CN101858809A - 一种光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法 - Google Patents
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN2010101854699A CN101858809B (zh) | 2010-05-28 | 2010-05-28 | 一种光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN2010101854699A CN101858809B (zh) | 2010-05-28 | 2010-05-28 | 一种光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101858809A true CN101858809A (zh) | 2010-10-13 |
CN101858809B CN101858809B (zh) | 2012-03-21 |
Family
ID=42944841
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2010101854699A Expired - Fee Related CN101858809B (zh) | 2010-05-28 | 2010-05-28 | 一种光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101858809B (zh) |
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |
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|
LICC | Enforcement, change and cancellation of record of contracts on the licence for exploitation of a patent or utility model | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120321 Termination date: 20210528 |
|
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