11.3至11.7的KOH碱性水溶液使图案显影,并用去离子水洗涤。使用光学显微镜监测图案状态,根据光掩模直径确定最小图案尺寸。测定结果为留下了尺寸为5微米的所有图案。
实施方案2
实施方案2与实施方案1相同,除了将4重量份(而不是实施方案1中的8重量份)由组合物实施例1得到的化学式4化合物与4重量份二季戊四醇六丙烯酸酯(相当于化学式1中所有R1至R6被丙烯酰基取代的情况)混合。实验后的测定结果为留下了尺寸为5微米的所有图案。
实施方案3
实施方案3与实施方案1相同,除了混合由组合物实施例2得到的化学式5化合物(8重量份),代替实施方案1中的由组合物实施例1得到的化学式4化合物(8重量份)。实验后的测定结果为留下了尺寸为6微米的所有图案。
实施方案4
实施方案4与实施方案1相同,除了混合由组合物实施例2得到的化学式5化合物(4重量份),代替实施方案1中的由组合物实施例1得到的化学式4化合物(8重量份)。实验后的测定结果为留下了尺寸为6微米的所有图案。
实施方案5
实施方案5与实施方案1相同,除了使用由组合物实施例3得到的化学式6化合物,代替实施方案1中的由组合物实施例1得到的化学式4化合物。
实施方案6
实施方案6与实施方案2相同,除了使用由组合物实施例3得到的化学式6化合物,代替实施方案2中的由组合物实施例1得到的化学式4化合物。
实施方案7
实施方案7与实施方案1相同,除了使用由组合物实施例4得到的化学式7化合物,代替实施方案1中的由组合物实施例1得到的化学式4化合物。
实施方案8
实施方案8与实施方案2相同,除了使用由组合物实施例4得到的化学式7化合物,代替实施方案2中的由组合物实施例1得到的化学式4化合物。
比较例1
比较例1与实施方案1相同,除了混合二季戊四醇六丙烯酸酯(8重量份),代替实施方案1中的由组合物实施例1得到的化学式4化合物(8重量份)。实验后的测定结果为留下了尺寸为7微米的所有图案。
比较例2
比较例2与实施方案1相同,除了混合二季戊四醇六丙烯酸酯(8重量份)和作为偶联剂的3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二甲氧基硅烷(1重量份),代替实施方案1中的由组合物实施例1得到的化学式4化合物(8重量份),以及混合82重量份的溶剂代替83重量份的溶剂。实验后的测定结果为留下了尺寸为5微米的所有图案。
比较例3
比较例3与实施方案1相同,除了混合季戊四醇三丙烯酸酯(8重量份),代替实施方案1中的由组合物实施例1得到的化学式4化合物(8重量份)。实验后的测定结果为留下了尺寸为8微米的所有图案。
比较例4
比较例4与实施方案1相同,除了混合季戊四醇三丙烯酸酯(8重量份)和作为偶联剂的3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二甲氧基硅烷(1重量份),代替实施方案1中的由组合物实施例1得到的化学式4化合物(8重量份),以及混合82重量份的溶剂代替83重量份的溶剂。实验后的测定结果为留下了尺寸为6微米的所有图案。
由实施方案和比较例得到的结果总结于下表1和图1中。
在表1中,“Em.”为“实施方案”的缩写形式,“Co.”为“比较例”的缩写形式。
在实验结果中,可以说使用较小图案和保持完整无损的光掩模制备的图案为具有出色粘合力的光敏树脂组合物。关于实施方案和比较例的膜,在显影过程中经水压而保持完整无损的图案尺寸的监测结果列于表1中。
根据表1比较实施方案1和2的结果与比较例1和2的结果时,在将由本发明组合物实施例1得到的化学式4化合物如实施方案1和2中的全部量(实施方案1)或部分量(实施方案2)用作多官能团丙烯酸化合物的情况下,图案的最小尺寸监测为5微米。表明与比较例1——其中小于7微米的图案全部消失而未监测到——相比,实施方案1和2的图案具有出色的粘合力。此外,可以看出,即使不使用偶联剂,实施方案1和2可实现与比较例2中使用偶联剂时相同水平的粘合力。
同样,根据表1比较实施方案3和4的结果与比较例3和4的结果时,在将由本发明组合物实施例2得到的化学式5化合物如实施方案1和2中的全部量(实施方案3)或部分量(实施方案4)用作多官能团丙烯酸化合物的情况下,图案的最小尺寸监测为6微米。表明与比较例3——其中小于8微米的图案全部消失——相比,实施方案3和4的图案具有出色的粘合力。此外,可以看出,实施方案3和4可实现与比较例4中使用偶联剂时相同水平的粘合力。
因此根据本发明,与现有技术相比,所述包含具有硅氧烷基团的多官能团丙烯酸化合物的光敏树脂组合物具有出色的粘合力,并且使用所述光敏树脂组合物形成图案时,可防止由于显影过程中精细图案损失而造成的瑕疵出现。
根据本发明的实施方案,由化学式1或2表示的多官能团丙烯酸化合物和包含所述化合物的光敏组合物是有利的,因为尽管其不包含另外的偶联剂但其具有出色的粘合力。
因此,如果使用本发明的包含具有硅氧烷基团的多官能团丙烯酸化合物的光敏树脂组合物形成图案,可防止由于显影过程中精细图案损失而造成的瑕疵出现。这种树脂组合物在制作具有高分辨率的滤色器的彩色像素、柱形间隔物和罩面层中是有利的。
虽然已通过优选的实施方案示出和描述了本发明,但本领域技术人员应理解可在不背离所附权利要求限定的本发明实质和范围内做出各种变化和修改。
Claims (14)
5.权利要求2的多官能团丙烯酸化合物,其中所述多官能团丙烯酸化合物由以下化学式5表示:
[化学式5]
7.一种包含权利要求1至6中任一项的多官能团丙烯酸化合物作多官能团单体的光敏组合物。
8.权利要求7的光敏组合物,还包含碱溶性粘合剂树脂、光敏引发剂、溶剂和添加剂。
9.权利要求8的光敏组合物,其中所述光敏组合物包含1至35重量%权利要求1至6中任一项的多官能团丙烯酸化合物、1至45重量%碱溶性粘合剂树脂、0.05至10重量%光敏引发剂和10至97.95重量%溶剂。
10.权利要求7的光敏组合物,其中所述多官能团单体还包含一种不含硅氧烷基团的丙烯酸化合物。
11.权利要求10的光敏组合物,其中所述不含硅氧烷基团的丙烯酸化合物为一种或多种选自以下的化合物:引入二季戊四醇中的KAYARAD DPCA-20、KAYARAD DPCA-30、KAYARAD DPCA-60、KAYARAD DPCA-120和Aronix M-520;引入丙烯酸四氢糠酯中的KAYARAD TC-110S、引入羟基新戊酸新戊二醇酯中的KAYARAD HX-220和KAYARAD HK-620;U-324A、U15HA和U-4HA作为环氧丙烯酸酯、酚醛-环氧丙烯酸酯或双酚A衍生物的基于氨基甲酸酯的多官能团丙烯酸酯;以及可获自Hanse Chemie AG的Nanocryl XP系列(0596、1045、21/1364)和Nanopox XP系列(0516、0525)。
12.权利要求10的光敏组合物,其中所述不含硅氧烷基团的丙烯酸化合物以总组合物的1-15重量%包含。
13.权利要求8的光敏组合物,还包含一种或多种选自以下的物质:硬化剂、着色剂、促进剂、热聚合抑制剂、增塑剂、粘合促进剂、填充剂和表面活性剂。
14.权利要求7的光敏组合物,其中包含所述多官能团丙烯酸化合物的光敏组合物不包含偶联剂。
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