CN101978242A - 原点位置信号检测器 - Google Patents
原点位置信号检测器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101978242A CN101978242A CN2009801096155A CN200980109615A CN101978242A CN 101978242 A CN101978242 A CN 101978242A CN 2009801096155 A CN2009801096155 A CN 2009801096155A CN 200980109615 A CN200980109615 A CN 200980109615A CN 101978242 A CN101978242 A CN 101978242A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- origin position
- magnetizing
- mentioned
- magnetizes
- magnetize
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 31
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 34
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 40
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 2
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
- G01D5/2454—Encoders incorporating incremental and absolute signals
- G01D5/2455—Encoders incorporating incremental and absolute signals with incremental and absolute tracks on the same encoder
- G01D5/2457—Incremental encoders having reference marks
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
一种原点位置信号检测器，其具有：以等间隔进行充磁的增量磁道(3)；旋转标尺或线性标尺(1)，其具有用于检测原点位置的原点位置检测磁道(4)；以及磁传感器(5)，其用于检测来自上述标尺的磁场，在该原点位置信号检测器中，原点位置检测磁道具有原点位置充磁部(11)和侧充磁部(12)，该侧充磁部位于原点位置充磁部的两侧，是以相同方向的磁化分别在大于或等于1个位置上进行充磁而形成的。
Description
技术领域
本发明涉及一种在磁性旋转编码器等磁性旋转角传感器、以及磁性线性编码器等磁性位置检测器中对原点位置进行检测的原点位置信号检测器。
背景技术
作为通常使用原点位置信号检测器的例子，举出磁性旋转角传感器。该磁性旋转角传感器大致区分为具有：滚筒，其组装在例如电动机等的旋转轴上，与电动机等的旋转对应而使产生的磁场变化；以及磁检测传感器，其对变化的磁场进行检测(例如专利文献1)。
在滚筒的外周面上，利用涂敷、嵌合、粘接等方法设置有磁铁。其检测磁道由增量磁道和原点位置检测磁道构成，其中，该增量磁道用于检测滚筒的旋转角，该原点位置检测磁道用于检测旋转角检测用的原点位置。
增量磁道通过以等间隔的间距P将滚筒的一周进行充磁而形成，对于间距P，根据增量信号检测所需的一次旋转内的波数W而以P＝360°/W的关系规定。另外，原点位置检测磁道仅在一周内的一个位置处进行充磁而形成，其充磁宽度与信号处理方法对应而适当地设定，以使得相对于滚筒的一次旋转生成一个脉冲波形。
磁检测传感器与滚筒的增量磁道以及原点位置检测磁道中的各自的充磁相应地，由多个AMR或GMR等磁阻元件或者磁阻元件阵列构成，相对于滚筒以一定间隔配置。
对于如上所述构成的现有磁性旋转角传感器中通常的原点位置检测信号的处理方法，如专利文献1的图3所示，将磁阻元件输出的模拟信号利用阈值电压变换为脉冲波形，作为原点位置检测信号。
专利文献1：日本特开平5-223592号公报(专利第3195019号)
发明内容
作为磁检测传感器通常所使用的AMR或GMR元件等磁阻元件，具有随着温度上升而其输出减少这样的物理特性。例如，由于AMR元件的输出大概以0.3～0.5％/℃的比例降低，所以例如在周围温度从20℃上升至80℃的情况下，原点位置输出信号的输出降低15～25％。由此，考虑到高温时的情况，必须将用于生成原点位置检测信号的阈值电压设定得尽可能低。另外，由于相对于滚筒的磁检测传感器的组装误差等原因，使原点位置检测信号产生增减，所以需要具有相应的裕度，从而将上述阈值电压设定得较低。
另一方面，在磁阻元件输出的模拟信号中，如专利文献1的图3及图4所示，在较大的波峰两侧分别存在一个较小的波峰(下面，将该两侧的较小波峰称为“侧峰”)。由此，为了不会将该侧峰误认为原点位置检测信号，因此，无法将阈值电压设定为低于侧峰的高度。此外，还存在由于阈值电压的设定误差、或者上述磁检测传感器的组装误差而导致的侧峰的高度变动。由此，如果考虑到侧峰，则对于阈值电压，需要在侧峰的高度的基础上增加裕度量而较高地设定。因此，实际上无法将设计阈值电压设定得尽可能低。
另外，由于在低温时，AMR或GMR元件的输出反而增大，所以侧峰的输出值也变高。由此，在侧峰输出超过所设定的阈值电压时，有可能产生原点位置信号检测器对侧峰进行检测而错误检测出原点位置。
根据上述情况，对于稳定的原点位置信号检测，重要的是尽可能低地抑制侧峰的输出。
本发明就是为了解决上述课题而提出的，其目的在于提供一种原点位置信号检测器，其与现有技术相比，可以稳定地检测磁性编码器中的原点位置检测信号。
为了实现上述目的，本发明如下所述构成。
即，本发明的一个方式中的原点位置信号检测器具有：被检测部件，其具有增量磁道以及原点位置检测磁道，该增量磁道具有在位移方向上以等间隔进行充磁的位移检测充磁部，用于位移量检测，该原点位置检测磁道具有检测上述位移量检测的原点位置的原点位置充磁部；以及磁传感器，其对上述增量磁道以及上述原点位置检测磁道中的磁场进行检测，该原点位置信号检测器的特征在于，上述原点位置检测磁道还具有侧充磁部，其在上述位移方向上位于上述原点位置充磁部的两侧，以与上述原点位置充磁部相同方向的磁化而进行充磁。
也可以使上述侧充磁部在上述原点位置充磁部两侧以相同数量设置，也可以相对于上述原点位置充磁部隔着一定间隙设置。
另外，上述原点位置充磁部和上述侧充磁部也可以以相同的充磁电流强度进行充磁，也可以以不同的充磁电流强度进行充磁。
上述侧充磁部也可以构成为，随着远离上述原点位置充磁部而其充磁宽度变窄。
也可以使上述原点位置充磁部和上述侧充磁部在不会对增量磁道的充磁产生影响的相对位置上进行充磁。
发明的效果
根据本发明的一个方式中的原点位置信号检测器，通过使原点位置检测磁道在原点位置充磁部的两侧具有侧充磁部，从而可以降低伴随着磁传感器输出的模拟信号而出现的侧峰的输出值。由此，可以将用于生成原点位置检测信号的阈值电压设定地较低。其结果，可以提高高温时的原点位置检测信号的检测稳定性，并且，可以降低低温时由侧峰超过设定阈值电压而导致的原点位置检测信号的错误检测。因此，根据本发明的一个方式中的原点位置信号检测器，与现有技术相比，可以稳定地检测磁性编码器中的原点位置检测信号。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式1所涉及的磁性旋转角传感器的概略结构的斜视图。
图2是在图1所示的磁性旋转角传感器中，分别对伴随着滚筒旋转而仅由原点位置充磁部在磁阻元件的表面形成的磁通密度分布随时间的变化、以及仅由侧充磁部在磁阻元件的表面形成的磁通密度分布随时间的变化进行模拟而得到的曲线图。
图3是在图1所示的磁性旋转角传感器中，对仅由原点位置充磁部在磁阻元件的表面形成的磁通密度分布随时间的变化、以及由原点位置充磁部和侧充磁部这两者在磁阻元件的表面形成的磁通密度分布随时间的变化进行模拟而得到的曲线图。
图4是表示通常磁阻元件即AMR元件的通常的灵敏度曲线的曲线图。
图5是表示将图3所示的磁通密度分布的变化应用于图4所示的AMR元件的灵敏度曲线中，并换算为与滚筒的旋转相伴的AMR元件的电阻变化率的变化之后的曲线图。
图6是表示本发明的实施方式2所涉及的磁性旋转角传感器的概略结构的斜视图。
图7是对由图3所示的原点位置充磁部和侧充磁部这两者在磁阻元件的表面形成的磁通密度分布随时间的变化、以及对由在图6所示的磁性旋转角传感器中的原点位置充磁部和3个侧充磁部这两者在磁阻元件的表面形成的磁通密度分布随时间的变化进行模拟而得到的曲线图。
图8是表示将图7所示的磁通密度分布的变化应用于图4所示的AMR元件的灵敏度曲线中，并换算为与滚筒的旋转相伴的AMR元件的电阻变化率的变化之后的曲线图。
图9是表示本发明的实施方式3所涉及的磁性位置检测传感器的概略结构的斜视图。
图10是表示本发明的实施方式4所涉及的磁性位置检测传感器的概略结构的斜视图。
图11是在本发明的实施方式5中使原点位置充磁部及侧充磁部单独磁化的情况下，对由各个充磁部在磁阻元件的表面形成的磁通密度分布随时间的变化进行模拟而得到的曲线图。
图12是在本发明的实施方式5中使原点位置充磁部及侧充磁部单独磁化的情况下，对由原点位置充磁部及侧充磁部这两者在磁阻元件的表面形成的磁通密度分布随时间的变化进行模拟而得到的曲线图。
图13是表示在本发明的实施方式5中，将图12的磁通密度分布的变化应用于图4的AMR元件的灵敏度曲线中，并换算为与滚筒的旋转相伴的AMR元件的电阻变化率的变化之后的曲线图。
图14是表示本发明的实施方式6所涉及的磁性位置检测传感器的概略结构的斜视图。
图15是表示图14所示的磁性位置检测传感器的变形例的概略结构的斜视图。
标号的说明
1被检测部件、3增量磁道、3a位移检测充磁部、
4原点位置检测磁道、5磁阻元件、11原点位置充磁部
12、13、14侧充磁部、15旋转方向 20滚筒
34侧峰
52被检测部件、53增量磁道、53a位移检测充磁部
54原点位置检测磁道、55磁阻元件、61原点位置充磁部、
62、63、64侧充磁部、65直线移动方向
101～104、106、107原点位置信号检测器。
具体实施方式
下面，参照附图，对作为本发明的实施方式的原点位置信号检测器进行说明。此外，在各图中，对于同样或相同的结构部分标注相同标号。
实施方式1
下面，使用图1～图5，说明本发明的实施方式1中的原点位置信号检测器。
图1示出在磁性旋转编码器内，作为磁性旋转角传感器起作用的上述实施方式的原点位置信号检测器101的概略结构。原点位置信号检测器101大致区分为具有：被检测部件1；以及磁阻元件5，其作为实现磁传感器的功能的一个例子。
被检测部件1例如是在与电动机等的旋转轴相应的滚筒20的外周面上，利用涂敷、嵌合、粘接等方法安装的磁铁。在被检测部件1上，沿滚筒20的轴向上下2级地配置有增量磁道3和原点位置检测磁道4。
为了检测位移量，增量磁道3具有位移检测充磁部3a，其是在位移方向上从图中的左方向右方以成为S→N极、N→S极的磁化方向的方式，交替等间隔地进行充磁而形成的。此外，在本实施方式中，上述位移量与旋转角对应，上述位移方向与被检测部件1的旋转方向15对应。由此，位移检测充磁部3a在增量磁道3的整个圆周上，以等间隔的间距P沿旋转方向15进行充磁。对于间距P，根据增量信号检测所需的一次旋转内的波数W，而以P＝360°/W的关系规定。
原点位置检测磁道4具有原点位置充磁部11、以及侧充磁部12。
原点位置充磁部11是对上述位移量检测、即本实施方式中被检测部件1的旋转角检测的原点位置进行检测的充磁部。另外，原点位置充磁部11形成于原点位置检测磁道4的一个位置处，且在旋转方向15上以充磁宽度λ形成，以相对于被检测部件1的一次旋转而生成一个脉冲波形。原点位置充磁部11的充磁宽度λ相对于增量磁道3的充磁间距P，设置为例如λ＝P或2P等任意的充磁宽度。
侧充磁部12配置在旋转方向15上的原点位置充磁部11的两侧，侧充磁部12在旋转方向15上分别以与原点位置充磁部11相同方向的磁化而进行充磁。另外，在本实施方式中，两侧的各侧充磁部12在旋转方向15上，相对于原点位置充磁部11隔着尺寸为0.325λ(λ为原点位置充磁部11的上述充磁宽度)的间隙N设置，并且具有0.1λ的宽度a。
磁阻元件5是对增量磁道3以及原点位置检测磁道4中的磁场进行检测的元件，与增量磁道3以及原点位置检测磁道4的充磁相应地，由多个AMR元件(各向异性磁阻元件)或GMR元件(巨磁阻元件)等磁阻元件或者磁阻元件阵列构成，在被检测部件1的直径方向上，相对于被检测部件1隔着规定的间隔G而配置。
下面，对如上所述构成的原点位置信号检测器101的动作进行说明。此外，磁阻元件5与信号处理电路25连接，该信号处理电路25对磁阻元件5输出的模拟信号进行处理，发送与被检测部件1的旋转角相对应的信号。
例如，通过安装在电动机的输出轴上的被检测部件1旋转，磁阻元件5对增量磁道3中的位移检测充磁部3a、以及原点位置检测磁道4中的原点位置充磁部11以及侧充磁部12的各自的磁场变化进行检测。
图2是原点位置充磁部11以及侧充磁部12的磁场分别作用在磁阻元件5的表面上时，对磁阻元件5中的磁通密度分布随时间的变化进行模拟而得到的图。图2所示的实线部31是以与滚筒20的旋转角(横轴)的关系表示仅原点位置充磁部11作用时的磁通密度分布(纵轴)的曲线。图2所示的虚线部32是以与滚筒20的旋转角(横轴)的关系表示仅侧充磁部12作用时的磁通密度分布(纵轴)的曲线。另外，图3是在原点位置充磁部11以及侧充磁部12这两者的磁场作用在磁阻元件5表面上时，对磁阻元件5中的磁通密度分布随时间的变化进行模拟而得到的图。图3所示的实线部33是以与滚筒20的旋转角(横轴)的关系表示仅原点位置充磁部11作用时的磁通密度分布(纵轴)的曲线。图3所示的虚线部是以与滚筒20的旋转角(横轴)的关系表示原点位置充磁部11以及侧充磁部12这两者作用时的磁通密度分布(纵轴)的曲线。另外，图4示出通常磁阻元件即AMR元件的灵敏度曲线的典型例子。另外，图5示出将图3所示的磁通密度分布的变化应用于图4所示的AMR元件的灵敏度曲线中，并换算为与滚筒的旋转相伴的AMR元件的电阻变化率的变化而获得的曲线。在图5中，实线部示出原点位置充磁部11以及侧充磁部12这两者导致的上述电阻变化率的变化，虚线部示出仅原点位置充磁部11导致的上述电阻变化率的变化。
如图2所示，示出仅由原点位置充磁部11导致的磁通密度变化的实线部31，成为在向纵轴的正方向延伸的主脉冲波形31a的左右两侧存在向负方向凸出的副脉冲波形31b的波形。上述波形的形成，是在滚筒的一次旋转内仅以一极进行充磁的结构中，由于该充磁部周围产生的磁通集中而在物理上产生的现象。另一方面，磁阻元件5如图4所示，相对于磁通密度的正负而表现出偶函数的输出特性。由此，如图3所示，向负方向凸出的部分33b在磁阻元件5的输出中，如图5的虚线部所示形成向正方向侧具有较大波峰的波形、即侧峰34。
与其相对，如图2的虚线部32所示，侧充磁部12在磁阻元件5的表面生成的磁通密度分布，成为恰好与实线部31的向负方向侧凸出的副脉冲波形31b抵消的磁通密度分布。因此，同时具有原点位置充磁部11以及侧充磁部12的原点位置检测磁道4在磁阻元件5的表面生成的磁通密度分布，如图3的实线部33所示，成为将向负方向凸出的部分33b的一部分抵消的磁通密度分布。其结果，磁阻元件5的输出如图5实线部35所示，成为侧峰34降低的波形。
如上所述，通过在原点位置充磁部11的两侧设置侧充磁部12，可以从磁阻元件5得到侧峰34降低的输出波形。因此，可以将用于生成原点位置检测信号的阈值电压设定得较低。其结果，可以提高高温时的原点位置检测信号的检测稳定性，并且，可以降低低温时由侧峰超过设定阈值电压而导致的原点位置检测信号的错误检测。因此，可以比现有技术更稳定地检测磁性编码器中的原点位置检测信号。
在本实施方式中，作为侧充磁部12的配置例，使间隙N为0.325λ，宽度a为0.1λ的尺寸，但不限定于此。即，侧充磁部12的配置可以根据被检测部件1的磁特性以及原点位置充磁部11的充磁宽度λ的值等而适当地设计。
另外，在图2、图3以及图5中，模拟了将原点位置充磁部11及侧充磁部12的充磁以相同的充磁电流强度进行充磁，以磁化至磁铁的饱和磁通密度为止的情况。如上所述，将原点位置充磁部11以及侧充磁部12的充磁以相同充磁电流强度进行磁化，直至磁铁的饱和磁通密度为止的方法，由于饱和磁化值是固定的，所以实现以下效果，即，可以使量产时的充磁强度的波动变小，可以提供品质稳定的原点位置信号检测器。
另一方面，本实施方式不限于将原点位置充磁部11及侧充磁部12的充磁以相同的充磁电流强度进行磁化，直至磁铁的饱和磁通密度为止的方法。即，可以根据被检测部件1的磁特性等而任意地设定充磁后的磁化。通过将原点位置充磁部11和侧充磁部12以彼此不同的充磁电流强度进行充磁，可以使磁阻元件5的输出波形中侧峰34完全消失。对于这一点，在后述的实施方式5中详细地进行说明。
另外，在本实施方式中，示出对于被检测部件1进行原点位置充磁部11以及侧充磁部12的充磁的方式，但不限定于此，例如也可以形成下述结构，即，利用在原点位置充磁部11之后进行粘接等方法，将已经充磁的磁铁进行粘贴而构成侧充磁部12。
实施方式2
下面，利用图6～图8说明本发明的实施方式2。
在这里，图6示出本发明的实施方式2所涉及的原点位置信号检测器102的概略结构。图7是将实施方式1的原点位置信号检测器101中的磁阻元件的磁通密度分布随时间变化的模拟结果、和实施方式2的原点位置信号检测器102中的磁阻元件的磁通密度分布随时间变化的模拟结果进行比较而表示的图。此外，在图7中，实线部示出原点位置信号检测器101的情况，虚线部示出原点位置信号检测器102的情况。图8示出将图7的磁通密度分布的变化应用于图4的AMR元件的灵敏度曲线中，并换算为与滚筒的旋转相伴的AMR元件的电阻变化率的变化而获得的曲线。此外，实线部示出原点位置信号检测器102的情况，虚线部示出原点位置信号检测器101的情况。
在上述实施方式1的原点位置信号检测器101中，侧充磁部12在原点位置充磁部11的单侧仅配置在一个位置处。另一方面，在本实施方式2中的原点位置信号检测器102中，在原点位置充磁部11的单侧在多个位置处配置有侧充磁部。这一点上，原点位置信号检测器101和原点位置信号检测器102不同。此外，原点位置信号检测器102中的其它结构与原点位置信号检测器101中的结构相同。因此，下面仅对不同的结构部分进行说明。
在原点位置信号检测器102中，为了相对于滚筒20的一次旋转而生成一个脉冲波形，原点位置检测磁道4在一个位置处以充磁宽度λ具有原点位置充磁部11，在原点位置充磁部11的两侧，分别在各3个位置处设置具有与原点位置充磁部11相同方向的磁化的侧充磁部12、13、14。
侧充磁部12在旋转方向15上，相对于原点位置充磁部11隔着尺寸为0.34λ(λ是原点位置充磁部11的上述充磁宽度)的间隙K设置，并且具有0.1λ的宽度a。
侧充磁部13在旋转方向15上，相对于侧充磁部12隔着尺寸为0.325λ的间隙L设置，并且具有0.05λ的宽度b。
侧充磁部14在旋转方向15上，相对于侧充磁部13隔着尺寸为0.3λ的间隙M设置，并且具有0.025λ的宽度c。
如上所述，随着远离原点位置充磁部11，充磁部之间的间隙K、L、M逐渐变小，旋转方向15上的侧充磁部12、13、14的宽度a、b、c也变小。此外，与原点位置充磁部11之间的距离和侧充磁部的充磁宽度的关系，不限定于本实施方式这样设置多个侧充磁部12～14的情况，即使在原点位置充磁部11的单侧设置一个侧充磁部的情况下，也随着远离原点位置充磁部11而侧充磁部的充磁宽度变小。
根据具有以上说明的结构的本实施方式的原点位置信号检测器102，与上述原点位置信号检测器101的情况相同地，可以从磁阻元件5得到使侧峰34降低的输出波形。
并且，通过在原点位置充磁部11的各侧分别配置多个侧充磁部12、13、14，与第1实施方式相比，还可以得到下述效果。
即，图7的实线部示出实施方式1中的磁阻元件5的磁通密度分布，成为将向负方向凸出的部分在一个位置处抵消的波形。但是，在该波形的左右还存在向负方向略微凸出的波峰36。为了能够将这些波峰36也进行抵消，在本实施方式2中设置有侧充磁部13、14。
因此，如图7的虚线部37所示，在本实施方式2中的磁阻元件5的磁通密度分布中，形成与实施方式1相比减少了与波峰36相应的磁通密度分布输出的状态。该情况也可以根据图8进行理解，与以虚线示出的实施方式1的结构中的AMR输出相对，以实线部示出的本实施方式中的输出，得到了使侧峰受到一定程度的抑制的波形。
因此，在本实施方式2中，可以比实施方式1更稳定地检测磁性编码器中的原点位置检测信号。
此外，在本实施方式中，采用了在原点位置充磁部11的两侧各自在3个位置处配置了侧充磁部12、13、14的结构，但侧充磁部的数量不限于3个，可以各配置两个以上的任意数量。
另外，与侧充磁部12、13、14相关的间隙K、L、M以及宽度a、b、c的值不限定于上述值，可以根据被检测部件1的磁特性以及原点位置充磁部11的充磁宽度λ的值等任意设计，例如也可以将K、L、M形成为固定宽度，另外也可以将a、b、c形成为固定宽度。
另外，在图7、图8中，模拟了将原点位置充磁部11及侧充磁部12、13、14的充磁以相同的充磁电流强度进行充磁，以磁化至磁铁的饱和磁通密度为止的情况，但本实施方式不限于此，可以根据被检测部件1的磁特性等，任意地设定充磁后的磁化。
另外，在本实施方式中，形成为对于被检测部件1进行原点位置充磁部11以及侧充磁部12、13、14的充磁的方式，但例如也可以形成下述结构，即，利用在原点位置充磁部11之后进行粘接等方法，将已经充磁的磁铁进行粘贴而构成侧充磁部12、13、14。
实施方式3
下面，利用图9说明本发明的实施方式3。
本实施方式3中的原点位置信号检测器103是将实施方式1中的原点位置磁道结构应用于磁性位置检测传感器中而形成的。
图9示出在磁性线性编码器内，作为磁性位置传感器起作用的本实施方式的原点位置信号检测器103的概略结构。原点位置信号检测器103大致区分为具有被检测部件52和磁阻元件55。
被检测部件52是利用涂敷或者粘接等方法安装在线性标尺板51上的板状磁铁。在被检测部件52中，上下2级地配置有增量磁道53和原点位置检测磁道54，各磁道53、54沿被检测部件52的长度方向延伸。
为了对被检测部件52和磁阻元件55之间的相对直线移动方向的位移量进行检测，增量磁道53具有位移检测充磁部53a，其是在位移方向上从图左方向右方，以形成S→N极、N→S极的磁化方向的方式交替以等间隔进行充磁而形成的。此外，在本实施方式中，上述位移量与直线行程量相应，上述位移方向与被检测部件52的直线移动方向65相应。因此，位移检测充磁部53a是在增量磁道3的整个长度上，沿直线移动方向65以等间隔的间距P在增量磁道3上进行充磁而形成的。对于间距P，相对于直线移动方向65的行程S，根据增量信号检测所需的波数W，以P＝S/W的关系规定。
原点位置检测磁道54具有原点位置充磁部61和侧充磁部62。
原点位置充磁部61是对上述位移量检测、即本实施方式中被检测部件52的行程量检测的原点位置进行检测的充磁部。另外，原点位置充磁部61以相对于被检测部件52向一个方向的1次行程而产生一个脉冲波形的方式，形成在原点位置检测磁道54的一个位置处，并且，在直线移动方向65上以充磁宽度λ形成。另外，原点位置充磁部61如图9所示，在直线移动方向65上具有与位移检测充磁部53a相同方向的磁化，并且，在本实施方式中，配置为在直线移动方向65上均等或者大致均等地横跨相邻的两个位移检测充磁部53a。
侧充磁部62配置在直线移动方向65上的原点位置充磁部61两侧，各个侧充磁部62在直线移动方向65上以与原点位置充磁部61相同方向的磁化而进行充磁。另外，在本实施方式中，两侧的各侧充磁部62在直线移动方向65上，相对于原点位置充磁部61隔着0.325λ(λ是原点位置充磁部61的上述充磁宽度)的间隙N设置，并且具有0.1λ的宽度a。
磁阻元件55是对增量磁道53以及原点位置检测磁道54中的磁场进行检测的元件，与增量磁道53以及原点位置检测磁道54的充磁相应地，由多个AMR元件(各向异性磁阻元件)或GMR元件(巨磁阻元件)等磁阻元件或者磁阻元件阵列构成，相对于被检测部件52在与直线移动方向65垂直的方向上隔着规定间隔G配置。
下面，对如上所示构成的原点位置信号检测器103的动作进行说明。此外，磁阻元件55与信号处理电路25连接，该信号处理电路25对磁阻元件55输出的模拟信号进行处理，发送与被检测部件52的行程量相对应的信号。
与在实施方式1的原点位置信号检测器101的动作说明中所述的内容相同地，在本实施方式的原点位置信号检测器103中，通过被检测部件52在直线移动方向65上进行直线移动，磁阻元件55对增量磁道53中的位移检测充磁部53a、和原点位置检测磁道54中的原点位置充磁部61以及侧充磁部62的各自的磁场变化进行检测。
在本实施方式的原点位置信号检测器103中，原点位置检测磁道54在原点位置充磁部61之外，在其两侧配置有侧充磁部62。因此，与通过实施方式1所说明的以图2至图5所模拟的内容相同地，可以从磁阻元件55得到侧峰34降低的原点位置信号。
因此，即使对于本实施方式的原点位置信号检测器103，也可以将用于生成原点位置检测信号的阈值电压设定得较低。其结果，可以提高高温时的原点位置检测信号的检测稳定性，并且可以降低低温时由侧峰超过设定阈值电压而导致的原点位置检测信号的错误检测。由此，可以比现有技术更稳定地检测磁性编码器中的原点位置检测信号。
此外，在实施方式1中进行了说明，与侧充磁部62的配置相关的间隙N以及宽度a的值不限定于上述值，可以根据被检测部件52的磁特性以及原点位置充磁部61的充磁宽度λ的值等任意地设计。
另外，原点位置充磁部61以及侧充磁部62的充磁后的磁化，可以根据被检测部件52的磁特性等任意地设定。
另外，例如也可以形成下述结构，即，利用在原点位置充磁部61之后进行粘接等方法，将已经充磁的磁铁进行粘贴而构成侧充磁部62。
实施方式4
本实施方式将与通过实施方式2所说明的原点位置磁道结构相同的原点位置磁道结构应用于磁性位置检测传感器中。下面，使用图10，对本实施方式4中的原点位置信号检测器104进行说明。
与已说明的实施方式1和实施方式2之间的关系相同地，本实施方式4中的原点位置信号检测器104具有下述结构，即，将在上述实施方式3的原点位置信号检测器103中原点位置充磁部61的单侧仅配置在一个位置处的侧充磁部62，配置在多个位置处。其它结构与上述原点位置信号检测器103的结构相同。
即，在本实施方式4中的原点位置信号检测器104中，原点位置检测磁道54以相对于被检测部件52向一个方向的1次行程而产生一个脉冲波形的方式，在一个位置处以充磁宽度λ具有原点位置充磁部61，并且，在其两侧分别在各三个位置处设置具有与原点位置充磁部61相同方向的磁化的侧充磁部62、63、64。
侧充磁部62在直线移动方向65上，相对于原点位置充磁部61隔着0.34λ(λ是原点位置充磁部61的上述充磁宽度)的间隙K设置，并且具有0.1λ的宽度a。
侧充磁部63在直线移动方向65上，相对于侧充磁部62隔着0.325λ的间隙L设置，并且具有0.05λ的宽度b。
侧充磁部64在直线移动方向65上，相对于侧充磁部63隔着0.3λ的间隙M设置，并且具有0.025λ的宽度c。
如上所述，随着远离原点位置充磁部61，充磁部之间的间隙K、L、M逐渐变小，直线移动方向65上的侧充磁部62、63、64的宽度a、b、c也变小。此外，与原点位置充磁部61之间的距离和侧充磁部的充磁宽度的关系，不限于本实施方式这样设置多个侧充磁部62～64的情况，即使在原点位置充磁部61的单侧设置一个侧充磁部的情况下，也随着远离原点位置充磁部61而侧充磁部的充磁宽度变小。
根据具有以上说明的结构的本实施方式中的原点位置信号检测器104，与上述原点位置信号检测器101、102、103的情况相同地，可以从磁阻元件55得到侧峰34降低的输出波形。
此外，通过在原点位置充磁部61的各侧分别配置多个侧充磁部62、63、64，如第2实施方式中所说明的那样，可以比第3实施方式更稳定地检测磁性编码器中的原点位置检测信号。
另外，在第2实施方式中说明的与针对原点位置信号检测器102的变形例相关的记述，即与侧充磁部的数量、以及与侧充磁部相关的尺寸、与侧充磁部的磁化相关的事项等，也可以应用于本实施方式的原点位置信号检测器104中。
实施方式5
下面，使用图11至图13说明本发明的实施方式5。
本实施方式5可以应用于上述实施方式1～4中的各个原点位置信号检测器101～104中。在这里，采用实施方式1中的原点位置信号检测器101作为例子进行说明。
即，在实施方式1中，基本上设想为将原点位置充磁部11的充磁和侧充磁部12的充磁以相同的充磁电流强度进行充磁，直至磁化为磁铁的饱和磁通密度为止的情况。并且，基于该设想，设定侧充磁部12的配置以及宽度。与此相对，也可以通过自由地控制侧充磁部12的充磁电流，而使侧充磁部12例如具有形成如图11的虚线部所示的磁通密度分布的磁化。
通过如上所述构成，由原点位置充磁部11和侧充磁部12联合形成的磁通密度分布，如图12中的虚线所示，可以使向负方向凸出的部分完全消失，可以使图13所示的AMR元件的输出中的侧峰完全为0。
实施方式6
下面，使用图14说明本发明的实施方式6中的原点位置信号检测器。
本实施方式6中的原点位置信号检测器106的基本结构与上述实施方式1中的原点位置信号检测器101相同，但以下方面不同。即，在实施方式1的原点位置信号检测器101中，如图1所示，增量磁道3中的位移检测充磁部3a的充磁方向和原点位置充磁部11的充磁方向，相对于滚筒20的机械角位置错开地配置。与其相对，在本实施方式6的原点位置信号检测器106中，位移检测充磁部3a的充磁方向和原点位置充磁部11的充磁方向，相对于滚筒20的机械角位置一致地配置。并且，配置在原点位置充磁部11两侧的各侧充磁部12在旋转方向15上，相对于原点位置充磁部11隔着充磁间距P即尺寸为λ的间隙Q而设置，并且具有0.2P即0.2λ的宽度d。原点位置信号检测器106中的其它结构与原点位置信号检测器101的结构相同。
通过如上所述构成，在原点位置信号检测器106中，侧峰的降低能力与实施方式1的原点位置信号检测器101的情况下相比较差，但通过使增量磁道3中的位移检测充磁部3a的磁化方向和原点位置充磁部11的磁化方向相对于滚筒20中的机械角位置一致，从而可以降低由于从原点位置检测磁道4漏出的磁通导致的增量磁道3的角度检测误差。
此外，在本实施方式6中，如上所述，形成使增量磁道3中的位移检测充磁部3a的磁化方向和原点位置充磁部11的磁化方向一致的配置方式，但本实施方式不限于此。即，可以在使从原点位置检测磁道4漏出的磁通对增量磁道3的影响变小、或没有影响的任意充磁宽度、充磁位置上，针对增量磁道3而相对地配置原点位置充磁部11以及侧充磁部12。
另外，本实施方式6的结构对于上述实施方式2～5也同样适用，在这样的各个结构中，可以实现分别在实施方式2～5中说明的效果。作为一个例子，在图15中示出在原点位置充磁部11两侧的2个位置处、即多个位置处分别设置侧充磁部12、13的原点位置信号检测器107。在这里，侧充磁部12在旋转方向15上，相对于原点位置充磁部11隔着尺寸为P即λ的间隙Q设置，并且具有0.2P即0.2λ的宽度d。另外，侧充磁部13在旋转方向15上，相对于侧充磁部12隔着尺寸为0.4λ的间隙R设置，并且具有0.1λ的宽度e。另外，上述实施方式2、4中的结构可以与本实施方式6的结构组合而进行应用。
此外，通过将上述各种实施方式中的任意实施方式适当组合，可以实现各自所具有的效果。
本发明参照附图而与优选实施方式相关联地进行了充分记载，但对于本领域的技术人员显而易见的是，可以进行各种变形及修正。这些变形及修正只要不超出所附权利要求书所限定的本发明范围，就应该理解为包含在权利要求的范围之中。
另外，在2008年3月17日申请的日本专利申请No.特愿2008-67536号的说明书、附图、权利要求书、以及摘要等全部公开内容，作为参考而引入本说明书中。
工业实用性
本发明可以应用于在磁性旋转编码器等磁性旋转角传感器、以及磁性线性编码器等磁性位置检测器中对原点位置进行检测的原点位置信号检测器。
Claims (7)
1.一种原点位置信号检测器，其具有：被检测部件，其具有增量磁道以及原点位置检测磁道，该增量磁道具有在位移方向上以等间隔进行充磁的位移检测充磁部，用于位移量检测，该原点位置检测磁道具有检测上述位移量检测的原点位置的原点位置充磁部；以及磁传感器，其对上述增量磁道以及上述原点位置检测磁道中的磁场进行检测，
该原点位置信号检测器的特征在于，
上述原点位置检测磁道还具有侧充磁部，其在上述位移方向上位于上述原点位置充磁部的两侧，以与上述原点位置充磁部相同方向的磁化而进行充磁。
2.根据权利要求1所述的原点位置信号检测器，其特征在于，
上述侧充磁部在上述原点位置充磁部的两侧以相同数量设置。
3.根据权利要求1所述的原点位置信号检测器，其特征在于，
上述侧充磁部相对于上述原点位置充磁部隔着一定间隙设置。
4.根据权利要求1所述的原点位置信号检测器，其特征在于，
上述原点位置充磁部和上述侧充磁部以相同的充磁电流强度进行充磁。
5.根据权利要求1所述的原点位置信号检测器，其特征在于，
上述原点位置充磁部和上述侧充磁部以不同的充磁电流强度进行充磁。
6.根据权利要求1所述的原点位置信号检测器，其特征在于，
随着远离上述原点位置充磁部，上述侧充磁部的充磁宽度变窄。
7.根据权利要求1所述的原点位置信号检测器，其特征在于，
上述原点位置充磁部和上述侧充磁部在不会对增量磁道的充磁产生影响的相对位置上进行充磁。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008-067536 | 2008-03-17 | ||
| JP2008067536 | 2008-03-17 | ||
| PCT/JP2009/053362 WO2009116365A1 (ja) | 2008-03-17 | 2009-02-25 | 原点位置信号検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101978242A true CN101978242A (zh) | 2011-02-16 |
| CN101978242B CN101978242B (zh) | 2012-07-04 |
Family
ID=41090773
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2009801096155A Active CN101978242B (zh) | 2008-03-17 | 2009-02-25 | 原点位置信号检测器 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20110291646A1 (zh) |
| JP (1) | JP4880066B2 (zh) |
| KR (1) | KR101163908B1 (zh) |
| CN (1) | CN101978242B (zh) |
| DE (1) | DE112009000497B4 (zh) |
| TW (1) | TWI392856B (zh) |
| WO (1) | WO2009116365A1 (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102853758A (zh) * | 2011-03-09 | 2013-01-02 | 株式会社捷太格特 | 旋转角检测装置及转矩检测装置 |
| CN104246446A (zh) * | 2012-04-20 | 2014-12-24 | 迪姆肯公司 | 用于产生指示信号的磁性编码器 |
| CN108186017A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-06-22 | 北京理工大学 | 一种用于确定内窥镜胶囊体内位姿的检测***和方法 |
| CN109219735A (zh) * | 2016-06-02 | 2019-01-15 | 日本电产株式会社 | 直动旋转检测器、直动旋转检测器单元以及直动旋转驱动装置 |
| US10401194B2 (en) | 2014-10-14 | 2019-09-03 | Robert Bosch Gmbh | Sensor for determining at least one rotation characteristic of a rotating element |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5379748B2 (ja) * | 2010-06-03 | 2013-12-25 | Ｎｔｎ株式会社 | 磁気エンコーダ |
| DE102012214916A1 (de) * | 2012-08-22 | 2014-03-20 | Robert Bosch Gmbh | Sensoranordnung zur Erfassung von Drehwinkeln an einem drehbewegten Bauteil |
| JP2014199184A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | Tdk株式会社 | 磁気センサシステム |
| US9733317B2 (en) | 2014-03-10 | 2017-08-15 | Dmg Mori Seiki Co., Ltd. | Position detecting device |
| US10001532B2 (en) * | 2014-05-13 | 2018-06-19 | Mitsubishi Electric Corporation | Magnetic sensor device |
| JP6197839B2 (ja) * | 2015-08-11 | 2017-09-20 | Tdk株式会社 | 回転検出装置 |
| DE112016003691T5 (de) * | 2015-08-13 | 2018-04-26 | Iee International Electronics & Engineering S.A. | Verfahren zum Betreiben eines kapazitiven Sensorsystems für einen Fahrzeug-Kofferraumöffner und robustes kapazitives Sensorsystem |
| DE202015008430U1 (de) * | 2015-12-09 | 2015-12-21 | Rheintacho Messtechnik Gmbh | Winkelmesseinrichtung und Elektromotor |
| DE102015226666A1 (de) * | 2015-12-23 | 2017-06-29 | Frankl & Kirchner GmbH & Co KG Fabrik für Elektromotoren u. elektrische Apparate | Magnetisches Encodersystem für einen Servomotor einer Nähmaschine |
| JP6928782B2 (ja) * | 2017-03-10 | 2021-09-01 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 磁気式位置検出装置 |
| US10802074B2 (en) | 2018-01-02 | 2020-10-13 | Jitterlabs Llc | Method and apparatus for analyzing phase noise in a signal from an electronic device |
| US11016150B2 (en) * | 2019-06-03 | 2021-05-25 | Honeywell International Inc. | Method, apparatus and system for detecting stray magnetic field |
| DE102019135494B4 (de) | 2019-12-20 | 2023-11-02 | Baumer Germany Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und Verfahren zur Bewegungs- und/oder Positionserfassung eines Objekts |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6086412A (ja) * | 1983-10-19 | 1985-05-16 | Hitachi Ltd | 磁気検出装置 |
| GB2188430B (en) * | 1986-03-19 | 1990-01-17 | Honda Motor Co Ltd | Angle-of-rotation sensor |
| US4851771A (en) * | 1987-02-24 | 1989-07-25 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Seisakusho | Magnetic encoder for detection of incremental and absolute value displacement |
| US4853631A (en) * | 1987-11-04 | 1989-08-01 | The Superior Electric Company | Magnetoresistive sensor having inter-leaved magnetoresistive elements for detecting encoded magnetic information |
| ATE80724T1 (de) * | 1988-12-07 | 1992-10-15 | Superior Electric Co | Magnetische winkelkodieranordnung. |
| JPH03195019A (ja) | 1989-12-25 | 1991-08-26 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 半導体拡散炉用ガス供給装置 |
| JP2859945B2 (ja) * | 1990-09-25 | 1999-02-24 | 太陽鉄工株式会社 | 位置検出装置の感度調整装置の製造方法 |
| EP0555961B1 (en) * | 1992-02-13 | 1997-07-16 | Japan Servo Co. Ltd. | Absolute encoder |
| JP3195019B2 (ja) * | 1992-02-18 | 2001-08-06 | アルプス電気株式会社 | 原点信号検出装置 |
| EP1074815A1 (en) * | 1999-08-04 | 2001-02-07 | FESTO AG & Co | Biaxial Magnetic Position Sensor |
| JP2001165700A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-06-22 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 磁気式位置又は移動速度検出装置 |
| JP4374513B2 (ja) * | 2000-03-14 | 2009-12-02 | 日立金属株式会社 | エンコーダー、ｍｒセンサーおよびパワーステアリング装置 |
| FR2861459B1 (fr) * | 2003-10-22 | 2006-02-24 | Skf Ab | Systeme de mesure de rotation haute resolution absolu multitour et roulement equipe d'un tel systeme. |
| KR100919068B1 (ko) * | 2004-07-12 | 2009-09-28 | 엔오케이 가부시키가이샤 | 자기 엔코더 |
| JP2008067536A (ja) | 2006-09-08 | 2008-03-21 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | ガス絶縁電力機器及びその異常検出方法 |
-
2009
- 2009-02-25 DE DE112009000497T patent/DE112009000497B4/de active Active
- 2009-02-25 WO PCT/JP2009/053362 patent/WO2009116365A1/ja active Application Filing
- 2009-02-25 US US12/933,319 patent/US20110291646A1/en not_active Abandoned
- 2009-02-25 CN CN2009801096155A patent/CN101978242B/zh active Active
- 2009-02-25 JP JP2010503813A patent/JP4880066B2/ja active Active
- 2009-02-25 KR KR1020107019099A patent/KR101163908B1/ko active IP Right Grant
- 2009-03-11 TW TW098107820A patent/TWI392856B/zh active
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102853758A (zh) * | 2011-03-09 | 2013-01-02 | 株式会社捷太格特 | 旋转角检测装置及转矩检测装置 |
| CN104246446A (zh) * | 2012-04-20 | 2014-12-24 | 迪姆肯公司 | 用于产生指示信号的磁性编码器 |
| CN104246446B (zh) * | 2012-04-20 | 2017-05-31 | 迪姆肯公司 | 用于产生指示信号的磁性编码器 |
| US10401194B2 (en) | 2014-10-14 | 2019-09-03 | Robert Bosch Gmbh | Sensor for determining at least one rotation characteristic of a rotating element |
| CN109219735A (zh) * | 2016-06-02 | 2019-01-15 | 日本电产株式会社 | 直动旋转检测器、直动旋转检测器单元以及直动旋转驱动装置 |
| CN108186017A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-06-22 | 北京理工大学 | 一种用于确定内窥镜胶囊体内位姿的检测***和方法 |
| CN108186017B (zh) * | 2017-11-30 | 2020-10-02 | 北京理工大学 | 一种用于确定内窥镜胶囊体内位姿的检测***和方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20100117090A (ko) | 2010-11-02 |
| CN101978242B (zh) | 2012-07-04 |
| KR101163908B1 (ko) | 2012-07-09 |
| US20110291646A1 (en) | 2011-12-01 |
| JPWO2009116365A1 (ja) | 2011-07-21 |
| DE112009000497B4 (de) | 2012-12-13 |
| JP4880066B2 (ja) | 2012-02-22 |
| DE112009000497T5 (de) | 2011-04-21 |
| WO2009116365A1 (ja) | 2009-09-24 |
| TW200944761A (en) | 2009-11-01 |
| TWI392856B (zh) | 2013-04-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101978242B (zh) | 原点位置信号检测器 | |
| CN101995558B (zh) | 磁性传感器 | |
| CN102384758B (zh) | 旋转磁场传感器 | |
| CN104251979B (zh) | 磁场方向传感器 | |
| CN103376426B (zh) | 磁场传感器 | |
| CN102445221B (zh) | 旋转磁场传感器 | |
| EP2801834B1 (en) | Current sensor | |
| CN102933940A (zh) | 磁性编码器 | |
| US9200884B2 (en) | Magnetic sensor system including three detection circuits | |
| KR20070087628A (ko) | 조정 가능한 특성을 지닌 브릿지-유형의 센서 | |
| US7772835B2 (en) | AMR array magnetic design for improved sensor flexibility and improved air gap performance | |
| CN101358859B (zh) | 移动体检测器 | |
| US11248971B2 (en) | Magnetic field torque and/or angle sensor | |
| WO2008072610A1 (ja) | 磁気センサ及びそれを用いた磁気エンコーダ | |
| JP2014020888A (ja) | 磁気センサシステム | |
| CN205809273U (zh) | 一种无需置位/复位装置的各向异性磁电阻amr传感器 | |
| CN102667412A (zh) | 相对角度检测装置、旋转角度检测装置、相对角度检测方法以及旋转角度检测方法 | |
| WO2014111976A1 (ja) | 磁気センサ及びその製造方法 | |
| JP4973869B2 (ja) | 移動体検出装置 | |
| JP2008008699A (ja) | 回転検出装置 | |
| WO2009154157A1 (ja) | 磁気センサ及び磁気エンコーダ | |
| JP6216598B2 (ja) | 単位素子対及び薄膜磁気センサ | |
| US20050270018A1 (en) | Magnetic detector | |
| US9574906B2 (en) | Magnetic medium for magnetic encoder, magnetic encoder and method for manufacturing magnetic medium | |
| CN205718823U (zh) | 位移测量传感器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |