CN101914769A - 圆片的铝腐蚀方法 - Google Patents

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张春华
张馨月
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Abstract

本发明公布了一种圆片的铝腐蚀方法，通过加热丝将腐蚀液温度控制在50～54℃，然后将圆片放入腐蚀液内腐蚀6～10分钟，最后将圆片烘干，其中，所述腐蚀液为HNO3/H3PO4/HAC，所述圆片为Al蒸发后的硅片。本发明减少了腐蚀时间，提高了生产效率，并且减少了腐蚀线条的毛刺，提高了化学试剂的活性。

Description

圆片的铝腐蚀方法
技术领域
本发明涉及一种圆片的铝腐蚀方法。
背景技术
现有腐蚀液温度较低，导致圆片腐蚀效率比较低，若提高温度，则产生过腐蚀，合格率又降低。
发明内容
本发明目的是针对现有技术存在的缺陷提供一种圆片的铝腐蚀方法。
本发明为实现上述目的，采用如下技术方案：
本发明圆片的铝腐蚀方法，其特征在于所述方法如下：
通过加热丝将腐蚀液温度控制在50～54℃，然后将圆片放入腐蚀液内腐蚀6～10分钟，最后将圆片烘干，其中，所述腐蚀液为HNO3/H3PO4/HAC，所述圆片为Al蒸发后的硅片。
优选地，所述承载腐蚀液的腐蚀机为旋转式铝腐蚀机。
本发明减少了腐蚀时间，提高了生产效率，并且减少了腐蚀线条的毛刺，提高了化学试剂的活性。
具体实施方式
实施例1：
圆片的铝腐蚀方法，其特征在于所述方法如下：
通过加热丝将腐蚀液温度控制在50℃，然后将圆片放入腐蚀液内腐蚀10分钟，最后将圆片烘干，其中，所述腐蚀液为HNO3/H3PO4/HAC，所述圆片为Al蒸发后的硅片。
实施例2：
通过加热丝将腐蚀液温度控制在54℃，然后将圆片放入腐蚀液内腐蚀6分钟，最后将圆片烘干，其中，所述腐蚀液为HNO3/H3PO4/HAC，所述圆片为Al蒸发后的硅片。
所述承载腐蚀液的腐蚀机为旋转式铝腐蚀机。

Claims (2)

1.一种圆片的铝腐蚀方法，其特征在于所述方法如下：
通过加热丝将腐蚀液温度控制在50～54℃，然后将圆片放入腐蚀液内腐蚀6～10分钟，最后将圆片烘干，其中，所述腐蚀液为HNO3/H3PO4/HAC，所述圆片为Al蒸发后的硅片。
2.根据权利要求1所述的圆片的铝腐蚀方法，其特征在于所述承载腐蚀液的腐蚀机为旋转式铝腐蚀机。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN112864034A (zh) * 2019-11-27 2021-05-28 上海先进半导体制造有限公司 铝腐蚀的处理方法及***

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3715250A (en) * 1971-03-29 1973-02-06 Gen Instrument Corp Aluminum etching solution
CN101717938A (zh) * 2009-11-10 2010-06-02 天津市环欧半导体材料技术有限公司 酸蚀刻硅片工艺

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3715250A (en) * 1971-03-29 1973-02-06 Gen Instrument Corp Aluminum etching solution
CN101717938A (zh) * 2009-11-10 2010-06-02 天津市环欧半导体材料技术有限公司 酸蚀刻硅片工艺

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112864034A (zh) * 2019-11-27 2021-05-28 上海先进半导体制造有限公司 铝腐蚀的处理方法及***
CN112864034B (zh) * 2019-11-27 2023-09-01 上海先进半导体制造有限公司 铝腐蚀的处理方法及***

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PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

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