CN101914769A - 圆片的铝腐蚀方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公布了一种圆片的铝腐蚀方法,通过加热丝将腐蚀液温度控制在50~54℃,然后将圆片放入腐蚀液内腐蚀6~10分钟,最后将圆片烘干,其中,所述腐蚀液为HNO3/H3PO4/HAC,所述圆片为Al蒸发后的硅片。本发明减少了腐蚀时间,提高了生产效率,并且减少了腐蚀线条的毛刺,提高了化学试剂的活性。
Description
技术领域
本发明涉及一种圆片的铝腐蚀方法。
背景技术
现有腐蚀液温度较低,导致圆片腐蚀效率比较低,若提高温度,则产生过腐蚀,合格率又降低。
发明内容
本发明目的是针对现有技术存在的缺陷提供一种圆片的铝腐蚀方法。
本发明为实现上述目的,采用如下技术方案:
本发明圆片的铝腐蚀方法,其特征在于所述方法如下:
通过加热丝将腐蚀液温度控制在50~54℃,然后将圆片放入腐蚀液内腐蚀6~10分钟,最后将圆片烘干,其中,所述腐蚀液为HNO3/H3PO4/HAC,所述圆片为Al蒸发后的硅片。
优选地,所述承载腐蚀液的腐蚀机为旋转式铝腐蚀机。
本发明减少了腐蚀时间,提高了生产效率,并且减少了腐蚀线条的毛刺,提高了化学试剂的活性。
具体实施方式
实施例1:
圆片的铝腐蚀方法,其特征在于所述方法如下:
通过加热丝将腐蚀液温度控制在50℃,然后将圆片放入腐蚀液内腐蚀10分钟,最后将圆片烘干,其中,所述腐蚀液为HNO3/H3PO4/HAC,所述圆片为Al蒸发后的硅片。
实施例2:
通过加热丝将腐蚀液温度控制在54℃,然后将圆片放入腐蚀液内腐蚀6分钟,最后将圆片烘干,其中,所述腐蚀液为HNO3/H3PO4/HAC,所述圆片为Al蒸发后的硅片。
所述承载腐蚀液的腐蚀机为旋转式铝腐蚀机。
Claims (2)
1.一种圆片的铝腐蚀方法,其特征在于所述方法如下:
通过加热丝将腐蚀液温度控制在50~54℃,然后将圆片放入腐蚀液内腐蚀6~10分钟,最后将圆片烘干,其中,所述腐蚀液为HNO3/H3PO4/HAC,所述圆片为Al蒸发后的硅片。
2.根据权利要求1所述的圆片的铝腐蚀方法,其特征在于所述承载腐蚀液的腐蚀机为旋转式铝腐蚀机。
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Cited By (1)
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CN112864034A (zh) * | 2019-11-27 | 2021-05-28 | 上海先进半导体制造有限公司 | 铝腐蚀的处理方法及*** |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3715250A (en) * | 1971-03-29 | 1973-02-06 | Gen Instrument Corp | Aluminum etching solution |
CN101717938A (zh) * | 2009-11-10 | 2010-06-02 | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 | 酸蚀刻硅片工艺 |
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2010
- 2010-08-13 CN CN 201010253477 patent/CN101914769A/zh active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3715250A (en) * | 1971-03-29 | 1973-02-06 | Gen Instrument Corp | Aluminum etching solution |
CN101717938A (zh) * | 2009-11-10 | 2010-06-02 | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 | 酸蚀刻硅片工艺 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112864034A (zh) * | 2019-11-27 | 2021-05-28 | 上海先进半导体制造有限公司 | 铝腐蚀的处理方法及*** |
CN112864034B (zh) * | 2019-11-27 | 2023-09-01 | 上海先进半导体制造有限公司 | 铝腐蚀的处理方法及*** |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Open date: 20101215 |